JP3516028B2 - 蛍光ｘ線分析方法および装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析方法および装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料から発生する
蛍光Ｘ線の強度分布を測定する蛍光Ｘ線分析において、
複数の測定点を簡単かつ適切に設定できる蛍光Ｘ線分析
方法および装置に関するものである。
蛍光Ｘ線の強度分布を測定する蛍光Ｘ線分析において、
複数の測定点を簡単かつ適切に設定できる蛍光Ｘ線分析
方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置においては、試料の測
定部分が位置すべき測定中心が設定されており、その測
定中心めがけて１次Ｘ線が照射され、その測定中心に位
置する試料の測定部分から発生する蛍光Ｘ線が検出手段
に入射するように、Ｘ線源や検出手段が設定されてい
る。したがって、試料表面やその深さ方向への近傍（以
下、試料部位という）から発生する蛍光Ｘ線の強度分布
を測定する際には、ＸＹステージやＺステージ等を用い
て試料を固定した試料台を移動等させることにより、試
料表面上の複数の測定点をそれぞれ測定中心に位置させ
て、発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する必要がある。
定部分が位置すべき測定中心が設定されており、その測
定中心めがけて１次Ｘ線が照射され、その測定中心に位
置する試料の測定部分から発生する蛍光Ｘ線が検出手段
に入射するように、Ｘ線源や検出手段が設定されてい
る。したがって、試料表面やその深さ方向への近傍（以
下、試料部位という）から発生する蛍光Ｘ線の強度分布
を測定する際には、ＸＹステージやＺステージ等を用い
て試料を固定した試料台を移動等させることにより、試
料表面上の複数の測定点をそれぞれ測定中心に位置させ
て、発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、例えば、試料
が板状でないような場合には、複数の測定点のそれぞれ
について、試料台の高さを調整しなければならず、操作
が煩雑になり、測定全体に長時間を要することとなる。
が板状でないような場合には、複数の測定点のそれぞれ
について、試料台の高さを調整しなければならず、操作
が煩雑になり、測定全体に長時間を要することとなる。
【０００４】本発明は前記従来の問題に鑑みてなされた
もので、試料から発生する蛍光Ｘ線の強度分布を測定す
る蛍光Ｘ線分析において、試料形状に対応した複数の測
定点を簡単にかつ短時間に設定できる蛍光Ｘ線分析方法
および装置を提供することを目的とする。
もので、試料から発生する蛍光Ｘ線の強度分布を測定す
る蛍光Ｘ線分析において、試料形状に対応した複数の測
定点を簡単にかつ短時間に設定できる蛍光Ｘ線分析方法
および装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１の方法では、まず、試料が固定された試料
台について、基準となる位置からの水平面内で直交する
２方向への移動量を示すＸＹ座標および高さ方向への移
動量を示すＺ座標、ならびに、水平面内での回転角度を
示すθ座標および水平面からの回転角度を示すφ座標か
らなる駆動系座標を用いる。そして、試料台を移動また
は回転させることにより、試料表面の任意の２点をそれ
ぞれ測定中心に位置させて、それら２点を第１および第
２測定点とし、第１および第２測定点を対向する頂点と
して、水平面に投影した場合にＸＹ軸と平行な辺で形成
される四角形を測定範囲とする。
に、請求項１の方法では、まず、試料が固定された試料
台について、基準となる位置からの水平面内で直交する
２方向への移動量を示すＸＹ座標および高さ方向への移
動量を示すＺ座標、ならびに、水平面内での回転角度を
示すθ座標および水平面からの回転角度を示すφ座標か
らなる駆動系座標を用いる。そして、試料台を移動また
は回転させることにより、試料表面の任意の２点をそれ
ぞれ測定中心に位置させて、それら２点を第１および第
２測定点とし、第１および第２測定点を対向する頂点と
して、水平面に投影した場合にＸＹ軸と平行な辺で形成
される四角形を測定範囲とする。
【０００６】ここで、第１測定点における水平面内での
回転角度を、第２測定点における水平面内での回転角度
と同じにした場合の、第１測定点のＸＹ座標を算出し、
その算出した第１測定点のＸＹ座標、および第２測定点
のＸＹ座標と、Ｘ方向およびＹ方向の測定点の数とに基
づいて、他の測定点のＸＹ座標を設定する。また、第２
測定点のθ座標を他の測定点のθ座標とする。さらに、
第１測定点のＺφ座標および第２測定点のＺφ座標と、
前記測定範囲における各測定点のＸＹ方向での位置とに
基づいて、他の測定点のＺφ座標を設定する。そして、
第１、第２および他の測定点について、蛍光Ｘ線の強度
を測定することを特徴とする。
回転角度を、第２測定点における水平面内での回転角度
と同じにした場合の、第１測定点のＸＹ座標を算出し、
その算出した第１測定点のＸＹ座標、および第２測定点
のＸＹ座標と、Ｘ方向およびＹ方向の測定点の数とに基
づいて、他の測定点のＸＹ座標を設定する。また、第２
測定点のθ座標を他の測定点のθ座標とする。さらに、
第１測定点のＺφ座標および第２測定点のＺφ座標と、
前記測定範囲における各測定点のＸＹ方向での位置とに
基づいて、他の測定点のＺφ座標を設定する。そして、
第１、第２および他の測定点について、蛍光Ｘ線の強度
を測定することを特徴とする。
【０００７】請求項１の方法によれば、駆動系座標によ
り指定した第１および第２測定点と、Ｘ方向およびＹ方
向の測定点の数とに基づいて、他の測定点の駆動系座標
を設定するので、試料形状に対応した複数の測定点を簡
単にかつ短時間に設定できる。
り指定した第１および第２測定点と、Ｘ方向およびＹ方
向の測定点の数とに基づいて、他の測定点の駆動系座標
を設定するので、試料形状に対応した複数の測定点を簡
単にかつ短時間に設定できる。
【０００８】請求項２の方法は、試料表面での面におけ
る強度分布でなく線上の強度分布を測定する際の方法
で、第１測定点と第２測定点とを連結した線分を測定範
囲とする点、算出した第１測定点のＸＹ座標等と測定範
囲上の測定点の数とに基づいて、他の測定点のＸＹ座標
を設定する点、および、第１測定点のＺφ座標等と各測
定点の測定範囲の線分方向での位置とに基づいて、他の
測定点のＺφ座標を設定する点のみが、請求項１の方法
と異なり、他の点においては同じである。請求項２の方
法によっても、駆動系座標により指定した第１および第
２測定点と、測定範囲上の測定点の数とに基づいて、他
の測定点の駆動系座標を設定するので、請求項１の方法
と同様の作用効果がある。
る強度分布でなく線上の強度分布を測定する際の方法
で、第１測定点と第２測定点とを連結した線分を測定範
囲とする点、算出した第１測定点のＸＹ座標等と測定範
囲上の測定点の数とに基づいて、他の測定点のＸＹ座標
を設定する点、および、第１測定点のＺφ座標等と各測
定点の測定範囲の線分方向での位置とに基づいて、他の
測定点のＺφ座標を設定する点のみが、請求項１の方法
と異なり、他の点においては同じである。請求項２の方
法によっても、駆動系座標により指定した第１および第
２測定点と、測定範囲上の測定点の数とに基づいて、他
の測定点の駆動系座標を設定するので、請求項１の方法
と同様の作用効果がある。
【０００９】請求項３の蛍光Ｘ線分析装置は、まず、試
料が固定される試料台と、測定中心に向けて１次Ｘ線を
照射するＸ線源と、前記測定中心に位置する試料部位か
ら発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する検出手段とを備え
ている。そして、試料台について、基準となる位置から
の水平面内で直交する２方向への移動量を示すＸＹ座標
を変化させる平行移動調整器と、基準となる位置からの
高さ方向への移動量を示すＺ座標を変化させる高さ調整
器と、水平面内での回転角度を示すθ座標を変化させる
回転角調整器と、水平面からの回転角度を示すφ座標を
変化させる傾斜角調整器とを備えている。
料が固定される試料台と、測定中心に向けて１次Ｘ線を
照射するＸ線源と、前記測定中心に位置する試料部位か
ら発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する検出手段とを備え
ている。そして、試料台について、基準となる位置から
の水平面内で直交する２方向への移動量を示すＸＹ座標
を変化させる平行移動調整器と、基準となる位置からの
高さ方向への移動量を示すＺ座標を変化させる高さ調整
器と、水平面内での回転角度を示すθ座標を変化させる
回転角調整器と、水平面からの回転角度を示すφ座標を
変化させる傾斜角調整器とを備えている。
【００１０】さらに、この装置は制御手段を備えてい
る。この制御手段は、試料台を移動または回転させるこ
とにより、試料表面の任意の２点をそれぞれ前記測定中
心に位置させて指定された第１および第２測定点に対
し、第１および第２測定点を対向する頂点として、水平
面に投影した場合にＸＹ軸と平行な辺で形成される四角
形を測定範囲とする。また、制御手段は、第１測定点に
おける水平面内での回転角度を、第２測定点における水
平面内での回転角度と同じにした場合の、第１測定点の
ＸＹ座標を算出し、その算出した第１測定点のＸＹ座
標、および第２測定点のＸＹ座標と、Ｘ方向およびＹ方
向の測定点の数とに基づいて、他の測定点のＸＹ座標を
設定する。
る。この制御手段は、試料台を移動または回転させるこ
とにより、試料表面の任意の２点をそれぞれ前記測定中
心に位置させて指定された第１および第２測定点に対
し、第１および第２測定点を対向する頂点として、水平
面に投影した場合にＸＹ軸と平行な辺で形成される四角
形を測定範囲とする。また、制御手段は、第１測定点に
おける水平面内での回転角度を、第２測定点における水
平面内での回転角度と同じにした場合の、第１測定点の
ＸＹ座標を算出し、その算出した第１測定点のＸＹ座
標、および第２測定点のＸＹ座標と、Ｘ方向およびＹ方
向の測定点の数とに基づいて、他の測定点のＸＹ座標を
設定する。
【００１１】一方、制御手段は、第２測定点のθ座標を
他の測定点のθ座標とする。さらに、制御手段は、第１
測定点のＺφ座標および第２測定点のＺφ座標と、前記
測定範囲における各測定点のＸＹ方向での位置とに基づ
いて、他の測定点のＺφ座標を設定する。そして、制御
手段は、第１、第２および他の測定点について蛍光Ｘ線
の強度を測定するように、前記Ｘ線源、検出手段、平行
移動調整器、高さ調整器、回転角調整器および傾斜角調
整器を制御する。請求項３の装置によれば、請求項１の
方法と同様の作用効果がある。
他の測定点のθ座標とする。さらに、制御手段は、第１
測定点のＺφ座標および第２測定点のＺφ座標と、前記
測定範囲における各測定点のＸＹ方向での位置とに基づ
いて、他の測定点のＺφ座標を設定する。そして、制御
手段は、第１、第２および他の測定点について蛍光Ｘ線
の強度を測定するように、前記Ｘ線源、検出手段、平行
移動調整器、高さ調整器、回転角調整器および傾斜角調
整器を制御する。請求項３の装置によれば、請求項１の
方法と同様の作用効果がある。
【００１２】請求項４の装置は、試料表面での面におけ
る強度分布でなく線上の強度分布を測定する装置で、制
御手段において、第１測定点と第２測定点とを連結した
線分を測定範囲とする点、算出した第１測定点のＸＹ座
標等と測定範囲上の測定点の数とに基づいて、他の測定
点のＸＹ座標を設定する点、および、第１測定点のＺφ
座標等と各測定点の測定範囲の線分方向での位置とに基
づいて、他の測定点のＺφ座標を設定する点のみが、請
求項３の装置と異なり、他の点においては同じである。
請求項４の装置によっても、請求項２の方法と同様の作
用効果がある。
る強度分布でなく線上の強度分布を測定する装置で、制
御手段において、第１測定点と第２測定点とを連結した
線分を測定範囲とする点、算出した第１測定点のＸＹ座
標等と測定範囲上の測定点の数とに基づいて、他の測定
点のＸＹ座標を設定する点、および、第１測定点のＺφ
座標等と各測定点の測定範囲の線分方向での位置とに基
づいて、他の測定点のＺφ座標を設定する点のみが、請
求項３の装置と異なり、他の点においては同じである。
請求項４の装置によっても、請求項２の方法と同様の作
用効果がある。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施形態の蛍
光Ｘ線分析方法を説明する。まず、この方法で用いる駆
動系座標（Ｘ，Ｙ，θ，Ｚ，φ）について説明する。こ
の方法では、試料１を固定した試料台２を、移動、回転
させるが、図１に実線で示すように、後述するこの方法
に用いる装置の平行移動調整器７、高さ調整器８、回転
角調整器９および傾斜角調整器１０がすべて所定の初期
状態である場合の試料台２の上面の中心Ｔの位置を原点
ＯT とし、その原点ＯT から、図１に２点鎖線で示す移
動、回転後の試料台２の上面の中心Ｔの位置までの、水
平左方向（Ｘ軸）での移動量をＸ座標、紙面に垂直で奥
に向かう方向（Ｙ軸）での移動量をＹ座標、高さ方向
（Ｚ軸）での移動量をＺ座標とする。これら駆動系座標
のＸＹＺ軸および原点ＯT は、試料台２の移動、回転の
影響を受けず、空間に固定されている。また、前記初期
状態から、移動、回転後の試料台２の、水平面内での回
転角度をθ座標、水平面からの回転角度（傾斜角）をφ
座標とする。
光Ｘ線分析方法を説明する。まず、この方法で用いる駆
動系座標（Ｘ，Ｙ，θ，Ｚ，φ）について説明する。こ
の方法では、試料１を固定した試料台２を、移動、回転
させるが、図１に実線で示すように、後述するこの方法
に用いる装置の平行移動調整器７、高さ調整器８、回転
角調整器９および傾斜角調整器１０がすべて所定の初期
状態である場合の試料台２の上面の中心Ｔの位置を原点
ＯT とし、その原点ＯT から、図１に２点鎖線で示す移
動、回転後の試料台２の上面の中心Ｔの位置までの、水
平左方向（Ｘ軸）での移動量をＸ座標、紙面に垂直で奥
に向かう方向（Ｙ軸）での移動量をＹ座標、高さ方向
（Ｚ軸）での移動量をＺ座標とする。これら駆動系座標
のＸＹＺ軸および原点ＯT は、試料台２の移動、回転の
影響を受けず、空間に固定されている。また、前記初期
状態から、移動、回転後の試料台２の、水平面内での回
転角度をθ座標、水平面からの回転角度（傾斜角）をφ
座標とする。
【００１４】次に、この方法に用いる蛍光Ｘ線分析装置
について説明する。図１に示すように、この装置は、ま
ず、試料１が固定される試料台２と、測定中心Ｑに向け
て１次Ｘ線３を照射するＸ線源４と、前記測定中心Ｑに
位置する試料部位から発生する蛍光Ｘ線５の強度を測定
する検出手段６とを備えている。そして、試料台２につ
いて、前記駆動系座標のＸＹ座標を変化させる平行移動
調整器７と、Ｚ座標を変化させる高さ調整器８と、θ座
標を変化させる回転角調整器９と、φ座標を変化させる
傾斜角調整器１０とを備えている。平行移動調整器７、
高さ調整器８および回転角調整器９は、傾斜角調整器１
０の上面に垂直な軸Ｈを中心軸として構成されている。
について説明する。図１に示すように、この装置は、ま
ず、試料１が固定される試料台２と、測定中心Ｑに向け
て１次Ｘ線３を照射するＸ線源４と、前記測定中心Ｑに
位置する試料部位から発生する蛍光Ｘ線５の強度を測定
する検出手段６とを備えている。そして、試料台２につ
いて、前記駆動系座標のＸＹ座標を変化させる平行移動
調整器７と、Ｚ座標を変化させる高さ調整器８と、θ座
標を変化させる回転角調整器９と、φ座標を変化させる
傾斜角調整器１０とを備えている。平行移動調整器７、
高さ調整器８および回転角調整器９は、傾斜角調整器１
０の上面に垂直な軸Ｈを中心軸として構成されている。
【００１５】より具体的に試料台２から下の構成を説明
すると、まず、試料台２は、その下の回転角調整器９の
上面に固定されている。回転角調整器９は円柱状で、そ
の中心軸Ｈ回りに、その下の平行移動調整器７の上部７
ａに対し、パルスモータおよびウォームギア等により、
回転自在である。すなわち、回転角調整器９により、試
料台２について、水平面内での初期状態からの回転角度
を示すθ座標を変化させることができる。平行移動調整
器上部７ａは、下部７ｂに対して前記中心軸Ｈに垂直で
紙面に沿う方向にパルスモータおよびボールねじ等によ
り移動自在に設置され、平行移動調整器下部７ｂは、そ
の下の高さ調整器上部８ａに対して前記中心軸Ｈおよび
紙面に垂直な方向にパルスモータおよびボールねじ等に
より移動自在に設置されている。すなわち、平行移動調
整器７の調整により、試料台２について、原点ＯT から
のＸ軸およびＹ軸での移動量を示すＸＹ座標を変化させ
ることができる。
すると、まず、試料台２は、その下の回転角調整器９の
上面に固定されている。回転角調整器９は円柱状で、そ
の中心軸Ｈ回りに、その下の平行移動調整器７の上部７
ａに対し、パルスモータおよびウォームギア等により、
回転自在である。すなわち、回転角調整器９により、試
料台２について、水平面内での初期状態からの回転角度
を示すθ座標を変化させることができる。平行移動調整
器上部７ａは、下部７ｂに対して前記中心軸Ｈに垂直で
紙面に沿う方向にパルスモータおよびボールねじ等によ
り移動自在に設置され、平行移動調整器下部７ｂは、そ
の下の高さ調整器上部８ａに対して前記中心軸Ｈおよび
紙面に垂直な方向にパルスモータおよびボールねじ等に
より移動自在に設置されている。すなわち、平行移動調
整器７の調整により、試料台２について、原点ＯT から
のＸ軸およびＹ軸での移動量を示すＸＹ座標を変化させ
ることができる。
【００１６】高さ調整器上部８ａは、下部８ｂに対して
前記中心軸Ｈ方向にパルスモータおよびボールねじ等に
より移動自在に設置され、下部８ｂは、その下の傾斜角
調整器上部１０ａに固定されている。すなわち、高さ調
整器８により、試料台２について、原点ＯT からのＺ軸
での移動量を示すＺ座標を変化させることができる。傾
斜角調整器上部１０ａは、下部１０ｂに対して前記測定
中心Ｑを中心とする円弧に沿ってパルスモータおよびウ
ォームギア等により移動自在に設置され、下部１０ｂ
は、その下の装置の基台等に固定されている。すなわ
ち、傾斜角調整器１０により、試料台２について、水平
面からの回転角度を示すφ座標を変化させることができ
る。なお、以上のような構成においては、傾斜角調整器
１０が初期状態になくその上面が水平でないときには、
前記平行移動調整器７、高さ調整器８および回転角調整
器９の中心軸Ｈが駆動系座標のＺ軸と一致しないので、
平行移動調整器上部７ａの移動量、高さ調整器上部８ａ
の移動量および回転角調整器９の回転角度は、Ｘ座標、
Ｚ座標およびθ座標のそれぞれの変化量に一致しない。
両者間の換算は、幾何学的な関係から周知の方法でなさ
れる。
前記中心軸Ｈ方向にパルスモータおよびボールねじ等に
より移動自在に設置され、下部８ｂは、その下の傾斜角
調整器上部１０ａに固定されている。すなわち、高さ調
整器８により、試料台２について、原点ＯT からのＺ軸
での移動量を示すＺ座標を変化させることができる。傾
斜角調整器上部１０ａは、下部１０ｂに対して前記測定
中心Ｑを中心とする円弧に沿ってパルスモータおよびウ
ォームギア等により移動自在に設置され、下部１０ｂ
は、その下の装置の基台等に固定されている。すなわ
ち、傾斜角調整器１０により、試料台２について、水平
面からの回転角度を示すφ座標を変化させることができ
る。なお、以上のような構成においては、傾斜角調整器
１０が初期状態になくその上面が水平でないときには、
前記平行移動調整器７、高さ調整器８および回転角調整
器９の中心軸Ｈが駆動系座標のＺ軸と一致しないので、
平行移動調整器上部７ａの移動量、高さ調整器上部８ａ
の移動量および回転角調整器９の回転角度は、Ｘ座標、
Ｚ座標およびθ座標のそれぞれの変化量に一致しない。
両者間の換算は、幾何学的な関係から周知の方法でなさ
れる。
【００１７】さらに、この装置は制御手段１１を備えて
いる。この制御手段１１は、試料台２を移動または回転
させることにより、試料表面１ａの任意の２点をそれぞ
れ前記測定中心Ｑに位置させて指定された第１および第
２測定点に対し、第１および第２測定点を対向する頂点
として、水平面に投影した場合にＸＹ軸と平行な辺で形
成される四角形を測定範囲とする。また、制御手段１１
は、第１測定点における水平面内での回転角度を、第２
測定点における水平面内での回転角度と同じにした場合
の、第１測定点のＸＹ座標を算出し、その算出した第１
測定点のＸＹ座標、および第２測定点のＸＹ座標と、Ｘ
方向およびＹ方向の測定点の数とに基づいて、他の測定
点のＸＹ座標を設定する。
いる。この制御手段１１は、試料台２を移動または回転
させることにより、試料表面１ａの任意の２点をそれぞ
れ前記測定中心Ｑに位置させて指定された第１および第
２測定点に対し、第１および第２測定点を対向する頂点
として、水平面に投影した場合にＸＹ軸と平行な辺で形
成される四角形を測定範囲とする。また、制御手段１１
は、第１測定点における水平面内での回転角度を、第２
測定点における水平面内での回転角度と同じにした場合
の、第１測定点のＸＹ座標を算出し、その算出した第１
測定点のＸＹ座標、および第２測定点のＸＹ座標と、Ｘ
方向およびＹ方向の測定点の数とに基づいて、他の測定
点のＸＹ座標を設定する。
【００１８】一方、制御手段１１は、第２測定点のθ座
標を他の測定点のθ座標とする。さらに、制御手段１１
は、第１測定点のＺφ座標および第２測定点のＺφ座標
と、前記測定範囲における各測定点のＸＹ方向での位置
とに基づいて、他の測定点のＺφ座標を設定する。そし
て、制御手段１１は、第１、第２および他の測定点につ
いて蛍光Ｘ線５の強度を測定するように、前記Ｘ線源
４、検出手段６、平行移動調整器７、高さ調整器８、回
転角調整器９および傾斜角調整器１０を制御する。
標を他の測定点のθ座標とする。さらに、制御手段１１
は、第１測定点のＺφ座標および第２測定点のＺφ座標
と、前記測定範囲における各測定点のＸＹ方向での位置
とに基づいて、他の測定点のＺφ座標を設定する。そし
て、制御手段１１は、第１、第２および他の測定点につ
いて蛍光Ｘ線５の強度を測定するように、前記Ｘ線源
４、検出手段６、平行移動調整器７、高さ調整器８、回
転角調整器９および傾斜角調整器１０を制御する。
【００１９】また、この装置は、前記測定中心Ｑを直下
に臨むように設置され、試料表面１ａを撮像して画像を
生成するＣＣＤ等の撮像手段１２と、その画像を表示す
るＣＲＴ等の画像表示手段１３と、測定中心Ｑに向けて
レーザ光１４を照射するレーザ光源１５とを備えてい
る。画像表示手段１３に表示される画像において、測定
中心Ｑは画像の中心にあり、画像の縦方向（上方向）は
Ｙ方向に合致し、画像の左方向はＸ方向に合致する。
に臨むように設置され、試料表面１ａを撮像して画像を
生成するＣＣＤ等の撮像手段１２と、その画像を表示す
るＣＲＴ等の画像表示手段１３と、測定中心Ｑに向けて
レーザ光１４を照射するレーザ光源１５とを備えてい
る。画像表示手段１３に表示される画像において、測定
中心Ｑは画像の中心にあり、画像の縦方向（上方向）は
Ｙ方向に合致し、画像の左方向はＸ方向に合致する。
【００２０】この装置を用いて、第１実施形態の方法で
は、以下のように、試料部位から発生する蛍光Ｘ線５の
強度分布を測定する。まず、画像表示手段１３で試料表
面１ａを見ながら、最初に測定したい測定開始点（第１
測定点）Ａを、平行移動調整器７、高さ調整器８、回転
角調整器９および傾斜角調整器１０の調整により、測定
中心Ｑに位置させる。
は、以下のように、試料部位から発生する蛍光Ｘ線５の
強度分布を測定する。まず、画像表示手段１３で試料表
面１ａを見ながら、最初に測定したい測定開始点（第１
測定点）Ａを、平行移動調整器７、高さ調整器８、回転
角調整器９および傾斜角調整器１０の調整により、測定
中心Ｑに位置させる。
【００２１】このとき、測定開始点Ａの位置が、Ｘ方向
およびＹ方向において測定中心Ｑと一致したことは、測
定開始点Ａが、画像表示手段１３に表示される画像の中
心に位置したことで確認される。さらに、測定開始点Ａ
の位置が、Ｚ方向（高さ方向）においても測定中心Ｑと
一致し、測定中心Ｑと重なったことは、レーザ光源１５
から測定中心Ｑに向けて照射されたレーザ光１４の試料
表面１ａにおける照射点が、画像の中心に位置したこと
で確認される。さらにまた、測定は、通常、測定開始点
Ａを中心とするその近傍の試料表面１ａが略水平である
状態で行われるが、そのような状態であることは、画像
の中心近傍で最大の範囲で画像の焦点が合うことで確認
される。制御手段１１は、測定開始点として指定された
この点Ａの駆動系座標、すなわち試料台２の初期状態か
らの移動量および回転角度（ＸA1，ＹA1，θA1，ＺA1，
φA1）を記憶する。
およびＹ方向において測定中心Ｑと一致したことは、測
定開始点Ａが、画像表示手段１３に表示される画像の中
心に位置したことで確認される。さらに、測定開始点Ａ
の位置が、Ｚ方向（高さ方向）においても測定中心Ｑと
一致し、測定中心Ｑと重なったことは、レーザ光源１５
から測定中心Ｑに向けて照射されたレーザ光１４の試料
表面１ａにおける照射点が、画像の中心に位置したこと
で確認される。さらにまた、測定は、通常、測定開始点
Ａを中心とするその近傍の試料表面１ａが略水平である
状態で行われるが、そのような状態であることは、画像
の中心近傍で最大の範囲で画像の焦点が合うことで確認
される。制御手段１１は、測定開始点として指定された
この点Ａの駆動系座標、すなわち試料台２の初期状態か
らの移動量および回転角度（ＸA1，ＹA1，θA1，ＺA1，
φA1）を記憶する。
【００２２】続けて、同様に、最後に測定したい測定終
了点（第２測定点）Ｂを、平行移動調整器７、高さ調整
器８、回転角調整器９および傾斜角調整器１０の調整に
より、測定中心Ｑに位置させて指定し、そのときの測定
開始点Ｂの駆動系座標（ＸB，ＹB ，θB ，ＺB ，
φB ）を制御手段１１に記憶させる。すると、制御手段
１１は、測定開始点Ａおよび測定終了点Ｂを対向する頂
点として、水平面に投影した場合にＸＹ軸と平行な辺で
形成される四角形を測定範囲とする。具体的には、図２
に示すように、このときの画像、すなわち測定終了点Ｂ
が中心に位置する画像において、測定開始点Ａおよび測
定終了点Ｂを対向する頂点として、ＸＹ軸と平行な辺で
形成される四角形を測定範囲とする。なお、画像におい
て、測定開始点Ａと測定終了点Ｂを結ぶ線分が、Ｘ軸ま
たはＹ軸と平行になり、そのような四角形が形成できな
い場合には、後述する第２実施形態の方法を適用するこ
とができる。
了点（第２測定点）Ｂを、平行移動調整器７、高さ調整
器８、回転角調整器９および傾斜角調整器１０の調整に
より、測定中心Ｑに位置させて指定し、そのときの測定
開始点Ｂの駆動系座標（ＸB，ＹB ，θB ，ＺB ，
φB ）を制御手段１１に記憶させる。すると、制御手段
１１は、測定開始点Ａおよび測定終了点Ｂを対向する頂
点として、水平面に投影した場合にＸＹ軸と平行な辺で
形成される四角形を測定範囲とする。具体的には、図２
に示すように、このときの画像、すなわち測定終了点Ｂ
が中心に位置する画像において、測定開始点Ａおよび測
定終了点Ｂを対向する頂点として、ＸＹ軸と平行な辺で
形成される四角形を測定範囲とする。なお、画像におい
て、測定開始点Ａと測定終了点Ｂを結ぶ線分が、Ｘ軸ま
たはＹ軸と平行になり、そのような四角形が形成できな
い場合には、後述する第２実施形態の方法を適用するこ
とができる。
【００２３】次に、前記測定範囲たる四角形において、
横方向にはｍ＋１の測定点を、縦方向にはｎ＋１の測定
点を設定すること、すなわち、四角形を、Ｘ方向にはｍ
分割し、Ｙ方向にはｎ分割することを指定する。また、
これら（ｍ＋１）×（ｎ＋１）の測定点Ｐij（ｉ＝０〜
ｍ，ｊ＝０〜ｎ）について、測定開始点Ａ（Ｐ00）か
ら、まずＸ方向に測定していくこと、すなわちＰ00，Ｐ
10，…Ｐm0，Ｐ01，Ｐ11，…Ｐm1，Ｐ0n，Ｐ1n，…Ｐmn
（Ｂ）の順に測定して、測定終了点Ｂ（Ｐmn）で測定を
終了することを指定する。
横方向にはｍ＋１の測定点を、縦方向にはｎ＋１の測定
点を設定すること、すなわち、四角形を、Ｘ方向にはｍ
分割し、Ｙ方向にはｎ分割することを指定する。また、
これら（ｍ＋１）×（ｎ＋１）の測定点Ｐij（ｉ＝０〜
ｍ，ｊ＝０〜ｎ）について、測定開始点Ａ（Ｐ00）か
ら、まずＸ方向に測定していくこと、すなわちＰ00，Ｐ
10，…Ｐm0，Ｐ01，Ｐ11，…Ｐm1，Ｐ0n，Ｐ1n，…Ｐmn
（Ｂ）の順に測定して、測定終了点Ｂ（Ｐmn）で測定を
終了することを指定する。
【００２４】さて、その順序で、これら測定点Ｐijを測
定中心Ｑに位置させて、すなわち、これら測定点Ｐijに
ついて、それぞれ駆動系座標を設定し、各駆動系座標を
達成するように、平行移動調整器７、高さ調整器８、回
転角調整器９および傾斜角調整器１０が調整されて、測
定が行われるのであるが、各測定点Ｐijの駆動系座標
は、制御手段１１により、以下のように設定される。ま
ず、測定終了点Ｂ（Ｐmn）については、画像中心に位置
させて指定したときの前記記憶した駆動系座標（ＸB ，
ＹB ，θB ，ＺB ，φB ）をそのまま用いる。そして、
θ座標については、すべての測定点について測定終了点
Ｂ（Ｐmn）のθ座標θB を用いる。
定中心Ｑに位置させて、すなわち、これら測定点Ｐijに
ついて、それぞれ駆動系座標を設定し、各駆動系座標を
達成するように、平行移動調整器７、高さ調整器８、回
転角調整器９および傾斜角調整器１０が調整されて、測
定が行われるのであるが、各測定点Ｐijの駆動系座標
は、制御手段１１により、以下のように設定される。ま
ず、測定終了点Ｂ（Ｐmn）については、画像中心に位置
させて指定したときの前記記憶した駆動系座標（ＸB ，
ＹB ，θB ，ＺB ，φB ）をそのまま用いる。そして、
θ座標については、すべての測定点について測定終了点
Ｂ（Ｐmn）のθ座標θB を用いる。
【００２５】とすると、測定開始点Ａ（Ｐ00）について
は、画像中心に位置させて指定したときのθ座標θ
A1は、通常は測定終了点Ｂ（Ｐmn）のθ座標θB と異な
るから、前記記憶した駆動系座標（ＸA1，ＹA1，θA1，
ＺA1，φA1）をそのまま用いることはできない。すなわ
ち、測定開始点Ａ（Ｐ00）について、θ座標がθB にな
るようにして、なおかつ測定中心Ｑに位置させたときの
駆動系座標（ＸA2，ＹA2，θB ，ＺA1，φA1）を求める
必要がある。ここで、Ｚ座標ＺA1はそのまま用いること
ができ、また、φ座標φA1もそのまま用いることとする
と、Ｘ座標ＸA2およびＹ座標ＹA2を求めればよい。これ
らは、幾何学的な関係から、次式（１）により算出され
る。
は、画像中心に位置させて指定したときのθ座標θ
A1は、通常は測定終了点Ｂ（Ｐmn）のθ座標θB と異な
るから、前記記憶した駆動系座標（ＸA1，ＹA1，θA1，
ＺA1，φA1）をそのまま用いることはできない。すなわ
ち、測定開始点Ａ（Ｐ00）について、θ座標がθB にな
るようにして、なおかつ測定中心Ｑに位置させたときの
駆動系座標（ＸA2，ＹA2，θB ，ＺA1，φA1）を求める
必要がある。ここで、Ｚ座標ＺA1はそのまま用いること
ができ、また、φ座標φA1もそのまま用いることとする
と、Ｘ座標ＸA2およびＹ座標ＹA2を求めればよい。これ
らは、幾何学的な関係から、次式（１）により算出され
る。
【００２６】
【数１】
【００２７】なお、（ＸT ，ＹT ）は、試料台２の上面
の中心Ｔを測定中心Ｑに位置させたときの駆動系座標に
おけるＸＹ座標であり、原点ＯT を基準とした測定中心
ＱそのもののＸＹ座標ともいえる。これで、測定開始点
Ａ（Ｐ00）および測定終了点Ｂ（Ｐmn）については、駆
動系座標が設定されたが、さらに、他の測定点Ｐijの駆
動系座標（Ｘij，Ｙij，θB ，Ｚij，φij）について
も、制御手段１１により、以下のように設定される。な
お、θ座標については、前述したように、測定終了点Ｂ
（Ｐmn）のθ座標θB を用いる。
の中心Ｔを測定中心Ｑに位置させたときの駆動系座標に
おけるＸＹ座標であり、原点ＯT を基準とした測定中心
ＱそのもののＸＹ座標ともいえる。これで、測定開始点
Ａ（Ｐ00）および測定終了点Ｂ（Ｐmn）については、駆
動系座標が設定されたが、さらに、他の測定点Ｐijの駆
動系座標（Ｘij，Ｙij，θB ，Ｚij，φij）について
も、制御手段１１により、以下のように設定される。な
お、θ座標については、前述したように、測定終了点Ｂ
（Ｐmn）のθ座標θB を用いる。
【００２８】まず、ＸＹ座標については、前記算出した
測定開始点Ａ（Ｐ00）のＸＹ座標、および測定終了点Ｂ
（Ｐmn）のＸＹ座標と、指定されたＸ方向およびＹ方向
の測定点の数ｍ＋１，ｎ＋１とに基づいて設定する。具
体的には、次式（２），（３）に示すように、前記算出
した測定開始点Ａ（Ｐ00）のＸＹ座標と測定終了点Ｂ
（Ｐmn）のＸＹ座標との間を、Ｘ方向にはｍで、Ｙ方向
にはｎで、均等に分割する。
測定開始点Ａ（Ｐ00）のＸＹ座標、および測定終了点Ｂ
（Ｐmn）のＸＹ座標と、指定されたＸ方向およびＹ方向
の測定点の数ｍ＋１，ｎ＋１とに基づいて設定する。具
体的には、次式（２），（３）に示すように、前記算出
した測定開始点Ａ（Ｐ00）のＸＹ座標と測定終了点Ｂ
（Ｐmn）のＸＹ座標との間を、Ｘ方向にはｍで、Ｙ方向
にはｎで、均等に分割する。
【００２９】
【数２】
【００３０】
【数３】
【００３１】Ｚφ座標については、測定開始点Ａ
（Ｐ00）のＺφ座標および測定終了点Ｂ（Ｐmn）のＺφ
座標と、前記測定範囲における各測定点ＰijのＸＹ方向
での位置とに基づいて設定する。具体的には、次式
（４），（５）に示すように、測定開始点Ａ（Ｐ00）の
Ｚφ座標と測定終了点Ｂ（Ｐmn）のＺφ座標との間を、
Ｚ座標、φ座標のいずれについてもｍ＋ｎで均等に分割
し、各測定点ＰijのＸＹ方向での位置を示す添字ｉ，ｊ
の加算値ｉ＋ｊに応じて、設定する。
（Ｐ00）のＺφ座標および測定終了点Ｂ（Ｐmn）のＺφ
座標と、前記測定範囲における各測定点ＰijのＸＹ方向
での位置とに基づいて設定する。具体的には、次式
（４），（５）に示すように、測定開始点Ａ（Ｐ00）の
Ｚφ座標と測定終了点Ｂ（Ｐmn）のＺφ座標との間を、
Ｚ座標、φ座標のいずれについてもｍ＋ｎで均等に分割
し、各測定点ＰijのＸＹ方向での位置を示す添字ｉ，ｊ
の加算値ｉ＋ｊに応じて、設定する。
【００３２】
【数４】
【００３３】
【数５】
【００３４】以上で、すべての測定点Ｐijについて駆動
系座標が設定されたので、さらに制御手段１１により、
前記指定した順序で、これら測定点Ｐijを測定中心Ｑに
位置させて、すなわち、これら測定点Ｐijについて、そ
れぞれ駆動系座標を達成するように、平行移動調整器
７、高さ調整器８、回転角調整器９および傾斜角調整器
１０が調整され、Ｘ線源４および検出手段６が制御さ
れ、蛍光Ｘ線の強度の測定が行われる。
系座標が設定されたので、さらに制御手段１１により、
前記指定した順序で、これら測定点Ｐijを測定中心Ｑに
位置させて、すなわち、これら測定点Ｐijについて、そ
れぞれ駆動系座標を達成するように、平行移動調整器
７、高さ調整器８、回転角調整器９および傾斜角調整器
１０が調整され、Ｘ線源４および検出手段６が制御さ
れ、蛍光Ｘ線の強度の測定が行われる。
【００３５】第１実施形態の方法によれば、駆動系座標
により指定した測定開始点Ａ（Ｐ00）および測定終了点
Ｂ（Ｐmn）と、Ｘ方向およびＹ方向の測定点の数ｍ＋
１，ｎ＋１とに基づいて、他の測定点Ｐijの駆動系座標
を設定するので、多数の測定点を直接に指定する必要が
なく、複数の測定点を簡単にかつ短時間に設定できる。
また、ＸＹＺφ座標については、測定開始点Ａ（Ｐ00）
と測定終了点Ｂ（Ｐmn）との駆動系座標の間を、均等に
分割するので、試料形状に対応した複数の測定点を設定
できる。
により指定した測定開始点Ａ（Ｐ00）および測定終了点
Ｂ（Ｐmn）と、Ｘ方向およびＹ方向の測定点の数ｍ＋
１，ｎ＋１とに基づいて、他の測定点Ｐijの駆動系座標
を設定するので、多数の測定点を直接に指定する必要が
なく、複数の測定点を簡単にかつ短時間に設定できる。
また、ＸＹＺφ座標については、測定開始点Ａ（Ｐ00）
と測定終了点Ｂ（Ｐmn）との駆動系座標の間を、均等に
分割するので、試料形状に対応した複数の測定点を設定
できる。
【００３６】次に、本発明の第２実施形態の蛍光Ｘ線分
析方法を説明する。この方法でも、第１実施形態の方法
で用いた駆動系座標（Ｘ，Ｙ，θ，Ｚ，φ）を用いる。
この方法に用いる装置は、試料表面１ａでの面における
強度分布でなく線上の強度分布を測定する装置で、制御
手段１６において、第１測定点（測定開始点）と第２測
定点（測定終了点）とを連結した線分を測定範囲とする
点、算出した第１測定点のＸＹ座標等と測定範囲上の測
定点の数とに基づいて、他の測定点のＸＹ座標を設定す
る点、および、第１測定点のＺφ座標等と各測定点の測
定範囲の線分方向での位置とに基づいて、他の測定点の
Ｚφ座標を設定する点のみが、第１実施形態の方法で用
いた装置と異なり、他の点においては同じであるので、
図１において、同一部分に同一番号を付して説明を省略
する。
析方法を説明する。この方法でも、第１実施形態の方法
で用いた駆動系座標（Ｘ，Ｙ，θ，Ｚ，φ）を用いる。
この方法に用いる装置は、試料表面１ａでの面における
強度分布でなく線上の強度分布を測定する装置で、制御
手段１６において、第１測定点（測定開始点）と第２測
定点（測定終了点）とを連結した線分を測定範囲とする
点、算出した第１測定点のＸＹ座標等と測定範囲上の測
定点の数とに基づいて、他の測定点のＸＹ座標を設定す
る点、および、第１測定点のＺφ座標等と各測定点の測
定範囲の線分方向での位置とに基づいて、他の測定点の
Ｚφ座標を設定する点のみが、第１実施形態の方法で用
いた装置と異なり、他の点においては同じであるので、
図１において、同一部分に同一番号を付して説明を省略
する。
【００３７】この装置を用いて、第２実施形態の方法で
は、以下のように、試料部位から発生する蛍光Ｘ線５の
強度分布を測定する。まず、第１実施形態の方法と同様
に、測定開始点（第１測定点）Ａと、測定終了点（第２
測定点）Ｂを、平行移動調整器７等の調整により、測定
中心Ｑに位置させて指定し、それぞれの駆動系座標を制
御手段１６に記憶させる。すると、制御手段１１は、図
３に示すように、このときの画像、すなわち測定終了点
Ｂが中心に位置する画像において、測定開始点Ａと測定
終了点Ｂとを連結した線分を測定範囲とする。なお、前
述したように、第１実施形態の方法において、測定開始
点Ａと測定終了点Ｂを結ぶ線分が、Ｘ軸またはＹ軸と平
行になり、測定範囲とすべき四角形が形成できない場合
にも、その線分を測定範囲として、この第２実施形態の
方法を適用することができる。
は、以下のように、試料部位から発生する蛍光Ｘ線５の
強度分布を測定する。まず、第１実施形態の方法と同様
に、測定開始点（第１測定点）Ａと、測定終了点（第２
測定点）Ｂを、平行移動調整器７等の調整により、測定
中心Ｑに位置させて指定し、それぞれの駆動系座標を制
御手段１６に記憶させる。すると、制御手段１１は、図
３に示すように、このときの画像、すなわち測定終了点
Ｂが中心に位置する画像において、測定開始点Ａと測定
終了点Ｂとを連結した線分を測定範囲とする。なお、前
述したように、第１実施形態の方法において、測定開始
点Ａと測定終了点Ｂを結ぶ線分が、Ｘ軸またはＹ軸と平
行になり、測定範囲とすべき四角形が形成できない場合
にも、その線分を測定範囲として、この第２実施形態の
方法を適用することができる。
【００３８】次に、前記測定範囲たる線分において、ｕ
＋１の測定点を設定すること、すなわち、線分をｕ分割
することを指定する。なお、第２実施形態の方法におい
ては、測定開始点Ａから測定終了点Ｂまで、測定範囲た
る線分に並んだ測定点を順に測定するものとし、測定す
る順序を指定する必要はない。ここで、各測定点Ｐkの
駆動系座標は、制御手段１６により、以下のように設定
される。まず、第１実施形態の方法と同様に、測定終了
点Ｂ（Ｐu ）については、画像中心に位置させて指定し
たときの記憶した駆動系座標（ＸB ，ＹB ，θB ，
ＺB ，φB ）をそのまま用い、θ座標については、すべ
ての測定点について測定終了点Ｂ（Ｐu ）のθ座標θB
を用いる。測定開始点Ａ（Ｐ0 ）については、θ座標が
θB になるようにし、なおかつ測定中心Ｑに位置させた
ときの駆動系座標（ＸA2，ＹA2，θB，ＺA1，φA1）
が、第１実施形態の方法と同様に、式（１）によりＸＹ
座標を算出して求められる。さらに、他の測定点Ｐk の
駆動系座標（Ｘk ，Ｙk ，θB ，Ｚk ，φk ）について
も、制御手段１６により、以下のように設定される。
＋１の測定点を設定すること、すなわち、線分をｕ分割
することを指定する。なお、第２実施形態の方法におい
ては、測定開始点Ａから測定終了点Ｂまで、測定範囲た
る線分に並んだ測定点を順に測定するものとし、測定す
る順序を指定する必要はない。ここで、各測定点Ｐkの
駆動系座標は、制御手段１６により、以下のように設定
される。まず、第１実施形態の方法と同様に、測定終了
点Ｂ（Ｐu ）については、画像中心に位置させて指定し
たときの記憶した駆動系座標（ＸB ，ＹB ，θB ，
ＺB ，φB ）をそのまま用い、θ座標については、すべ
ての測定点について測定終了点Ｂ（Ｐu ）のθ座標θB
を用いる。測定開始点Ａ（Ｐ0 ）については、θ座標が
θB になるようにし、なおかつ測定中心Ｑに位置させた
ときの駆動系座標（ＸA2，ＹA2，θB，ＺA1，φA1）
が、第１実施形態の方法と同様に、式（１）によりＸＹ
座標を算出して求められる。さらに、他の測定点Ｐk の
駆動系座標（Ｘk ，Ｙk ，θB ，Ｚk ，φk ）について
も、制御手段１６により、以下のように設定される。
【００３９】まず、ＸＹ座標については、前記算出した
測定開始点Ａ（Ｐ0 ）のＸＹ座標、および測定終了点Ｂ
（Ｐu ）のＸＹ座標と、測定範囲たる線分上の測定点の
数ｕ＋１とに基づいて設定する。具体的には、次式
（６），（７）に示すように、前記算出した測定開始点
Ａ（Ｐ0 ）のＸＹ座標と測定終了点Ｂ（Ｐu ）のＸＹ座
標との間を、ｕで均等に分割する。
測定開始点Ａ（Ｐ0 ）のＸＹ座標、および測定終了点Ｂ
（Ｐu ）のＸＹ座標と、測定範囲たる線分上の測定点の
数ｕ＋１とに基づいて設定する。具体的には、次式
（６），（７）に示すように、前記算出した測定開始点
Ａ（Ｐ0 ）のＸＹ座標と測定終了点Ｂ（Ｐu ）のＸＹ座
標との間を、ｕで均等に分割する。
【００４０】
【数６】
【００４１】
【数７】
【００４２】Ｚφ座標については、測定開始点Ａ
（Ｐ0 ）のＺφ座標および測定終了点Ｂ（Ｐu ）のＺφ
座標と、各測定点Ｐijの前記測定範囲の線分方向での位
置とに基づいて設定する。具体的には、次式（８），
（９）に示すように、測定開始点Ａ（Ｐ0 ）のＺφ座標
と測定終了点Ｂ（Ｐu ）のＺφ座標との間を、Ｚ座標、
φ座標のいずれについてもｕで均等に分割し、各測定点
Ｐk の線分方向での位置を示す添字ｋに応じて、設定す
る。
（Ｐ0 ）のＺφ座標および測定終了点Ｂ（Ｐu ）のＺφ
座標と、各測定点Ｐijの前記測定範囲の線分方向での位
置とに基づいて設定する。具体的には、次式（８），
（９）に示すように、測定開始点Ａ（Ｐ0 ）のＺφ座標
と測定終了点Ｂ（Ｐu ）のＺφ座標との間を、Ｚ座標、
φ座標のいずれについてもｕで均等に分割し、各測定点
Ｐk の線分方向での位置を示す添字ｋに応じて、設定す
る。
【００４３】
【数８】
【００４４】
【数９】
【００４５】以上で、すべての測定点Ｐk について駆動
系座標が設定されたので、さらに制御手段１６により、
測定開始点Ａから測定終了点Ｂまで線分に並んだ順に、
これら測定点Ｐk を測定中心Ｑに位置させて、すなわ
ち、これら測定点Ｐk について、それぞれ駆動系座標を
達成するように、平行移動調整器７、高さ調整器８、回
転角調整器９および傾斜角調整器１０が調整され、Ｘ線
源４および検出手段６が制御され、蛍光Ｘ線の強度の測
定が行われる。第２実施形態の方法によっても、駆動系
座標により指定した測定開始点Ａ（Ｐ0 ）および測定終
了点Ｂ（Ｐu ）と、測定範囲上の測定点の数ｕとに基づ
いて、他の測定点Ｐk の駆動系座標を設定するので、や
はり、多数の測定点を直接に指定する必要がなく、複数
の測定点を簡単にかつ短時間に設定できる。また、ＸＹ
Ｚφ座標についても、第１実施形態の方法と同様に、測
定開始点Ａ（Ｐ0 ）と測定終了点Ｂ（Ｐu ）との駆動系
座標の間を、均等に分割するので、やはり、試料形状に
対応した複数の測定点を設定できる。
系座標が設定されたので、さらに制御手段１６により、
測定開始点Ａから測定終了点Ｂまで線分に並んだ順に、
これら測定点Ｐk を測定中心Ｑに位置させて、すなわ
ち、これら測定点Ｐk について、それぞれ駆動系座標を
達成するように、平行移動調整器７、高さ調整器８、回
転角調整器９および傾斜角調整器１０が調整され、Ｘ線
源４および検出手段６が制御され、蛍光Ｘ線の強度の測
定が行われる。第２実施形態の方法によっても、駆動系
座標により指定した測定開始点Ａ（Ｐ0 ）および測定終
了点Ｂ（Ｐu ）と、測定範囲上の測定点の数ｕとに基づ
いて、他の測定点Ｐk の駆動系座標を設定するので、や
はり、多数の測定点を直接に指定する必要がなく、複数
の測定点を簡単にかつ短時間に設定できる。また、ＸＹ
Ｚφ座標についても、第１実施形態の方法と同様に、測
定開始点Ａ（Ｐ0 ）と測定終了点Ｂ（Ｐu ）との駆動系
座標の間を、均等に分割するので、やはり、試料形状に
対応した複数の測定点を設定できる。
【００４６】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、試料から発生する蛍光Ｘ線の強度分布を測定する蛍
光Ｘ線分析において、駆動系座標により指定した第１お
よび第２測定点と、Ｘ方向およびＹ方向の測定点の数等
とに基づいて、他の測定点の駆動系座標を設定するの
で、試料形状に対応した複数の測定点を簡単にかつ短時
間に設定できる。ひいては、試料表面の元素濃度分布に
十分近似したものが短時間に得られる。
ば、試料から発生する蛍光Ｘ線の強度分布を測定する蛍
光Ｘ線分析において、駆動系座標により指定した第１お
よび第２測定点と、Ｘ方向およびＹ方向の測定点の数等
とに基づいて、他の測定点の駆動系座標を設定するの
で、試料形状に対応した複数の測定点を簡単にかつ短時
間に設定できる。ひいては、試料表面の元素濃度分布に
十分近似したものが短時間に得られる。
【図１】本発明の第１または第２実施形態である蛍光Ｘ
線分析方法に用いる装置を示す正面図である。
線分析方法に用いる装置を示す正面図である。
【図２】第１実施形態の方法における測定範囲を示す図
である。
である。
【図３】第２実施形態の方法における測定範囲を示す図
である。
である。
１…試料、１ａ…試料表面、２…試料台、３…１次Ｘ
線、４…Ｘ線源、５…試料部位から発生する蛍光Ｘ線、
６…検出手段、７…平行移動調整器、８…高さ調整器、
９…回転角調整器、１０…傾斜角調整器、１１，１６…
制御手段、Ａ…第１測定点（測定開始点）、Ｂ…第２測
定点（測定終了点）、ＯT …基準となる位置、Ｑ…測定
中心。
線、４…Ｘ線源、５…試料部位から発生する蛍光Ｘ線、
６…検出手段、７…平行移動調整器、８…高さ調整器、
９…回転角調整器、１０…傾斜角調整器、１１，１６…
制御手段、Ａ…第１測定点（測定開始点）、Ｂ…第２測
定点（測定終了点）、ＯT …基準となる位置、Ｑ…測定
中心。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−72101（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−175648（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−96615（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−275044（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 23/00 - 23/227
G01B 15/00 - 15/08
Claims (4)
- 【請求項１】 測定中心に向けて１次Ｘ線を照射し、そ
の測定中心に位置する試料部位から発生する蛍光Ｘ線の
強度を測定する蛍光Ｘ線分析方法において、 試料が固定された試料台について、基準となる位置から
の水平面内で直交する２方向への移動量を示すＸＹ座標
および高さ方向への移動量を示すＺ座標、ならびに、水
平面内での回転角度を示すθ座標および水平面からの回
転角度を示すφ座標からなる駆動系座標を用い、 試料台を移動または回転させることにより、試料表面の
任意の２点をそれぞれ前記測定中心に位置させて、それ
ら２点を第１および第２測定点とし、 第１および第２測定点を対向する頂点として、水平面に
投影した場合にＸＹ軸と平行な辺で形成される四角形を
測定範囲とし、 第１測定点における水平面内での回転角度を、第２測定
点における水平面内での回転角度と同じにした場合の、
第１測定点のＸＹ座標を算出し、 その算出した第１測定点のＸＹ座標、および第２測定点
のＸＹ座標と、Ｘ方向およびＹ方向の測定点の数とに基
づいて、他の測定点のＸＹ座標を設定し、 第２測定点のθ座標を他の測定点のθ座標とし、 第１測定点のＺφ座標および第２測定点のＺφ座標と、
前記測定範囲における各測定点のＸＹ方向での位置とに
基づいて、他の測定点のＺφ座標を設定し、 第１、第２および他の測定点について、蛍光Ｘ線の強度
を測定することを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。 - 【請求項２】 測定中心に向けて１次Ｘ線を照射し、そ
の測定中心に位置する試料部位から発生する蛍光Ｘ線の
強度を測定する蛍光Ｘ線分析方法において、 試料が固定された試料台について、基準となる位置から
の水平面内で直交する２方向への移動量を示すＸＹ座標
および高さ方向への移動量を示すＺ座標、ならびに、水
平面内での回転角度を示すθ座標および水平面からの回
転角度を示すφ座標からなる駆動系座標を用い、 試料台を移動または回転させることにより、試料表面の
任意の２点をそれぞれ前記測定中心に位置させて、それ
ら２点を第１および第２測定点とし、 第１測定点と第２測定点とを連結した線分を測定範囲と
し、 第１測定点における水平面内での回転角度を、第２測定
点における水平面内での回転角度と同じにした場合の、
第１測定点のＸＹ座標を算出し、 その算出した第１測定点のＸＹ座標、および第２測定点
のＸＹ座標と、前記測定範囲上の測定点の数とに基づい
て、他の測定点のＸＹ座標を設定し、 第２測定点のθ座標を他の測定点のθ座標とし、 第１測定点のＺφ座標および第２測定点のＺφ座標と、
各測定点の前記測定範囲の線分方向での位置とに基づい
て、他の測定点のＺφ座標を設定し、 第１、第２および他の測定点について、蛍光Ｘ線の強度
を測定することを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。 - 【請求項３】 試料が固定される試料台と、 測定中心に向けて１次Ｘ線を照射するＸ線源と、 前記測定中心に位置する試料部位から発生する蛍光Ｘ線
の強度を測定する検出手段と、 試料台について、基準となる位置からの水平面内で直交
する２方向への移動量を示すＸＹ座標を変化させる平行
移動調整器と、 試料台について、基準となる位置からの高さ方向への移
動量を示すＺ座標を変化させる高さ調整器と、 試料台について、水平面内での回転角度を示すθ座標を
変化させる回転角調整器と、 試料台について、水平面からの回転角度を示すφ座標を
変化させる傾斜角調整器とを備えた蛍光Ｘ線分析装置で
あって、 試料台を移動または回転させることにより、試料表面の
任意の２点をそれぞれ前記測定中心に位置させて指定さ
れた第１および第２測定点に対し、 第１および第２測定点を対向する頂点として、水平面に
投影した場合にＸＹ軸と平行な辺で形成される四角形を
測定範囲とし、 第１測定点における水平面内での回転角度を、第２測定
点における水平面内での回転角度と同じにした場合の、
第１測定点のＸＹ座標を算出し、 その算出した第１測定点のＸＹ座標、および第２測定点
のＸＹ座標と、Ｘ方向およびＹ方向の測定点の数とに基
づいて、他の測定点のＸＹ座標を設定し、 第２測定点のθ座標を他の測定点のθ座標とし、 第１測定点のＺφ座標および第２測定点のＺφ座標と、
前記測定範囲における各測定点のＸＹ方向での位置とに
基づいて、他の測定点のＺφ座標を設定し、 第１、第２および他の測定点について蛍光Ｘ線の強度を
測定するように、前記Ｘ線源、検出手段、平行移動調整
器、高さ調整器、回転角調整器および傾斜角調整器を制
御する制御手段を備えた蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項４】 試料が固定される試料台と、 測定中心に向けて１次Ｘ線を照射するＸ線源と、 前記測定中心に位置する試料部位から発生する蛍光Ｘ線
の強度を測定する検出手段と、 試料台について、基準となる位置からの水平面内で直交
する２方向への移動量を示すＸＹ座標を変化させる平行
移動調整器と、 試料台について、基準となる位置からの高さ方向への移
動量を示すＺ座標を変化させる高さ調整器と、 試料台について、水平面内での回転角度を示すθ座標を
変化させる回転角調整器と、 試料台について、水平面からの回転角度を示すφ座標を
変化させる傾斜角調整器とを備えた蛍光Ｘ線分析装置で
あって、 試料台を移動または回転させることにより、試料表面の
任意の２点をそれぞれ前記測定中心に位置させて指定さ
れた第１および第２測定点に対し、 第１測定点と第２測定点とを連結した線分を測定範囲と
し、 第１測定点における水平面内での回転角度を、第２測定
点における水平面内での回転角度と同じにした場合の、
第１測定点のＸＹ座標を算出し、 その算出した第１測定点のＸＹ座標、および第２測定点
のＸＹ座標と、前記測定範囲上の測定点の数とに基づい
て、他の測定点のＸＹ座標を設定し、 第２測定点のθ座標を他の測定点のθ座標とし、 第１測定点のＺφ座標および第２測定点のＺφ座標と、
各測定点の前記測定範囲の線分方向での位置とに基づい
て、他の測定点のＺφ座標を設定し、 第１、第２および他の測定点について蛍光Ｘ線の強度を
測定するように、前記Ｘ線源、検出手段、平行移動調整
器、高さ調整器、回転角調整器および傾斜角調整器を制
御する制御手段を備えた蛍光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23230897A JP3516028B2 (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23230897A JP3516028B2 (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1172448A JPH1172448A (ja) | 1999-03-16 |
| JP3516028B2 true JP3516028B2 (ja) | 2004-04-05 |
Family
ID=16937178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23230897A Expired - Fee Related JP3516028B2 (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3516028B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6305247B2 (ja) * | 2014-06-13 | 2018-04-04 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 蛍光ｘ線分析装置 |
-
1997
- 1997-08-28 JP JP23230897A patent/JP3516028B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1172448A (ja) | 1999-03-16 |
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