JP2017026609A - 測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定物を光学的走査して、走査影像を発生させる工程と、走査影像を再生立体像に再生する工程と、被測定物に係る非水平スライス方向を含むスライス方向を調整して、再生立体像を断面像にスライスする工程と、断面像を測定することで、被測定物の少なくとも1つの特徴を分析する工程と、被測定物の測定結果を出力する工程と、を備える測定方法。
【選択図】図7
Description
100:測定装置
120:走査装置
122:X線発生器
124:基板保持ユニット
126:X線検出器
128:被測定物
140:コンピュータ装置
142:処理ユニット
144:保存ユニット
152:再生部
154:スライス部
156:検査部
160:入力設備
180:出力装置
220、240、420、440、520、620:再生立体像
222、224、242、244、320、340、422、424、442、444、522A、522B、522C、524、620、640:断面像
322、342:圧入配合ピン
324、344:貫通孔
622、624:半田ボール
626:余分のはんだ
S702、S704、S706、S708、S710:工程
Claims (20)
- 被測定物を光学的走査して、走査影像を発生させる工程と、
前記走査影像を再生立体像に再生する工程と、
前記被測定物に係る非水平スライス方向を含むスライス方向を調整して、前記再生立体像を断面像にスライスする工程と、
前記断面像を測定して、前記被測定物の少なくとも1つの特徴を分析する工程と、
前記被測定物の測定結果を出力する工程と、
を備える測定方法。 - 前記断面像を測定し前記被測定物の前記測定結果を出力する工程は、
前記断面像の対称性を測定する工程と、
前記断面像の前記対称性が予定の閾値より低くなると、異常結果を出力する工程と、
を含む請求項1に記載の測定方法。 - 前記断面像を測定して、前記被測定物の前記少なくとも1つの特徴を分析する工程は、
前記断面像を測定することで、前記被測定物が前記被測定物を移動させるための移動部品に置かれる期間中、前記被測定物が異常であるかをリアルタイムに検査する請求項1に記載の測定方法。 - 前記被測定物の前記少なくとも1つの特徴は、勾配、厚さ、曲率、形状又は幾何特性を含む請求項1に記載の測定方法。
- 前記非水平スライス方向は垂直方向であり、前記被測定物の欠陥は枕不良(Head in Pillow、HIP)、挿入不足(insufficient insertion)、開路欠陥(open defect)又ははんだぬれ不良開路の欠陥(non-wetting open defect)である請求項1に記載の測定方法。
- 前記被測定物に前記開路欠陥がない場合、前記断面像が山状(hill-shaped)となる請求項5に記載の測定方法。
- 前記被測定物に前記はんだぬれ不良開路の欠陥がある場合、前記断面像に2つのブロッブ(blob)が現れる請求項5に記載の測定方法。
- 前記被測定物は、はんだ又は接続部材を含む請求項1に記載の測定方法。
- 前記被測定物を光学的走査して、前記走査影像を発生させる工程は、ラインスキャンカメラ(Line Scan Camera)又はフラットパネルカメラ(Flat Panel Camera)により実行される請求項1に記載の測定方法。
- 前記走査影像を前記再生立体像に再生する工程は、シフト・アンド・アッド(Shift and Add)又はコンピュータ断層撮影(Computed Tomography)を使用する請求項1に記載の測定方法。
- 被測定物を光学的走査して、走査影像を発生させる走査装置と、
前記走査影像を再生立体像に再生する指令と、前記被測定物に係る非水平スライス方向を含むスライス方向を調整して、前記再生立体像を断面像にスライスする指令と、前記断面像を測定して、前記被測定物の少なくとも1つの特徴を分析する指令と、前記被測定物の測定結果を出力する指令と、を実行する処理ユニットと、前記走査影像、前記再生立体像及び前記断面像を保存する保存ユニットと、を含み、前記走査装置に接続されるコンピュータ装置と、
を備える測定装置。 - 前記処理ユニットは、前記断面像の対称性を測定することに用いられ、前記断面像の前記対称性が予定の閾値より低くなると、異常結果を出力する請求項11に記載の測定装置。
- 前記被測定物を移動させるための移動部品を更に備え、
前記処理ユニットは、前記断面像を測定することで、前記被測定物が前記移動部品に置かれる期間中、前記被測定物が異常であるかをリアルタイムに検査する請求項11に記載の測定装置。 - 前記被測定物の前記少なくとも1つの特徴は、勾配、厚さ、曲率、形状又は幾何特性を含む請求項11に記載の測定装置。
- 前記非水平スライス方向は垂直方向であり、前記被測定物の欠陥は枕不良、挿入不足、開路欠陥又ははんだぬれ不良開路の欠陥である請求項11に記載の測定装置。
- 前記被測定物に前記開路欠陥がない場合、前記断面像は山状(hill-shaped)となる請求項15に記載の測定装置。
- 前記被測定物に前記はんだぬれ不良開路の欠陥がある場合、前記断面像に2つのブロッブ(blob)が現れる請求項15に記載の測定装置。
- 前記被測定物は、はんだ又は接続部材を含む請求項11に記載の測定装置。
- 前記走査装置は、ラインスキャンカメラ又はフラットパネルカメラによって前記被測定物を光学的走査して、前記走査影像を発生させる請求項11に記載の測定装置。
- 前記処理ユニットは、シフト・アンド・アッド又はコンピュータ断層撮影によって前記走査影像を前記再生立体像に再生する請求項11に記載の測定装置。
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