JP2003260049A - 傾斜三次元ｘ線ｃｔ - Google Patents

傾斜三次元ｘ線ｃｔ

Info

Publication number
JP2003260049A
JP2003260049A JP2002061071A JP2002061071A JP2003260049A JP 2003260049 A JP2003260049 A JP 2003260049A JP 2002061071 A JP2002061071 A JP 2002061071A JP 2002061071 A JP2002061071 A JP 2002061071A JP 2003260049 A JP2003260049 A JP 2003260049A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
dimensional
detector
sample
image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002061071A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3823150B2 (ja
Inventor
Masaki Misawa
雅樹 三澤
Teiseanu Ion
ティセアヌ イオン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST filed Critical National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority to JP2002061071A priority Critical patent/JP3823150B2/ja
Priority to GB0305013A priority patent/GB2387306B/en
Priority to DE10309887A priority patent/DE10309887A1/de
Priority to US10/379,702 priority patent/US7139363B2/en
Publication of JP2003260049A publication Critical patent/JP2003260049A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3823150B2 publication Critical patent/JP3823150B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B6/00—Apparatus for radiation diagnosis, e.g. combined with radiation therapy equipment
    • A61B6/44—Constructional features of apparatus for radiation diagnosis
    • A61B6/4429—Constructional features of apparatus for radiation diagnosis related to the mounting of source units and detector units
    • A61B6/4435—Constructional features of apparatus for radiation diagnosis related to the mounting of source units and detector units the source unit and the detector unit being coupled by a rigid structure
    • A61B6/4441—Constructional features of apparatus for radiation diagnosis related to the mounting of source units and detector units the source unit and the detector unit being coupled by a rigid structure the rigid structure being a C-arm or U-arm
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B6/00—Apparatus for radiation diagnosis, e.g. combined with radiation therapy equipment
    • A61B6/50—Clinical applications
    • A61B6/505—Clinical applications involving diagnosis of bone
    • A61B6/51—
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/40—Imaging
    • G01N2223/419—Imaging computed tomograph

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Pulmonology (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、測定物の回転軸に対して斜めから
Ｘ線を照射するとともに記録された投影像をパソコンで
画像再構成し三次元画像を得るようにした傾斜三次元Ｘ
線ＣＴを提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明による傾斜三次元Ｘ線ＣＴは、測
定物を回転自在な載置台に載置するとともに、回動およ
び上下動の自在な傾斜フレームに測定物を挟むようにし
てＸ線源および検出器を装着し、該検出器にデータ収録
解析用コンピュータを接続したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、産業用Ｘ線ＣＴ
（コンピュータ・トモグラフィ）装置、半導体部品、プ
リント基板、ＩＣチップの検査、機械部品、複合材料、
プラスチックの検査および歯や骨など硬い組織の医療用
ＣＴに利用できる三次元Ｘ線ＣＴに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の三次元Ｘ線ＣＴは、図５に示すよ
うにＸ線源Ａ、試料Ｄ、二次元検出器Ｂは同一平面上に
あり、試料Ｄの回転軸Ｃに対して垂直な方向（９０度）
からＸ線を照射して二次元検出器Ｂにより投影データを
収集するものであった。また、測定物の回転軸に対して
斜めから撮影する方法として、例えば特開2001-153817
号に記載のラミノグラフィがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、測定物
の回転軸に対して垂直な方向（９０度）から投影データ
を収集するものでは、面積の大きな測定物の一部を拡大
撮影しようとしても、測定回転物の回転半径が大きいた
め、Ｘ線発生器を測定回転物に近づけることができず拡
大率を上げることができなかった。また、測定物の回転
軸に対して垂直方向から投影データを収集しようとする
場合、平面面積の大きい試料では、平面方向にビームハ
ードニング偽像が発生するという欠点があった。また、
ラミノグラフィにおいては、出力されるのは二次元画像
データであり、この二次元画像データを積み重ねて三次
元再生を行うため、二次元平面は良好に見えるが高さ方
向の分解能が悪いので、全体像がつかみにくいという問
題があった。
【０００４】本発明は、測定物の回転軸に対して斜めか
らＸ線を照射するとともに記録された投影像をパソコン
で画像再構成し三次元画像を得るようにした傾斜三次元
Ｘ線ＣＴを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の傾斜三次元Ｘ線ＣＴは、測定物の回転軸に
対して斜めからＸ線を照射するとともに記録された投影
像をパソコンで画像再構成し三次元画像を得るようにし
たことを特徴とする。また、本発明の傾斜三次元Ｘ線Ｃ
Ｔは、測定物を回転自在な載置台に載置するとともに、
回動および上下動の自在な傾斜フレームに測定物を挟む
ようにしてＸ線源および検出器を装着し、該検出器にデ
ータ収録解析用コンピュータを接続したことを特徴とす
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明による実施の形態を
図面に基づき説明する。図１は、本発明の実施の形態に
よる傾斜三次元Ｘ線ＣＴ装置の正面図である。１は、図
示しない駆動装置により駆動される回転ステージであ
り、回転ステージ１の回転軸２には試料載置台３が設け
られ、該試料載置台３には、測定物であるところの試料
４が載置されている。一方、回転ステージ１の近傍には
支柱５が立設され、該支柱５に設けられた水平支軸６を
支点にして回動可能に傾斜フレーム７が設けられてい
る。この水平支軸６は、支柱５に沿って上下動可能に支
持されている。また、傾斜フレーム７には、試料４を挟
むようにして、一側にＸ線源８が、他側に検出器９が配
置されている。このＸ線源８および検出器９は、試料４
に対して離接自在なように傾斜フレーム上に移動可能に
設けられている。
【０００７】したがって、試料４の形体に応じ、あるい
は拡大して観察したい検出部の位置に応じて傾斜フレー
ム７を回動してＸ線源８の照射角度を調節するとともに
Ｘ線源８を試料４に対して離接自在に移動することによ
り、適切な照射を行うことができる。１０はデータ収録
解析用パソコンであり、検出器９に接続されている。
【０００８】今、図１に示すように、回転ステージ１上
に置かれた平面面積が大きく、厚みの薄い試料４の中央
に位置する検出部１１をＸ線源８で透過して投影像を検
出器９で検出するには、傾斜フレーム７を反時計回りに
所定角度回転してＸ線源８から照射されるＸ線１２の照
射方向が検出部１１を向くようにして固定する。このと
き、照射されるＸ線１２と回転ステージ１の回転軸２と
が９０°より小さい角度θで交わっている。この状態
で、Ｘ線源８からＸ線１２を照射しつつ回転ステージ１
を回転軸２のまわりに微小角度間隔で回転させると、試
料載置台３も同じように回転するので、角度ステップご
との投影像が検出器９に投影される。検出器９に投影さ
れた投影像はデータ収録解析用パソコン１０に送信され
記録される。
【０００９】Ｘ線源８および検出器９の角度やＸ線１２
の照射方向は、水平支軸６の周りの傾斜フレーム７の回
転角度や支柱５に沿って水平支軸６を上下動させること
で任意に設定できる。
【００１０】データ収録解析用パソコン１０に記録され
た投影像を使って傾斜三次元Ｘ線ＣＴの計算コードによ
り試料４の一部である検出部１１のみを画像再構成し、
三次元画像を得るには、以下のステップによる。 （１）検出器９の検出面中心１３に立てた法線がＸ線源
８の焦点を向くように検出器９を設置して得られた投影
像を、その中心法線が試料４の回転軸２に垂直になるよ
うに画像変換する。 （２）この画像変換された投影像に、Ｘ線１２と試料回
転軸２との距離、投映像の画素座標Ｙ、Ｚからなる重み
係数をかけて、重み付き投影データを作成する。この
時、Ｙ、Ｚの座標値はＸ線源８の焦点を含む平面内に原
点を持つ座標系を用いる。 （３）重み付き投影データとフィルタ関数をＹ座標に関
してフーリエ変換し、畳み込み演算を行う。 （４）上記データを三次元再構成グリッド上に逆投影す
る。
【００１１】試料４の一部の拡大率は、Ｘ線源８と試料
４の間の距離を、傾斜角を保ったまま、傾斜フレーム７
上で変えることで任意に調整できる。また、試料４の一
部の検出部１１は、傾斜フレーム７の角度を変えること
で、Ｘ線減衰が過度に小さくならないようなＸ線照射方
向を選択できる。さらに、傾斜フレーム７を水平に保て
ば、従来の三次元Ｘ線ＣＴを実現できる。
【００１２】図１に示すように試料４、Ｘ線源８および
検出器９を配置した場合、試料４の平面方向にＸ線が透
過する必要がないため、Ｘ線の透過距離が短くなり、ビ
ームハードニングの影響が大幅に低減するとともに、よ
りコントラストの高い鮮明な画像が得られる。また、低
エネルギーのＸ線を使用できるので、Ｘ線源８の寿命も
長くなる。
【００１３】図２および図３は、ボールグリッドアレイ
（ＢＧＡ）チップの一部を、２５度の傾斜角度で拡大断
層撮影し、三次元可視化した例を示したもので、図２
は、中心部を上面から見た図であり、また、図３は、Ｂ
ＧＡチップの側面図である。これらの図から、ボールの
形状が鮮明に可視化できているのが、分かる。
【００１４】図４は、ＢＧＡチップの半田ボールの三次
元可視化した例を示したものである。ボール下部が溶け
てチップ基板に密着した跡の形状が三次元的に表現され
ているのが分かる。
【００１５】図６は、図５に示した従来の三次元Ｘ線Ｃ
Ｔ、すなわち傾斜フレーム７を水平に保った状態で撮影
したＢＧＡチップの断層像を示したものである。図５の
ように試料、Ｘ線源および検出器を配置したものでは、
同一平面上にある半田ボールすべてをＸ線が透過しなく
てはならないため、強い減衰のためビームハンドリング
偽像が生じている。このため、半田ボールのない中心部
に、あたかもボールがあるように見えている。
【００１６】
【発明の効果】本発明の傾斜三次元Ｘ線ＣＴによれば、
試料と同一平面上にＸ線源がないので、平面面積が大き
い試料であっても、Ｘ線源を拡大撮影したい領域の極近
傍に接近させて拡大率を大きくした上で、試料を回転で
きるので、局所的な三次元Ｘ線ＣＴが可能となる。ま
た、試料の平面方向にＸ線が透過する必要がないため、
Ｘ線の透過距離が短くなり、ビームハードニングの影響
が大幅に低減するとともに、よりコントラストの高い鮮
明な画像が得られる。また、低エネルギーのＸ線を使用
できるので、Ｘ線源の寿命も長くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る傾斜三次元Ｘ線ＣＴ
装置の正面図である。
【図２】ボールグリッドアレイチップの一部を、２５度
の傾斜角度で拡大断層撮影し、三次元可視化した例を示
した平面図である。
【図３】ボールグリッドアレイチップの一部を、２５度
の傾斜角度で拡大断層撮影し、三次元可視化した例を示
した側面図である。
【図４】ボールグリッドアレイチップの半田ボールの三
次元可視化した例を示した図である。
【図５】従来の三次元Ｘ線ＣＴの正面図である。
【図６】従来の三次元Ｘ線ＣＴで撮影したボールグリッ
ドアレイチップの断層像を示した図である。
【符号の説明】
１ 回転ステージ ２ 回転軸 ３ 試料載置台 ４ 測定物である試料 ５ 支柱 ６ 水平支軸 ７ 傾斜フレーム ８ Ｘ線源 ９ 検出器 １０ データ収録解析用パソコン １１ 検出部 １２ Ｘ線 １３ 検出器の検出面中心
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 DA09 FA08 GA01 GA06 GA08 GA13 HA08 HA09 HA13 HA14 LA01 LA11 PA12 PA14 4C093 AA11 AA22 DA05 EA02 EB17 EC24 EC42 ED06 ED07 FE12 FF42

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 測定物の回転軸に対して斜めからＸ線を
    照射するとともに記録された投影像をパソコンで画像再
    構成し三次元画像を得るようにした傾斜三次元Ｘ線Ｃ
    Ｔ。
  2. 【請求項２】 測定物を回転自在な載置台に載置すると
    ともに、回動および上下動の自在な傾斜フレームに測定
    物を挟むようにしてＸ線源および検出器を装着し、該検
    出器にデータ収録解析用コンピュータを接続したことを
    特徴とする請求項１記載の傾斜三次元Ｘ線ＣＴ。
JP2002061071A 2002-03-06 2002-03-06 傾斜三次元ｘ線ｃｔ Expired - Lifetime JP3823150B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002061071A JP3823150B2 (ja) 2002-03-06 2002-03-06 傾斜三次元ｘ線ｃｔ
GB0305013A GB2387306B (en) 2002-03-06 2003-03-05 Mehtod of obtaining images of a sample using a oblique-view cone-beam CT system
DE10309887A DE10309887A1 (de) 2002-03-06 2003-03-06 Kegelstrahl-Computertomographiesystem
US10/379,702 US7139363B2 (en) 2002-03-06 2003-03-06 Oblique-view cone-beam CT system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002061071A JP3823150B2 (ja) 2002-03-06 2002-03-06 傾斜三次元ｘ線ｃｔ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003260049A true JP2003260049A (ja) 2003-09-16
JP3823150B2 JP3823150B2 (ja) 2006-09-20

Family

ID=19192999

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002061071A Expired - Lifetime JP3823150B2 (ja) 2002-03-06 2002-03-06 傾斜三次元ｘ線ｃｔ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7139363B2 (ja)
JP (1) JP3823150B2 (ja)
DE (1) DE10309887A1 (ja)
GB (1) GB2387306B (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005098875A (ja) * 2003-09-25 2005-04-14 Shimadzu Corp Ｘ線ｃｔ装置
JP2005106515A (ja) * 2003-09-29 2005-04-21 Shimadzu Corp Ｘ線ｃｔ装置
JP2005331428A (ja) * 2004-05-21 2005-12-02 Sony Corp 画像情報処理装置および方法、並びにプログラム
JP2007114150A (ja) * 2005-10-24 2007-05-10 Nagoya Electric Works Co Ltd Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法およびｘ線検査プログラム
JP2007121082A (ja) * 2005-10-27 2007-05-17 Nagoya Electric Works Co Ltd Ｘ線画像出力装置、ｘ線画像出力方法およびｘ線画像出力プログラム
JP2008224692A (ja) * 2008-06-23 2008-09-25 Shimadzu Corp Ｘ線ｃｔ装置
JP2010156607A (ja) * 2008-12-26 2010-07-15 Sony Corp Ｘ線断層撮像装置およびｘ線断層撮像方法
JP2016121993A (ja) * 2014-11-24 2016-07-07 ヴィポテック ヴィーゲ−ウント ポジティオニエルシステーメ ゲーエムベーハーＷｉｐｏｔｅｃ Ｗｉｅｇｅ−Ｕｎｄ Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｅｒ−Ｓｙｓｔｅｍｅ Ｇｍｂｈ 移動する製品を検査するための装置、特に移動する反物をｘ線で検査する装置
JP2018194491A (ja) * 2017-05-19 2018-12-06 富士通株式会社 Ｘ線分析方法及びｘ線分析装置

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200534531A (en) * 2004-03-30 2005-10-16 Aisin Seiki Vehicle mounted radio device
US7991242B2 (en) 2005-05-11 2011-08-02 Optosecurity Inc. Apparatus, method and system for screening receptacles and persons, having image distortion correction functionality
CA2608119A1 (en) * 2005-05-11 2006-11-16 Optosecurity Inc. Method and system for screening luggage items, cargo containers or persons
US20070041613A1 (en) * 2005-05-11 2007-02-22 Luc Perron Database of target objects suitable for use in screening receptacles or people and method and apparatus for generating same
CA2584683A1 (en) * 2006-04-20 2007-10-20 Optosecurity Inc. Apparatus, method and system for screening receptacles and persons
US7899232B2 (en) * 2006-05-11 2011-03-01 Optosecurity Inc. Method and apparatus for providing threat image projection (TIP) in a luggage screening system, and luggage screening system implementing same
US8494210B2 (en) * 2007-03-30 2013-07-23 Optosecurity Inc. User interface for use in security screening providing image enhancement capabilities and apparatus for implementing same
DE102007045797A1 (de) * 2007-09-25 2009-04-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Röntgencomputertomographiesystem zur Darstellung flächiger Objekte
DE102008020948A1 (de) * 2008-04-25 2009-11-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Röntgencomputertomograph und Verfahren zur Untersuchung eines Bauteils mittels Röntgencomputertomographie
KR101973221B1 (ko) 2011-09-07 2019-04-26 라피스캔 시스템스, 인코포레이티드 적하목록 데이터를 이미징/검출 프로세싱에 통합시키는 x-선 검사시스템
WO2014181478A1 (ja) * 2013-05-10 2014-11-13 株式会社ニコン Ｘ線装置及び構造物の製造方法
CN104502373B (zh) * 2014-12-18 2017-01-11 丹东奥龙射线仪器集团有限公司 装有双重升降功能c型臂的x射线检测装置
DE102015216052B4 (de) * 2015-08-21 2017-03-23 Siemens Healthcare Gmbh Bildgebungsvorrichtung und Verfahren zum Anzeigen einer Positionsinformation
GB2564038B (en) 2016-02-22 2021-11-10 Rapiscan Systems Inc Systems and methods for detecting threats and contraband in cargo
CN113281360B (zh) * 2021-06-30 2023-02-28 中国电子科技集团公司第三十八研究所 一种锥束ct成像设备的样品固定装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0746080B2 (ja) * 1986-12-22 1995-05-17 株式会社日立製作所 内部欠陥検査方法
JP3092828B2 (ja) * 1992-04-30 2000-09-25 株式会社日立製作所 Ｘ線透過像検出によるはんだ付け検査方法とその装置
US5740224A (en) * 1994-09-27 1998-04-14 University Of Delaware Cone beam synthetic arrays in three-dimensional computerized tomography
US5995581A (en) * 1996-02-15 1999-11-30 Kabushiki Kaisha Toshiba CR image-based positioning for X-ray CT scan
JP3638465B2 (ja) * 1999-03-15 2005-04-13 株式会社日立国際電気 Ｘ線断層撮像装置及びそのステージ位置調整方法
JP2000329710A (ja) 1999-05-17 2000-11-30 Shimadzu Corp 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置
JP3690786B2 (ja) * 1999-11-29 2005-08-31 株式会社日立国際電気 Ｘ線断層撮像装置
DE10007306A1 (de) * 2000-02-17 2001-08-23 Macrotron Process Technologies Röntgensystem

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005098875A (ja) * 2003-09-25 2005-04-14 Shimadzu Corp Ｘ線ｃｔ装置
JP2005106515A (ja) * 2003-09-29 2005-04-21 Shimadzu Corp Ｘ線ｃｔ装置
JP2005331428A (ja) * 2004-05-21 2005-12-02 Sony Corp 画像情報処理装置および方法、並びにプログラム
US7529402B2 (en) 2004-05-21 2009-05-05 Sony Corporation Image information processing apparatus, image information processing method, and program
JP2007114150A (ja) * 2005-10-24 2007-05-10 Nagoya Electric Works Co Ltd Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法およびｘ線検査プログラム
JP2007121082A (ja) * 2005-10-27 2007-05-17 Nagoya Electric Works Co Ltd Ｘ線画像出力装置、ｘ線画像出力方法およびｘ線画像出力プログラム
JP4728092B2 (ja) * 2005-10-27 2011-07-20 名古屋電機工業株式会社 Ｘ線画像出力装置、ｘ線画像出力方法およびｘ線画像出力プログラム
JP2008224692A (ja) * 2008-06-23 2008-09-25 Shimadzu Corp Ｘ線ｃｔ装置
JP2010156607A (ja) * 2008-12-26 2010-07-15 Sony Corp Ｘ線断層撮像装置およびｘ線断層撮像方法
JP2016121993A (ja) * 2014-11-24 2016-07-07 ヴィポテック ヴィーゲ−ウント ポジティオニエルシステーメ ゲーエムベーハーＷｉｐｏｔｅｃ Ｗｉｅｇｅ−Ｕｎｄ Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｅｒ−Ｓｙｓｔｅｍｅ Ｇｍｂｈ 移動する製品を検査するための装置、特に移動する反物をｘ線で検査する装置
US9746578B2 (en) 2014-11-24 2017-08-29 Wipotec Wiege- Und Positioniersysteme Gmbh Apparatus for examining moving products, in particular moving piece goods, by x-ray
JP2018194491A (ja) * 2017-05-19 2018-12-06 富士通株式会社 Ｘ線分析方法及びｘ線分析装置

Also Published As

Publication number Publication date
US7139363B2 (en) 2006-11-21
GB2387306B (en) 2005-09-28
US20040017882A1 (en) 2004-01-29
GB0305013D0 (en) 2003-04-09
JP3823150B2 (ja) 2006-09-20
DE10309887A1 (de) 2003-11-06
GB2387306A (en) 2003-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003260049A (ja) 傾斜三次元ｘ線ｃｔ
US7561659B2 (en) Method for reconstructing a local high resolution X-ray CT image and apparatus for reconstructing a local high resolution X-ray CT image
JPWO2009078415A1 (ja) Ｘ線検査装置および方法
JP2005021675A (ja) 断層撮影装置
JP2002125963A (ja) コンピュータ断層撮影装置及びコンピュータ断層撮影装置の作動方法
JP2010160070A (ja) 検査方法、検査装置および検査用プログラム
US20020131549A1 (en) Radiographic apparatus
JP3694833B2 (ja) ユーセントリック型傾斜三次元ｘ線ｃｔ及びそれによる三次元画像の撮影方法
JP4561990B2 (ja) Ｘ線撮影装置
JP4561981B2 (ja) Ｘ線ｃｔ装置
JP4724760B2 (ja) Ｘ線撮影装置
US6463116B1 (en) Radiographic apparatus
JP4129572B2 (ja) 傾斜三次元ｘ線ｃｔ画像の再構成方法
JP4016265B2 (ja) Ｘ線ｃｔ装置
TW201312102A (zh) Ｘ光檢查裝置、ｘ光檢查裝置之控制方法、用於控制ｘ光檢查裝置之程式及儲存該程式之記錄媒體
JP4788272B2 (ja) Ｘ線断層撮像装置及びｘ線断層撮像方法
JP2007322384A (ja) Ｘ線断層撮像装置及びｘ線断層撮像方法
JP2006266754A (ja) Ｘ線断層撮像方法及びｘ線断層撮像装置
JP4078846B2 (ja) 断層撮影装置
JP2005134213A (ja) Ｘ線断層撮像方法及び装置
JP4609643B2 (ja) Ｘ線ｃｔ装置
JP4178399B2 (ja) Ｘ線ｃｔ装置
JP2000193609A (ja) 放射線断層撮影装置
JP3275948B2 (ja) Ｘ線ｃｔ装置
JP2010156607A (ja) Ｘ線断層撮像装置およびｘ線断層撮像方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050125

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050315

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050823

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050921

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060322

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3823150

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term