JP2019007780A - 製品のx線ct検査方法 - Google Patents

製品のx線ct検査方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2019007780A
JP2019007780A JP2017121868A JP2017121868A JP2019007780A JP 2019007780 A JP2019007780 A JP 2019007780A JP 2017121868 A JP2017121868 A JP 2017121868A JP 2017121868 A JP2017121868 A JP 2017121868A JP 2019007780 A JP2019007780 A JP 2019007780A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
product
ray
axis
inspected
inspection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017121868A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6858372B2 (ja
Inventor
昌司 西川
Masashi Nishikawa
昌司 西川
祐作 伊藤
Yusaku Ito
祐作 伊藤
伊藤 孝
Takashi Ito
孝 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ryoei Co Ltd
Original Assignee
Ryoei Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ryoei Co Ltd filed Critical Ryoei Co Ltd
Priority to JP2017121868A priority Critical patent/JP6858372B2/ja
Publication of JP2019007780A publication Critical patent/JP2019007780A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6858372B2 publication Critical patent/JP6858372B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

【課題】製品に肉厚差がある場合にも良好な画像を得ることができ、従来よりも検査精度を高めることができる製品のX線CT検査方法を提供する。【解決手段】X線CT検査装置と検査される製品Wのいずれか一方を、軸5の周りに相対的に回転させながらX線を照射し、製品Wの内部欠陥を検査する製品のX線CT検査方法である。まず製品Wの重点的に検査したい領域をグリップ領域として特定し、このグリップ領域を中心として製品Wを傾けたときに、X線が製品を透過する肉厚差が小さくなる傾斜角を演算する。このようにして演算された傾斜角だけ製品Wを前記軸5に対して傾けてセットして、製品の内部欠陥を検査する。【選択図】図15

Description

本発明は、アルミ粗形材や樹脂粗形材などのX線が透過し易い製品のX線CT検査方法に関するものである。
アルミニウムの鋳造品やダイカスト品などのアルミ粗形材、あるいは樹脂粗形材は、必要部分を機械加工されて使用される。しかしアルミ粗形材や樹脂粗形材の内部には、鋳巣や欠陥が存在することがあり、これらの鋳巣や欠陥が機械加工面に現れると、油漏れその他の原因となる。これに対して機械加工面から離れた位置にある鋳巣や欠陥は、トラブルの原因とはならない。
機械加工を行ったのちに鋳巣や欠陥が機械加工面に現れた粗形材は不良品として処分されるため、機械加工コストが無駄となる。このため機械加工前の粗形材の段階にある製品に対してX線CT検査を行い、内部に存在する鋳巣や欠陥の位置を特定することが望ましく、例えば特許文献1にはその一例が記載されている。
特許文献1に示されるように、このような検査はX線CTの技術を用いて行われる。図1はその原理図であり、1はX線源、2はディテクタである。図2に示されるように、検査される製品Wはターンテーブル3上にセットされ、一定角度ずつ回転させながら、X線源1からX線を照射し、透過画像をディテクタ2によって画像データとして取得する。
なお図3に示すように、検査される製品Wを固定しておき、X線源1とディテクタ2とからなるX線CT検査装置を製品Wを通る軸の周囲に回転させる場合もある。しかし何れの場合にも、製品Wの360度全方向からの透過画像を取得することは変わりがない。以下の説明は、図1のように製品Wを回転させながら検査する場合を中心として行うが、図3のようにX線CT検査装置を回転させる場合も同様である。
一般的に、製品Wにはその形状から中心軸4が存在することが多く、従来のX線CT検査は図2に示すように、製品Wの中心軸4をターンテーブル3の中心軸と一致させ、回転させる方法で行われている。本明細書ではX線CT検査装置と検査される製品のいずれか一方を回転させる場合の中心軸を、単に軸5と呼ぶ。
X線源1は実質的に点光源であり、X線はその点から放射状に照射される。このため製品Wに例えば図2に示すような肉厚差があると、下部の肉厚部を透過するX線は減衰が大きく、上部の肉薄部を透過するX線は減衰が小さい。このため肉厚差が大きい場合には、肉厚部の画像は黒くなり、鋳巣や欠陥をデータとして捉えにくくなる。逆に肉薄部の画像は白くなり、輪郭などが白くボケてしまう。このため製品Wを360度回転させて検査を行っても、全体的に良好な画像を得ることは難しくなる。このため従来のX線CT検査方法では、肉厚差のある製品Wを精度よく検査することは容易ではなかった。
特開2006−125960号公報
従って本発明の目的は上記した従来の問題点を解決し、製品に肉厚差がある場合にも良好な画像を得ることができ、従来よりも検査精度を高めることができる製品のX線CT検査方法を提供することである。
上記の課題を解決するためになされた本発明は、検査される製品を軸の周りに回転させながら、あるいは検査される製品を通る軸の周りにX線CT検査装置を回転させながらX線を照射し、製品の内部欠陥を検査する製品のX線CT検査方法において、製品の重点的に検査したい領域をグリップ領域として特定し、このグリップ領域を中心として製品を傾けたときに、X線が製品の肉部を透過する透過肉厚の差が小さくなる傾斜角を演算し、演算された傾斜角だけ製品を前記軸に対して傾けてセットして、製品の内部欠陥を検査することを特徴とするものである。
なお、グリップ領域を中心として製品を回転させながらX線が製品を透過する肉厚を演算し、最大肉厚と最小肉厚の差が最小となる回転角度を前記傾斜角とすることが好ましい。
また、製品をターンテーブル上に前記傾斜角だけ傾けてセットし、軸の周りに回転させながら検査する方法と、製品を前記傾斜角だけ傾けて固定し、X線CT検査装置を前記軸を中心として製品の周りに回転させながら検査する方法の何れの方法を採用してもよい。
本発明の製品のX線CT検査方法によれば、X線が製品を透過する肉厚差が最小となる角度に製品をセットしてX線CT検査を行うので、製品に肉厚差がある場合にも良好な画像を得ることができる。また、本発明の製品のX線CT検査方法によれば、製品の重点的に検査したいグリップ領域の検査精度を高めることができる。
X線CT検査方法の原理図である。 ターンテーブルを用いたX線CT検査方法の原理図である。 X線CT検査装置を回転させるX線CT検査方法の原理図である。 実施形態における製品Wの説明図である。 グリップ領域の説明図である。 肉厚部が不鮮明な画像となることを示す説明図である。 製品Wを立てたX線CT検査方法の説明図である。 肉薄部が不鮮明な画像となることを示す説明図である。 製品を水平にセットした場合の、グリップ領域とライン1,2,3との関係を示す図である。 水平方向に回転させた場合の製品Wの断面形状の変化を示す図である。 水平方向に回転させた場合の透過肉厚の変化を示すグラフである。 製品を立ててセットした場合の、グリップ領域とライン1,2,3との関係を示す図である。 製品を立てて回転させた場合の、製品Wの断面形状の変化を示す図である。 製品を立てて回転させた場合の、透過肉厚の変化を示すグラフである。 製品を傾けてセットした場合の、グリップ領域とライン1,2,3との関係を示す図である。 製品を傾けてセットした場合の、製品Wの断面形状の変化を示す図である。 製品を傾けてセットした場合の、透過肉厚の変化を示すグラフである。
以下に図面を参照しつつ、本発明の実施形態を説明する。
本明細書の冒頭に記載したように、アルミ粗形材などの内部には鋳巣や欠陥が存在し、これらの鋳巣や欠陥が機械加工面に現れると、油漏れその他の原因となる。これに対して機械加工面から離れた位置にある鋳巣や欠陥は、トラブルの原因とはならない。機械加工による切削厚は1〜4mm程度とごく薄いため、X線CT検査によって機械加工面の直下にある鋳巣や欠陥を確実に発見することが重要である。
例えば図4、図5に示すように、四角柱の中央に円形の大径孔10と小径孔11とが形成されたアルミ粗形材を製品Wとし、大径孔10の底面12及び小径孔11の内周面13が機械加工される領域であるとき、この機械加工される領域が重点的に検査したい領域である。この領域をグリップ領域という。
この製品Wを図3に示したようにその中心軸4をターンテーブル3の中心軸である軸5と一致させた状態でターンテーブル3にセットし、X線源1とディテクタ2とからなるX線CT検査装置を用いて撮影すると、図6に示すように大径孔10の部分は肉厚が薄いのでX線が透過し易く、鮮明な画像を得ることができる。しかし小径孔11の部分は肉厚が厚いため、X線が透過しにくく不鮮明な画像となる。
またこの製品Wを図7に示したようにその中心軸4をターンテーブル3の中心軸である軸5と直交させた状態でターンテーブル3にセットして撮影すると、図8に示すように中央部に肉が存在しないのでX線が強過ぎ、輪郭が白ボケする。このように、通常行われる検査方法では重点的に検査したい領域の鮮明な画像を得ることができない。
このような問題を回避するために、本発明ではまず製品Wを例えば図2に示した従来通りの方法で360度から撮影し、透過画像を得る(ステップ1)。これらの画像から製品Wの形状を示す3Dデータを得ることができる。このデータはボクセルデータである。
次に、製品Wの重点的に検査したい領域をグリップ領域として特定する(ステップ2)。グリップ領域も3DデータであるがこれはCADデータである。グリップ領域は、上記のような従来法により得られたX線画像データ上で定義することができるが、製品Wの3D−CADデータ上で定義することもできる。
次に、ステップ1で構築した製品Wの形状を示す3Dデータと、ステップ2で構築したグリップ領域のデータとを、3次元状態でマッチングさせる(ステップ3)。マッチングとは異質のデータをコンピュータ上で重ね合せることを意味し、市販のソフトを用いて行うことができる公知の手法である。これによって、ボクセルデータである製品Wの形状データ上に、グリップ領域のCADデータを重ね合せることができる。
次に、ステップ2で構築したグリップ領域の中心を計算する(ステップ4)。このためには3次元のグリップ領域の全体を含む最小球(最小包含球)を求め、その中心位置をグリップ領域の中心とする。そしてこのグリップ領域の中心を通る全方向に、仮想線を引く。この仮想線の一端はX線源1の焦点中心を通り、他端はディテクタの中心を通るものと想定する。
X線のビームはX線源1の焦点からコーンビーム状に照射されている。図9に示すように、このコーンビームの中心線をグリップ領域の中心を通るラインL1と一致させ、この状態でさらに、X線源1の焦点から出てグリップ領域の最上部を通るラインL2と、グリップ領域の最下部を通るラインL3とを設定する。そしてラインL2とラインL3との間に適当な間隔で多数の透過ラインを設定し、それぞれの透過ラインについて、製品Wの肉部分だけのX線透過距離を演算する。製品Wの形状は3Dデータとして特定されているため、各透過ラインごとに製品Wの肉部分のX線透過距離を演算することができる。この演算を、製品Wを軸5の周りに一定角度ずつ回転させながら、360度分行う。
図9に示すように製品Wをターンテーブル3上に水平にセットして水平方向に回転させた場合、図10に示すように回転中心を通る透過ラインに沿った製品Wの断面形状は変化する。すなわち、0度では透過肉厚は薄く、その中間部分では透過肉厚が増加し、90度ではまた薄くなる。製品Wの平面形状が正方形であれば、45度のときに透過肉厚が最大となる。
図11は、製品Wを水平方向に回転させた場合の透過肉厚の変化を示すグラフである。グリップ中心を通る仮想線L1については、回転角度によって透過肉厚は大きく変化し、しかも全体的に肉厚が厚い状態である。グリップの最上部を通るラインL2については、回転角度によって透過肉厚は大きく変化し、最下部を通るラインL3についても、回転角度によって透過肉厚は大きく変化する。この最大肉厚と最小肉厚の差は、図11では60−20となり40となる。ここではラインL1、L2、L3の3本のラインについて透過肉厚の変化を説明したが、実際にはより細かくX線源1の焦点から出てグリップ領域を通過するラインを設定し、最大肉厚と最小肉厚の差を求める。
なお、これらの透過ラインの方向はX線源1の焦点から軸5までの距離によっても変化するため、この距離を変化させて同様の演算を行う。
図12は製品Wをターンテーブル3上に垂直方向(製品の中心軸4がターンテーブル3の中心軸である軸5と直交する方向)としてターンテーブル3にセットし、上記と同様に回転させた状態を示す図である。すなわち製品Wは垂直方向に回転されることとなる。この場合の回転角度による断面形状の変化は図13の通りであり、透過肉厚の変化は図14の通りである。この場合の最大肉厚と最小肉厚の差は、図13では120−0となり120となる。
図15は製品Wを斜めにしてターンテーブル3にセットし、上記と同様に回転させた状態を示す図である。すなわち製品Wは、その中心軸4がターンテーブル3の中心軸である軸5に対して斜めにセットされ、斜めに回転されることとなる。この場合の回転角度による断面形状の変化は図16の通りであり、透過肉厚の変化は図17の通りである。45度に傾斜させた場合、最大肉厚と最小肉厚の差は、図17では90−0となり90となる。
上記したように、製品Wの中心軸4がターンテーブル3の中心軸である軸5に対してなす角度を変化させると、最大肉厚と最小肉厚の差も変化する。その差が小さいほど透過画像が鮮明となるので、最大肉厚と最小肉厚の差が最小となる角度を最適の傾斜角とする。上記の説明は、製品Wの中心軸4がターンテーブル3の中心軸である軸5に対してなす角度を0度、45度、90度とした場合についてのみ行ったが、実際にはより細かく角度を変えて、最大肉厚と最小肉厚の差が最小となる最適の傾斜角を求める。
なお、これら全ての透過距離の演算には多くの時間がかかるため、演算時間の短縮のためには数理最適化の手法を用いることが好ましい。
このようにして最適の傾斜角を求めたら、製品Wをターンテーブル3上にその傾斜角で安定して保持できる治具を作成する(ステップ5)。この治具は手作りしてもよいが、ステップ1で構築した製品Wの形状を示す3Dデータから治具の形状を示す3Dデータを作成し、3Dプリンタによって直接製作することもできる。なお治具は製品Wの画像に影響を及ぼすことがないように、X線を透過し易い樹脂や発泡スチロール製とすることが好ましい。
上記した準備段階が終了したら、実際の製品Wをこの治具の上に載せてターンテーブル3上にセットし、製品Wのグリップ中心がX線源1の焦点とディテクタ2の中心を結ぶライン上になるように高さを調整し、X線CT検査を開始する(ステップ6)。なお、上記の準備段階は、実際のX線CT検査を開始する前に、全て行っておくことができ、実際のX線CT検査中に試行錯誤を繰り返す必要はない。
以上に説明した本発明のX線CT検査方法によれば、製品に肉厚差がある場合にも良好な画像を得ることができ、製品の重点的に検査したいグリップ領域の検査精度を高めることができる。
なお、上記の実施形態では製品Wをターンテーブル3上にセットして回転させながらX線CT検査を行ったが、製品をその傾斜角だけ傾けて固定し、その周囲でX線CT検査装置を回転させながら検査しても、同様の結果を得ることができる。
また上記の実施形態の説明は、図4に示した形状の製品について行ったが、本発明は肉厚に変化のある任意形状の製品に対して適用できることはいうまでもない。
1 X線源
2 ディテクタ
3 ターンテーブル
4 製品の中心軸
5 軸(回転軸)
10 大径孔
11 小径孔
12 大径孔の底面

Claims (4)

  1. 検査される製品を軸の周りに回転させながら、あるいは検査される製品を通る軸の周りにX線CT検査装置を回転させながらX線を照射し、製品の内部欠陥を検査する製品のX線CT検査方法において、
    製品の重点的に検査したい領域をグリップ領域として特定し、
    このグリップ領域を中心として製品を傾けたときに、X線が製品の肉部を透過する透過肉厚の差が小さくなる傾斜角を演算し、
    演算された傾斜角だけ製品を前記軸に対して傾けてセットして、製品の内部欠陥を検査することを特徴とする製品のX線CT検査方法。
  2. 前記グリップ領域を中心として前記軸に対する製品の中心軸がなす角度を変化させながら、X線が製品の肉部を透過する透過肉厚を演算し、その最大肉厚と最小肉厚の差が最小となる傾斜角を演算することを特徴とする請求項1に記載の製品のX線CT検査方法。
  3. 製品をターンテーブル上に前記傾斜角だけ傾けてセットし、軸の周りに回転させながら検査することを特徴とする請求項1に記載の製品のX線CT検査方法。
  4. 製品を前記傾斜角だけ傾けて固定し、X線CT検査装置を前記軸を中心として製品の周りに回転させながら検査することを特徴とする請求項1に記載の製品のX線CT検査方法。
JP2017121868A 2017-06-22 2017-06-22 製品のx線ct検査方法 Active JP6858372B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017121868A JP6858372B2 (ja) 2017-06-22 2017-06-22 製品のx線ct検査方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017121868A JP6858372B2 (ja) 2017-06-22 2017-06-22 製品のx線ct検査方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019007780A true JP2019007780A (ja) 2019-01-17
JP6858372B2 JP6858372B2 (ja) 2021-04-14

Family

ID=65026755

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017121868A Active JP6858372B2 (ja) 2017-06-22 2017-06-22 製品のx線ct検査方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6858372B2 (ja)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03209119A (ja) * 1990-01-10 1991-09-12 Nippon Steel Corp X線ct装置
JP2003329616A (ja) * 2002-05-10 2003-11-19 National Institute Of Advanced Industrial & Technology ユーセントリック型傾斜三次元x線ct及びそれによる三次元画像の撮影方法
JP2004012200A (ja) * 2002-06-04 2004-01-15 Sony Corp X線断層撮像装置
JP2004132931A (ja) * 2002-10-15 2004-04-30 Shimadzu Corp X線ct装置
JP2005326332A (ja) * 2004-05-17 2005-11-24 Sony Corp 画像情報処理装置および方法、並びにプログラム
JP2006133008A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Shimadzu Corp X線透視装置
JP2008070330A (ja) * 2006-09-15 2008-03-27 Toyota Motor Corp 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム
JP2010085251A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Toshiba It & Control Systems Corp 円錐軌道断層撮影装置
JP2016533481A (ja) * 2013-10-21 2016-10-27 エクスロン インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングYxlon International Gmbh X線検査システム及びそのようなx線検査システムを用いて試験対象物を回転する方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03209119A (ja) * 1990-01-10 1991-09-12 Nippon Steel Corp X線ct装置
JP2003329616A (ja) * 2002-05-10 2003-11-19 National Institute Of Advanced Industrial & Technology ユーセントリック型傾斜三次元x線ct及びそれによる三次元画像の撮影方法
JP2004012200A (ja) * 2002-06-04 2004-01-15 Sony Corp X線断層撮像装置
JP2004132931A (ja) * 2002-10-15 2004-04-30 Shimadzu Corp X線ct装置
JP2005326332A (ja) * 2004-05-17 2005-11-24 Sony Corp 画像情報処理装置および方法、並びにプログラム
JP2006133008A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Shimadzu Corp X線透視装置
JP2008070330A (ja) * 2006-09-15 2008-03-27 Toyota Motor Corp 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム
JP2010085251A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Toshiba It & Control Systems Corp 円錐軌道断層撮影装置
JP2016533481A (ja) * 2013-10-21 2016-10-27 エクスロン インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングYxlon International Gmbh X線検査システム及びそのようなx線検査システムを用いて試験対象物を回転する方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP6858372B2 (ja) 2021-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5056130A (en) Computerized tomography calibrator
JP5373676B2 (ja) タイヤの形状測定方法および形状測定装置
WO2015194506A1 (ja) 円環状回転体の表面形状データの補正方法、及び、円環状回転体の外観検査装置
JP5116537B2 (ja) タイヤの外観検査装置
JP4977415B2 (ja) タイヤ検査用基準形状データの作成装置および作成方法
JP5109598B2 (ja) 物品検査方法
JP2008249668A (ja) 缶の巻き締め検査装置並びに巻き締め検査方法
JP2011516870A (ja) 機械的ワークを断層撮影法によって測定するための方法
WO2007043974A1 (en) Computed tomography system and method
JP4834373B2 (ja) X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム
JP6886606B2 (ja) 測定処理装置、x線検査装置、測定処理方法、測定処理プログラム、制御装置、および構造物の製造方法
WO2022218210A1 (zh) 图像处理方法、装置、光学系统和计算机可读存储介质
Wolz et al. X‐ray microscopy and automatic detection of defects in through silicon vias in three‐dimensional integrated circuits
JP6858372B2 (ja) 製品のx線ct検査方法
TW201708791A (zh) 矽貫通通孔形成生產系統、矽貫通通孔形成生產方法、記錄媒體及程式
JP7330033B2 (ja) 計測用x線ct装置の校正方法、測定方法、及び、計測用x線ct装置
KR101865434B1 (ko) 조사될 대상물에 있는 구조의 위치를 x-선 컴퓨터 단층 촬영기로 결정하는 방법 및 평가 장치
JP2009222516A (ja) 端部検査装置、及び、端部検査方法
JP4211702B2 (ja) 鋳巣計測方法
JP2006105794A (ja) X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム
JP2011080944A (ja) X線ct装置
JP4449596B2 (ja) 実装基板検査装置
JP2019117139A (ja) ベアリングの検査方法と検査装置
JP7430323B2 (ja) 円筒形容器のx線検査方法及びx線検査装置
JP4898364B2 (ja) 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200423

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210217

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210316

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210316

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6858372

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250