JPH01312405A - 埋設深度測定法 - Google Patents
埋設深度測定法Info
- Publication number
- JPH01312405A JPH01312405A JP63143805A JP14380588A JPH01312405A JP H01312405 A JPH01312405 A JP H01312405A JP 63143805 A JP63143805 A JP 63143805A JP 14380588 A JP14380588 A JP 14380588A JP H01312405 A JPH01312405 A JP H01312405A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- foreign matter
- foreign object
- radiation
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000009933 burial Methods 0.000 claims 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＸ線その他適宜の放射線を利用して、物体内に
おける空隙その他任意の異物の埋設深度を測定する方法
に関する。
おける空隙その他任意の異物の埋設深度を測定する方法
に関する。
Ｘ線その他の放射線を用いて物体内に埋設された異物の
埋設深度を測定する場合において、従来は異なった２方
向からＸ線等を入射させることにより２枚の写真を撮影
し、表面または裏面に設けた標点と異物の像との相対的
位置の差から上記深度を求めろ方法がとられていた。し
かし写真撮影によるときは結果を得るまでに極めて長時
間を要し、また電子的撮影装置を用いると、中心と周辺
との像の歪み等で高精度の測定を行い得ない欠点がある
。本発明はこのような欠点がなく、正確迅速でしかも容
易に異物の埋設深度を測定することのできる方法を提供
するものである。
埋設深度を測定する場合において、従来は異なった２方
向からＸ線等を入射させることにより２枚の写真を撮影
し、表面または裏面に設けた標点と異物の像との相対的
位置の差から上記深度を求めろ方法がとられていた。し
かし写真撮影によるときは結果を得るまでに極めて長時
間を要し、また電子的撮影装置を用いると、中心と周辺
との像の歪み等で高精度の測定を行い得ない欠点がある
。本発明はこのような欠点がなく、正確迅速でしかも容
易に異物の埋設深度を測定することのできる方法を提供
するものである。
本発明は異物の埋設深度を測定しようとする物体に例え
ば点放射線源から放射されるＸ線その他の放射線を照射
して、埋設された異物の映像位置を記憶し、つぎに上記
物体を例えば所定の角度だけ傾けると共に上記映像の位
置が移動しないようにこれを放射線と直角な方向へ移動
して、上記傾斜角と移動距離とにより前記異物の埋設深
度を算出するものである。従って像の拡大率を自由に選
択し得ると共に拡大率の変化に対して治具の交換等を必
要としない。また観測に際して像の位置が移動しないか
ら、高精度の測定を行い得ると共に特殊な治具装置等を
必要とすることな（、かつ像の位置を記録して、これを
記憶する等の必要もなく、短時間でハル１定を行い得る
等の効果がある。以下図面について本発明の−・実施例
を説明する。
ば点放射線源から放射されるＸ線その他の放射線を照射
して、埋設された異物の映像位置を記憶し、つぎに上記
物体を例えば所定の角度だけ傾けると共に上記映像の位
置が移動しないようにこれを放射線と直角な方向へ移動
して、上記傾斜角と移動距離とにより前記異物の埋設深
度を算出するものである。従って像の拡大率を自由に選
択し得ると共に拡大率の変化に対して治具の交換等を必
要としない。また観測に際して像の位置が移動しないか
ら、高精度の測定を行い得ると共に特殊な治具装置等を
必要とすることな（、かつ像の位置を記録して、これを
記憶する等の必要もなく、短時間でハル１定を行い得る
等の効果がある。以下図面について本発明の−・実施例
を説明する。
第１図は本発明の一実施例を説明するための装置の縦断
面図で、Ｘ線源１は径が例えば５〜１０μ程度の微少な
ものであるが、このｘｌａｌｒＡとしては回折等によっ
て得られる平行Ｘ線を用いることも１＋Ｊ能である。上
記Ｘ線源Ｉに蛍光板あるいはイメージインテンシファイ
アおよびテレビジョンカメラ等からなるＸ線像観測装置
２を対向させて、その中間の適当な位置に異物３の埋設
深度りを測定しようとする任意の物体４を配置する。な
おこの物体４は任意の形状でＸ［シ支えないが、例えば
図のように板状をなし、その一方の而５から異物３まで
の距離りを求める場合は、図示してないが上記面５を基
台の上面に密着させる。かつ線あス１からＸ線像観測装
置２の中心に直角に入射するＸ線が異物３を通って、図
示してないがスクリーンの中央における定点に上記異物
３の像６が映し出されるように物体４の位置を調整する
。つぎに異物３を通るＸ線７が而５を通る点を８とする
とき、この点８を通って紙面に直角な直線を軸として、
」二足基台を傾斜させることにより、物体４を細線４、
で示したように一定の角度Ｏだけ傾斜させる。
面図で、Ｘ線源１は径が例えば５〜１０μ程度の微少な
ものであるが、このｘｌａｌｒＡとしては回折等によっ
て得られる平行Ｘ線を用いることも１＋Ｊ能である。上
記Ｘ線源Ｉに蛍光板あるいはイメージインテンシファイ
アおよびテレビジョンカメラ等からなるＸ線像観測装置
２を対向させて、その中間の適当な位置に異物３の埋設
深度りを測定しようとする任意の物体４を配置する。な
おこの物体４は任意の形状でＸ［シ支えないが、例えば
図のように板状をなし、その一方の而５から異物３まで
の距離りを求める場合は、図示してないが上記面５を基
台の上面に密着させる。かつ線あス１からＸ線像観測装
置２の中心に直角に入射するＸ線が異物３を通って、図
示してないがスクリーンの中央における定点に上記異物
３の像６が映し出されるように物体４の位置を調整する
。つぎに異物３を通るＸ線７が而５を通る点を８とする
とき、この点８を通って紙面に直角な直線を軸として、
」二足基台を傾斜させることにより、物体４を細線４、
で示したように一定の角度Ｏだけ傾斜させる。
かつ同時にその物体４を上記Ｘ線７に対して破線４、で
示したように、Ｘ線７に対して直角な方向へ紙面内で距
離ｌだけ移動させることにより、観Ｍ１装置２の中心に
異物３．のｘＩａ像が投影されて、１）ｉ記入クリーン
上の像６と正確に一致するように調整する。
示したように、Ｘ線７に対して直角な方向へ紙面内で距
離ｌだけ移動させることにより、観Ｍ１装置２の中心に
異物３．のｘＩａ像が投影されて、１）ｉ記入クリーン
上の像６と正確に一致するように調整する。
すなわち第２図に第１図の一部を拡大して示したように
、点８を中心として物体４を矢印ｐのように角０だけ傾
斜させると共にこの物体を矢印ｑのようにＸ線７と直角
な方向へ移動させるから、異物３は３Ｉの状態を経て３
ｔの位置に移動する。
、点８を中心として物体４を矢印ｐのように角０だけ傾
斜させると共にこの物体を矢印ｑのようにＸ線７と直角
な方向へ移動させるから、異物３は３Ｉの状態を経て３
ｔの位置に移動する。
この状態では異物３．の像が３の像と同一位置に現れる
。従って本発明は物体４の傾斜角θによる像の位置を、
その表面５と平行な移動距離Ｉによって補償するもので
、表面５から異物３までの距離ｈ１ずなわら埋設深度は
明らかに ｈ ＝ Ｉ ／ ｓ ｊ ｎ θで与えられる
。
。従って本発明は物体４の傾斜角θによる像の位置を、
その表面５と平行な移動距離Ｉによって補償するもので
、表面５から異物３までの距離ｈ１ずなわら埋設深度は
明らかに ｈ ＝ Ｉ ／ ｓ ｊ ｎ θで与えられる
。
このように本発明の方法は極めて簡易迅速に測定を行う
事ができると共に実施例のように微小Ｘ線源を用いて像
を拡大することにより極めて精密で、正確な測定を行う
ことができる。また特別な装置、治具等を必要としない
と共に像を常に同一位置で観、１ｌｌｌするから高右１
度が保証される等の効果がある。
事ができると共に実施例のように微小Ｘ線源を用いて像
を拡大することにより極めて精密で、正確な測定を行う
ことができる。また特別な装置、治具等を必要としない
と共に像を常に同一位置で観、１ｌｌｌするから高右１
度が保証される等の効果がある。
第１図は本発明の詳細な説明する断面図、第２図は第１
図の一部を拡大した図である。なお図において、！はＸ
線源、２はＸ線像観測装置、３は異物、４は被観測体、
５は被観測体の面、６はＸ線像、７はＸ線、８はＸ線の
通過点である。
図の一部を拡大した図である。なお図において、！はＸ
線源、２はＸ線像観測装置、３は異物、４は被観測体、
５は被観測体の面、６はＸ線像、７はＸ線、８はＸ線の
通過点である。
Claims (1)
- 異物が埋設された物体に放射線を照射して所定のスクリ
ーン上における上記異物の映像位置を記憶し、つぎに所
定の点を中心として上記物体を前記放射線の軸を含む平
面内で回転させると共に前記異物の映像が前記映像の位
置と一致するように上記軸に対して直角な方向へ移動さ
せて、この移動距離と前記回転角度とに基づいて異物の
埋設深度を求めることを特徴とする埋設深度測定法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63143805A JPH01312405A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 埋設深度測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63143805A JPH01312405A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 埋設深度測定法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01312405A true JPH01312405A (ja) | 1989-12-18 |
Family
ID=15347391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63143805A Pending JPH01312405A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 埋設深度測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01312405A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002267433A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 破断部検査方法及び装置 |
| JP2009150755A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2009186270A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2009186271A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP63143805A patent/JPH01312405A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002267433A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 破断部検査方法及び装置 |
| JP4588907B2 (ja) * | 2001-03-14 | 2010-12-01 | パナソニック株式会社 | 破断部検査方法及び装置 |
| JP2009150755A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2009186270A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2009186271A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6373917B1 (en) | Z-axis elimination in an X-ray laminography system using image magnification for Z plane adjustment | |
| US4296329A (en) | Alignment device for computerized tomography phantoms | |
| CN107481289A (zh) | 大视场相机远场标校的精密靶标系统及方法 | |
| US6671349B1 (en) | Tomosynthesis system and registration method | |
| JP2004135748A (ja) | 放射線画像撮影システムおよび放射線画像検出器 | |
| JP2672563B2 (ja) | 観察方向の関数としてデイスプレイスクリーンのコントラストを測定する装置 | |
| US4480332A (en) | Apparatus for examination by scattered radiation | |
| JPH01312405A (ja) | 埋設深度測定法 | |
| JP2000316845A (ja) | Ｘ線診断装置 | |
| US4092669A (en) | Apparatus for measuring spatial data from recorded images | |
| JPS62241895A (ja) | 結晶試料における方位誤差を格付けする方法と装置 | |
| US3971936A (en) | Corpuscular beam microscope, particularly electron microscope, with adjusting means for changing the position of the object to be imaged or the image of the object | |
| US3887804A (en) | Radiographic test stand | |
| US6370221B2 (en) | Method of setting a position of an object of measurement in layer thickness measurement by X-ray fluorescence | |
| US4053782A (en) | Device for aligning an x-ray source with an image receptor | |
| JPH075125A (ja) | Ｘ線断層撮影方法及びその装置 | |
| JPH03209119A (ja) | Ｘ線ｃｔ装置 | |
| JPS6117007A (ja) | コンクリート製造装置の組立方法 | |
| JPH0235343A (ja) | 微小領域ｘ線回折装置及びその試料セッティング方法 | |
| JPH05322802A (ja) | Ｘ線ｃｔ装置 | |
| JPS6078309A (ja) | 螢光ｘ線膜厚計 | |
| SU744230A1 (ru) | Съемочна камера дл получени ренгеновских снимков объектов | |
| JPH04225152A (ja) | Ｘ線自動結晶方位解析装置 | |
| JP3516028B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法および装置 | |
| JP2004012200A (ja) | Ｘ線断層撮像装置 |