JP2011169821A - X線分析装置およびx線分析のマッピング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 X線分析装置にて、予め正常であることが確認されている試料のX線マッピング像を参照マッピング像として取得しておく。検査する試料のマッピング分析を行い参照マッピング像と画素毎に差分を求め差分マッピング像を表示する。指定元素を基準より多く含まれる場所が、高輝度で表示されるため、異常個所を簡単に見つけることができる。
【選択図】 図1
Description
2 … 1次X線(放射線)
3 … 特性X線及び散乱X線
4 … X線検出器
5 … 分析器
6 … X線マッピング処理部
7 … 光学顕微鏡
8 … 検査試料
9 … 試料ステージ
20 … 検査マッピング像の元素検出部分
21 … 参照マッピング像の元素検出部分
22 … 検査マッピング像と参照マッピング像の差異部分
23 … カラー表示された異常部分
24 … 検査除外領域指定部分
Claims (15)
- 測定試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、
前記測定試料から放出される特性X線及び散乱X線を検出し該特性X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号をX線強度として出力するX線検出器と、
前記信号を分析する分析器と、
予め設定されたマッピング領域内で前記測定試料に対して前記照射ポイントを相対的に移動可能な試料ステージと、
前記マッピング領域の撮影及び画像表示が可能な光学顕微鏡システムと、
前記分析器の分析結果から少なくとも一以上の特定の元素に対応したX線強度を判別し、該X線強度に応じて色または明度を変えた強度コントラストを決定して前記マッピング領域の前記照射ポイントに対応した位置に画像表示するX線マッピング処理部と、を備えたX線分析装置において、
前記マッピング処理部が、
前記測定試料と同種類かつ正常な参照試料の測定領域におけるマッピング像を記憶する参照マッピング像記憶手段と、
前記測定試料の測定領域と対応する領域におけるマッピング像を記憶する検査マッピング像記憶手段と、
前記参照及び検査の2つのマッピング像の対応する位置の画素毎のX線強度の差分を算出する差分算出手段と、
前記差分によるマッピング像を出力する差分マッピング像出力手段と、
を備えることを特徴とするX線分析装置。 - 前記差分マッピング像出力手段が、前記画素毎のX線強度の差分において前記検査マッピング像のX線強度の方が大きい位置又は小さい位置のいずれか一方を高輝度で画像表示するものである請求項1に記載のX線分析装置。
- 前記差分マッピング像出力手段が、前記画素毎のX線強度の差分のレベルに応じて異なる輝度で画像表示するものである請求項1に記載のX線分析装置。
- 前記差分マッピング像出力手段が、前記検査マッピング像、前記参照マッピング像及び前記差分マッピング像を並べて画像表示するものである請求項1に記載のX線分析装置。
- 前記差分マッピング像出力手段が、前記特定の元素が複数の場合に、前記差分マッピング像を複数並べて画像表示するものである請求項1に記載のX線分析装置。
- 前記差分マッピング像出力手段が、前記マッピング領域の前記光学顕微鏡システムによる光学顕微鏡画像と前記差分マッピング像とを重ねて画像表示するものである請求項1に記載のX線分析装置。
- 前記差分マッピング像出力手段が、前記検査マッピング像を前記参照マッピング像に、または、前記測定試料の光学顕微鏡像を前記正常な試料の光学顕微鏡像に、それぞれ画像上にて対比させて補正するものである請求項1に記載のX線分析装置。
- 前記画像上の補正が、回転補正、位置補正、縮尺補正のうち少なくとも一つの補正である請求項7に記載のX線分析装置。
- 前記マッピング処理部が、前記測定試料の光学顕微鏡像、前記参照試料の光学顕微鏡像、前記検査マッピング像または前記参照マッピング像の少なくともいずれか一つに対して差分算出が不要な領域を指定する検査除外領域指定手段を備える請求項1に記載のX線分析装置。
- 前記検査除外領域指定手段が、当該検査除外領域を、外部より取り込んだ画像データに基づいて指定するものである請求項9に記載のX線分析装置。
- 前記検査除外領域指定手段が、元素毎に前記検査除外領域を設定するものである請求項9または10に記載のX線分析装置。
- 前記差分マッピング像出力手段が、前記検査除外領域指定手段により指定した領域の差分値をゼロとし、これに対する検査領域の差分値を相対的にプラスまたはマイナスのいずれかを輝度または色により識別可能に画像表示するものである請求項9〜11のいずれかに記載のX線分析装置。
- 前記差分マッピング像出力手段が、前記検査除外領域指定手段により指定した領域と前記差分マッピング像とを重ねて表示する請求項9〜12のいずれかに記載のX線分析装置。
- 前記参照マッピング像記憶手段が、外部より取り込んだ画像データを当該参照マッピング像として記憶するものである請求項1に記載のX線分析装置。
- 予め定めた測定試料のマッピング領域に放射線を照射することにより、そこから放出される特性X線及び散乱X線を検出して、該特性X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号をX線強度として求め、その結果から少なくとも一以上の特定の元素に対応したX線強度を判別し、該X線強度に応じて色または明度を変えた強度コントラストを決定して前記マッピング領域の前記照射ポイントに対応した位置に画像表示するX線分析のマッピング方法において、
測定試料と同種類かつ正常な参照試料の測定領域から参照マッピング像を取得する工程と、
前記測定試料の前記測定領域と同一領域から検査マッピング像を取得する工程と、
前記参照マッピング像と前記検査マッピング像の対応する位置の画素毎のX線強度の差分を算出する工程と、
前記差分によるマッピング像を出力する工程と、を含むことを特徴とするX線分析のマッピング方法。
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