JP2009186270A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線発生装置1とX線検出器2を結ぶX線光軸に直交する軸を中心として、X線発生装置1とX線検出器2の対に対して検査対象物Wを回転させ、その回転前後のX線透視像上の特異点の像を抽出し、その回転前後の特異点像の位置から、特異点の透視方向への深さを実寸法で算出し、その算出結果を表示器23に数値表示することにより、検査対象物WのX線透視像上に存在する欠陥等の特異点の像の深さを報せることを可能とする。
【選択図】図4
Description
図1は本発明の実施の形態の装置本体の斜視図であり、図2は全体のシステム構成を表すブロック図である。また、図3には、本発明の実施の形態における表示器23の表示態様の例を示す。
被検査物Wを回転テーブル8上に載せ、Zステージ6、XYステージ9等を操作して検査対象物Wの検査に所要の領域のX線透視像が表示器23の透視像表示エリアAxに表示されるように位置決めした後、指令を与えることにより、透視画像上の特異点の抽出と深さを求めるプログラムが実行される。
2 X線検出器
3 支持アーム
4 コラム
5 傾動機構
6 Zステージ
7 試料ステージ
8 回転テーブル
9 XYテーブル
21 画像データ取り込み回路
22 表示制御部
23 表示器
24 画像処理部
25 システム制御部
26 X線コントローラ
27 操作部
28 軸制御部
29 演算部
Ax 透視像表示エリア
An 深さリスト表示エリア
P 特異点
W 検査対象物
Claims (4)
- 互いに対向配置されたX線発生装置とX線検出器の間に、被検査物を搭載する試料ステージが設けられ、その試料ステージ上の被検査物を透過したX線の検出結果から、被検査物のX線透視像を構築して表示する表示手段を備えているとともに、上記試料ステージと、上記X線発生装置とX線検出器の対とを、当該X線発生装置とX線検出器とを結ぶX線光軸に直交する軸を中心として相対的に回転させる回転機構を備えたX線検査装置において、
上記回転機構により上記X線発生装置とX線検出器との対と被検査物とを相対回転させる前後の被検査物のX線透視像のそれぞれから特異点の像を抽出する特異点像抽出手段と、その特異点像抽出手段により抽出された特異点像の上記相対回転前後における透視像上の移動量から、上記特異点の透視方向への深さを実寸法で算出する演算手段を備えていることを特徴とするX線検査装置。 - 上記演算手段により算出された上記特異点の深さを数値で表示する数値表示手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置
- 上記特異点像が複数個抽出されたとき、上記演算手段はこれらの各特異点像の透視方向への深さを算出するとともに、上記表示手段は、X線透視像上でそれぞれの特異点像に識別のための符号を付し、上記数値表示手段は、その各符号と該当の深さの数値を併せて表示することを特徴とする請求項2に記載のX線検査装置。
- 上記特異点像の面積を画像処理により算出する面積算出手段を備え、上記数値表示手段は、特異点像の深さと併せて上記面積算出手段により算出された面積を表示することを特徴とする請求項2または3に記載のX線検査装置。
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