JPH01312405A - 埋設深度測定法 - Google Patents

埋設深度測定法

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JPH01312405A
JPH01312405A JP63143805A JP14380588A JPH01312405A JP H01312405 A JPH01312405 A JP H01312405A JP 63143805 A JP63143805 A JP 63143805A JP 14380588 A JP14380588 A JP 14380588A JP H01312405 A JPH01312405 A JP H01312405A
Authority
JP
Japan
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image
foreign matter
foreign object
radiation
ray
Prior art date
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Pending
Application number
JP63143805A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuyoshi Kubodera
久保寺 三義
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
Original Assignee
Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH01312405A publication Critical patent/JPH01312405A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はX線その他適宜の放射線を利用して、物体内に
おける空隙その他任意の異物の埋設深度を測定する方法
に関する。
X線その他の放射線を用いて物体内に埋設された異物の
埋設深度を測定する場合において、従来は異なった2方
向からX線等を入射させることにより2枚の写真を撮影
し、表面または裏面に設けた標点と異物の像との相対的
位置の差から上記深度を求めろ方法がとられていた。し
かし写真撮影によるときは結果を得るまでに極めて長時
間を要し、また電子的撮影装置を用いると、中心と周辺
との像の歪み等で高精度の測定を行い得ない欠点がある
。本発明はこのような欠点がなく、正確迅速でしかも容
易に異物の埋設深度を測定することのできる方法を提供
するものである。
本発明は異物の埋設深度を測定しようとする物体に例え
ば点放射線源から放射されるX線その他の放射線を照射
して、埋設された異物の映像位置を記憶し、つぎに上記
物体を例えば所定の角度だけ傾けると共に上記映像の位
置が移動しないようにこれを放射線と直角な方向へ移動
して、上記傾斜角と移動距離とにより前記異物の埋設深
度を算出するものである。従って像の拡大率を自由に選
択し得ると共に拡大率の変化に対して治具の交換等を必
要としない。また観測に際して像の位置が移動しないか
ら、高精度の測定を行い得ると共に特殊な治具装置等を
必要とすることな(、かつ像の位置を記録して、これを
記憶する等の必要もなく、短時間でハル1定を行い得る
等の効果がある。以下図面について本発明の−・実施例
を説明する。
第1図は本発明の一実施例を説明するための装置の縦断
面図で、X線源1は径が例えば5〜10μ程度の微少な
ものであるが、このxlalrAとしては回折等によっ
て得られる平行X線を用いることも1+J能である。上
記X線源Iに蛍光板あるいはイメージインテンシファイ
アおよびテレビジョンカメラ等からなるX線像観測装置
2を対向させて、その中間の適当な位置に異物3の埋設
深度りを測定しようとする任意の物体4を配置する。な
おこの物体4は任意の形状でX[シ支えないが、例えば
図のように板状をなし、その一方の而5から異物3まで
の距離りを求める場合は、図示してないが上記面5を基
台の上面に密着させる。かつ線あス1からX線像観測装
置2の中心に直角に入射するX線が異物3を通って、図
示してないがスクリーンの中央における定点に上記異物
3の像6が映し出されるように物体4の位置を調整する
。つぎに異物3を通るX線7が而5を通る点を8とする
とき、この点8を通って紙面に直角な直線を軸として、
」二足基台を傾斜させることにより、物体4を細線4、
で示したように一定の角度Oだけ傾斜させる。
かつ同時にその物体4を上記X線7に対して破線4、で
示したように、X線7に対して直角な方向へ紙面内で距
離lだけ移動させることにより、観M1装置2の中心に
異物3.のxIa像が投影されて、1)i記入クリーン
上の像6と正確に一致するように調整する。
すなわち第2図に第1図の一部を拡大して示したように
、点8を中心として物体4を矢印pのように角0だけ傾
斜させると共にこの物体を矢印qのようにX線7と直角
な方向へ移動させるから、異物3は3Iの状態を経て3
tの位置に移動する。
この状態では異物3.の像が3の像と同一位置に現れる
。従って本発明は物体4の傾斜角θによる像の位置を、
その表面5と平行な移動距離Iによって補償するもので
、表面5から異物3までの距離h1ずなわら埋設深度は
明らかに h = I / s  j  n   θで与えられる
このように本発明の方法は極めて簡易迅速に測定を行う
事ができると共に実施例のように微小X線源を用いて像
を拡大することにより極めて精密で、正確な測定を行う
ことができる。また特別な装置、治具等を必要としない
と共に像を常に同一位置で観、1lllするから高右1
度が保証される等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の詳細な説明する断面図、第2図は第1
図の一部を拡大した図である。なお図において、!はX
線源、2はX線像観測装置、3は異物、4は被観測体、
5は被観測体の面、6はX線像、7はX線、8はX線の
通過点である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 異物が埋設された物体に放射線を照射して所定のスクリ
    ーン上における上記異物の映像位置を記憶し、つぎに所
    定の点を中心として上記物体を前記放射線の軸を含む平
    面内で回転させると共に前記異物の映像が前記映像の位
    置と一致するように上記軸に対して直角な方向へ移動さ
    せて、この移動距離と前記回転角度とに基づいて異物の
    埋設深度を求めることを特徴とする埋設深度測定法
JP63143805A 1988-06-13 1988-06-13 埋設深度測定法 Pending JPH01312405A (ja)

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