JP5532539B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
ただし、c1=y1/b,c2=y2/bである。また、y1は、試料ステージの回転前における特異点のX線検出器上への投影位置のy軸座標であり、y2は、試料ステージがθだけ回転した後の特異点のX線検出器上への投影位置のy軸座標であり、aは、試料ステージの回転中心とX線発生点とのx軸方向への距離であり、bは、X線検出器とX線発生点とのx軸方向への距離であり、深さdは、試料ステージの回転中心と特異点とのx軸方向への距離である。
また、本発明のX線検査装置は、上記表示制御手段が特異点の深さに関するしきい値と特異点の面積に関するしきい値に基づいて、一定の深さ以上で、かつ、一定の面積以上の特異点像のみを塗りつぶして表示することにより特徴づけられる(請求項4)。
図1は本発明の実施の形態の装置本体の斜視図であり、図2は全体のシステム構成を表すブロック図である。また、図3には、本発明の実施の形態における表示器23の表示態様の例を示す。
被検査物Wを回転テーブル8上に載せ、Zステージ6、XYステージ9等を操作して被検査物W上の所要領域がX線透視像として表示器23の透視像表示エリアAxに表示されるように位置決めした後、指令を与えることにより、透視画像上の特異点の抽出と深さを求めるプログラムが実行される。
2 X線検出器
3 支持アーム
4 コラム
5 傾動機構
6 Zステージ
7 試料ステージ
8 回転テーブル
9 XYテーブル
21 画像データ取り込み回路
22 表示制御部
23 表示器
24 画像処理部
25 システム制御部
26 X線コントローラ
27 操作部
28 軸制御部
29 演算部
Ax 透視像表示エリア
An 深さリスト表示エリア
P 特異点
Q,Qd 特異点像
W 被検査物
Claims (4)
- 互いに対向配置されたX線発生装置とX線検出器の間に、被検査物を搭載する試料ステージが設けられ、その試料ステージ上の被検査物を透過したX線の検出結果に基づくX線透視像を表示器に表示するX線検査装置において、
被検査物のX線透視像上で、あらかじめ設定されさている特異点を抽出する特異点像抽出手段と、被検査物の透視視野の移動もしくは透視方向の変更の前後で抽出された特異点像の位置情報から、d=(c1・cosθ+c1・c2sinθ−c2)・a/{(c2−c1)・cosθ−(1+c1・c2)・sinθ}の式に基づいて当該特異点像の透視方向への深さを算出する演算手段と、その演算手段により算出された特異点の深さに応じて、特異点像の表示態様を相違させる表示制御手段を備え、上記表示制御手段による特異点像の表示態様の相違が色分けにより実現され、算出された特異点の深さに応じて深い特異点ほど特定の色系の色で特異点像を塗りつぶすことを特徴とするX線検査装置。
ただし、c1=y1/b,c2=y2/bである。
また、y1は、試料ステージの回転前における特異点のX線検出器上への投影位置のy軸座標であり、y2は、試料ステージがθだけ回転した後の特異点のX線検出器上への投影位置のy軸座標であり、aは、試料ステージの回転中心とX線発生点とのx軸方向への距離であり、bは、X線検出器とX線発生点とのx軸方向への距離であり、深さdは、試料ステージの回転中心と特異点とのx軸方向への距離である。 - 特異点の深さに関する1個もしくは複数のしきい値を設定する設定手段を備え、上記表示制御手段は、算出された特異点の深さと設定されているしきい値との大小関係に基づいて特異点の表示態様を相違させることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 上記演算手段により算出された特異点の深さを、上記表示器に実寸法で数値表示する数値表示手段を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載のX線検査装置。
- 上記表示制御手段が特異点の深さに関するしきい値と特異点の面積に関するしきい値に基づいて、一定の深さ以上で、かつ、一定の面積以上の特異点像のみを塗りつぶして表示することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
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