JPH06265487A

JPH06265487A - 透過ｘ線による断層像検出方法とその装置

Info

Publication number: JPH06265487A
Application number: JP5053488A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Ayabe; 寿彦綾部; Tomohiro Kuni; 朝宏久邇; Toshiaki Ichinose; 敏彰一ノ瀬; Hiroya Koshishiba; 洋哉越柴
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1993-03-15
Filing date: 1993-03-15
Publication date: 1994-09-22

Abstract

(57)【要約】【目的】コントラストを低下させることなく、撮像対
象内の任意の高さでの鮮明なＸ線断層像を検出するこ
と。【構成】Ｘ線発生部１から撮像対象３に照射角度が変
えられた状態でＸ線２が照射された場合、対象３からの
透過Ｘ線像は検出部４で照射角度対応に検出されるが、
これら透過Ｘ線像では、部材５による像が相異なる位置
に存在したものとして得られるので、画像処理によりこ
れら透過Ｘ線画像間の対応する部分各々について、透過
Ｘ線量が多い方の画像値を積極的に選択した上、合成す
るようにすれば、部材５による像が含まれない透過Ｘ線
画像が得られるというものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、透過Ｘ線による断層像
検出方法とその装置に係わり、特に両面実装回路基板上
の表面実装部品のはんだ付部検査や、多層構造の回路基
板の内部構造の検査と測定、表面実装部品の内部構造の
検査等に好適とされた透過Ｘ線による断層像検出方法と
その装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、透過Ｘ線により対象物内部の
ある着目焦点面での断層像を検出する技術としてラミノ
グラフィが知られているが、この技術による場合、Ｘ線
源、対象物、検出器の３つの要素のうち、何れか２つの
要素が同期した状態で移動せしめられることによって、
断層像が検出されるものとなっている。

【０００３】また、以上とは別に、この種の技術に関す
るものとしては、例えば特開昭５９−１１６０４０号公
報に記載のものが知られている。この技術では、物体を
固定放射線源によって照射する段階にして、その物体
と、放射線を感受するとともに放射線源に関してその物
体の次に位置し、かつ１つの面内に含まれている表面と
をそれぞれ第１軸線および第２軸線の周りにおいて同じ
方向に同期的に回転させるようになっており、この時、
その第１軸線および第２軸線が相互に平行であり、かつ
その第１軸線が正の比の相似変換および放射線源の中心
によって第２軸線に変換されるように配設され、その放
射線源、物体および感受面がその回転時に放射線に晒さ
れる状態にとどまるように配置されている段階と、その
物体の断面を含む面が第１軸線を第２軸線に変換する相
似変換によって感受面を含む面に変換されるようになっ
た段階と、前記面が前記軸線と０度、またはこれより大
にして９０度より小なる同じ値の角度を形成し、前記感
受面上に前記断面の少なくとも一部分の像を形成するよ
うになった段階とを有し、これにより１つの面内に含ま
れる物体の断面に沿って、その物体の断層撮影が行われ
るべく構成されたものとなっている。換言すれば、この
技術では、対象物とフィルムを同期回動させることによ
って、断面撮像が行われるものとなっている。

【０００４】更に、特開平２−５０１４１１号公報に
は、電子ビームを回転偏向することで、Ｘ線源を円形パ
ターンで移動せしめるとともに、蛍光スクリーンを円形
経路に沿って進ませることによって、断層撮像が行われ
るものとなっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術は何れも着目焦点面上のある部分でのＸ線像は常
に一定で動かず、それ以外のＸ線像は移動されるように
して、Ｘ線像が連続に撮像された上、加算されることに
よって、その加算結果として断層像が得られるものとな
っている。これがために、着目焦点面以外の部分での像
がその断層像にぼやけた状態で存在し、画像上でのコン
トラストの劣化は否めないものとなっている。本発明の
目的は、コントラストを低下させることなく、撮像対象
内の任意の高さでの鮮明なＸ線断層像が検出可とされ
た、透過Ｘ線による断層像検出方法とその断層像検出方
法を実施する上で好適とされた各種断層像検出装置を供
するにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的は、撮像対象内
の同一焦点面について複数枚の透過Ｘ線画像を得るべ
く、上記撮像対象に様々な方向からＸ線を照射する一
方、該撮像対象からの透過Ｘ線像をＸ線照射方向対応に
検出した上、該複数の透過Ｘ線画像から、同一対応点各
々について、最大透過Ｘ線量に係る画像値が選択・合成
されることで、上記焦点面での断層像が１枚の透過Ｘ線
画像として検出されることで達成される。

【０００７】また、上記以外の透過Ｘ線による断層像検
出方法や、透過Ｘ線による断層像検出装置としては、各
種構成のものが考えられるものとなっている。即ち、以
下に示す各種構成のものである。その１は、撮像対象内
の焦点面での透過Ｘ線画像を検出するための断層像検出
装置であって、Ｘ線照射方向が更新される度に、撮像対
象にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線照射の度に、上記撮
像対象からの透過Ｘ線像を光学画像に変換する第１の画
像変換手段と、該第１の画像変換手段からの光学画像を
画像信号に変換する第２の画像変換手段と、該第２の画
像変換手段からの画像信号にもとづき、上記複数の透過
Ｘ線画像対応の光学画像から、同一対応点各々につい
て、最大に係る画像値が選択・合成されることで、上記
焦点面での断層像を１枚の光学画像として検出する画像
処理・検出手段と、を含む、透過Ｘ線による断層像検出
装置である。

【０００８】その２は、撮像対象内の焦点面での透過Ｘ
線画像を検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線
照射方向が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射する
Ｘ線源と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ
線像を光学画像に変換する、イメージインテンシファイ
ア、蛍光板、または１次元Ｘ線ディテクタとしての第１
の画像変換手段と、該第１の画像変換手段からの光学画
像を画像信号に変換する第２の画像変換手段と、該第２
の画像変換手段からの画像信号にもとづき、上記複数の
透過Ｘ線画像対応の光学画像から、同一対応点各々につ
いて、最大に係る画像値が選択・合成されることで、上
記焦点面での断層像を１枚の光学画像として検出する画
像処理・検出手段と、を含む、透過Ｘ線による断層像検
出装置である。

【０００９】その３は、撮像対象内の焦点面での透過Ｘ
線画像を検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線
照射方向が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射する
Ｘ線源と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ
線像を光学画像に変換する第１の画像変換手段と、該第
１の画像変換手段からの光学画像を画像信号に変換す
る、撮像管と該撮像管からの画像信号を加算する加算回
路からなる第２の画像変換手段と、該第２の画像変換手
段からの画像信号にもとづき、上記複数の透過Ｘ線画像
対応の光学画像から、同一対応点各々について、最大に
係る画像値が選択・合成されることで、上記焦点面での
断層像を１枚の光学画像として検出する画像処理・検出
手段と、を含む、透過Ｘ線による断層像検出装置であ
る。

【００１０】その４は、撮像対象内の焦点面での透過Ｘ
線画像を検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線
照射方向が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射する
Ｘ線源と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ
線像を光学画像に変換する第１の画像変換手段と、上記
撮像対象を傾斜、移動させる対象物駆動手段と、該第１
の画像変換手段からの光学画像を画像信号に変換する第
２の画像変換手段と、該第２の画像変換手段からの画像
信号にもとづき、上記複数の透過Ｘ線画像対応の光学画
像から、同一対応点各々について、最大に係る画像値が
選択・合成されることで、上記焦点面での断層像を１枚
の光学画像として検出する画像処理・検出手段と、を含
む、透過Ｘ線による断層像検出装置である。

【００１１】その５は、撮像対象内の焦点面での透過Ｘ
線画像を検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線
照射方向が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射する
Ｘ線源と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ
線像を光学画像に変換する、傾斜、移動可とされた第１
の画像変換手段と、該第１の画像変換手段からの光学画
像を画像信号に変換する第２の画像変換手段と、該第２
の画像変換手段からの画像信号にもとづき、上記複数の
透過Ｘ線画像対応の光学画像から、同一対応点各々につ
いて、最大に係る画像値が選択・合成されることで、上
記焦点面での断層像を１枚の光学画像として検出する画
像処理・検出手段と、を含む、透過Ｘ線による断層像検
出装置である。

【００１２】その６は、撮像対象内の焦点面での透過Ｘ
線画像を検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線
照射方向が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射する
Ｘ線源と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ
線像を光学画像に変換する第１の画像変換手段と、該第
１の画像変換手段からの光学画像を画像信号に変換する
第２の画像変換手段と、該第２の画像変換手段からの画
像信号にもとづき、上記複数の透過Ｘ線画像対応の光学
画像から、該光学画像間のパターンマッチングにより該
光学画像各々での同一対応点を検出した上、該同一対応
点各々について、最大に係る画像値が選択・合成される
ことで、上記焦点面での断層像を１枚の光学画像として
検出する画像処理・検出手段と、を含む、透過Ｘ線によ
る断層像検出装置である。

【００１３】その７は、撮像対象内の焦点面での透過Ｘ
線画像を検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線
照射方向が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射する
Ｘ線源と、該Ｘ線源を移動する手段と、Ｘ線照射の度
に、上記撮像対象からの透過Ｘ線像を光学画像に変換す
る第１の画像変換手段と、該第１の画像変換手段からの
光学画像を画像信号に変換する第２の画像変換手段と、
該第２の画像変換手段からの画像信号にもとづき、上記
複数の透過Ｘ線画像対応の光学画像から、同一対応点各
々について、最大に係る画像値が選択・合成されること
で、上記焦点面での断層像を１枚の光学画像として検出
する画像処理・検出手段と、を含む、透過Ｘ線による断
層像検出装置である。

【００１４】その８は、撮像対象内の焦点面での透過Ｘ
線画像を検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線
照射方向が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射する
Ｘ線源と、上記撮像対象を傾斜、回転、移動させる対象
物駆動手段と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透
過Ｘ線像を光学画像に変換する、上記対象物駆動手段に
同期して傾斜、回転可とされた第１の画像変換手段と、
該第１の画像変換手段からの光学画像を画像信号に変換
する第２の画像変換手段と、該第２の画像変換手段から
の画像信号にもとづき、上記複数の透過Ｘ線画像対応の
光学画像から、同一対応点各々について、最大に係る画
像値が選択・合成されることで、上記焦点面での断層像
を１枚の光学画像として検出する画像処理・検出手段
と、を含む、透過Ｘ線による断層像検出装置である。

【００１５】その９は、撮像対象内の同一焦点面につい
て複数枚の透過Ｘ線画像を得るべく、発生位置が更新可
として発生せしめられているＸ線を撮像対象に照射する
一方、該撮像対象からの透過Ｘ線量を、相異なる１以上
の位置で画像信号として検出した上、画像信号にもとづ
く光学画像から、同一対応点各々について、最大に係る
画像値が選択・合成されることで、上記焦点面での断層
像が１枚の光学画像として検出されるようにした、透過
Ｘ線による断層像検出方法である。

【００１６】その１０は、撮像対象内の焦点面での透過
Ｘ線画像を検出するための断層像検出装置であって、撮
像対象にＸ線を照射する、電磁的に電子ビームが走査可
とされたマイクロフォーカスＸ線管としてのＸ線源と、
上記撮像対象からの透過Ｘ線像を画像信号に変換する、
１以上の１次元Ｘ線ディテクタとしての画像変換手段
と、該画像変換手段からの画像信号にもとづき、上記複
数の透過Ｘ線画像対応の光学画像から、同一対応点各々
について、最大に係る画像値が選択・合成されること
で、上記焦点面での断層像を１枚の光学画像として検出
する画像処理・検出手段と、を含む、透過Ｘ線による断
層像検出装置である。

【００１７】その１１は、撮像対象内の焦点面での透過
Ｘ線画像を検出するための断層像検出装置であって、Ｘ
線照射方向が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射す
るＸ線源と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過
Ｘ線像を光学画像に変換する第１の画像変換手段と、該
第１の画像変換手段からの光学画像を画像信号に変換す
る第２の画像変換手段と、該第２の画像変換手段からの
画像信号にもとづき、上記複数の透過Ｘ線画像対応の光
学画像から、同一対応点各々について、最大に係る画像
値が選択・合成されることで、上記焦点面での断層像を
１枚の光学画像として検出する画像処理・検出手段と、
上記撮像対象物および第１の画像変換手段を、常時撮像
範囲の同じ位置に該撮像対象物の着目部分が存在するべ
く同期して移動させる同期移動手段と、を含む、透過Ｘ
線による断層像検出装置である。

【００１８】

【作用】撮像対象にＸ線を照射し通常の透過Ｘ線画像を
得るに際し、撮像対象内の着目焦点面での像が移動しな
いように、様々な方向からそのような撮像を複数回繰り
返し行うことによって、複数枚の透過Ｘ線画像を得るよ
うにしたものである。その後、更に、これら画像にシェ
ーディング等の画像処理を行うことによって、画像の明
るさ補正を行うが、このようにして得られた画像の各対
応点の中で、最も明るい値を選択、合成することで、選
択・合成結果として、コントラストを低下させることな
く、撮像対象内の着目焦点面でのＸ線断層像が鮮明に検
出され得るものである。

【００１９】

【実施例】以下、本発明を図１から図９により説明す
る。先ず本発明を具体的に説明する前に、その原理につ
いて説明しておく。図１はその原理を示したものであ
る。図示のように、Ｘ線発生部１から撮像対象（本例で
は回路基板を想定）３にＸ線２が照射された場合には、
撮像対象３からの透過Ｘ線像はＸ線検出部４によって検
出されるものとなっている。その際、着目焦点面６以外
の部分に配線パターン等の異質な部材５が存在する場合
には、部材５による像が着目焦点面６での像に重なって
しまい、部材５に吸収される分だけ透過Ｘ線量が減って
しまうというものである。そこで、再度、Ｘ線照射角度
を変えた状態で撮像するようにすれば、部材５の位置が
前回とは異なる位置に重なった透過Ｘ線画像が得られる
ので、この２つの透過Ｘ線画像間の対応する部分各々に
ついて、透過Ｘ線量が多い方の画像値を積極的に選択し
た上、合成するようにすれば、部材５による像が含まれ
ない透過Ｘ線画像が得られるというものである。実際に
は、配線パターン等の部材５は撮像対象３内の様々な位
置に複数存在しているので、撮像対象３に対しては様々
な方向からＸ線を照射するようにして、複数回に亘って
撮像を行い、この中から、最も透過Ｘ線量の多い画像部
分を選択した上、合成すればよいものである。

【００２０】さて、本発明を具体的に説明すれば、図２
は本発明による、透過Ｘ線による断層像検出装置の原理
的構成を示したものである。図示のように、位置決めス
テージ７上に固定されている撮像対象３に、Ｘ線源１１
からＸ線２が照射された場合、そのＸ線２は対象物３を
介し透過Ｘ線画像として得られるが、その透過Ｘ線画像
はＸ線検出部４で光学像変換手段４１により一旦光学画
像に変換された後は、映像情報変換手段４２により画像
信号に変換された上、更に、画像処理部８で所定に画像
処理されるものとなっている。複数回に亘ってＸ線照射
方向を更新する度に、透過Ｘ線画像を検出するようにし
て、画像処理１０ではこれら画像を所定に画像処理する
ことで、その画像処理結果として、着目焦点面６のみの
Ｘ線断層像が得られているものである。その際、Ｘ線源
１１での菅電圧や菅電流等はＸ線制御部１２によって制
御されているものであり、また、Ｘ線源１１は高解像な
微小焦点Ｘ線源として構成されており、撮像対象３内の
微小物はその像が拡大された状態で透過Ｘ線画像として
検出され得るものである。

【００２１】図３は本発明による、透過Ｘ線による断層
像検出装置の一例での具体的構成を示したものである。
これによる場合、位置決めステージ７は光軸１０を遮ら
ない透過型のものとされ、ＸＹステージ７１、回転ステ
ージ７２、θステージ７３およびＺステージ７４より構
成された上、撮像対象３はチャック７５を介し位置決め
ステージ７上に固定されたものとなっている。また、Ｘ
線検出部４は、透過Ｘ線画像を光学像に変換する手段で
あるＸ線イメージインテンシファイア４１、光学像の向
きを変えるための反射鏡４２１、光学像を画像情報であ
る画像信号に変換する手段であるカルニコンカメラ４２
４、回転ステージ４２２およびθステージ４２３より構
成されており、カルニコンカメラ４２４からの画像信号
は画像処理部８で処理されているものである。位置決め
ステージ７、Ｘ線制御部１２、回転ステージ４２２およ
びθステージ４２３が制御部９による制御下におかれた
状態で、Ｘ線源１１から照射されたＸ線２は撮像対象３
を介し透過Ｘ線画像としてＸ線イメージインテンシファ
イア４１で光学像に変換・増幅されるものとなってい
る。その光学像は反射鏡４２１により向きが変えられた
状態で、カルニコンカメラ４２４によって画像信号に変
換されているものである。カルニコンカメラ４２４から
の画像信号は画像処理部８で処理されるが、その画像信
号による画像、または中間画像処理結果、あるいは最終
画像処理結果に係る画像はまた、必要に応じディスプレ
イ２１上に表示可とされているものである。なお、Ｘ線
イメージインテンシファイア４１を螢光板、あるいはシ
ンチレータに置換したり、カルニコンカメラ９をビジコ
ン、ハーピコン、またはＣＣＤカメラに置換しても同様
の効果が得られることは勿論である。

【００２２】ところで、以上の断層像検出装置での断層
像撮像に際しては、位置決めステージ７や回転ステージ
４２２、θステージ４２３各々での動きは重要となって
いる。Ｘ線イメージインテンシファイア４１はその受光
面４１１内にθステージ４２３の回転軸Ｘ２を含み、か
つその回転軸Ｘ２が受光面４１１の中央を通るべく調整
・固定されており、また、回転ステージ４２２の回転軸
Ｘ３はＸ線イメージインテンシファイア４１の受光面４
１１に垂直、かつ受光面４１１の中央を通るべく予め調
整されたものとなっている。断層像撮像に際しては、着
目焦点面６がθステージ７３の回転軸Ｘ１を含み、イＸ
線メージインテンシファイア４１の受光面４１１と平行
になるよう、撮像対象３がチャック７５を介し位置決め
ステージ７上に固定された状態で、制御部９による制御
下に、着目焦点面６とＸ線イメージインテンシファイア
４１の受光面４１１が平行、かつＸ線照射範囲内に着目
焦点面６が入るよう、θステージ７３とθステージ４２
３を、回転ステージ７２と回転ステージ４２２を同期し
て動かすようにすればよいというものである。このよう
にして、様々なＸ線照射角度対応に透過Ｘ線画像が得ら
れるが、得られた透過Ｘ線画像はイメージインテンシフ
ァイア４１、反射鏡４２１、カルニコンカメラ４２４に
よって画像信号に変換された上、画像処理部８で所定に
所定に処理されているものである。画像処理部８では、
カルニコンカメラ４２４からの画像信号はディジタル画
像信号に変換後、これら複数枚のディジタル画像に対し
てはシェーディング補正等の補正が行われ、各画像の対
応点の中から、透過Ｘ線量の多い画像値が選択されるよ
うにすれば、選択された画像値の集合として所望のＸ線
断層像が得られるものである。このように、着目焦点面
６でのＸ線断層像が得られるものであるが、したがっ
て、撮像対象３として回路基板を想定し、その表面はん
だ付部面が着目焦点面６となるべく、制御部１９により
事前調整設定（イメージインテンシファイヤ４１で検出
される複数のＸ線照射角度に対応した複数の透過Ｘ線画
像において、撮像対象であるはんだ付け部の同一箇所が
同一位置として検出されるべく、Ｘ線源１１とステージ
７上に載置された撮像対象３とＸ線検出部４との相対的
位置関係を予め制御設定しておくことを意味しており、
これで、同一対応点を示す位置関係が確保されるもので
ある）されていれば、回路基板表面でのＸ線断層像が得
られるものである。したがって、画像処理部８では、そ
のＸ線断層像よりはんだ付部の良否と相関の強い部分の
データを抽出した上、適当なアルゴリズムにもとづいて
画像処理が行われる場合は、回路基板表面におけるはん
だ付部各々に対し良否判定を行うことが可能となるもの
である。

【００２３】図５は本発明による、透過Ｘ線による断層
像検出装置の他の例での原理的構成を示したものであ
る。図示のように、走査型のＸ線源１１１から発生され
たＸ線２は撮像対象３に放射状に照射される一方、撮像
対象３からの透過Ｘ線は４箇所に配置された１次元Ｘ線
検出器４０によって直接画像信号に変換されるものとな
っている。このように、走査型のＸ線源１１１と複数の
１次元Ｘ線検出器４０とを組合せることによっては、１
サイクルの走査に対し１次元Ｘ線検出器４０の数だけ、
様々な角度からの透過Ｘ線画像が同時に得られるもので
ある。換言すれば、Ｘ線断層像を得るに際して、ステー
ジ移動等の機械的な動き不要として、実時間でＸ線断層
像が得られるものである。

【００２４】ところで、その際、使用される走査型のＸ
線源１１１であるが、図６にその走査型のＸ線源１１１
の内部構成を示す。Ｘ線源１１１はその内部で電子ビー
ムが走査可とされた封止式Ｘ線管として構成され、Ｘ線
制御部１２１による制御下に、電子銃１１１１から発生
された電子ビームは電磁的に偏向走査された状態で、透
過型の金属ターゲット１１１２に照射されることによっ
て、Ｘ線発生点３２は金属ターゲット１１１２上で２次
元的に高速に走査可とされているものである。図７はま
た、同じくその際、使用される１次元Ｘ線検出器４０の
内部構成を示したものである。図示のように、１次元Ｘ
線検出器４０は、Ｘ線像を光学像に変換する手段である
シンチレータ４０１と、その光学像を画像情報である画
像信号に変換する光電子増倍管４０２とから構成されて
いるが、シンチレータ４０１にはそのＸ線受光面４０１
１部分に絞り４０３が設けられることで、撮像対象３か
らの透過Ｘ線は画像信号に直接変換され得るものとなっ
ている。

【００２５】図８は図５に示す断層像検出装置での断層
像検出原理を示したものである。既述のように、走査型
のＸ線源１１１から発生されたＸ線２は撮像対象３に放
射状に照射される一方、撮像対象３からの透過Ｘ線は１
次元Ｘ線検出器４０によって直接画像信号に変換される
が、Ｘ線発生点１１１３が２次元的に走査される際に、
着目焦点６での像がその走査に同期して１次元Ｘ線検出
器４０各々で画像信号として検出されるものとなってい
る。その際、着目焦点面６での像が１次元Ｘ線検出器４
０各々に入射するような走査範囲１１１０は、着目焦点
面６および１次元Ｘ線検出器４０の位置によって変化す
るが、１次元Ｘ線検出器４０各々と着目焦点面６とを結
ぶ直線が走査型のＸ線源１１１に交わる範囲とされる。
１次元Ｘ線検出器４０を相異なる位置に複数配置した状
態で、走査型のＸ線源１１１が１サイクル走査される間
に、それぞれに固有な走査範囲１１１０にＸ線発生点が
ある時と同期して、透過Ｘ線を１次元Ｘ線検出器４０各
々で検出すれば、１サイクルの走査が行われる間に、複
数の透過Ｘ線像が実時間で検出可とされるものである。
例えば４つの１次元Ｘ線検出器４０が配置されている場
合は、Ｘ線発生点がターゲット面を２次元的に走査する
ことで、１回の撮像に対し４つの１次元Ｘ線検出器４０
各々によって、それぞれＸ線照射角度が相異なる４枚の
透過Ｘ線画像が同時に検出され得るものである。図３に
示す例では、１回の撮像に対し１つの検出画像しか得ら
れないが、これに対し１次元Ｘ線検出器４０が必要数配
置される場合には、同一１サイクルの走査が行われてい
る間に、必要数の透過Ｘ線像が実時間で検出可とされ、
より高品質なＸ線断層撮影像が得られるものである。

【００２６】図９はまた、図５に示す断層像検出装置の
基本的構成を示したものである。これによる場合、ＸＹ
ステージ７１およびθステージ７３から構成されている
Ｘ線透過型の位置決めステージ７上には、撮像対象３が
チャック７５を介し固定された状態で、Ｘ線制御部３０
による制御下に、Ｘ線源１１１からは、電子ビーム走査
によるＸ線２が発生された上、撮像対象３に照射される
ものとなっている。そのＸ線２は撮像対象３を透過さ
れ、透過Ｘ線は既述の１次元Ｘ線検出器４０各々によっ
て画像信号として検出されているものである。制御部９
による制御下に、着目焦点面の像が検出されるのに同期
して、１次元Ｘ線検出器４０各々からの画像信号からは
透過Ｘ線画像が得られているものであり、それら透過Ｘ
線画像からは、画像処理部８によりＸ線断層像が合成結
果として得られるものである。

【００２７】

【発明の効果】以上、説明したように。請求項１，１０
による場合は、コントラストを低下させることなく、撮
像対象内の任意の高さでの鮮明なＸ線断層像が検出可と
された、透過Ｘ線による断層像検出方法が、また請求項
２〜９、１１，１２による場合には、コントラストを低
下させることなく、撮像対象内の任意の高さでの鮮明な
Ｘ線断層像が検出可とされた、透過Ｘ線による断層像検
出装置がそれぞれ得られるものとなっている。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係る、透過Ｘ線による断層像
検出原理を示す図

【図２】図２は、本発明による、透過Ｘ線による断層像
検出装置の第１の原理的構成を示す図

【図３】図３は、本発明による、透過Ｘ線による断層像
検出装置の一例での具体的構成を示す図

【図４】図４は、本発明による回路基板のＸ線断層撮影
装置の第２の実施例の基本構成を示す図である。

【図５】図５は、本発明による、透過Ｘ線による断層像
検出装置の原理的構成を示す図

【図６】図６は、走査型のＸ線源の内部構成を示す図

【図７】図７は、１次元Ｘ線検出器の内部構成を示す図

【図８】図８は、図５に示す断層像検出装置での断層像
検出原理を示す図

【図９】図９は、図５に示す断層像検出装置の基本的構
成を示す図

【符号の説明】

１…Ｘ線発生部、１１…Ｘ線源、１１１…走査型のＸ線
源、２…Ｘ線、３…撮像対象、４…Ｘ線検出部、４０…
１次元Ｘ線検出器、４１…光学像変換手段、４２…映像
（画像）情報変換手段、６…着目焦点面、７…位置決め
ステージ、８…画像処理部、９…制御部、１２，１２１
…Ｘ線制御部

【手続補正書】

【提出日】平成５年３月１９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】明細書

【発明の名称】透過Ｘ線による断層像検出方法とその装
置

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【０００２】

【０００５】

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的は、撮像対象に
対して相対的に複数方向からＸ線を照射し、上記撮像対
象内の同一焦点面についての複数枚の透過Ｘ線画像を検
出し、該検出された複数の透過Ｘ線画像から、同一対応
点各々について、最大透過Ｘ線量に係る画像値を選択・
合成して焦点面での断層像を１枚の透過Ｘ線画像として
検出することで達成される。

【０００７】また、上記以外の透過Ｘ線による断層像検
出方法や、透過Ｘ線による断層像検出装置としては、各
種構成のものが考えられるものとなっている。即ち、以
下に示す各種構成のものである。その１は、撮像対象に
対して相対的に複数方向からＸ線を照射するＸ線照射手
段と、上記撮像対象内の同一焦点面についての複数枚の
透過Ｘ線画像信号を検出する検出手段と、該手段によっ
て検出された複数の透過Ｘ線画像信号から、同一対応点
の各々について、最大透過Ｘ線量に係る画像値を選択・
合成して焦点面での断層像を１枚の透過Ｘ線画像として
検出する選択・合成画像処理手段とを備えた透過Ｘ線に
よる断層像検出装置である。

【０００８】その２は、撮像対象に対して相対的に複数
方向からＸ線を照射するＸ線照射手段と、上記撮像対象
内の同一焦点面についての複数枚の透過Ｘ線画像の各々
を検出して複数枚の光学画像に変換する検出手段と、該
検出手段によって検出された複数枚の光学画像から複数
枚の透過Ｘ線画像信号に変換する変換手段と、該変換手
段によって変換された複数枚の透過Ｘ線画像信号から、
同一対応点の各々について、最大透過Ｘ線量に係る画像
値を選択・合成して焦点面での断層像を１枚の透過Ｘ線
画像として検出する選択・合成画像処理手段とを備えた
透過Ｘ線による断層像検出装置である。

【０００９】その３は、撮像対象に対して相対的に複数
方向からＸ線を照射するＸ線照射手段と、上記撮像対象
内の同一焦点面についての複数枚の透過Ｘ線画像信号を
検出する検出手段と、該検出手段によって検出された複
数枚の透過Ｘ線画像信号の各々を加算する加算手段と、
該加算手段で加算された複数枚の透過Ｘ線画像信号か
ら、同一対応点の各々について、最大透過Ｘ線量に係る
画像値を選択・合成して焦点面での断層像を１枚の透過
Ｘ線画像として検出する選択・合成画像処理手段とを備
えた透過Ｘ線による断層像検出装置である。

【００１０】その４は、上記その２において、Ｘ線照射
手段は、撮像対象を傾斜、または移動させて撮像対象に
対し、相対的に複数方向からＸ線を照射するように構成
された透過Ｘ線による断層像検出装置である。

【００１１】その５は、上記その２において、Ｘ線照射
手段は、撮像対象を透過した透過Ｘ線画像を検出検出器
を傾斜、または移動させて撮像対象に対し、相対的に複
数方向からＸ線を照射するように構成された透過Ｘ線に
よる断層像検出装置である。その６は、上記その２にお
いて、Ｘ線照射手段は、Ｘ線源を移動させて撮像対象に
対し、相対的に複数方向からＸ線を照射するように構成
された透過Ｘ線による断層像検出装置である。

【００１２】その７は、上記その２において、Ｘ線照射
手段は、電磁的に電子ビームを走査するマイクロフォー
カスＸ線管で構成されたＸ線源を有して、撮像対象に対
し、相対的に複数方向からＸ線を照射するように構成さ
れた透過Ｘ線による断層像検出装置である。

【００１３】その８は、上記その２において、選択・合
成画像処理手段は、複数枚の透過Ｘ線画像信号間に対
し、パターンマッチングにより同一対応点の各々につい
て、最大透過Ｘ線量に係る画像値を選択・合成するよう
に構成された透過Ｘ線による断層像検出装置である。

【００１４】その９は、撮像対象に対して相対的に複数
方向からＸ線を照射し、上記撮像対象内の同一焦点面に
ついての複数枚の透過Ｘ線画像を検出し、該検出された
複数の透過Ｘ線画像から、予め位置関係が定められた同
一対応点各々について、最大透過Ｘ線量に係る画像値を
選択・合成して焦点面での断層像を１枚の透過Ｘ線画像
として検出する透過Ｘ線による断層像検出方法である。

【００１５】その１０は、撮像対象に対してＸ線を照射
するＸ線照射手段と、撮像対象を傾斜、回転、移動させ
る対象物駆動手段と、該対象物駆動手段と同期して傾
斜、回転させて、上記撮像対象内の同一焦点面について
の複数枚の透過Ｘ線画像信号を検出する検出手段と、該
検出手段によって検出された複数の透過Ｘ線画像信号か
ら、同一対応点の各々について、最大透過Ｘ線量に係る
画像値を選択・合成して焦点面での断層像を１枚の透過
Ｘ線画像として検出する選択・合成画像処理手段とを備
えた透過Ｘ線による断層像検出装置である。

【００１６】その１１は、撮像対象に対して相対的に複
数方向からＸ線を照射するＸ線照射手段と、上記撮像対
象内の同一焦点面についての複数枚の透過Ｘ線画像信号
を検出する検出手段と、該検出手段によって検出された
複数の透過Ｘ線画像信号から、予め位置関係が定められ
た同一対応点の各々について、最大透過Ｘ線量に係る画
像値を選択・合成して焦点面での断層像を１枚の透過Ｘ
線画像として検出する選択・合成画像処理手段とを備え
た透過Ｘ線による断層像検出装置である。

【００１７】

【００１８】

【００１９】さて、本発明を具体的に説明すれば、図２
は本発明による、透過Ｘ線による断層像検出装置の原理
的構成を示したものである。図示のように、位置決めス
テージ７上に固定されている撮像対象３に、Ｘ線源１１
からＸ線２が照射された場合、そのＸ線２は対象物３を
介し透過Ｘ線画像として得られるが、その透過Ｘ線画像
はＸ線検出部４で光学像変換手段４１により一旦光学画
像に変換された後は、映像情報変換手段４２により画像
信号に変換された上、更に、画像処理部８で所定に画像
処理されるものとなっている。複数回に亘ってＸ線照射
方向を更新する度に、透過Ｘ線画像を検出するようにし
て、画像処理１０ではこれら画像を所定に画像処理する
ことで、その画像処理結果として、着目焦点面６のみの
Ｘ線断層像が得られているものである。その際、Ｘ線源
１１での菅電圧や菅電流等はＸ線制御部１２によって制
御されているものであり、また、Ｘ線源１１は高解像な
微小焦点Ｘ線源として構成されており、撮像対象３内の
微小物はその像が拡大された状態で透過Ｘ線画像として
検出され得るものである。

【００２０】図３は本発明による、透過Ｘ線による断層
像検出装置の一例での具体的構成を示したものである。
これによる場合、位置決めステージ７は光軸１０を遮ら
ない透過型のものとされ、ＸＹステージ７１、回転ステ
ージ７２、θステージ７３およびＺステージ７４より構
成された上、撮像対象３はチャック７５を介し位置決め
ステージ７上に固定されたものとなっている。また、Ｘ
線検出部４は、透過Ｘ線画像を光学像に変換する手段で
あるＸ線イメージインテンシファイア４１、光学像の向
きを変えるための反射鏡４２１、光学像を画像情報であ
る画像信号に変換する手段であるカルニコンカメラ４２
４、回転ステージ４２２およびθステージ４２３より構
成されており、カルニコンカメラ４２４からの画像信号
は画像処理部８で処理されているものである。位置決め
ステージ７、Ｘ線制御部１２、回転ステージ４２２およ
びθステージ４２３が制御部９による制御下におかれた
状態で、Ｘ線源１１から照射されたＸ線２は撮像対象３
を介し透過Ｘ線画像としてＸ線イメージインテンシファ
イア４１で光学像に変換・増幅されるものとなってい
る。その光学像は反射鏡４２１により向きが変えられた
状態で、カルニコンカメラ４２４によって画像信号に変
換されているものである。カルニコンカメラ４２４から
の画像信号は画像処理部８で処理されるが、その画像信
号による画像、または中間画像処理結果、あるいは最終
画像処理結果に係る画像はまた、必要に応じディスプレ
イ２１上に表示可とされているものである。なお、Ｘ線
イメージインテンシファイア４１を螢光板、あるいはシ
ンチレータに置換したり、カルニコンカメラ９をビジコ
ン、ハーピコン、またはＣＣＤカメラに置換しても同様
の効果が得られることは勿論である。

【００２１】ところで、以上の断層像検出装置での断層
像撮像に際しては、位置決めステージ７や回転ステージ
４２２、θステージ４２３各々での動きは重要となって
いる。Ｘ線イメージインテンシファイア４１はその受光
面４１１内にθステージ４２３の回転軸Ｘ２を含み、か
つその回転軸Ｘ２が受光面４１１の中央を通るべく調整
・固定されており、また、回転ステージ４２２の回転軸
Ｘ３はＸ線イメージインテンシファイア４１の受光面４
１１に垂直、かつ受光面４１１の中央を通るべく予め調
整されたものとなっている。断層像撮像に際しては、着
目焦点面６がθステージ７３の回転軸Ｘ１を含み、イＸ
線メージインテンシファイア４１の受光面４１１と平行
になるよう、撮像対象３がチャック７５を介し位置決め
ステージ７上に固定された状態で、制御部９による制御
下に、着目焦点面６とＸ線イメージインテンシファイア
４１の受光面４１１が平行、かつＸ線照射範囲内に着目
焦点面６が入るよう、θステージ７３とθステージ４２
３を、回転ステージ７２と回転ステージ４２２を同期し
て動かすようにすればよいというものである。このよう
にして、様々なＸ線照射角度対応に透過Ｘ線画像が得ら
れるが、得られた透過Ｘ線画像はイメージインテンシフ
ァイア４１、反射鏡４２１、カルニコンカメラ４２４に
よって画像信号に変換された上、画像処理部８で所定に
所定に処理されているものである。画像処理部８では、
カルニコンカメラ４２４からの画像信号はディジタル画
像信号に変換後、これら複数枚のディジタル画像に対し
てはシェーディング補正等の補正が行われ、各画像の対
応点の中から、透過Ｘ線量の多い画像値が選択されるよ
うにすれば、選択された画像値の集合として所望のＸ線
断層像が得られるものである。このように、着目焦点面
６でのＸ線断層像が得られるものであるが、したがっ
て、撮像対象３として回路基板を想定し、その表面はん
だ付部面が着目焦点面６となるべく、制御部１９により
事前調整設定（イメージインテンシファイヤ４１で検出
される複数のＸ線照射角度に対応した複数の透過Ｘ線画
像において、撮像対象であるはんだ付け部の同一箇所が
同一位置として検出されるべく、Ｘ線源１１とステージ
７上に載置された撮像対象３とＸ線検出部４との相対的
位置関係を予め制御設定しておくことを意味しており、
これで、同一対応点を示す位置関係が確保されるもので
ある）されていれば、回路基板表面でのＸ線断層像が得
られるものである。したがって、画像処理部８では、そ
のＸ線断層像よりはんだ付部の良否と相関の強い部分の
データを抽出した上、適当なアルゴリズムにもとづいて
画像処理が行われる場合は、回路基板表面におけるはん
だ付部各々に対し良否判定を行うことが可能となるもの
である。

【００２２】図５は本発明による、透過Ｘ線による断層
像検出装置の他の例での原理的構成を示したものであ
る。図示のように、走査型のＸ線源１１１から発生され
たＸ線２は撮像対象３に放射状に照射される一方、撮像
対象３からの透過Ｘ線は４箇所に配置された１次元Ｘ線
検出器４０によって直接画像信号に変換されるものとな
っている。このように、走査型のＸ線源１１１と複数の
１次元Ｘ線検出器４０とを組合せることによっては、１
サイクルの走査に対し１次元Ｘ線検出器４０の数だけ、
様々な角度からの透過Ｘ線画像が同時に得られるもので
ある。換言すれば、Ｘ線断層像を得るに際して、ステー
ジ移動等の機械的な動き不要として、実時間でＸ線断層
像が得られるものである。

【００２３】ところで、その際、使用される走査型のＸ
線源１１１であるが、図６にその走査型のＸ線源１１１
の内部構成を示す。Ｘ線源１１１はその内部で電子ビー
ムが走査可とされた封止式Ｘ線管として構成され、Ｘ線
制御部１２１による制御下に、電子銃１１１１から発生
された電子ビームは電磁的に偏向走査された状態で、透
過型の金属ターゲット１１１２に照射されることによっ
て、Ｘ線発生点３２は金属ターゲット１１１２上で２次
元的に高速に走査可とされているものである。図７はま
た、同じくその際、使用される１次元Ｘ線検出器４０の
内部構成を示したものである。図示のように、１次元Ｘ
線検出器４０は、Ｘ線像を光学像に変換する手段である
シンチレータ４０１と、その光学像を画像情報である画
像信号に変換する光電子増倍管４０２とから構成されて
いるが、シンチレータ４０１にはそのＸ線受光面４０１
１部分に絞り４０３が設けられることで、撮像対象３か
らの透過Ｘ線は画像信号に直接変換され得るものとなっ
ている。

【００２４】図８は図５に示す断層像検出装置での断層
像検出原理を示したものである。既述のように、走査型
のＸ線源１１１から発生されたＸ線２は撮像対象３に放
射状に照射される一方、撮像対象３からの透過Ｘ線は１
次元Ｘ線検出器４０によって直接画像信号に変換される
が、Ｘ線発生点１１１３が２次元的に走査される際に、
着目焦点６での像がその走査に同期して１次元Ｘ線検出
器４０各々で画像信号として検出されるものとなってい
る。その際、着目焦点面６での像が１次元Ｘ線検出器４
０各々に入射するような走査範囲１１１０は、着目焦点
面６および１次元Ｘ線検出器４０の位置によって変化す
るが、１次元Ｘ線検出器４０各々と着目焦点面６とを結
ぶ直線が走査型のＸ線源１１１に交わる範囲とされる。
１次元Ｘ線検出器４０を相異なる位置に複数配置した状
態で、走査型のＸ線源１１１が１サイクル走査される間
に、それぞれに固有な走査範囲１１１０にＸ線発生点が
ある時と同期して、透過Ｘ線を１次元Ｘ線検出器４０各
々で検出すれば、１サイクルの走査が行われる間に、複
数の透過Ｘ線像が実時間で検出可とされるものである。
例えば４つの１次元Ｘ線検出器４０が配置されている場
合は、Ｘ線発生点がターゲット面を２次元的に走査する
ことで、１回の撮像に対し４つの１次元Ｘ線検出器４０
各々によって、それぞれＸ線照射角度が相異なる４枚の
透過Ｘ線画像が同時に検出され得るものである。図３に
示す例では、１回の撮像に対し１つの検出画像しか得ら
れないが、これに対し１次元Ｘ線検出器４０が必要数配
置される場合には、同一１サイクルの走査が行われてい
る間に、必要数の透過Ｘ線像が実時間で検出可とされ、
より高品質なＸ線断層撮影像が得られるものである。

【００２５】図９はまた、図５に示す断層像検出装置の
基本的構成を示したものである。これによる場合、ＸＹ
ステージ７１およびθステージ７３から構成されている
Ｘ線透過型の位置決めステージ７上には、撮像対象３が
チャック７５を介し固定された状態で、Ｘ線制御部３０
による制御下に、Ｘ線源１１１からは、電子ビーム走査
によるＸ線２が発生された上、撮像対象３に照射される
ものとなっている。そのＸ線２は撮像対象３を透過さ
れ、透過Ｘ線は既述の１次元Ｘ線検出器４０各々によっ
て画像信号として検出されているものである。制御部９
による制御下に、着目焦点面の像が検出されるのに同期
して、１次元Ｘ線検出器４０各々からの画像信号からは
透過Ｘ線画像が得られているものであり、それら透過Ｘ
線画像からは、画像処理部８によりＸ線断層像が合成結
果として得られるものである。

【００２６】

【図面の簡単な説明】

【図６】図６は、走査型のＸ線源の内部構成を示す図

【図７】図７は、１次元Ｘ線検出器の内部構成を示す図

【符号の説明】１…Ｘ線発生部、１１…Ｘ線源、１１１…走査型のＸ線
源、２…Ｘ線、３…撮像対象、４…Ｘ線検出部、４０…
１次元Ｘ線検出器、４１…光学像変換手段、４２…映像
（画像）情報変換手段、６…着目焦点面、７…位置決め
ステージ、８…画像処理部、９…制御部、１２，１２１
…Ｘ線制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者越柴洋哉神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】撮像対象内の同一焦点面について複数枚
の透過Ｘ線画像を得るべく、上記撮像対象に様々な方向
からＸ線を照射する一方、該撮像対象からの透過Ｘ線像
をＸ線照射方向対応に検出した上、該複数の透過Ｘ線画
像から、同一対応点各々について、最大透過Ｘ線量に係
る画像値が選択・合成されることで、上記焦点面での断
層像が１枚の透過Ｘ線画像として検出されるようにし
た、透過Ｘ線による断層像検出方法。
【請求項２】撮像対象内の焦点面での透過Ｘ線画像を
検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線照射方向
が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射するＸ線源
と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ線像を
光学画像に変換する第１の画像変換手段と、該第１の画
像変換手段からの光学画像を画像信号に変換する第２の
画像変換手段と、該第２の画像変換手段からの画像信号
にもとづき、上記複数の透過Ｘ線画像対応の光学画像か
ら、同一対応点各々について、最大に係る画像値が選択
・合成されることで、上記焦点面での断層像を１枚の光
学画像として検出する画像処理・検出手段と、を含む、
透過Ｘ線による断層像検出装置。
【請求項３】撮像対象内の焦点面での透過Ｘ線画像を
検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線照射方向
が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射するＸ線源
と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ線像を
光学画像に変換する、イメージインテンシファイア、蛍
光板、または１次元Ｘ線ディテクタとしての第１の画像
変換手段と、該第１の画像変換手段からの光学画像を画
像信号に変換する第２の画像変換手段と、該第２の画像
変換手段からの画像信号にもとづき、上記複数の透過Ｘ
線画像対応の光学画像から、同一対応点各々について、
最大に係る画像値が選択・合成されることで、上記焦点
面での断層像を１枚の光学画像として検出する画像処理
・検出手段と、を含む、透過Ｘ線による断層像検出装
置。
【請求項４】撮像対象内の焦点面での透過Ｘ線画像を
検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線照射方向
が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射するＸ線源
と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ線像を
光学画像に変換する第１の画像変換手段と、該第１の画
像変換手段からの光学画像を画像信号に変換する、撮像
管と該撮像管からの画像信号を加算する加算回路からな
る第２の画像変換手段と、該第２の画像変換手段からの
画像信号にもとづき、上記複数の透過Ｘ線画像対応の光
学画像から、同一対応点各々について、最大に係る画像
値が選択・合成されることで、上記焦点面での断層像を
１枚の光学画像として検出する画像処理・検出手段と、
を含む、透過Ｘ線による断層像検出装置。
【請求項５】撮像対象内の焦点面での透過Ｘ線画像を
検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線照射方向
が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射するＸ線源
と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ線像を
光学画像に変換する第１の画像変換手段と、上記撮像対
象を傾斜、移動させる対象物駆動手段と、該第１の画像
変換手段からの光学画像を画像信号に変換する第２の画
像変換手段と、該第２の画像変換手段からの画像信号に
もとづき、上記複数の透過Ｘ線画像対応の光学画像か
ら、同一対応点各々について、最大に係る画像値が選択
・合成されることで、上記焦点面での断層像を１枚の光
学画像として検出する画像処理・検出手段と、を含む、
透過Ｘ線による断層像検出装置。
【請求項６】撮像対象内の焦点面での透過Ｘ線画像を
検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線照射方向
が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射するＸ線源
と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ線像を
光学画像に変換する、傾斜、移動可とされた第１の画像
変換手段と、該第１の画像変換手段からの光学画像を画
像信号に変換する第２の画像変換手段と、該第２の画像
変換手段からの画像信号にもとづき、上記複数の透過Ｘ
線画像対応の光学画像から、同一対応点各々について、
最大に係る画像値が選択・合成されることで、上記焦点
面での断層像を１枚の光学画像として検出する画像処理
・検出手段と、を含む、透過Ｘ線による断層像検出装
置。
【請求項７】撮像対象内の焦点面での透過Ｘ線画像を
検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線照射方向
が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射するＸ線源
と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ線像を
光学画像に変換する第１の画像変換手段と、該第１の画
像変換手段からの光学画像を画像信号に変換する第２の
画像変換手段と、該第２の画像変換手段からの画像信号
にもとづき、上記複数の透過Ｘ線画像対応の光学画像か
ら、該光学画像間のパターンマッチングにより該光学画
像各々での同一対応点を検出した上、該同一対応点各々
について、最大に係る画像値が選択・合成されること
で、上記焦点面での断層像を１枚の光学画像として検出
する画像処理・検出手段と、を含む、透過Ｘ線による断
層像検出装置。
【請求項８】撮像対象内の焦点面での透過Ｘ線画像を
検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線照射方向
が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射するＸ線源
と、該Ｘ線源を移動する手段と、Ｘ線照射の度に、上記
撮像対象からの透過Ｘ線像を光学画像に変換する第１の
画像変換手段と、該第１の画像変換手段からの光学画像
を画像信号に変換する第２の画像変換手段と、該第２の
画像変換手段からの画像信号にもとづき、上記複数の透
過Ｘ線画像対応の光学画像から、同一対応点各々につい
て、最大に係る画像値が選択・合成されることで、上記
焦点面での断層像を１枚の光学画像として検出する画像
処理・検出手段と、を含む、透過Ｘ線による断層像検出
装置。
【請求項９】撮像対象内の焦点面での透過Ｘ線画像を
検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線照射方向
が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射するＸ線源
と、上記撮像対象を傾斜、回転、移動させる対象物駆動
手段と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ線
像を光学画像に変換する、上記対象物駆動手段に同期し
て傾斜、回転可とされた第１の画像変換手段と、該第１
の画像変換手段からの光学画像を画像信号に変換する第
２の画像変換手段と、該第２の画像変換手段からの画像
信号にもとづき、上記複数の透過Ｘ線画像対応の光学画
像から、同一対応点各々について、最大に係る画像値が
選択・合成されることで、上記焦点面での断層像を１枚
の光学画像として検出する画像処理・検出手段と、を含
む、透過Ｘ線による断層像検出装置。
【請求項１０】撮像対象内の同一焦点面について複数
枚の透過Ｘ線画像を得るべく、発生位置が更新可として
発生せしめられているＸ線を撮像対象に照射する一方、
該撮像対象からの透過Ｘ線量を、相異なる１以上の位置
で画像信号として検出した上、画像信号にもとづく光学
画像から、同一対応点各々について、最大に係る画像値
が選択・合成されることで、上記焦点面での断層像が１
枚の光学画像として検出されるようにした、透過Ｘ線に
よる断層像検出方法。
【請求項１１】撮像対象内の焦点面での透過Ｘ線画像
を検出するための断層像検出装置であって、撮像対象に
Ｘ線を照射する、電磁的に電子ビームが走査可とされた
マイクロフォーカスＸ線管としてのＸ線源と、上記撮像
対象からの透過Ｘ線像を画像信号に変換する、１以上の
１次元Ｘ線ディテクタとしての画像変換手段と、該画像
変換手段からの画像信号にもとづき、上記複数の透過Ｘ
線画像対応の光学画像から、同一対応点各々について、
最大に係る画像値が選択・合成されることで、上記焦点
面での断層像を１枚の光学画像として検出する画像処理
・検出手段と、を含む、透過Ｘ線による断層像検出装
置。
【請求項１２】撮像対象内の焦点面での透過Ｘ線画像
を検出するための断層像検出装置であって、Ｘ線照射方
向が更新される度に、撮像対象にＸ線を照射するＸ線源
と、Ｘ線照射の度に、上記撮像対象からの透過Ｘ線像を
光学画像に変換する第１の画像変換手段と、該第１の画
像変換手段からの光学画像を画像信号に変換する第２の
画像変換手段と、該第２の画像変換手段からの画像信号
にもとづき、上記複数の透過Ｘ線画像対応の光学画像か
ら、同一対応点各々について、最大に係る画像値が選択
・合成されることで、上記焦点面での断層像を１枚の光
学画像として検出する画像処理・検出手段と、上記撮像
対象物および第１の画像変換手段を、常時撮像範囲の同
じ位置に該撮像対象物の着目部分が存在するべく同期し
て移動させる同期移動手段と、を含む、透過Ｘ線による
断層像検出装置。