JP4178399B2 - X線ct装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施例の構成図であり、機械的構成を表す模式図と主要な機能的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
すなわち、試料Wを試料ステージ3の試料搭載面3aの載せた状態で、回転機構31を駆動することによって試料Wを回転させつつX線を照射し、そのときのX線検出器2の出力を位置決め用画像形成部52に取り込み、リカーシブフィルタを掛けたX線透視像を構築して表示器6に表示する。その画像は、前記したように試料W上に各部の回転軌跡が楕円状に残像のように現れた画像となるが、断層像を得ようとする半田ボール等が表示器6の画面の中心において楕円状の軌跡の中心に位置するように移動機構32によって試料Wを位置決めする。これにより、その半田ボール等がX線光軸L上で、しかも試料Wの回転軸R上に位置した状態となる。
2 X線検出器
3 試料ステージ
31 回転機構
32 移動機構
4 画像取り込み回路
5 演算装置
51 透視像形成部
52 位置決め用画像形成部
53 断層像再構成演算部
54 縦断層像再構成演算部
6 表示器
7 操作部
W 試料
Claims (1)
- X線源とX線検出器の間に、試料を搭載して回転させるための回転駆動機構および試料を3次元的に移動させる移動機構を備えた試料ステージが配置され、その試料ステージ上の試料を回転させつつX線を照射し、所定の回転角度ごとに取り込んだ試料のX線透過データを用いて、上記回転軸に直交する平面に沿った断層像を再構成する断層像再構成演算手段を備えるとともに、上記試料ステージの回転軸が上記X線からのX線光軸と直交しない位置関係で配置されてなるX線CT装置において、
上記試料ステージ上の試料を回転させつつX線を照射して得られる試料のX線透過データを取り込み、その複数の回転位置でのX線透過像が残像状に重複して含まれるX線透視画像を構築して表示器に表示する位置決め用画像形成手段を備えていることを特徴とするX線CT装置。
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