JPH03209119A - X線ct装置 - Google Patents

X線ct装置

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JPH03209119A
JPH03209119A JP2004258A JP425890A JPH03209119A JP H03209119 A JPH03209119 A JP H03209119A JP 2004258 A JP2004258 A JP 2004258A JP 425890 A JP425890 A JP 425890A JP H03209119 A JPH03209119 A JP H03209119A
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ray
rotation
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JP2004258A
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Hirotaka Yamaji
宏尚 山地
Yasuaki Nagata
泰昭 永田
Kazuo Hayashi
林 一雄
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Nippon Steel Corp
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Nippon Steel Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は産業用のX線CT装置、特に微細構造物の内部
を非破壊で検査するのに好通なX&lICT装置に関す
るものである. 〔従来の技術〕 X線CT装置は外部から人体の内部を観察することがで
きるという優れた特徴故に、医療の分野において広く使
用されている。また、各種工業製品の内部を非破壊で検
査することができるので、近年産業の分野においても徐
々に普及しつつある。
産業用のX線CT装置は、通常被検査物を回転させてX
線の透過データを得る。したがって、被検査物を保持し
て回転する回転装置の回転軸と被検査物の中心線とを一
致させる必要がある.従来のX線CT装置では、この被
検査物の中心線を回転装置の回転軸に合わせるための特
別の装置、手段は設けられておらず、かかる操作は観測
者の経験や技量に頼る手作業で行っていた,〔発明が解
決しようとする課題〕 ところで、被検査物の中心線と回転装置の回転軸とが一
致せず被検査物の中心線が傾いていると、回転装置の回
転に伴って被検査物は歳差運動を行う。この状態で断層
像の再構戒を行っても、被検査物がX線ビームからはず
れたり、透過データが欠如して明瞭な断層像は得られな
い。10μm程度の高い分解能が要求される産業用の×
線CT装置では、特に被検査物の中心線を@密に回転装
置の回転軸と一致させなければ正確な形状測定はできな
い。
しかし、従来のように手作業で被検査物の中心線を回転
装置の回転軸に会わせる方法では、通常何回かの試行錯
誤を繰り還さなければならず被検査物の設置に時間がか
かり、装置の利用効率が悪い.また、従来の方法では、
中心線と回転軸とを合わせても、その精度には限界があ
り、操作の再現性にも乏しい。
本発明は上記事情に基づいてなされたものであり、簡便
な手段で被検査物の中心線を回転装置の回転軸に一致さ
せることのできるXmCT装置を提供することを目的と
するものである.〔課題を解決するための手段〕 前記の目的を達戒するために本発明に係るX線C.T装
置は、扇状のX線ビームを発生するX線発生装置と、被
検査物を回転させる回転装置と、該回転装置を介して前
記X線発生装置と対向して配置され前記X線発生装置に
より放射され前記被検査物を透過した後のX&lを検出
するX線検出装Xとを有し、前記回転装置によって前記
被検査物を微小角度づつ回転させてXkaの透過データ
を収集し、該透過データにより前記被検査物の断層像を
再構或して画像表示装置に表示するX!CT装置におい
て、 各々の角度位置における前記isii!lデータを前記
画像表示装置に順次並べて表示したときに、各透過デー
タによる像の中心と前記回転装置の回転軸に対応する中
心軸との距離が最大になるときの距離に基づき、前記被
検査物の中心線の前記回転軸に対する傾きの方向及びそ
の角度を求める傾き検出手段と、 該傾き検出手段により求めた前記被検査物の中心線の前
記回転軸に対する傾きの方向及びその角度に基づいて、
前記回転装置の回転軸に対する被検査物の角度を変化さ
せて前記中心線を前記回転軸に一致させる角度調整手段
とを設けたことを特徴とするものである。
ご作用〕 本発明に係るXvACT装置は前記の構戒によって、被
検査物を微小角度づつ回転させて被検査物にX線を放射
することにより得られたそれぞれの角度位置におけるX
線のi3過データを用いて、被検査物のスライス画像を
画像表示装置の画面上に並べて同時に表示すると、被検
査物の回転角度の変化に応して画面上で被検査物のスラ
イス画像の中心と回転装置の回転軸に対応する中心軸と
の距離が変化する。傾き検出手段はこの距離が最大とな
るときの距離に基づいて、被検査物の中心線が傾いてい
る方向及びその角度を検出する。
角度調整手段は、傾き検出手段によって得られた傾きの
方向及びその角度に基づいて回転装置の回転軸に対する
被検査物の角度を変化させて、被検査物の中心線を回転
装置の回転軸に一致させる。
〔実施例〕
以下に本発明の一実施例について図面を参照しつつ説明
する。第1図は本発明の一実施例であるX線CT装Iの
配置図である.同図に示すX線発生装置は、被検査物A
に向けて扇状のX&Iビームを発生する微小焦点のXv
A発生装置1、被検査物Aを保持しその方向を任意に変
えることのできる被検査物保持装置2、被検査物保持装
置によって保持された被検査物Aを回転させる回転テー
ブル3、被検査物Aを透過した後のX線を検出するX&
!横出器4、及びX線検出器によって得られた多数のX
線透過データを処理しCT画像を再構成して画像表示装
置5aに表示するコンピュータ5により構威される。尚
、X線発生装W1と被検査物Aとの距離をa1被検査物
AとX&!検出器4との距離をbとする。
第2図は被検査物Aとこれを通過する扇状のX線ビーム
7を横から見た図であり、hは被検査物保持装宣2の最
上面を基準としたX線ビーム7(スライス面)の高さ、
θは被検査物Aの中心線8と回転軸9がなす角、rはX
線ビームの面内での回転軸9と被検査物の中心線8との
距離である。
したがって、第2図においては tanθ= r / h           ( 1
 )の関係がある。第2図の配置で、被検査物Aのそれ
ぞれの角度位置におけるX線を検出して得られた透過デ
ータは、数値化されてコンピュータ5内部のメモリに記
憶される。
更に、これらの透過データをコンピュータ5の画像表示
装置5aの画面上に表示するとスライス画像を並べたも
のとなり、この中でXwAが吸収される被検査物の部分
は、たとえば黒くなって現れる.第3図は回転テーブル
3を回転させることによって、たとえば180度の角度
範囲にわたってX線の透過データの収集をN回行い、こ
うして得られたN個のスライス画像を順に一つの画面上
に並べて同時に表示したものの一例を示す図である。
第3図において曲線j (同図の点vI)は被検査物A
の中心の軌跡に対応し、画面の中央の中心軸(一点鎖線
)kは回転テーブル3の回転軸に対応するよう予め設定
されている。被検査物Aの中心線が第2図のように回転
軸から傾いていると、被検査物Aの中心線は回転テーブ
ル3の回転に伴って歳差運動を行うので、第3図におけ
るスライス画像の中心の軌跡は中心軸kから逸脱する曲
線jとなる。また、第3図に示すスライス像画は、被検
査物AをX線検出器4の位置に拡大投彰した像として検
出されるので、曲線jの中心軸kからのずれの最大値が
Rであったとすると、 R=r (a十b)/a        (2)という
関係が成り立つ。L7たがって(1)式より・ θ=jan−’Ra/h (a十b)     (3)
が得られ、この弐からθを求めることができる。
次に、第4図に示すように被検査物支持装置2上におい
てスライス面の法線に一致する回転テーブル3の回転軸
方向を2軸、回転軸からみたX線発生装置の方向をX軸
、これらに垂直な方向をy軸とする座標系を定義する。
ここで、被検査物Aの中心線をx−y面に射影した直i
dがX軸となす角をφとすると、第3図の曲vAJの中
心軸kからのずれが最大値Rとなるのは、回転テーブル
3の回転角度がπ/2−φとなったときである.したが
って、第3図に示すずれの最大値只の角度位置からφを
求めることができる。
更に、第4図に示す二つの角度α,βは、α+jan 
−’ ( r CoSφ /  h)一tan −’ 
(a Rcosφ /  h(a+b))(4) β= jan  ”  ( r sin  φ  / 
  h)一tan  −’  (a  Rsin  φ
  /h(a+b))(5) で表すことができる。コンピュータ5は(4〉式及び(
5)弐に基づいてα及びβの値を求め、その信号を角度
調整手段(図示せず〉に送る。
角度調整手段は、たとえばステノブパルスモータにより
、コンピュータ5からの信号を受けて被検査物保持装I
2を任意の方向に回転させることができるように構威さ
れている。したがって、回転テーブル3を再び第4図に
示す最初の回転角度位置に戻し、被検査物保持装置2を
z−x面内でα、y−z面内でβだけ傾けることによっ
て被検査物Aの中心1i18を回転テーブル3の回転軸
9に一致させることができる。
上記ステソブパルスモークの代わりにゴニオメー夕を設
け、手動で角度の調整を行う構威とすることもできる。
このように、被検査物Aの中心線8と回転テーブルの回
転軸9を一致させて第3図と同様の画像を得ると、被検
査物の中心の軌跡(曲Wj)は中心軸kに一致する直線
となり、それぞれの角度位置におけるスライス画像は縦
一列に並ぶ。この様な操作を行った後に収集されたX線
の透過データ6こ基づいてCT画像を再構成すれば、明
瞭なCT画像が得られる。
尚、本発明は、上記の実施例に限定されるものではなく
、たとえば回転テーブル3を第3図において最大値Rと
なる角度で停止し、被検査物Aを7−2平面内で角度θ
だけ傾けて、被検査物Aの中心wA8を回転テーブル3
の回転軸に一致させるようにしてもよい。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、被検査物のX線i
3過データを利用して回転装置上における被検査物の傾
きの方向及びその角度を求めることができ、この求めた
角度から被検査物の中心線が回転装置の回転軸と一致す
るよう被検査物の傾きをPJJIに修正することができ
るので、従来歳差運動を起こし易かった数ミリ程度の細
い管状又は棒状の材料についても、正確な断層像を得る
ことのできるX線CT装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例であるX&ilCT装置の配
置図、第2図は被検査物とこれを通過する扇状のX線ビ
ームを横から見た図、第3図は回転テーブルを回転させ
ることにより所定の角度範囲にわたって収集されたX線
の透過データのスライス画像を一つの画面上に並べて同
時に表示したものの一例を示す図、第4図は定義した座
標系とともに示す回転テーブル、被検査物支持装置、及
び被検査物の斜視図である. l・・・X&I発生装直、2・・・被検査物支持装置、
3・・・回転テーブル、4・・・X線検出器、5・・・
コンピュータ、7・・・X線ビーム、8・・・被検査物
の中心線、9・・・回転軸、A・・・被検査物.

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 扇状のX線ビームを発生するX線発生装置と、被検査物
    を回転させる回転装置と、該回転装置を介して前記X線
    発生装置と対向して配置され前記X線発生装置により放
    射され前記被検査物を透過した後のX線を検出するX線
    検出装置とを有し、前記回転装置によって、前記被検査
    物を微小角度づつ回転させてX線の透過データを収集し
    、該透過データにより前記被検査物の断層像を再構成し
    て画像表示装置に表示するX線CT装置において、各々
    の角度位置における前記透過データを前記画像表示装置
    に順次並べて表示したときに、各透過データによる像の
    中心と前記回転装置の回転軸に対応する中心軸との距離
    が最大になるときの距離に基づき、前記被検査物の中心
    線の前記回転軸に対する傾きの方向及びその角度を求め
    る傾き検出手段と、 該傾き検出手段により求めた前記被検査物の中心線の前
    記回転軸に対する傾きの方向及びその角度に基づいて、
    前記回転装置の回転軸に対する被検査物の角度を変化さ
    せて前記中心線を前記回転軸に一致させる角度調整手段
    とを設けたことを特徴とするX線CT装置。
JP2004258A 1990-01-10 1990-01-10 X線ct装置 Expired - Lifetime JPH0692888B2 (ja)

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