JP2005098875A - X線ct装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料Wを回転させつつ取り込んだX線透過データから、例えば画素間の濃度の差分値等、試料の各部位のX線吸収率の空間的変動に係るデータを算出し、その空間的変動データを用いて断層像を再構成演算することにより、試料内部でX線吸収率の空間的変化が大きな部位が強調された断層像を得て、半田ボールと基板上の配線パターン間の微小なクラック等を明確に画像化することを可能とする。
【選択図】 図1
Description
図1は本発明をコーンビームCT装置に適用したの実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と主要な機能的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
2 X線検出器
3 試料ステージ
3a 試料搭載面
31 回転機構
32 移動機構
4 画像取り込み回路
5 演算装置
51 感度補正演算部
52 歪み補正演算部
53 差分値演算部
54 断層像再構成演算部
55 縦断層像再構成演算部
6 操作部
7 表示器
W 試料
Wp 配線パターン
Ws 半田ボール
C 隙間
Claims (4)
- X線源とX線検出器の間に試料を配置し、X線源とX線検出器の対と試料とに相対的な回転を与えつつ試料にX線を照射し、所定の回転角度ごとに取り込んだX線透過データを用いて、上記回転の中心軸に直交する平面に沿った断層像を再構成する断層像再構成演算手段を備えたX線CT装置において、
上記X線透過データを用いて、試料の各部位のX線吸収率の空間的変動に係るデータを算出し、そのX線吸収率の空間的変動データを用いて、上記断層像再構成演算手段による断層像の再構成演算と同じ演算を実行する強調断層像再構成演算手段を備えていることを特徴とするX線CT装置。 - 上記試料の各部位のX線吸収率の空間的変動データが、上記X線検出器の出力に基づく各回転角度ごとのX線強度分布画像における互いに隣接する画素間の濃度データの差分値であることを特徴とする請求項1に記載のX線CT装置。
- 上記X線源がパラレルビームもしくはファンビーム状のX線を出力するX線源であり、上記相対的な回転を与えつつX線検出器により基準位置と参照位置の各1ライン分のX線透過データをそれぞれ取り込み、各回転角度ごとの基準位置と参照位置のライン間の対応画素間の濃度データの差分値を算出して上記空間変動データとすることを特徴とする請求項1または2に記載のX線CT装置。
- 上記X線源がコーンビーム状のX線を出力するX線源であり、上記相対的な回転を与えてX線検出器に取り込んだ全ての画素のX線透過データについて、互いに隣接する画素どうしの差分値を算出して上記空間変動データとすることを特徴とする請求項2に記載のX線CT装置。
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