JP4821987B2 - X線ct装置 - Google Patents

X線ct装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4821987B2
JP4821987B2 JP2006166546A JP2006166546A JP4821987B2 JP 4821987 B2 JP4821987 B2 JP 4821987B2 JP 2006166546 A JP2006166546 A JP 2006166546A JP 2006166546 A JP2006166546 A JP 2006166546A JP 4821987 B2 JP4821987 B2 JP 4821987B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
rotation center
center axis
wire
projection data
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006166546A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007333596A (ja
Inventor
宏和 大河内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2006166546A priority Critical patent/JP4821987B2/ja
Publication of JP2007333596A publication Critical patent/JP2007333596A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4821987B2 publication Critical patent/JP4821987B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、各種工業部品等の内部構造や欠陥の有無等を非破壊のもとに調査するための産業用のX線CT装置に関する。
産業用のX線CT装置においては、一般に、図6に模式的に示すように、X線発生装置61とX線検出器62の間に、X線発生装置のX線焦点とX線検出器の中心を結ぶX線光軸L(x軸方向)に対して直交する回転中心軸R(z軸方向)の回りに回転する回転テーブル63を配置した構造が多用され、更にその回転テーブル63の上に、被写体Wを搭載して回転中心軸Rに直交する平面(x−y平面)上で移動するステージ64が設けられることが多い(例えば特許文献1参照)。
この種のX線CT装置においては、被写体WにX線を照射しつつ、回転中心軸Rの回りに微小角度回転させるごとにX線検出器62の出力を取り込み、通常は360°分のX線投影データを用いて被写体Wの回転中心軸Rに直交する平面に沿った断層像を再構成する。この再構成演算には、回転中心軸RのX線検出器62上への投影位置の座標情報を得ることが必須となる。
回転中心軸Rの投影位置のX線検出器62上での座標を求める方法として、従来、図7に斜視図を示すような回転中心軸投影位置較正用治具Jcを用いた方法が採用されている。回転中心軸投影位置較正用治具Jcは、例えばアクリル等のX線を透過させやすい材料からなる支持部材Jsの内部に、タングステンなどのX線吸収率の高い材料からなるワイヤJwを配置した構造であり、この回転中心軸投影位置較正用治具Jcを回転テーブル63上のステージ64に載せた状態で回転を与えながら、ワイヤJwのX線投影データを採取する(例えば特許文献2参照)。
このようにして採取されたデータは、X線検出器62のy軸方向に並ぶ素子列を横軸にとり、回転角度を縦軸にとったグラフで表せば、図8(A)に例示するようなサイノグラムを形成する。このサイノグラムから、X線検出器62の当該素子列上における回転中心軸Rの投影位置の座標を求めることができる。なお、このような較正は、被写体のCT撮影ごとに行ってもよいし、較正テーブル等を作成しておいて被写体のCT撮影の際に参照してもよい。
特開2005−351879号公報 特開2004−184122号公報
ところで、上記した回転中心軸投影位置較正用治具を用いた較正動作においては、用いる較正用治具の回転中心からのずれ量が大きくなると、回転によりワイヤの像がX線検出器の視野から逸脱し、図8(B)に例示するように360°分のワイヤのX線投影データを得ることができず、回転中心軸の較正を行うことができない。
また、拡大率を大きくした場合にも、ワイヤのずれ量はX線検出器上で大きくなる関係上、回転中心軸に対するワイヤの実際のずれ量が小さくても拡大率によっては360°分のデータが得られない場合がある。
このような場合、従来のX線CT装置においては、オペレータがステージを移動させることによって較正用治具を水平面(回転中心軸に直交する平面)上で移動させ、較正用治具の中心を回転中心軸に近づくように位置決めしたうえで、再度回転テーブルを回転させてワイヤの投影データをとる必要があり、手間がかかるという問題がある。
また、基本的に回転中心軸投影位置較正用治具は、ステージ上の規定の位置に配置したときに、そのワイヤが回転中心軸にできるだけ近い場所に位置するように、例えばその外周面などの基準面に対するワイヤの位置を高精度に仕上げる必要があるという問題もある。
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、回転中心軸投影位置較正用治具の位置決めが良好でなく、そのワイヤのX線投影データが360°にわたって得られなくても、従来のようにオペレータが較正用治具を移動させる必要がなく、また、較正用治具として、その外周面等の基準面に対してワイヤの位置を特に高精度に仕上げたものを用いることなく、確実に回転中心軸投影位置の較正を行うことのできるX線CT装置の提供をその課題としている。
上記の課題を解決するため、本発明のX線CT装置は、互いに対向配置されたX線発生装置とX線検出器の間に、当該X線発生装置のX線焦点とX線検出器の有感面の中心とを結ぶX線光軸に直交する回転中心軸の回りに回転する回転テーブルを備えるとともに、その回転テーブル上に、被写体を搭載して少なくとも上記回転中心軸に直交する平面上で移動可能なステージを備え、そのステージ上に被写体を搭載してX線を照射しつつ、上記回転テーブルを回転させて微小回転角度ごとに取り込んだX線投影データを用いて、上記回転軸に直交する平面に沿った被写体の断層像を構築する再構成演算手段を備えたX線CT装置において、上記ステージ上にワイヤを備えてなる回転中心軸投影位置較正治具を当該ワイヤが上記回転中心軸に沿う姿勢となるように搭載して上記回転テーブルを360°回転させることにより、上記X線検出器の出力から得られるワイヤのX線投影データによるサイノグラムから、上記X線検出器上への回転中心軸の投影座標を算出する回転中心軸投影位置算出手段を備えるとともに、その較正動作において上記ワイヤの360°分のX線投影データが得られたか否かを判別する判別する判別手段と、その判別手段により上記ワイヤの360°分のX線投影データが得られなかったと判別された場合に、当該X線検出器の出力により得られているワイヤのX線投影データを三角関数で近似してその振幅中心および位相を算出し、その算出結果を用いて回転中心軸の位置を近似演算する近似演算手段と、その近似演算された回転中心軸の位置に上記ワイヤの位置が一致するように上記ステージを上記平面上で微動させるステージ制御手段を備えていることよって特徴づけられる(請求項1)。
ここで、本発明においては、上記回転中心軸投影位置較正用治具を上記ステージ上に搭載した状態で上記回転テーブルを360°回転させてX線投影データを取り込み、上記判別手段により上記ワイヤの360°分のX線投影データが得られていないと判別された場合に、自動的に上記近似演算手段およびステージ制御手段を動作させた後、再び上記回転テーブルを360°回転させて上記X線投影データを取り込んで上記回転中心軸投影位置算出手段を動作させる制御手段を備えている構成(請求項2)を採用することができる。
本発明は、ステージ上に配置された回転中心軸投影位置較正用治具のワイヤと回転中心軸との距離が比較的大きいなどの理由により、回転中心軸投影位置較正用治具を360°回転させて採取したワイヤのX線投影データが、360°分揃っていない場合、得られている投影データを三角関数で近似し、その三角関数の振幅と位相から回転中心軸の概略位置を求め、その位置にステージを自動的に移動させることにより、課題を解決しようとするものである。
すなわち、回転中心軸投影位置較正用治具を回転させることによってワイヤがX線検出器に投影されて得られるサイノグラムは三角関数とは異なるものの、両者は比較的類似性が高く、サイノグラムを較正する360°分のデータが揃っていなくても、それを用いて三角関数で近似することができる。この近似した三角関数の振幅と位相を用いれば、SID(X線発生装置の焦点とX線検出器の有感面とのなす距離)とSOD(同じくX線発生装置の焦点と被写体とのなす距離)とから、回転中心軸の位置を近似的に推定することができる。この三角関数を用いた近似計算による回転中心軸の推定結果は、正確には回転中心軸を表すものではないが、ほぼ正しく回転中心軸を表すものとなる。
そこで、本発明においては、回転中心軸投影位置較正用治具をステージ上に載せて360°回転させてワイヤのX線投影データを採取したとき、ワイヤの投影データが360°分得られているか否かを判別し、得られていないと判別された場合に、られている投影データを三角関数で近似し、その振幅と位相、およびSIDとSODとから、回転中心軸の位置を近似的に推定し、その推定位置にワイヤ位置が一致するようにステージを自動的に移動させる。これにより、ワイヤは回転中心軸に極めて接近した状態となる。その状態で回転テーブルを360°回転させて再びワイヤのX線投影データを採取することにより、360°分の欠落のないワイヤの投影データによるサイノグラムが得られ、そのサイノグラムを用いた公知の演算により、回転中心軸の投影位置座標を正確に求めることができる。
請求項2に係る発明は、以上の一連の動作を自動的に行うこと、つまり最初に回転テーブルを回転させてワイヤのX線投影データを採取し、そのデータが360°分得られていないと判別された場合には、得られている投影データを三角関数で近似して回転中心軸の位置を近似計算し、その計算結果に基づいてステージを移動した後、再度回転テーブルを回転させてワイヤのX線投影データを採取し、得られたサイノグラムから回転中心軸を求める動作を、自動的に実行するものであり、これにより、オペレータは最初に回転中心軸投影位置較正用治具を搭載して回転テーブルを回転させるだけで、ワイヤ位置がずれていても自動的に回転中心軸の投影位置座標が求められる。
本発明によれば、ワイヤを備えた回転中心軸投影位置較正用治具を用いた回転中心軸の較正動作において、回転テーブルを回転させて得られるワイヤのX線検出器への投影データが360°分揃わなかった場合でも、装置が自動的にワイヤが回転軸中心に近づくようにステージを移動させるので、従来のようにオペレータによる位置決め操作が不要となり、その分手間を省くことができる。
同時に、回転中心軸投影位置較正用治具の外周面などの基準面に対するワイヤの位置を、従来のように高精度に仕上げる必要がなくなり、そのコストを低減させることができるという利点もある。
また、請求項2に係る発明によると、回転中心軸投影位置較正用治具を回転テーブルに搭載して最初にその投影データを採取したとき、360°分の投影データが得られなかった場合に、得られている投影データを用いた回転中心軸の近似計算と、その計算結果に基づくステージの位置決め動作と、その位置決め後に再度回転テーブルを回転させて投影データを採取する一連の動作を自動的に実行するので、オペレータは最初に回転中心軸投影位置較正用治具をステージ上に搭載して指令を与えるだけで、ワイヤの投影データが360°分揃っている否かの判断も行うことなく、回転中心軸投影位置座標が求められることになり、回転中心軸の投影位置の較正作業を大幅に簡素化することができる。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
X線発生装置1は、X線焦点1aを中心とするコーンビーム状のX線を水平方向(x軸方向)に発生する。このX線発生装置1に対向して2次元のX線検出器2が配置されており、これらの間に回転テーブル3が設けられている。
回転テーブル3はX線焦点1aとX線検出器2の有感面の中心とを結ぶX線光軸Lに直交する鉛直方向(z軸方向)に沿った回転中心軸Rの回りに回転が与えられる。まこ、この回転テーブル3は、回転テーブル移動機構4によってx軸方向およびz軸方向に移動させることができる。そして、この回転テーブル3の上に、回転中心軸Rに直交する平面(x−y平面)上で移動するステージ5が載せられている。回転テーブル3は回転テーブルコントローラ11からの駆動制御信号により回転駆動し、回転テーブル移動機構4は回転テーブル移動機構コントローラ12から供給される信号によって駆動制御される。また、ステージ5は、ステージコントローラ13から供給される信号によって駆動制御される。
以上の回転テーブルコントローラ11、回転テーブル移動機構コントローラ12およびステージコントローラ13は、制御部20の制御下に置かれている。制御部20には、ジョイスティックやマウス、キーボード等からなる操作部21が接続されており、オペレータが操作部21を操作することによって回転テーブル3に回転を与え、あるいは移動させ、更にはステージ5を随意に移動させることができる。また、後述する回転中心治具投影位置較正ルーチンにおいては、ステージ5は制御部20からの指令により自動的に所要位置にまで移動する。
さて、前記したX線検出器2の出力は画像データ取り込み回路14により取り込まれ、記憶部15に記憶される。通常のCT撮影時においては、ステージ5上に被写体Wを搭載してX線を照射しつつ、回転テーブル3を微小角度ずつ回転させるごとにX線検出器2の出力を記憶部15に記憶し、その記憶したデータを再構成演算部16により再構成することによって、回転中心軸Rに直交する平面に沿った被写体Wの断層像を構築し、表示器17に表示する。この再構成演算には、回転中心軸RのX線検出器2の有感面上への投影座標が必要であることは前記した通りであり、再構成演算の前に回転中心軸投影位置較正動作が必要となる。
回転中心軸投影位置較正動作においては、前記した図7に例示したものと同等の回転中心軸投影位置較正用治具Jcをステージ5上に搭載し、回転テーブル3を回転させ、ワイヤJwの投影データを画像データ取り込み回路14を介して記憶部15に取り込む。そのデータは回転中心軸投影座標演算部18に送られてサイノグラムを用いた回転中心軸投影座標演算に供される。そして、この実施の形態の特徴は、そのワイヤの投影データが360°分揃っていない場合に、そのデータは回転中心軸近似演算部19に送られて回転中心軸Rの近似演算に供され、その近似演算結果に基づいて、制御部20からの信号によりステージ5を自動的に移動させて、ワイヤJwのx−y平面上での位置を回転中心軸Rに接近させる点である。なお、図1においては、制御部20や各種演算部などを機能ごとのブロック図で示しているが、これらは実際にはコンピュータとその周辺機器によって構成され、インストールされたプログラムの実行により実現する機能をブロックで示すものである。
図2は本発明の実施の形態における回転中心軸投影位置較正動作の内容を表すフローチャートであり、以下、この図を参照しつつ当該動作の詳細を述べる。
回転中心軸の投影座標を求めるに際しては、まず、前記した図7に示した回転中心軸投影位置較正用治具Jcをステージ4上に搭載して較正動作の開始指令を与える。これにより、X線を照射しつつ回転テーブル3を回転させ、回転中心軸投影位置較正用治具JcのX線投影データ、具体的にはワイヤJwの投影データを取り込む。その投影データが360°分揃っているか否かを判別する。
ワイヤJwの投影データが360°分揃っている場合には、回転中心軸投影座標演算部17にて、従来と同様にその投影データのサイノグラムから回転中心軸RのX線検出器2上への投影座標を算出する。
ワイヤJwの投影データが360°分揃っていない場合には、得られている投影データを用いて三角関数で近似する。すなわち、ワイヤJwの投影データが図3(A)に例示するように一部がX線検出器2の視野から逸脱している場合、同図(B)に破線で示すように、得られている投影データを三角関数で近似する。そして、その三角関数の振幅と位相を求め、更にその時点におけるX線焦点1aとX線検出器2とのなす距離SID、およびX線焦点1aと回転テーブル3(回転中心)とのなす距離SODを用いて、図4に模式的な平面図を示すように、回転テーブル3の回転中心軸Rのx−y平面上での位置を求める。図4においてθは回転テーブル3の回転角度であり、rは近似した三角関数の振幅とSIDおよびSODから算出されるワイヤJwの回転中心軸Rに対する振れ量である。
回転テーブル3の回転角度がθの状態で当該回転テーブル3の回転を停止した状態で、ステージ5をx方向にrsinθ、y方向にrcosθだけ移動させる。つまり、その時点におけるワイヤJwの位置に対し、回転中心軸Rの位置はx方向にrsinθ、y方向にrcosθだけずれた位置にあると推定し、その推定位置へと向けて回転中心軸投影位置較正用治具Jcを移動させるのである。ワイヤJwの一部の投影データからその軌跡を三角関数で近似して推定した回転中心軸Rの位置は、厳密には誤差を含むものであるが、その推定位置へ向けて回転中心軸投影位置較正用治具Jcを移動させることにより、ワイヤJwと回転中心軸Rとの距離は移動前に比して接近する。従って、その状態でX線を照射しつつ再度回転テーブル3を回転させ、ワイヤJwの投影データを採取することにより、図3(C)に示すように、ワイヤJwの360°分の投影データが得られる。この360°分の投影データによるサイノグラムから、従来と同等の手法により回転中心軸Rの投影座標を算出することができる。
ここで、ワイヤJwの投影データを三角関数で近似する際に、得られているデータが参観関数でないが故に、相関性の高い三角関数が2つ以上存在することが考えられる。このような場合、図5に示すように、相関性の高い上位2つの三角関数a,bの平均cを採用することができる。
また、ワイヤJwの投影データが、z軸方向においてその一部のみが360°のデータが得られない場合、回転テーブル3をz軸方向に移動させて上記の手法を採用することにより、較正は可能となる。
本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。 本発明の実施の形態における回転中心軸投影位置較正動作の内容を表すフローチャートである。 本発明の実施の形態の作用説明図で、(A)は回転中心軸投影位置較正用治具を回転させて得られる投影データの例を示すサイノグラムで、(B)はそのデータを三角関数で近似する例を示すグラフ、(C)は近似計算により求められた回転中心軸Rの推定位置に向けてステージを移動させた後に得られるワイヤの投影データの例を示すサイノグラムである。 本発明の実施の形態においてワイヤの投影データを三角関数で近似した結果からステージの移動量と向きを説明するための模式的平面図である。 本発明の実施の形態におけるワイヤの投影データを三角関数で近似するに当たり、相関性の高い2つの三角関数が得られた場合の処理の方法の例の説明図である。 産業用のX線CT装置の各部材の配置の例の説明図である。 産業用のX線CT装置に用いられる回転中心軸投影位置較正用治具の例を示す斜視図である。 図7の治具を用いて得られるワイヤの投影データによるサイノグラムの例であり、(A)は360°分のデータが得られた場合、(B)はその一部が欠落した場合の例の説明図である。
符号の説明
1 X線発生装置
1a X線焦点
2 X線検出器
3 回転テーブル
4 回転テーブル移動機構
5 ステージ
11 回転テーブルコントローラ
12 回転テーブル移動機構コントローラ
13 ステージコントローラ
14 画像データ取り込み回路
15 記憶部
16 再構成演算部
17 表示器
18 回転中新軸投影座標演算部
19 回転中新軸近似演算部
20 制御部
21 操作部
Jc 回転中心軸投影位置較正用治具
Jw ワイヤ
Js 支持部材

Claims (2)

  1. 互いに対向配置されたX線発生装置とX線検出器の間に、当該X線発生装置のX線焦点とX線検出器の有感面の中心とを結ぶX線光軸に直交する回転中心軸の回りに回転する回転テーブルを備えるとともに、その回転テーブル上に、被写体を搭載して少なくとも上記回転中心軸に直交する平面上で移動可能なステージを備え、そのステージ上に被写体を搭載してX線を照射しつつ、上記回転テーブルを回転させて微小回転角度ごとに取り込んだX線投影データを用いて、上記回転軸に直交する平面に沿った被写体の断層像を構築する再構成演算手段を備えたX線CT装置において、
    上記ステージ上にワイヤを備えてなる回転中心軸投影位置較正用治具を当該ワイヤが上記回転中心軸に沿う姿勢となるように搭載して上記回転テーブルを360°回転させることにより、上記X線検出器の出力から得られるワイヤのX線投影データによるサイノグラムから、上記X線検出器上への回転中心軸の投影座標を算出する回転中心軸投影位置算出手段を備えるとともに、その較正動作において上記ワイヤの360°分のX線投影データが得られたか否かを判別する判別する判別手段と、その判別手段により上記ワイヤの360°分のX線投影データが得られなかったと判別された場合に、当該X線検出器の出力により得られているワイヤのX線投影データを三角関数で近似してその振幅中心および位相を算出し、その算出結果を用いて回転中心軸の位置を近似演算する近似演算手段と、その近似演算された回転中心軸の位置に上記ワイヤの位置が一致するように上記ステージを上記平面上で微動させるステージ制御手段を備えていることを特徴とするX線CT装置。
  2. 上記回転中心軸投影位置較正用治具を上記ステージ上に搭載した状態で上記回転テーブルを360°回転させてX線投影データを取り込み、上記判別手段により上記ワイヤの360°分のX線投影データが得られていないと判別された場合に、自動的に上記近似演算手段およびステージ制御手段を動作させた後、再び上記回転テーブルを360°回転させて上記X線投影データを取り込んで上記回転中心軸投影位置算出手段を動作させる制御手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のX線CT装置。
JP2006166546A 2006-06-15 2006-06-15 X線ct装置 Expired - Fee Related JP4821987B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006166546A JP4821987B2 (ja) 2006-06-15 2006-06-15 X線ct装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006166546A JP4821987B2 (ja) 2006-06-15 2006-06-15 X線ct装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007333596A JP2007333596A (ja) 2007-12-27
JP4821987B2 true JP4821987B2 (ja) 2011-11-24

Family

ID=38933204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006166546A Expired - Fee Related JP4821987B2 (ja) 2006-06-15 2006-06-15 X線ct装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4821987B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5846055B2 (ja) * 2012-06-25 2016-01-20 株式会社島津製作所 放射線ct装置
KR101672699B1 (ko) * 2014-08-28 2016-11-04 연세대학교 산학협력단 토모그래피 장치 및 그의 기하 보정 방법
US9691166B2 (en) 2014-11-07 2017-06-27 Shimadzu Corporation Radiation CT apparatus
JP7257924B2 (ja) * 2019-09-09 2023-04-14 株式会社ミツトヨ X線計測装置の校正方法
JP7257925B2 (ja) * 2019-09-10 2023-04-14 株式会社ミツトヨ X線計測装置の校正方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3918932B2 (ja) * 2002-11-29 2007-05-23 株式会社島津製作所 X線ct装置における中心軸較正治具およびこの治具を用いた較正方法
JP4050137B2 (ja) * 2002-12-04 2008-02-20 株式会社タチエス 車両用リフタ付きシート構造

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007333596A (ja) 2007-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4968261B2 (ja) X線透視装置
TWI592655B (zh) 用於使用成像系統產生有興趣區域之三維模型之方法及裝置
US7016465B2 (en) X-ray CT apparatus
CN101776618B (zh) 检查方法和检查装置
JP4821987B2 (ja) X線ct装置
JPWO2009078415A1 (ja) X線検査装置および方法
JP2012112790A (ja) X線ct装置
JP5402042B2 (ja) ワークの中心位置合わせ装置
JP5292791B2 (ja) X線検査装置
JP2006184267A (ja) X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム
JP4636258B2 (ja) X線撮影装置
JP2012042340A (ja) X線ct装置
JP4045443B2 (ja) 傾斜型x線ct装置における回転中心軸の較正方法および傾斜型x線ct装置
JP4788272B2 (ja) X線断層撮像装置及びx線断層撮像方法
JP6805200B2 (ja) 移動制御装置、移動制御方法および移動制御プログラム
JP2005134213A (ja) X線断層撮像方法及び装置
JP2006292462A (ja) コンピュータ断層撮影装置
JP4178399B2 (ja) X線ct装置
JP4926734B2 (ja) 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム
JP5138279B2 (ja) コンピュータ断層撮影装置
JP2011080944A (ja) X線ct装置
JP4390060B2 (ja) X線ct装置
JP4420186B2 (ja) X線ct装置
JP2007158089A (ja) 半導体ウエハの検査装置
JP4400737B2 (ja) 画像処理方法および放射線断層撮像装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081120

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110303

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110420

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110620

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110810

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110823

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4821987

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees