JPH06308057A - 放射線検査装置及び放射線検査方法 - Google Patents
放射線検査装置及び放射線検査方法Info
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- JPH06308057A JPH06308057A JP10204193A JP10204193A JPH06308057A JP H06308057 A JPH06308057 A JP H06308057A JP 10204193 A JP10204193 A JP 10204193A JP 10204193 A JP10204193 A JP 10204193A JP H06308057 A JPH06308057 A JP H06308057A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、放射線透視画像として画像信号レ
ベルの変化を少なくし、均一な放射線透過厚とすること
で均質で高精度の放射線検査装置及び放射線検査方法を
提供する。 【構成】 本発明は、放射線を発生する放射線発生手段
と、被検査体を回転させる回転手段と、該被検査体の回
転軸と平行する位置に設けられ、上記放射線発生手段か
ら上記被検査体へ照射され透過したデ―タを検出する検
出手段と、この検出手段で検出されたデ―タを画像化す
る画像化手段とを備えた放射線検査装置」及び「被検査
体を回転させ、回転している被検査体に放射線を照射
し、透過したデ―タを検出し、この検出したデ―タを画
像化することを特徴とする放射線検査方法」から少なく
とも構成される。
ベルの変化を少なくし、均一な放射線透過厚とすること
で均質で高精度の放射線検査装置及び放射線検査方法を
提供する。 【構成】 本発明は、放射線を発生する放射線発生手段
と、被検査体を回転させる回転手段と、該被検査体の回
転軸と平行する位置に設けられ、上記放射線発生手段か
ら上記被検査体へ照射され透過したデ―タを検出する検
出手段と、この検出手段で検出されたデ―タを画像化す
る画像化手段とを備えた放射線検査装置」及び「被検査
体を回転させ、回転している被検査体に放射線を照射
し、透過したデ―タを検出し、この検出したデ―タを画
像化することを特徴とする放射線検査方法」から少なく
とも構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放射線を被検査体に照
射することにより、被検査体を破壊することなく検査で
きる放射線検査装置及び放射線検査方法に関する。
射することにより、被検査体を破壊することなく検査で
きる放射線検査装置及び放射線検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図14乃至図16に従来技術を示す。図14
は、Ｘ線Ｉ．Ｉ．（X-ray Image Intensifier ）方式の
Ｘ線透視装置であり、Ｘ線源１をテ―ブル２に搭載され
た被検査体（管体）３に照射し、その透過像を検出する
検出手段４と、この検出手段４からの信号をＴＶカメラ
５に供給する光学系６と、ＴＶカメラ５とから構成され
ている。管体を透視した画像は図15及び図16のようにな
る。
は、Ｘ線Ｉ．Ｉ．（X-ray Image Intensifier ）方式の
Ｘ線透視装置であり、Ｘ線源１をテ―ブル２に搭載され
た被検査体（管体）３に照射し、その透過像を検出する
検出手段４と、この検出手段４からの信号をＴＶカメラ
５に供給する光学系６と、ＴＶカメラ５とから構成され
ている。管体を透視した画像は図15及び図16のようにな
る。
【０００３】特徴点Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは各々Ａ′，Ｂ′，
Ｃ′，Ｄ′の位置へ投影される。軸方向，周方向とも連
続的または不連続的にＸ線透過量が変化するため複雑な
画像となる。
Ｃ′，Ｄ′の位置へ投影される。軸方向，周方向とも連
続的または不連続的にＸ線透過量が変化するため複雑な
画像となる。
【０００４】図16は図15の矢印Ｈの方向から見た図であ
る。断面形状の方向でみるとＥ，Ｆ，Ｇ，Ｈの各特徴点
はＥ′，Ｆ′，Ｇ′，Ｈ′のように投影され、物体の厚
さ０からＦ′，Ｇ′の経路まで極めて変化の激しい画像
となる。
る。断面形状の方向でみるとＥ，Ｆ，Ｇ，Ｈの各特徴点
はＥ′，Ｆ′，Ｇ′，Ｈ′のように投影され、物体の厚
さ０からＦ′，Ｇ′の経路まで極めて変化の激しい画像
となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って、上記従来のＸ
線透視装置においては、同一欠陥が色々な場所に発生し
た時その欠陥コントラストは大きく変化し、異なる大き
さの欠陥として表現される可能性が高い。また、画像処
理により欠陥の自動検出を行なう場合も、信号変化が大
きく、複雑であるため、欠陥の抽出が極めて難かしくな
る。
線透視装置においては、同一欠陥が色々な場所に発生し
た時その欠陥コントラストは大きく変化し、異なる大き
さの欠陥として表現される可能性が高い。また、画像処
理により欠陥の自動検出を行なう場合も、信号変化が大
きく、複雑であるため、欠陥の抽出が極めて難かしくな
る。
【０００６】Ｘ線透過厚の差が画像各部で大きくなるの
で、一方向から透視画像で検査することは難かしく、複
数方向から透視した画像が必要になる。空気のみの部分
と、物体の存在する部分の信号変化が大きすぎて、画像
精度が保てない。
で、一方向から透視画像で検査することは難かしく、複
数方向から透視した画像が必要になる。空気のみの部分
と、物体の存在する部分の信号変化が大きすぎて、画像
精度が保てない。
【０００７】また、センサの過大Ｘ線入射による劣化も
激しい。そこで、本発明は、上記問題点を解決するため
に、放射線透視画像として画像信号レベルの変化を少な
くし、均一な放射線透過厚とすることで均質で高精度の
放射線検査装置及び放射線検査方法を提供することを目
的とする。
激しい。そこで、本発明は、上記問題点を解決するため
に、放射線透視画像として画像信号レベルの変化を少な
くし、均一な放射線透過厚とすることで均質で高精度の
放射線検査装置及び放射線検査方法を提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、「放射線を発生する放射線発生手段と、
被検査体を回転させる回転手段と、前記被検査体の回転
軸と平行する位置に設けられ、前記放射線発生手段から
前記被検査体へ照射され透過したデ―タを検出する検出
手段と、この検出手段で検出されたデ―タを画像化する
画像化手段とを備えた放射線検査装置」、「被検査体を
回転させ、回転している被検査体に放射線を照射し、透
過したデ―タを検出し、この検出したデ―タを画像化す
ることを特徴とする放射線検査方法」、「放射線を発生
する放射線発生手段と、被検査体を回転及び平行移動さ
せる移動手段と、前記被検査体の軸を通る放射線の透過
デ―タを検出する位置に設けられ、前記放射線発生手段
から前記被検査体へ照射され透過したデ―タを検出する
検出手段と、この検出手段で検出されたデ―タを画像化
する画像化手段とを備えた放射線検査装置」、「放射線
を発生する放射線発生手段と、被検査体の軸を通る放射
線の透過デ―タを検出する位置に設けられ、前記放射線
発生手段と一定の関係を保持し、前記被検査体の周囲を
回転可能で、前記放射線発生手段から前記被検査体へ照
射され透過したデ―タを検出する検出手段と、この検出
手段で検出されたデ―タを画像化する画像化手段とを備
えた放射線検査装置」、及び「被検査体を所定の位置に
固定し、固定された被検査体の周囲を放射線を発生する
放射線発生手段とこの放射線発生手段から放射線が被検
査体に照射され、透過したデ―タを検出する検出手段と
を所定の関係を保持させながら回転させ、前記被検査体
の放射線透過デ―タを検出し、検出したデ―タを画像化
することを特徴とする放射線検査方法」を提供する。
め、本発明は、「放射線を発生する放射線発生手段と、
被検査体を回転させる回転手段と、前記被検査体の回転
軸と平行する位置に設けられ、前記放射線発生手段から
前記被検査体へ照射され透過したデ―タを検出する検出
手段と、この検出手段で検出されたデ―タを画像化する
画像化手段とを備えた放射線検査装置」、「被検査体を
回転させ、回転している被検査体に放射線を照射し、透
過したデ―タを検出し、この検出したデ―タを画像化す
ることを特徴とする放射線検査方法」、「放射線を発生
する放射線発生手段と、被検査体を回転及び平行移動さ
せる移動手段と、前記被検査体の軸を通る放射線の透過
デ―タを検出する位置に設けられ、前記放射線発生手段
から前記被検査体へ照射され透過したデ―タを検出する
検出手段と、この検出手段で検出されたデ―タを画像化
する画像化手段とを備えた放射線検査装置」、「放射線
を発生する放射線発生手段と、被検査体の軸を通る放射
線の透過デ―タを検出する位置に設けられ、前記放射線
発生手段と一定の関係を保持し、前記被検査体の周囲を
回転可能で、前記放射線発生手段から前記被検査体へ照
射され透過したデ―タを検出する検出手段と、この検出
手段で検出されたデ―タを画像化する画像化手段とを備
えた放射線検査装置」、及び「被検査体を所定の位置に
固定し、固定された被検査体の周囲を放射線を発生する
放射線発生手段とこの放射線発生手段から放射線が被検
査体に照射され、透過したデ―タを検出する検出手段と
を所定の関係を保持させながら回転させ、前記被検査体
の放射線透過デ―タを検出し、検出したデ―タを画像化
することを特徴とする放射線検査方法」を提供する。
【０００９】
【作用】以上のように構成された本発明においては、被
検査体の軸中心付近を通り、軸方向に広がりを有する放
射線を用いて、被検査体の中心を通る線上の透過デ―タ
を検出することができる。
検査体の軸中心付近を通り、軸方向に広がりを有する放
射線を用いて、被検査体の中心を通る線上の透過デ―タ
を検出することができる。
【００１０】例えば、図１に示すように、Ｘ線源11とＸ
線源11からのＸ線を検出するＸ線ラインセンサ12とを用
いて、被検査体（管体）13を透過したＸ線を検出する
と、被検査体（管体）のＡ，Ｂ，Ｃ，ＤはＡ′，Ｂ′，
Ｃ′，Ｄ′の投影となる。また、図１の矢印Ｈ方向から
見た図である図２は、放射線（Ｘ線ビ―ム）が管体の中
心付近を通る経路を示す。この場合、管体を回転させる
ことにより、常時Ｘ線透過経路の最も少ない部分で管体
全域のＸ線透過が可能となる。図１に示したＸ線ライン
センサからの信号中のＢ′−Ｃ′間を用いることによ
り、管体Ｂ−Ｃ間のデ―タを収集する。従って、管体或
いは放射線発生手段と検出手段が 360°回転した時ａ−
ｂ間は 180°ずつ２回透視したとも考えられる。Ａ′−
Ｄ′間ではなく、Ｂ′−Ｃ′間を用いることにより、信
号変化の大きい部分を管体の欠陥判定（検査）に使用す
ることが回避できる。
線源11からのＸ線を検出するＸ線ラインセンサ12とを用
いて、被検査体（管体）13を透過したＸ線を検出する
と、被検査体（管体）のＡ，Ｂ，Ｃ，ＤはＡ′，Ｂ′，
Ｃ′，Ｄ′の投影となる。また、図１の矢印Ｈ方向から
見た図である図２は、放射線（Ｘ線ビ―ム）が管体の中
心付近を通る経路を示す。この場合、管体を回転させる
ことにより、常時Ｘ線透過経路の最も少ない部分で管体
全域のＸ線透過が可能となる。図１に示したＸ線ライン
センサからの信号中のＢ′−Ｃ′間を用いることによ
り、管体Ｂ−Ｃ間のデ―タを収集する。従って、管体或
いは放射線発生手段と検出手段が 360°回転した時ａ−
ｂ間は 180°ずつ２回透視したとも考えられる。Ａ′−
Ｄ′間ではなく、Ｂ′−Ｃ′間を用いることにより、信
号変化の大きい部分を管体の欠陥判定（検査）に使用す
ることが回避できる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を用
いて説明する。図３に示すように、本実施例の放射線検
査装置は、Ｘ線源11とＸ線ラインセンサ12とを管体13の
軸心を透視する位置に設け、回転手段14により被検査体
としての管体13を載置したテ―ブル15を回転させる。Ｘ
線ラインセンサ12で検出されたデ―タはデ―タ収集部16
にて収集され、収集されたデ―タは画像処理手段17へ送
られる。そして、画像処理手段17にて入力されたデ―タ
は画像化されＣＲＴ18に出力される。更に、画像処理手
段17は、信号入力インタ―フェ―ス20，メモリ21，画像
処理部22，画像表示用インタ―フェ―ス23，ＣＵＰ24，
ハ―ドディスクドライブ25，信号出力インタ―フェ―ス
26，マルチバス27，Ｉ／Ｏバス28，システムバス29，画
像バス30で構成されている。
いて説明する。図３に示すように、本実施例の放射線検
査装置は、Ｘ線源11とＸ線ラインセンサ12とを管体13の
軸心を透視する位置に設け、回転手段14により被検査体
としての管体13を載置したテ―ブル15を回転させる。Ｘ
線ラインセンサ12で検出されたデ―タはデ―タ収集部16
にて収集され、収集されたデ―タは画像処理手段17へ送
られる。そして、画像処理手段17にて入力されたデ―タ
は画像化されＣＲＴ18に出力される。更に、画像処理手
段17は、信号入力インタ―フェ―ス20，メモリ21，画像
処理部22，画像表示用インタ―フェ―ス23，ＣＵＰ24，
ハ―ドディスクドライブ25，信号出力インタ―フェ―ス
26，マルチバス27，Ｉ／Ｏバス28，システムバス29，画
像バス30で構成されている。
【００１２】Ｘ線の強度はＸ線強度制御手段31を基にＸ
線源11を介して制御される。更に、回転手段14，デ―タ
収集部16，Ｘ線強度制御手段31は制御装置32によりその
動作等を制御される。
線源11を介して制御される。更に、回転手段14，デ―タ
収集部16，Ｘ線強度制御手段31は制御装置32によりその
動作等を制御される。
【００１３】また、画像処理部22は、図４に示すよう
に、論理判定部40，加算部41，除算部42，多値化手段4
3，ラベリング部44，面積測定手段45が画像バス30から
マルチバス27にて相互接続されている。
に、論理判定部40，加算部41，除算部42，多値化手段4
3，ラベリング部44，面積測定手段45が画像バス30から
マルチバス27にて相互接続されている。
【００１４】このように構成された本実施例の作用につ
いて、以下に説明する。図５に示すように、まず、Ｘ線
ファンビ―ムを発生させ（処理１）、テ―ブル15を回転
させる（処理２）。テ―ブル15の回転数が所定の回転数
に達成すると、デ―タ収集を開始し（処理３）、Ｘ線ラ
インセンサ12によりライン状のデ―タを得る。テ―ブル
15の回転角度が 360°になったかどうか判定し（処理
４）、回転角度が 360°に達した場合、Ｘ線ファンビ―
ムの発生は停止され（処理５）、同時に検出されたデ―
タは画像処理部22へ送られる（処理６）。そして、画像
処理部22にてデ―タを画像化し、被検査体の欠陥の有無
が判断される（処理７）。この判断が終了すると、被検
査体が入れ替るか判断し（処理８）、その結果により入
替作業を行なう（処理９）か検査終了（処理10）を適宜
実行する。そして、入替作業（処理９）が終了すると、
再度Ｘ線が発生され、最終的に欠陥の有無が判断され
る。図６に、デ―タ収集のタイミングを示す。
いて、以下に説明する。図５に示すように、まず、Ｘ線
ファンビ―ムを発生させ（処理１）、テ―ブル15を回転
させる（処理２）。テ―ブル15の回転数が所定の回転数
に達成すると、デ―タ収集を開始し（処理３）、Ｘ線ラ
インセンサ12によりライン状のデ―タを得る。テ―ブル
15の回転角度が 360°になったかどうか判定し（処理
４）、回転角度が 360°に達した場合、Ｘ線ファンビ―
ムの発生は停止され（処理５）、同時に検出されたデ―
タは画像処理部22へ送られる（処理６）。そして、画像
処理部22にてデ―タを画像化し、被検査体の欠陥の有無
が判断される（処理７）。この判断が終了すると、被検
査体が入れ替るか判断し（処理８）、その結果により入
替作業を行なう（処理９）か検査終了（処理10）を適宜
実行する。そして、入替作業（処理９）が終了すると、
再度Ｘ線が発生され、最終的に欠陥の有無が判断され
る。図６に、デ―タ収集のタイミングを示す。
【００１５】図６によれば、スタ―ト信号と共に、Ｘ線
ファンビ―ムの発生及びテ―ブル15の回転が開始され、
テ―ブルの回転数が所定の回転数に達すると、デ―タ収
集が開示される。また、この収集されたデ―タは随時画
像処理部12へ送られ、画像化される。そしてテ―ブル15
が 360°回転したことを確認すると、デ―タ収集が終了
し、Ｘ線ファンビ―ムの発生及びテ―ブル15の回転も終
了となる。デ―タ収集は、テ―ブル15の回転角を検出
し、所定角度回転する毎に、１ラインのデ―タを収集
し、 360°分収集した後、完了となる。
ファンビ―ムの発生及びテ―ブル15の回転が開始され、
テ―ブルの回転数が所定の回転数に達すると、デ―タ収
集が開示される。また、この収集されたデ―タは随時画
像処理部12へ送られ、画像化される。そしてテ―ブル15
が 360°回転したことを確認すると、デ―タ収集が終了
し、Ｘ線ファンビ―ムの発生及びテ―ブル15の回転も終
了となる。デ―タ収集は、テ―ブル15の回転角を検出
し、所定角度回転する毎に、１ラインのデ―タを収集
し、 360°分収集した後、完了となる。
【００１６】次に、被検査体の欠陥判定について、図７
を用いて説明する。まず、ラインデ―タを入力し（処理
１）、そのデ―タを log変換し（処理２）、加算平均を
施す（処理３）と共に、この加算平均の過程で判断領域
の検出を行なう（処理４）。例えば、図８に示すよう
に、複数の原ラインデ―タＡ，Ｂ，Ｃ…を加算し、レベ
ル２で２値化処理し、図１に示したＢ′−Ｃ′間に相当
するデ―タｌを得る。このようにして得たデ―タｌを記
憶し、後段の判定領域の切出しを行なう。また、加算平
均して得た補正用信号（図８Ｄに相当）を用いて、原ラ
インデ―タ（図８Ａ乃至Ｃに相当）との減算を行ないシ
ェ―ディング補正を行なう（処理５）。次に、この補正
値を２値化処理し（処理６）、判定領域の切出しを行な
う（処理７）。シェ―ディング補正後の信号（図８Ｅ乃
至Ｇに相当）のＢ′−Ｃ′間に相当するデ―タｌの範囲
を残し、他は０にする。その結果が図８のＨに相当す
る。この結果には欠陥候補とされるＨ1 乃至Ｈ5 と他の
雑音が混在している。従って、この結果をラベリング
（処理８）、面積測定・判定（処理９）を行ない、欠陥
候補画像（図８Ｊに相当）を生成する（処理10）。最後
に、この画像の重複補正を行ない（処理11）、欠陥の判
定を行なう（処理12）。
を用いて説明する。まず、ラインデ―タを入力し（処理
１）、そのデ―タを log変換し（処理２）、加算平均を
施す（処理３）と共に、この加算平均の過程で判断領域
の検出を行なう（処理４）。例えば、図８に示すよう
に、複数の原ラインデ―タＡ，Ｂ，Ｃ…を加算し、レベ
ル２で２値化処理し、図１に示したＢ′−Ｃ′間に相当
するデ―タｌを得る。このようにして得たデ―タｌを記
憶し、後段の判定領域の切出しを行なう。また、加算平
均して得た補正用信号（図８Ｄに相当）を用いて、原ラ
インデ―タ（図８Ａ乃至Ｃに相当）との減算を行ないシ
ェ―ディング補正を行なう（処理５）。次に、この補正
値を２値化処理し（処理６）、判定領域の切出しを行な
う（処理７）。シェ―ディング補正後の信号（図８Ｅ乃
至Ｇに相当）のＢ′−Ｃ′間に相当するデ―タｌの範囲
を残し、他は０にする。その結果が図８のＨに相当す
る。この結果には欠陥候補とされるＨ1 乃至Ｈ5 と他の
雑音が混在している。従って、この結果をラベリング
（処理８）、面積測定・判定（処理９）を行ない、欠陥
候補画像（図８Ｊに相当）を生成する（処理10）。最後
に、この画像の重複補正を行ない（処理11）、欠陥の判
定を行なう（処理12）。
【００１７】尚、以上の処理は２値化で行なったが、多
値化でも実現できる。ただし、その場合は、各値に対す
る画像に対し、どの値を欠陥とするかの基準を作成し、
その基準に照らして、欠陥の判定を行なう。
値化でも実現できる。ただし、その場合は、各値に対す
る画像に対し、どの値を欠陥とするかの基準を作成し、
その基準に照らして、欠陥の判定を行なう。
【００１８】次に、画像の重複補正について図９を用い
て説明する。管体を 360°回転させて得た画像は図１に
示すａ−ｂ間について 180°ずつ２つの画像を撮影した
ことになる。又、Ｘ線源側とセンサ側でＸ線ファンビ―
ムの広がりに応じ、拡大率及び画像上の位置が異なって
いるので、この異なりを補正し、重複分を取り除かなけ
ればならない。
て説明する。管体を 360°回転させて得た画像は図１に
示すａ−ｂ間について 180°ずつ２つの画像を撮影した
ことになる。又、Ｘ線源側とセンサ側でＸ線ファンビ―
ムの広がりに応じ、拡大率及び画像上の位置が異なって
いるので、この異なりを補正し、重複分を取り除かなけ
ればならない。
【００１９】まず、欠陥候補画像（図８Ｊに相当）を入
力し（処理０）、前半 180°分の画像と後半 180°分の
画像とに各々分割し（処理１及び２）、拡大率補正を行
なう（処理３）。この拡大率補正は、図10に示すよう
に、管体上の画素ＰがＸ線源側からセンサ側へ移動する
と、画像中心ｃから各々ｌ1 ，ｌ2 の位置に移動する。
Ｐ，Ｐ′間の位置補正は次式により求められる。
力し（処理０）、前半 180°分の画像と後半 180°分の
画像とに各々分割し（処理１及び２）、拡大率補正を行
なう（処理３）。この拡大率補正は、図10に示すよう
に、管体上の画素ＰがＸ線源側からセンサ側へ移動する
と、画像中心ｃから各々ｌ1 ，ｌ2 の位置に移動する。
Ｐ，Ｐ′間の位置補正は次式により求められる。
【００２０】
【数１】 ｌ1 ，ｌ2 ：画像中心からの画素の距離 ＦCD：Ｘ線焦点と管体軸間距離 Ｄ ：管体外径寸法 ｔ ：管体の肉厚 補正後の画像ＡC （Ｐ→Ｐ′），ＢC （Ｐ′→Ｐ）を作
成し（処理４及び５）、原画像Ａ，ＢとＡC ，ＢC との
間で次式に基づき、重複補正処理を行なう（処理６乃至
９）。
成し（処理４及び５）、原画像Ａ，ＢとＡC ，ＢC との
間で次式に基づき、重複補正処理を行なう（処理６乃至
９）。
【００２１】
【数２】 Ｆ（ｘ，ｙ）＝（Ａ−Ｂ＊ＡC ）＋（Ｂ−Ａ＊ＢC ）＋（Ａ＊Ｂ）…(2) Ｂ＊ＡC ，Ａ＊ＢC ，Ａ＊Ｂ：各々の画像間で２値化画
像の特徴点同士が規定画素以上の重複部分を有する場
合、Ａ及びＢ画像からその特徴点を消去する処理。
像の特徴点同士が規定画素以上の重複部分を有する場
合、Ａ及びＢ画像からその特徴点を消去する処理。
【００２２】また、画像の重複補正についての他の方法
を、図11を用いて説明する。この方法は、図９に示した
方法とは逆に、欠陥部分は図１に示したａ−ｂ間で必ず
Ａ又はＢ画像に１回ずつ存在するため、補正画像ＡC ，
ＢC を基に（処理１及び２）、重複部分を検出する（処
理３）ことにより管体の欠陥部分を抽出することが可能
である。又、図１に示したＡ−ａ，ｂ−Ｂ間はデ―タ収
集を２回転分行なうことで 360°に１回ずつ欠陥部分が
現われることになるので、 360°毎にＡ及びＢ画像とし
て同様の処理を行なうことにより欠陥部分の抽出が可能
となる。
を、図11を用いて説明する。この方法は、図９に示した
方法とは逆に、欠陥部分は図１に示したａ−ｂ間で必ず
Ａ又はＢ画像に１回ずつ存在するため、補正画像ＡC ，
ＢC を基に（処理１及び２）、重複部分を検出する（処
理３）ことにより管体の欠陥部分を抽出することが可能
である。又、図１に示したＡ−ａ，ｂ−Ｂ間はデ―タ収
集を２回転分行なうことで 360°に１回ずつ欠陥部分が
現われることになるので、 360°毎にＡ及びＢ画像とし
て同様の処理を行なうことにより欠陥部分の抽出が可能
となる。
【００２３】以上の処理により、管体の欠陥部分を精度
良く判定することができる。次に、Ｘ線ラインセンサ12
の保護について説明する。図１に示したＸ線ラインセン
サ12からの信号中のＢ′−Ｃ′間のデ―タ収集を行なう
場合、Ｘ線ラインセンサ12のＢ″−Ｃ″間を用いて検出
することでその目的は達成される。
良く判定することができる。次に、Ｘ線ラインセンサ12
の保護について説明する。図１に示したＸ線ラインセン
サ12からの信号中のＢ′−Ｃ′間のデ―タ収集を行なう
場合、Ｘ線ラインセンサ12のＢ″−Ｃ″間を用いて検出
することでその目的は達成される。
【００２４】図１に示すように、Ａ′，Ｄ′の外側へは
み出してＸ線ラインセンサ12を設ける必要はない。なぜ
なら空気のみを透過したＸ線の強度は極めて強く、その
強度を検出するセンサにダメ―ジを与えるからである。
そのため、Ｂ″−Ｃ″間のみを使用するため、センサの
長さをＡ″−Ｄ″間内の長さにすることで、Ｘ線による
センサへのダメ―ジを防ぐことができる。尚、本実施例
の場合、図３に示すように、Ｘ線源１とＸ線ラインセン
サ12とをア―ム50により一体化し、管体13を挟んで、そ
の位置を可変することで、管体13の長さに応じ、上記所
定の関係を保持できるようにしている。このことは、図
10中のＦDDを一定とし、ＦCDを可変することに相当す
る。
み出してＸ線ラインセンサ12を設ける必要はない。なぜ
なら空気のみを透過したＸ線の強度は極めて強く、その
強度を検出するセンサにダメ―ジを与えるからである。
そのため、Ｂ″−Ｃ″間のみを使用するため、センサの
長さをＡ″−Ｄ″間内の長さにすることで、Ｘ線による
センサへのダメ―ジを防ぐことができる。尚、本実施例
の場合、図３に示すように、Ｘ線源１とＸ線ラインセン
サ12とをア―ム50により一体化し、管体13を挟んで、そ
の位置を可変することで、管体13の長さに応じ、上記所
定の関係を保持できるようにしている。このことは、図
10中のＦDDを一定とし、ＦCDを可変することに相当す
る。
【００２５】以上のように、本実施例によれば、デ―タ
収集時の回転数を適度に選択することで簡単に被検査体
の２画面分が得られるので、欠陥検出精度を向上するこ
とができると共に、被検査体を連続回転させた状態で、
デ―タ収集が可能であるので、装置の機構やデ―タ収集
制御の簡易化が図れる。
収集時の回転数を適度に選択することで簡単に被検査体
の２画面分が得られるので、欠陥検出精度を向上するこ
とができると共に、被検査体を連続回転させた状態で、
デ―タ収集が可能であるので、装置の機構やデ―タ収集
制御の簡易化が図れる。
【００２６】次に、本発明の他の実施例について、図12
を用いて説明する。本実施例は、図12に示すように、ラ
インデ―タを入力しログ変換し 360°回転で得られた画
像で前半 180°分の画像Ａと後半 180°分の画像Ｂとを
重複させることにより、ＳＮ比の改善処理を行なう。本
実施例においては、図７に示されたシェ―ディング補正
（図７中処理５）を行なった後、上記前半 180°分及び
後半180°分の各画像Ａ，Ｂについて、拡大率補正を行
なう。これにより、補正画像ＡC ，ＢC 及び前後半 180
°分の画像Ａ，Ｂにおいて、次式による演算を行ない、
ＳＮ比を改善した画像を得る。
を用いて説明する。本実施例は、図12に示すように、ラ
インデ―タを入力しログ変換し 360°回転で得られた画
像で前半 180°分の画像Ａと後半 180°分の画像Ｂとを
重複させることにより、ＳＮ比の改善処理を行なう。本
実施例においては、図７に示されたシェ―ディング補正
（図７中処理５）を行なった後、上記前半 180°分及び
後半180°分の各画像Ａ，Ｂについて、拡大率補正を行
なう。これにより、補正画像ＡC ，ＢC 及び前後半 180
°分の画像Ａ，Ｂにおいて、次式による演算を行ない、
ＳＮ比を改善した画像を得る。
【００２７】
【数３】 ＳＮ比改善画像Ｆi(ｘ，ｙ）＝（ＡC ＋Ｂ）＋（Ａ＋ＢC ）−（Ａ＊Ｂ） Ａ＊Ｂ：前半 180°分の画像Ａと後半 180°分の画像Ｂ
との重複部分を前半180°分の画像Ａから消去する処理 上記のようにして得られたＳＮ比改善画像について、２
値化処理以降の各処理を行ない、欠陥の判定を行なう。
との重複部分を前半180°分の画像Ａから消去する処理 上記のようにして得られたＳＮ比改善画像について、２
値化処理以降の各処理を行ない、欠陥の判定を行なう。
【００２８】尚、本実施例においても、二値化処理の代
わりに多値化処理を行ない、多値化した各値に対応する
画像に対し、どの値を欠陥とするかの規準を作成し、そ
の規準に照らして欠陥の判定を行なうように構成しても
よい。
わりに多値化処理を行ない、多値化した各値に対応する
画像に対し、どの値を欠陥とするかの規準を作成し、そ
の規準に照らして欠陥の判定を行なうように構成しても
よい。
【００２９】次に、Ｘ線ラインセンサ12の長さより長い
管体の検査を行なう場合の実施例を図13（ａ）乃至
（ｃ）を用いて説明する。図13（ｂ）（ｃ）に示すよう
に、管体13の前端及び後端の検査は、端部のみ管体13の
搬送を停止して、管体13を回転させることにより行な
う。又、管体３の中間部は、管体13を 180°回転させる
間、Ｘ線ラインセンサ２の長さをはずれない速度で、管
軸方向に移動されることにより、見逃しなく検査するこ
とができる。
管体の検査を行なう場合の実施例を図13（ａ）乃至
（ｃ）を用いて説明する。図13（ｂ）（ｃ）に示すよう
に、管体13の前端及び後端の検査は、端部のみ管体13の
搬送を停止して、管体13を回転させることにより行な
う。又、管体３の中間部は、管体13を 180°回転させる
間、Ｘ線ラインセンサ２の長さをはずれない速度で、管
軸方向に移動されることにより、見逃しなく検査するこ
とができる。
【００３０】尚、 180°回転で全周を検査する場合は、
欠陥候補部分は一度しか画像上に現われないので、上記
重複候補を処理を行なう必要はない。更に、管体の全長
がＸ線ラインセンサの全長より短かい場合においても、
図１に示したＡ−ａ間及び、ｂ−Ｄ間を検査対象から除
外できる場合は、 180°回転のみで管体の検査は可能で
ある。
欠陥候補部分は一度しか画像上に現われないので、上記
重複候補を処理を行なう必要はない。更に、管体の全長
がＸ線ラインセンサの全長より短かい場合においても、
図１に示したＡ−ａ間及び、ｂ−Ｄ間を検査対象から除
外できる場合は、 180°回転のみで管体の検査は可能で
ある。
【００３１】本実施例においては、検出手段より長い被
検査体のものでも、Ｘ線透視が可能となり、又、管体の
中間部は 180°回転で検査可能である。尚、以上各実施
例においては、管体を回転させたが、Ｘ線発生手段と検
出手段を所定の関係を保ちながら管体の周りを回転させ
ても良い。
検査体のものでも、Ｘ線透視が可能となり、又、管体の
中間部は 180°回転で検査可能である。尚、以上各実施
例においては、管体を回転させたが、Ｘ線発生手段と検
出手段を所定の関係を保ちながら管体の周りを回転させ
ても良い。
【００３２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、被
検査体、例えば管体の最もうすい透過長位置で均一な透
過像が得られるので、均質な欠陥検出が可能となる。
検査体、例えば管体の最もうすい透過長位置で均一な透
過像が得られるので、均質な欠陥検出が可能となる。
【図１】本発明の作用説明図である。
【図２】図１の矢印Ｈ方向からみた本発明の作用説明図
である。
である。
【図３】本発明の一実施例を示す概要構成図である。
【図４】図３に示した画像処理部の詳細な回路構成を示
す詳細構成図である。
す詳細構成図である。
【図５】図３に示した本発明の一実施例の欠陥検査制御
を示すフロ―チャ―トである。
を示すフロ―チャ―トである。
【図６】図５に示した欠陥検査制御におけるデ―タ収集
のタイミングを示すタイミングチャ―トである。
のタイミングを示すタイミングチャ―トである。
【図７】図３に示した本発明の一実施例の被検査体の欠
陥判定を示すフロ―チャ―トである。
陥判定を示すフロ―チャ―トである。
【図８】図３に示した本発明の一実施例におけるデ―タ
処理によるデ―タ変化を示す図である。
処理によるデ―タ変化を示す図である。
【図９】図３に示した本発明の一実施例の画像重複補正
制御を示すフロ―チャ―トである。
制御を示すフロ―チャ―トである。
【図１０】本発明の一実施例の画像拡大率補正制御を説
明する図である。
明する図である。
【図１１】図９に示した画像重複補正制御の他の実施例
を示すフロ―チャ―トである。
を示すフロ―チャ―トである。
【図１２】本発明の他の実施例を示すフロ―チャ―トで
ある。
ある。
【図１３】Ｘ線検出手段の全長より長い被検査体の検査
を行なう場合の適用例を示す概要構成図である。
を行なう場合の適用例を示す概要構成図である。
【図１４】従来のＸ線検査装置を示す概要構成図であ
る。
る。
【図１５】従来のＸ線検査装置による被検査体を透過し
た画像を示す図である。
た画像を示す図である。
【図１６】図15に示した矢印Ｈ方向からみた被検査体を
透過した画像を示す図である。
透過した画像を示す図である。
１１……Ｘ線源、１２……Ｘ線ラインセンサ、１３……
管体、１４……回転手段、１５……テーブル、１６……
データ収集部、１７……画像処理手段、１８……ＣＲ
Ｔ。
管体、１４……回転手段、１５……テーブル、１６……
データ収集部、１７……画像処理手段、１８……ＣＲ
Ｔ。
Claims (5)
- 【請求項１】 放射線を発生する放射線発生手段と、被
検査体を回転させる回転手段と、前記被検査体の回転軸
と平行する位置に設けられ、前記放射線発生手段から前
記被検査体へ照射され透過したデ―タを検出する検出手
段と、この検出手段で検出されたデ―タを画像化する画
像化手段とを具備したことを特徴とする放射線検査装
置。 - 【請求項２】 被検査体を回転させ、回転している被検
査体に放射線を照射し、透過したデ―タを検出し、この
検出したデ―タを画像化することを特徴とする放射線検
査方法。 - 【請求項３】 放射線を発生する放射線発生手段と、被
検査体を回転及び平行移動させる移動手段と、前記被検
査体の軸を通る放射線の透過デ―タを検出する位置に設
けられ、前記放射線発生手段から前記被検査体へ照射さ
れ透過したデ―タを検出する検出手段と、この検出手段
で検出されたデ―タを画像化する画像化手段とを具備し
たことを特徴とする放射線検査装置。 - 【請求項４】 放射線を発生する放射線発生手段と、被
検査体の軸を通る放射線の透過デ―タを検出する位置に
設けられ、前記放射線発生手段と一定の関係を保持し、
前記被検査体の周囲を回転可能で、前記放射線発生手段
から前記被検査体へ照射され透過したデ―タを検出する
検出手段と、この検出手段で検出されたデ―タを画像化
する画像化手段とを具備したことを特徴とする放射線検
査装置。 - 【請求項５】 被検査体を所定の位置に固定し、固定さ
れた被検査体の周囲を放射線を発生する放射線発生手段
とこの放射線発生手段から放射線が被検査体に照射さ
れ、透過したデ―タを検出する検出手段とを所定の関係
を保持させながら回転させ、前記被検査対象の放射線透
過デ―タを検出し、検出したデ―タを画像化することを
特徴とする放射線検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10204193A JPH06308057A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 放射線検査装置及び放射線検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10204193A JPH06308057A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 放射線検査装置及び放射線検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06308057A true JPH06308057A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14316693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10204193A Pending JPH06308057A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 放射線検査装置及び放射線検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06308057A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006145278A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Jfe Koken Corp | 検査処理方法及び検査処理装置 |
| JP2009186270A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2017219317A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-14 | 新日鐵住金株式会社 | 周溶接部の検査方法 |
-
1993
- 1993-04-28 JP JP10204193A patent/JPH06308057A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006145278A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Jfe Koken Corp | 検査処理方法及び検査処理装置 |
| JP4576988B2 (ja) * | 2004-11-17 | 2010-11-10 | Ｊｆｅエンジニアリング株式会社 | 検査処理方法及び検査処理装置 |
| JP2009186270A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2017219317A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-14 | 新日鐵住金株式会社 | 周溶接部の検査方法 |
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