JP2003156454A - Ｘ線検査装置とその制御方法と調整方法 - Google Patents
Ｘ線検査装置とその制御方法と調整方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査物が検出手段の検出範囲よりも大きい
場合に、被検査物を移動させると装置が大きくなる。ま
た、Ｘ線照射手段やＸ線検出手段を被検査物から離すこ
とにより被写体面積を得る方法は解像度が悪くなる。装
置は、できるだけコンパクトに、解像度を落とすことな
く、かつ複数枚の部分的な透視画像データを１枚の合成
画像データとして表示し、さらに、検出から画像表示ま
での時間を短縮させることが要求されている。 【解決手段】 位置決め固定された被検査物に対し、複
数のＸ線検出手段を移動させ、検出手段の位置に対応し
てＸ線照射手段を移動または回転のいずれかを行い、得
られた複数の透視画像データを１枚の合成画像として表
示するように構成する。
場合に、被検査物を移動させると装置が大きくなる。ま
た、Ｘ線照射手段やＸ線検出手段を被検査物から離すこ
とにより被写体面積を得る方法は解像度が悪くなる。装
置は、できるだけコンパクトに、解像度を落とすことな
く、かつ複数枚の部分的な透視画像データを１枚の合成
画像データとして表示し、さらに、検出から画像表示ま
での時間を短縮させることが要求されている。 【解決手段】 位置決め固定された被検査物に対し、複
数のＸ線検出手段を移動させ、検出手段の位置に対応し
てＸ線照射手段を移動または回転のいずれかを行い、得
られた複数の透視画像データを１枚の合成画像として表
示するように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被検査物にＸ線を
照射し、その透視画像を表示するＸ線検査装置とその制
御方法と調整方法に関する。
照射し、その透視画像を表示するＸ線検査装置とその制
御方法と調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｘ線装置は、被検査物が検出手段
の検出範囲よりも大きい場合、Ｘ線照射手段とＸ線検出
手段を被検査物と相対的に移動させ、複数枚の部分的な
透視画像データを得るか、解像度が悪くなるがＸ線照射
手段やＸ線検出手段を被検査物から離すことにより被写
体面積を得る方法が知られている。
の検出範囲よりも大きい場合、Ｘ線照射手段とＸ線検出
手段を被検査物と相対的に移動させ、複数枚の部分的な
透視画像データを得るか、解像度が悪くなるがＸ線照射
手段やＸ線検出手段を被検査物から離すことにより被写
体面積を得る方法が知られている。
【０００３】図６に従来のＸ線検査装置の構造を示して
おり、１０１はＸ線発生源、１０２はＸ線ビームの広が
りを規制する出射口に設けられるコーリメータ、１０３
はＸ線ビーム、１０４は遮蔽板、１０５は被検査物、１
０６は被検査物を載せて移動させるＸＹテーブル、１０
７はＸ線検出手段のＸ線センサー、１０８はＸ線画像キ
ャプチャーユニット、１０９はパーソナルコンピュータ
ー、１１０は透視画像の表示器、１１１はＸ線制御ユニ
ット、１１２は筐体で構成されている。
おり、１０１はＸ線発生源、１０２はＸ線ビームの広が
りを規制する出射口に設けられるコーリメータ、１０３
はＸ線ビーム、１０４は遮蔽板、１０５は被検査物、１
０６は被検査物を載せて移動させるＸＹテーブル、１０
７はＸ線検出手段のＸ線センサー、１０８はＸ線画像キ
ャプチャーユニット、１０９はパーソナルコンピュータ
ー、１１０は透視画像の表示器、１１１はＸ線制御ユニ
ット、１１２は筐体で構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このＸ線検査装置とそ
の制御方法と調整方法においては、被検査物が検出手段
の検出範囲よりも大きい場合に、Ｘ線照射手段とＸ線検
出手段を被検査物と相対的に移動させ、解像度を落とす
ことなく、かつ複数枚の部分的な透視画像データを１枚
の合成画像データとして表示し、さらに検出から画像表
示までの時間を短縮させることが要求されている。
の制御方法と調整方法においては、被検査物が検出手段
の検出範囲よりも大きい場合に、Ｘ線照射手段とＸ線検
出手段を被検査物と相対的に移動させ、解像度を落とす
ことなく、かつ複数枚の部分的な透視画像データを１枚
の合成画像データとして表示し、さらに検出から画像表
示までの時間を短縮させることが要求されている。
【０００５】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
で、大きい被検査物に対し、装置をコンパクトにするこ
とと、短時間に一定水準の解像度で透視画像データを検
出し、１枚の合成画像データにデータを処理し、被検査
物全体を表示できるＸ線検査装置とその制御方法および
その調整方法を提供することを目的とする。
で、大きい被検査物に対し、装置をコンパクトにするこ
とと、短時間に一定水準の解像度で透視画像データを検
出し、１枚の合成画像データにデータを処理し、被検査
物全体を表示できるＸ線検査装置とその制御方法および
その調整方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載の発明は、被検査物にＸ線を照射する
Ｘ線照射手段と、照射したＸ線を受ける１つ以上の検出
手段と、前記検出手段を移動させる移動手段を備え、前
記移動手段で前記検出手段を少なくとも被検査物の面積
に相当する部分で移動させるＸ線検査装置としたもので
あり、被検査物が検出手段の検出範囲よりも大きい場合
にも検査の対応が可能であり、検出装置を動かすことで
省スペースに装置が構成されるという作用を有する。
に請求項１に記載の発明は、被検査物にＸ線を照射する
Ｘ線照射手段と、照射したＸ線を受ける１つ以上の検出
手段と、前記検出手段を移動させる移動手段を備え、前
記移動手段で前記検出手段を少なくとも被検査物の面積
に相当する部分で移動させるＸ線検査装置としたもので
あり、被検査物が検出手段の検出範囲よりも大きい場合
にも検査の対応が可能であり、検出装置を動かすことで
省スペースに装置が構成されるという作用を有する。
【０００７】請求項２に記載の発明は、複数の検出手段
を所定間隔離して配置し、これら複数の検出手段を同時
に移動させる請求項１記載のＸ線検査装置としたもので
あり、検出時間の時間短縮が図られるという作用を有す
る。
を所定間隔離して配置し、これら複数の検出手段を同時
に移動させる請求項１記載のＸ線検査装置としたもので
あり、検出時間の時間短縮が図られるという作用を有す
る。
【０００８】請求項３に記載の発明は、所定間隔とし
て、複数の検出手段間の距離が、各検出手段の有効検出
部分の長さの略ｎ倍（ｎ：自然数）にした請求項２記載
のＸ線検査装置としたものであり、複数の透視画像デー
タを効率的に合成することが可能な配置という作用を有
する。
て、複数の検出手段間の距離が、各検出手段の有効検出
部分の長さの略ｎ倍（ｎ：自然数）にした請求項２記載
のＸ線検査装置としたものであり、複数の透視画像デー
タを効率的に合成することが可能な配置という作用を有
する。
【０００９】請求項４に記載の発明は、複数の検出手段
の配置に応じて、移動手段での移動距離を被検査面に対
し不足なくかつ重複が最小限になるようにした請求項２
または３記載のＸ線検査装置としたものであり、複数の
透視画像データを効率的に得るために定められた移動距
離及び移動順序で全被検査面を移動することができると
いう作用を有する。
の配置に応じて、移動手段での移動距離を被検査面に対
し不足なくかつ重複が最小限になるようにした請求項２
または３記載のＸ線検査装置としたものであり、複数の
透視画像データを効率的に得るために定められた移動距
離及び移動順序で全被検査面を移動することができると
いう作用を有する。
【００１０】請求項５に記載の発明は、検出手段の位置
に対応してＸ線照射手段を少なくとも移動、回転のいず
れかを行うＸ線照射手段移動手段を設けた請求項１から
４のいずれかに記載のＸ線検査装置としたものであり、
被検査物が照射手段の照射範囲よりも大きい場合にも対
応が可能であるという作用を有する。
に対応してＸ線照射手段を少なくとも移動、回転のいず
れかを行うＸ線照射手段移動手段を設けた請求項１から
４のいずれかに記載のＸ線検査装置としたものであり、
被検査物が照射手段の照射範囲よりも大きい場合にも対
応が可能であるという作用を有する。
【００１１】請求項６に記載の発明は、被検査物にＸ線
を照射するＸ線照射手段と、照射したＸ線を受ける１つ
以上の検出手段と、前記検出手段を移動する移動手段
と、前記検出手段を制御する複数の駆動制御手段を備
え、前記各検出手段と駆動制御手段は各々接続し、前記
各駆動制御手段の間に駆動の同期を行う同期手段と、前
記各駆動制御手段を介して検出手段からの信号を入力す
る処理手段を１つ以上設け、前記各処理手段からの処理
信号を入力し、画像を合成する画像合成手段を設けたＸ
線検査装置としたものであり、複数の画像データを１枚
の画像に合成するという作用を有する。
を照射するＸ線照射手段と、照射したＸ線を受ける１つ
以上の検出手段と、前記検出手段を移動する移動手段
と、前記検出手段を制御する複数の駆動制御手段を備
え、前記各検出手段と駆動制御手段は各々接続し、前記
各駆動制御手段の間に駆動の同期を行う同期手段と、前
記各駆動制御手段を介して検出手段からの信号を入力す
る処理手段を１つ以上設け、前記各処理手段からの処理
信号を入力し、画像を合成する画像合成手段を設けたＸ
線検査装置としたものであり、複数の画像データを１枚
の画像に合成するという作用を有する。
【００１２】請求項７に記載の発明は、被検査物にＸ線
を照射するステップと、前記被検査物に照射されたＸ線
を検出手段で検出するステップを有し、前記検出するス
テップとして、検出手段を少なくとも被検査物の面積に
相当する部分で移動させながら検出するＸ線検査装置の
制御方法としたものであり、全被検査面を移動すること
ができるという作用を有する。
を照射するステップと、前記被検査物に照射されたＸ線
を検出手段で検出するステップを有し、前記検出するス
テップとして、検出手段を少なくとも被検査物の面積に
相当する部分で移動させながら検出するＸ線検査装置の
制御方法としたものであり、全被検査面を移動すること
ができるという作用を有する。
【００１３】請求項８に記載の発明は、複数の検出手段
を配置したＸ線検査装置で、複数の検出手段を、移動手
段で被検査面に対し不足なくかつ重複が最小限になるよ
うに移動する請求項７記載のＸ線検査装置の制御方法と
したものであり、定められた移動距離及び移動順序で全
被検査面を移動することができるという作用を有する。
を配置したＸ線検査装置で、複数の検出手段を、移動手
段で被検査面に対し不足なくかつ重複が最小限になるよ
うに移動する請求項７記載のＸ線検査装置の制御方法と
したものであり、定められた移動距離及び移動順序で全
被検査面を移動することができるという作用を有する。
【００１４】請求項９に記載の発明は、被検査物にＸ線
を照射するＸ線照射手段と、照射したＸ線を受ける複数
の検出手段と、前記検出手段を移動させる移動手段を備
えたＸ線検査装置で、第１の検出手段のＸ線の有効検出
部分を構成する画素の並びと移動方向を合わせ、その
後、他の検出手段のＸ線の有効検出部分を構成する画素
の並びと前記第１の検出手段のＸ線の有効検出部分を構
成する画素の並びを合わせるＸ線検査装置の調整方法と
したものであり、複数の透視画像データを効率的に合成
画像にできるという作用を有する。
を照射するＸ線照射手段と、照射したＸ線を受ける複数
の検出手段と、前記検出手段を移動させる移動手段を備
えたＸ線検査装置で、第１の検出手段のＸ線の有効検出
部分を構成する画素の並びと移動方向を合わせ、その
後、他の検出手段のＸ線の有効検出部分を構成する画素
の並びと前記第１の検出手段のＸ線の有効検出部分を構
成する画素の並びを合わせるＸ線検査装置の調整方法と
したものであり、複数の透視画像データを効率的に合成
画像にできるという作用を有する。
【００１５】請求項１０に記載の発明は、複数の検出手
段間の距離が、各検出手段のＸ線の有効検出部分の長さ
の略ｎ倍（ｎ：自然数）にして配置する請求項９記載の
Ｘ線検出装置の調整方法としたものであり、複数の透視
画像データを効率的に合成画像にできるという作用を有
する。
段間の距離が、各検出手段のＸ線の有効検出部分の長さ
の略ｎ倍（ｎ：自然数）にして配置する請求項９記載の
Ｘ線検出装置の調整方法としたものであり、複数の透視
画像データを効率的に合成画像にできるという作用を有
する。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明は、位置決め固定された被
検査物に対し、複数のＸ線検出手段を移動させ、検出手
段の位置に対応してＸ線照射手段を移動または回転のい
ずれかを行い、得られた複数の透視画像データを１枚の
合成画像として表示するように構成されたものである。
検査物に対し、複数のＸ線検出手段を移動させ、検出手
段の位置に対応してＸ線照射手段を移動または回転のい
ずれかを行い、得られた複数の透視画像データを１枚の
合成画像として表示するように構成されたものである。
【００１７】これにより、大きい被検査物を動かすより
小さなＸ線検出手段を動かすことで省スペースに装置が
構成され、Ｘ線検出手段を複数にし検出面積を大きくす
ることで時間短縮を図り、１枚の合成画像として表示す
ることが得られる。
小さなＸ線検出手段を動かすことで省スペースに装置が
構成され、Ｘ線検出手段を複数にし検出面積を大きくす
ることで時間短縮を図り、１枚の合成画像として表示す
ることが得られる。
【００１８】以下、本発明の実施の形態について、図１
から図２を用いて説明する。 （実施の形態）図１は、Ｘ線検査装置の構成を示してい
る。
から図２を用いて説明する。 （実施の形態）図１は、Ｘ線検査装置の構成を示してい
る。
【００１９】図１において、機構系ユニットＡは、被検
査物にＸ線を照射する機能とＸ線を受ける検出機能およ
びその検出センサを移動させるＸＹテーブル等を含むセ
ンサ駆動機器から構成されている。制御ユニットＢは、
Ｘ線管のＸ線照射制御およびＸ線管回転軸（Ｕ軸）モー
タとＸ軸Ｙ軸の各モータの駆動制御を行い、さらに、パ
ソコンを使用したデータ処理＆表示ユニットＣは、機構
系ユニットＡおよび制御ユニットＢと相互連携して信号
授受を行い、画像データを処理しＸ線透視画像を表示す
る。
査物にＸ線を照射する機能とＸ線を受ける検出機能およ
びその検出センサを移動させるＸＹテーブル等を含むセ
ンサ駆動機器から構成されている。制御ユニットＢは、
Ｘ線管のＸ線照射制御およびＸ線管回転軸（Ｕ軸）モー
タとＸ軸Ｙ軸の各モータの駆動制御を行い、さらに、パ
ソコンを使用したデータ処理＆表示ユニットＣは、機構
系ユニットＡおよび制御ユニットＢと相互連携して信号
授受を行い、画像データを処理しＸ線透視画像を表示す
る。
【００２０】図２は、Ｘ線検査機構系ユニットを示して
いる。
いる。
【００２１】図２において、Ｘ線発生源であるＸ線管ユ
ニット１から照射されたＸ線は、被検査物の置かれてい
る被検査物ステージ５を通して、Ｘ線センサ６aおよび
６ｂに到達する。Ｘ線センサ６ａと６ｂは、センサホル
ダ＆Ｘ軸テーブル７に取り付けられ、Ｘ軸方向にはＸ軸
駆動モータ８により移動させられ、Ｙ軸駆動ユニットを
載せたＹ軸テーブル９がＹ軸駆動モータ１０により移動
させられる。これらのユニットは、センサユニットステ
ージ１１に取り付けられ、被検査物の全域を検査できる
ようになっている。このとき、Ｘ軸と同期してＸ線管ユ
ニット１は、Ｘ線管ユニットステージ４に取り付けられ
たＸ線管ユニット回転軸用モータユニット３により首振
りを行い、照射位置を変える。
ニット１から照射されたＸ線は、被検査物の置かれてい
る被検査物ステージ５を通して、Ｘ線センサ６aおよび
６ｂに到達する。Ｘ線センサ６ａと６ｂは、センサホル
ダ＆Ｘ軸テーブル７に取り付けられ、Ｘ軸方向にはＸ軸
駆動モータ８により移動させられ、Ｙ軸駆動ユニットを
載せたＹ軸テーブル９がＹ軸駆動モータ１０により移動
させられる。これらのユニットは、センサユニットステ
ージ１１に取り付けられ、被検査物の全域を検査できる
ようになっている。このとき、Ｘ軸と同期してＸ線管ユ
ニット１は、Ｘ線管ユニットステージ４に取り付けられ
たＸ線管ユニット回転軸用モータユニット３により首振
りを行い、照射位置を変える。
【００２２】なお、以上の説明では、Ｘ線センサを２個
でｎ＝２（検出センサ間距離が有効検出長さの２倍にし
たもの）の場合とし、Ｘ線の照射範囲がＹ軸方向におい
て全域を照射し、Ｘ軸方向においてのみ照射位置をスキ
ャニングする構成で説明したが、その他のセンサ複数個
やＸ線管のＸ軸方向Ｙ軸方向のスキャニングおよび駆動
方法の移動または回転についても同様に実施可能であ
る。
でｎ＝２（検出センサ間距離が有効検出長さの２倍にし
たもの）の場合とし、Ｘ線の照射範囲がＹ軸方向におい
て全域を照射し、Ｘ軸方向においてのみ照射位置をスキ
ャニングする構成で説明したが、その他のセンサ複数個
やＸ線管のＸ軸方向Ｙ軸方向のスキャニングおよび駆動
方法の移動または回転についても同様に実施可能であ
る。
【００２３】Ｘ線センサが２個の場合、検出センサ間距
離が有効検出長さの略２倍になるようにホルダは各々Ｘ
方向Ｙ方向および水平回転方向に調整できるようにされ
ている。調整は、３点のマーカーがついた検査治具を使
用するが、この検査治具はホルダと位置決め固定される
ようになっている。各センサが、Ｘ線照射されることに
よりマーカーの位置が検出され、検査治具とホルダに取
り付けられた各センサの位置を認識することが可能とな
り、Ｘ,Ｙおよび回転の各方向をあわすことにより、２
個のセンサの位置を決定することができる。このよう
に、位置決め調整されたセンサを使用して、透視画像の
データを入手する。
離が有効検出長さの略２倍になるようにホルダは各々Ｘ
方向Ｙ方向および水平回転方向に調整できるようにされ
ている。調整は、３点のマーカーがついた検査治具を使
用するが、この検査治具はホルダと位置決め固定される
ようになっている。各センサが、Ｘ線照射されることに
よりマーカーの位置が検出され、検査治具とホルダに取
り付けられた各センサの位置を認識することが可能とな
り、Ｘ,Ｙおよび回転の各方向をあわすことにより、２
個のセンサの位置を決定することができる。このよう
に、位置決め調整されたセンサを使用して、透視画像の
データを入手する。
【００２４】次に、被検査物が検出手段の検出範囲より
も大きい場合のデータ入手方法すなわちタイリングの一
例を以下に説明する。ＭＶ命令によりＸ軸移動量がａ＝
５（タイル）Ｙ軸移動量がｂ＝５（タイル）で与えられ
た場合、下記のような動作を行う。 （１）開始点から+Ｘ軸方向に１タイルピッチでa回移動
する。 （２）＋Ｙ軸方向に１タイルピッチで１回移動する。 （３）Ｙ軸の移動回数をｂ＝ｂ−１とし、Ｘの移動方向
の符号を変える。(ｂ＝４) （４）−Ｘ軸方向に１タイルピッチでａ回移動する。 （５）＋Ｙ軸方向に１タイルピッチで３回移動する。 （６）Ｙの移動回数をｂ＝ｂ−３とし、Ｘの移動方向の
符号を変える。（ｂ＝１） （７）＋Ｘ軸方向に１タイルピッチでａ回移動する。 （８）＋Ｙ軸方向に１タイルピッチで１回移動する。 （１０）Ｙの移動回数をb=b−１とし、Ｘの移動方向の
符号を変える。（ｂ＝０） （１１）−Ｘ軸方向に１タイルピッチでａ回移動する。 （１２）軸移動終了（ステータスで出力） スキャンパターンを図３に示す。
も大きい場合のデータ入手方法すなわちタイリングの一
例を以下に説明する。ＭＶ命令によりＸ軸移動量がａ＝
５（タイル）Ｙ軸移動量がｂ＝５（タイル）で与えられ
た場合、下記のような動作を行う。 （１）開始点から+Ｘ軸方向に１タイルピッチでa回移動
する。 （２）＋Ｙ軸方向に１タイルピッチで１回移動する。 （３）Ｙ軸の移動回数をｂ＝ｂ−１とし、Ｘの移動方向
の符号を変える。(ｂ＝４) （４）−Ｘ軸方向に１タイルピッチでａ回移動する。 （５）＋Ｙ軸方向に１タイルピッチで３回移動する。 （６）Ｙの移動回数をｂ＝ｂ−３とし、Ｘの移動方向の
符号を変える。（ｂ＝１） （７）＋Ｘ軸方向に１タイルピッチでａ回移動する。 （８）＋Ｙ軸方向に１タイルピッチで１回移動する。 （１０）Ｙの移動回数をb=b−１とし、Ｘの移動方向の
符号を変える。（ｂ＝０） （１１）−Ｘ軸方向に１タイルピッチでａ回移動する。 （１２）軸移動終了（ステータスで出力） スキャンパターンを図３に示す。
【００２５】本装置の動作としては、図４のフローチャ
ート１および図５のフローチャート２に示す通りであ
る。また、被検査物の大きさに応じてセンサ２個のうち
１個のみを使用する場合もある。
ート１および図５のフローチャート２に示す通りであ
る。また、被検査物の大きさに応じてセンサ２個のうち
１個のみを使用する場合もある。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、Ｘ線検査
装置として大きい検査物を動かすより、小さなＸ線検出
センサを動かすことで省スペースに装置が構成され、Ｘ
線検出手段を複数にし検出面積を大きくすることで時間
短縮を図り、１枚の合成画像として表示することが得ら
れるという有効な効果が得られる。
装置として大きい検査物を動かすより、小さなＸ線検出
センサを動かすことで省スペースに装置が構成され、Ｘ
線検出手段を複数にし検出面積を大きくすることで時間
短縮を図り、１枚の合成画像として表示することが得ら
れるという有効な効果が得られる。
【図１】本発明の一実施の形態によるＸ線検査装置の構
成を示す図
成を示す図
【図２】本発明の一実施の形態によるＸ線検査機構系ユ
ニットを示す斜視図
ニットを示す斜視図
【図３】本発明の一実施の形態によるＸ線検査装置のス
キャニングパターンを示す図
キャニングパターンを示す図
【図４】本発明の一実施の形態によるＸ線検査装置の電
源投入〜レディまでのフローチャート
源投入〜レディまでのフローチャート
【図５】本発明の一実施の形態によるＸ線検査装置のレ
ディ〜タイリング撮影までのフローチャート
ディ〜タイリング撮影までのフローチャート
【図６】従来のＸ線検査装置の構成を示す概略図
１ Ｘ線管ユニット
２ シャッター
３ Ｘ線管ユニット回転用モータユニット
４ Ｘ線管ユニットステージ
５ 被検査物ステージ
６ａ Ｘ線センサ：CCD１
６ｂ Ｘ線センサ：CCD２
７ センサホルダ＆Ｘ軸テーブル
８ Ｘ軸駆動モータ
９ Ｙ軸テーブル
１０ Ｙ軸駆動モータ
１１ センサユニットステージ
１２ 筐体
フロントページの続き
(72)発明者 川崎 守亮
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
(72)発明者 井野 芳浩
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
(72)発明者 中嶋 博
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
(72)発明者 石野 久秀
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
(72)発明者 馬場 末喜
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 DA02 DA06
DA10 JA01 JA06 JA20 MA10
SA29
Claims (10)
- 【請求項１】 被検査物にＸ線を照射するＸ線照射手段
と、照射したＸ線を受ける１つ以上の検出手段と、前記
検出手段を移動させる移動手段を備え、前記移動手段で
前記検出手段を少なくとも被検査物の面積に相当する部
分で移動させるＸ線検査装置。 - 【請求項２】 複数の検出手段を所定間隔離して配置
し、これら複数の検出手段を同時に移動させる請求項１
記載のＸ線検査装置。 - 【請求項３】 所定間隔として、複数の検出手段間の距
離が、各検出手段の有効検出部分の長さの略ｎ倍（ｎ：
自然数）にした請求項２記載のＸ線検査装置。 - 【請求項４】 複数の検出手段の配置に応じて、移動手
段での移動距離を被検査面に対し不足なくかつ重複が最
小限になるようにした請求項２または３記載のＸ線検査
装置。 - 【請求項５】 検出手段の位置に対応してＸ線照射手段
を少なくとも移動、回転のいずれかを行うＸ線照射手段
移動手段を設けた請求項１から４のいずれかに記載のＸ
線検査装置。 - 【請求項６】 被検査物にＸ線を照射するＸ線照射手段
と、照射したＸ線を受ける１つ以上の検出手段と、前記
検出手段を移動する移動手段と、前記検出手段を制御す
る複数の駆動制御手段を備え、前記各検出手段と駆動制
御手段は各々接続し、前記各駆動制御手段の間に駆動の
同期を行う同期手段と、前記各駆動制御手段を介して検
出手段からの信号を入力する処理手段を１つ以上設け、
前記各処理手段からの処理信号を入力し、画像を合成す
る画像合成手段を設けたＸ線検査装置。 - 【請求項７】 被検査物にＸ線を照射するステップと、
前記被検査物に照射されたＸ線を検出手段で検出するス
テップを有し、前記検出するステップとして、検出手段
を少なくとも被検査物の面積に相当する部分で移動させ
ながら検出するＸ線検査装置の制御方法。 - 【請求項８】 複数の検出手段を配置したＸ線検査装置
で、複数の検出手段を、移動手段で被検査面に対し不足
なくかつ重複が最小限になるように移動する請求項７記
載のＸ線検査装置の制御方法。 - 【請求項９】 被検査物にＸ線を照射するＸ線照射手段
と、照射したＸ線を受ける複数の検出手段と、前記検出
手段を移動させる移動手段を備えたＸ線検査装置で、第
１の検出手段のＸ線の有効検出部分を構成する画素の並
びと移動方向を合わせ、その後、他の検出手段のＸ線の
有効検出部分を構成する画素の並びと前記第１の検出手
段のＸ線の有効検出部分を構成する画素の並びを合わせ
るＸ線検査装置の調整方法。 - 【請求項１０】 複数の検出手段間の距離が、各検出手
段のＸ線の有効検出部分の長さの略ｎ倍（ｎ：自然数）
にして配置する請求項９記載のＸ線検出装置の調整方
法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001359240A JP2003156454A (ja) | 2001-11-26 | 2001-11-26 | Ｘ線検査装置とその制御方法と調整方法 |
| US10/433,421 US20040066888A1 (en) | 2001-11-26 | 2002-11-20 | X-ray examining device, and its control method and its adjusting method |
| KR10-2003-7008928A KR20030072586A (ko) | 2001-11-26 | 2002-11-20 | Ｘ선 검사 장치 및 그 제어 방법과 조정 방법 |
| CNA028032942A CN1479867A (zh) | 2001-11-26 | 2002-11-20 | X射线检查装置及其控制和调节方法 |
| PCT/JP2002/012119 WO2003046532A1 (fr) | 2001-11-26 | 2002-11-20 | Dispositif d'examen radiographique, procedes de commande et de reglage associes |
| TW091134213A TW587164B (en) | 2001-11-26 | 2002-11-25 | X-ray inspection apparatus, and the control method and adjust method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001359240A JP2003156454A (ja) | 2001-11-26 | 2001-11-26 | Ｘ線検査装置とその制御方法と調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003156454A true JP2003156454A (ja) | 2003-05-30 |
Family
ID=19170283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001359240A Pending JP2003156454A (ja) | 2001-11-26 | 2001-11-26 | Ｘ線検査装置とその制御方法と調整方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20040066888A1 (ja) |
| JP (1) | JP2003156454A (ja) |
| KR (1) | KR20030072586A (ja) |
| CN (1) | CN1479867A (ja) |
| TW (1) | TW587164B (ja) |
| WO (1) | WO2003046532A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPWO2005008228A1 (ja) * | 2003-07-22 | 2006-08-31 | ポニー工業株式会社 | 透過撮影装置 |
| JP2013085919A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-13 | Juki Corp | ミシン |
| WO2016170685A1 (ja) * | 2015-04-24 | 2016-10-27 | 株式会社ニコン | Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法および構造物の製造方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101308103B (zh) * | 2008-07-14 | 2010-10-27 | 成都理工大学 | 一种微束微区x射线探针分析仪 |
| WO2016058957A1 (en) * | 2014-10-13 | 2016-04-21 | Koninklijke Philips N.V. | Detector rotation controlled by x-ray collimation |
| JP6555139B2 (ja) * | 2016-01-19 | 2019-08-07 | 横浜ゴム株式会社 | コンベヤベルトの検査装置 |
| KR102559184B1 (ko) * | 2018-08-29 | 2023-07-26 | 한화오션 주식회사 | 구조물의 방사선 투과검사 장치 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5850453A (ja) * | 1981-09-21 | 1983-03-24 | Mitsubishi Electric Corp | 物品検査システム |
| JP2696471B2 (ja) * | 1993-05-25 | 1998-01-14 | 株式会社シム | 基板半田付け状態検査装置 |
| JPH07151709A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-16 | Toshiba Corp | ラインセンサ透視装置 |
| US5712890A (en) * | 1994-11-23 | 1998-01-27 | Thermotrex Corp. | Full breast digital mammography device |
| US5583904A (en) * | 1995-04-11 | 1996-12-10 | Hewlett-Packard Co. | Continuous linear scan laminography system and method |
-
2001
- 2001-11-26 JP JP2001359240A patent/JP2003156454A/ja active Pending
-
2002
- 2002-11-20 CN CNA028032942A patent/CN1479867A/zh active Pending
- 2002-11-20 KR KR10-2003-7008928A patent/KR20030072586A/ko not_active Application Discontinuation
- 2002-11-20 US US10/433,421 patent/US20040066888A1/en not_active Abandoned
- 2002-11-20 WO PCT/JP2002/012119 patent/WO2003046532A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2002-11-25 TW TW091134213A patent/TW587164B/zh not_active IP Right Cessation
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| JPWO2016170685A1 (ja) * | 2015-04-24 | 2018-02-15 | 株式会社ニコン | Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法および構造物の製造方法 |
| US10809208B2 (en) | 2015-04-24 | 2020-10-20 | Nikon Corporation | X-ray inspection device, X-ray inspection method, and method of manufacturing structure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW587164B (en) | 2004-05-11 |
| US20040066888A1 (en) | 2004-04-08 |
| TW200302919A (en) | 2003-08-16 |
| KR20030072586A (ko) | 2003-09-15 |
| CN1479867A (zh) | 2004-03-03 |
| WO2003046532A1 (fr) | 2003-06-05 |
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