JPH07303628A

JPH07303628A - ラミノグラフ

Info

Publication number: JPH07303628A
Application number: JP6097791A
Authority: JP
Inventors: Kiichiro Uyama; 喜一郎宇山; Masaji Fujii; 正司藤井; Takeo Tsuchiya; 武雄土屋; Miki Mori; 三樹森; Hirokatsu Suzuki; 博勝鈴木
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1994-05-12
Filing date: 1994-05-12
Publication date: 1995-11-21

Abstract

(57)【要約】【目的】焦点面のみにピントがよく合うことができる
ラミノグラフを提供する。【構成】放射線源１に対向してｘｙ平面上のｘ方向に
配列された複数の放射線面センサ３ａ，３ｂ，３ｃ，３
ｄと放射線源１との間で被検体４をｘ方向に移動させ、
被検体４を透過した放射線を複数の放射線面センサ３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄで検出し、この検出出力を順次収
集して複数の透過画像を作成し、この複数の透過画像を
ｘ方向に互いにずらしながら加算平均し、被検体のｘｙ
平面に平行な１つの平面に焦点の合った画像を作成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被検体を透過した放射
線を検出し、被検体の断層像を得る断層撮影装置である
ラミノグラフに係り、更に詳しくは、例えば多層配線基
板の内部または表面実装基板の半田付け部分等を非破壊
で検査するのに使用されるラミノグラフに関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のラミノグラフは、例えばＪリー
ド端子付き表面実装部品の基板への半田付け状態を検査
するために使用し得るものとして、最近注目され始めて
いるものである。このラミノグラフは、基本的には医療
用として普及している断層写真装置と同じであるが、断
層写真がＸ線用フィルムを用いて１つの面にピントの合
った透過像である断層像を得るのに対して、ラミノグラ
フは面センサ出力をディジタル画像化し、画像処理で断
層像を作成するという点において異なっている。

【０００３】図１５は、特表平２−５０１４１１号公報
に開示されている従来のラミノグラフを示す図である。
同図に示すラミノグラフにおいては、焦点走査型Ｘ線管
９１によってＸ線の焦点が円形に走査される。２次元面
センサである回転Ｘ線検出器９４は焦点に同期して回転
し、この回転中に収集された被検体９２を透過した多数
の透過像はディジタル処理により加算され、１つの断層
像が作成される。この断層像は焦点の回転半径と回転Ｘ
線検出器９４の回転半径で決まる１つの焦点面９３にピ
ントの合った画像となる。

【０００４】また、図１６は、特開平６−８８７９０号
公報に記載されている従来のラミノグラフを示す図であ
る。同図に示すラミノグラフにおいては、Ｘ線管１０１
から放射される円錐形のＸ線ビーム１０２を２次元Ｘ線
面センサであるＸ線Ｉ．Ｉ．１０４で測定する。そし
て、このＸ線ビーム１０２中を被検体１０３を測定面に
沿った方向に通過させ、この間に得られた多数の透過像
に対して画像ずらしおよび加算処理を行って、１つの焦
点面１０５にピントの合った断層像を作成している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した図１５に示す
従来のラミノグラフでは、焦点走査型Ｘ線管を使用して
いるため、焦点の位置が決められた軌道から狂い易く、
画像が不鮮明になることが多いとともに、高価になると
いう問題がある。

【０００６】また、焦点走査の直径もＸ線管の制約から
あまり大きくできないため、断層写真のピント深度が浅
くできず、従って焦点面以外のパターンが十分にぼけな
いという問題がある。

【０００７】また、上述した図１６に示す従来のラミノ
グラフでは、２次元面センサであるＸ線Ｉ．Ｉ．で得ら
れる透過像は約５００×５００のマトリックスであり、
分解能が十分でないため、図１６において距離Ｌに比べ
て距離ＦＤＤを十分大きくとり、透過像を拡大して分解
能を上げているが、この方法ではビーム開き角αが大き
くできないため、断層写真のピント深度が浅くできず、
従って焦点面以外のパターンが同様に十分ぼけないとい
う問題がある。本発明は、上記に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、焦点面のみにピントがよ
く合うことができるラミノグラフを提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のラミノグラフは、放射線を発生する放射線
源と、該放射線源に対向してｘｙ平面上のｘ方向に配列
され、前記放射線源からの被検体を透過した放射線を検
出する複数の放射線面センサと、前記放射線源と前記複
数の放射線面センサとの間において被検体をｘ方向に移
動させる移動手段と、該移動手段によって被検体を前記
放射線源と前記複数の放射線面センサとの間でｘ方向に
移動させた場合に被検体を透過した前記放射線源からの
放射線を前記複数の放射線面センサで検出し、この検出
出力を順次収集して複数の透過画像を作成するデータ収
集手段と、該データ収集手段で作成した前記複数の透過
画像をｘ方向に互いにずらしながら加算平均し、被検体
のｘｙ平面に平行な１つの平面に焦点の合った画像を作
成する画像処理手段とを有することを要旨とする。

【０００９】また、本発明のラミノグラフは、放射線を
発生する放射線源と、該放射線源に対向したｘｙ平面を
測定平面として有し、該測定平面で前記放射線源からの
被検体を透過した放射線を検出する放射線面センサと、
前記放射線源と前記放射線面センサとの間において被検
体をｘ方向に移動させる被検体移動手段と、前記放射線
面センサをｘ方向に移動させるセンサ移動手段と、被検
体および前記放射線面センサを移動させながら、被検体
を透過した前記放射線源からの放射線を前記放射線面セ
ンサで検出し、この検出出力を順次収集して複数の透過
画像を作成するデータ収集手段と、該データ収集手段で
作成した前記複数の透過画像をｘ方向に互いにずらしな
がら加算平均し、被検体のｘｙ平面に平行な１つの平面
に焦点の合った画像を作成する画像処理手段とを有する
ことを要旨とする。

【００１０】更に、本発明のラミノグラフは、放射線を
発生する放射線源と、該放射線源に対向したｘｙ平面を
測定平面として有し、該測定平面で前記放射線源からの
被検体を透過した放射線を検出する放射線面センサと、
前記放射線源と前記放射線面センサとの間において被検
体をｘ方向に移動させる被検体移動手段と、前記放射線
面センサをｘ方向に移動させるセンサ移動手段と、被検
体および前記放射線面センサを異なる速度で移動させな
がら、被検体を透過した前記放射線源からの放射線を前
記放射線面センサで検出し、この検出出力を順次収集し
て複数の透過画像を作成するデータ収集手段と、該デー
タ収集手段で作成した前記複数の透過画像をｘ方向に互
いにずらしながら加算平均し、被検体のｘｙ平面に平行
な１つの平面に焦点の合った画像を作成する画像処理手
段とを有することを要旨とする。

【００１１】本発明のラミノグラフは、上記に加えて、
被検体をｙ方向に移動させる移動手段を更に有すること
を要旨とする。

【００１２】

【作用】本発明のラミノグラフでは、放射線源に対向し
てｘｙ平面上のｘ方向に配列された複数の放射線面セン
サと放射線源との間で被検体をｘ方向に移動させ、被検
体を透過した放射線を複数の放射線面センサで検出し、
この検出出力を順次収集して複数の透過画像を作成し、
この複数の透過画像をｘ方向に互いにずらしながら加算
平均し、被検体のｘｙ平面に平行な１つの平面に焦点の
合った画像を作成する。

【００１３】また、本発明のラミノグラフでは、放射線
源に対向したｘｙ平面を測定平面として有する放射線面
センサおよび被検体を移動させながら、被検体を透過し
た放射線を放射線面センサで検出し、この検出出力を順
次収集して複数の透過画像を作成し、この複数の透過画
像をｘ方向に互いにずらしながら加算平均し、被検体の
ｘｙ平面に平行な１つの平面に焦点の合った画像を作成
する。

【００１４】更に、本発明のラミノグラフでは、放射線
源に対向したｘｙ平面を測定平面として有する放射線面
センサおよび被検体を異なる速度で移動させながら、被
検体を透過した放射線を放射線面センサで検出し、この
検出出力を順次収集して複数の透過画像を作成し、この
複数の透過画像をｘ方向に互いにずらしながら加算平均
し、被検体のｘｙ平面に平行な１つの平面に焦点の合っ
た画像を作成する。本発明のラミノグラフでは、上記に
加えて、被検体をｙ方向に移動させることができる。

【００１５】

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図１は、本発明の一実施例に係わるラミノグラフの
構成を概略的に示す図である。同図に示すラミノグラフ
においては、放射線を発生する放射線源１に対向して複
数（本実施例では、４個）の放射線面センサ３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄが配設され、両者の間を被検体４がＰで
示す移動方向に移動し得るようになっている。

【００１６】前記放射線面センサ３ａ，３ｂ，３ｃ，３
ｄは、測定平面がｘｙ平面にそろえられるとともに、各
測定平面がｘ方向に配列されている。また、放射線源１
のＸ線焦点Ｓから発生する放射線ビーム２は、ｘ方向に
配列された放射線面センサ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄのす
べての測定平面を被うようにビーム開き角αを有する。

【００１７】被検体４が放射線源１と放射線面センサ３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとの間を図示しない移動手段によ
り移動すると、放射線源１からの放射線が被検体４を透
過し、この透過した放射線が移動に応じて順次放射線面
センサ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄで検出される。この放射
線面センサの検出出力は図示しないデータ収集装置によ
って順次収集され、複数の透過画像が作成される。この
複数の透過画像は、図示しない画像処理装置に入力さ
れ、ここでｘ方向に互いにずらされながら加算平均さ
れ、被検体４のｘｙ平面に平行な１つの平面である焦点
面５に焦点の合った画像が作成される。

【００１８】更に詳しくは、被検体４が放射線源１と放
射線面センサ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとの間をｘ方向に
平行に移動させられると、所定の移動量毎に放射線面セ
ンサとデータ収集装置とにより被検体４の透過画像が得
られ、この各透過画像は移動量に対応させてｘ方向にず
らしながら、加算平均され、これによりｘｙ平面に平行
な焦点面５にピントの合った断層像が得られる。また、
前記ｘ方向のずらし量を変更することにより焦点面５を
変えることができる。

【００１９】本実施例のラミノグラフでは、放射線源１
の放射線ビームのビーム開き角αを大きくすることがで
きるので、ぼけ量を大きくすることができ、焦点面にの
みよくピントの合った断層像が得られる。

【００２０】図２は、本発明の他の実施例に係わるラミ
ノグラフの構成を概略的に示す図である。同図に示すラ
ミノグラフにおいては、放射線を発生する放射線源１に
対向して１つの放射線面センサ３が配設され、該放射線
面センサ３はＰで示す移動方向に移動し得るようになっ
ている。そして、被検体４は、放射線源１と放射線面セ
ンサ３との間を放射線面センサ３の移動とともにＰで示
す移動方向に移動し得るようになっている。

【００２１】前記放射線面センサ３は、測定平面がｘｙ
平面に配設され、該測定平面をｘｙ平面に一致したま
ま、Ｐで示す移動方向であるｘ方向に移動し得るように
なっている。また、放射線源１のＸ線焦点Ｓから発生す
る放射線ビーム２は、ビーム開き角αを有して放射され
るようになっている。

【００２２】被検体４が放射線面センサ３とともに図示
しない移動手段により移動すると、放射線源１からの放
射線が被検体４を透過し、この透過した放射線が放射線
面センサ３で検出される。この放射線面センサの検出出
力は図示しないデータ収集装置によって順次収集され、
複数の透過画像が作成される。この複数の透過画像は、
図示しない画像処理装置に入力され、ここでｘ方向に互
いにずらされながら加算平均され、被検体４のｘｙ平面
に平行な１つの平面である焦点面５に焦点の合った画像
が作成される。

【００２３】更に詳しくは、被検体４が放射線面センサ
３とともにｘ方向に平行に移動させられると、所定の移
動量毎に放射線面センサとデータ収集装置とにより被検
体４の透過画像が得られ、この各透過画像は移動量に対
応させてｘ方向にずらしながら、加算平均され、これに
よりｘｙ平面に平行な焦点面５にピントの合った断層像
が得られる。また、放射線面センサ３と被検体のそれぞ
れの移動速度を異なる速度とすることも可能である。

【００２４】このように構成されるラミノグラフでは、
放射線源１の放射線ビームのビーム開き角αを大きくす
ることができるので、ぼけ量を大きくすることができ、
焦点面にのみよくピントの合った断層像が得られる。

【００２５】図３（ａ），（ｂ）は、本発明の更に他の
実施例に係わるラミノグラフの更に詳細な構成を示す平
面図および正面図である。同図に示すラミノグラフは、
ｘフレーム１５および該ｘフレーム１５に取り付けられ
たｙフレーム１７を有し、このｙフレーム１７上に被検
体である基板１４が基板クランプ１９により取り付けら
れている。なお、ｘ，ｙ軸は直交し、ｘｙ平面は水平に
設定されている。

【００２６】前記ｘフレーム１５は、フロアに固定され
たｘ移動機構１６によりｘ方向に移動することができ
る。ｘフレーム１５に取り付けられたｙフレーム１７
は、またｘフレーム１５に取り付けられたｙ移動機構１
８によりｙ方向に移動することができ、これによりｙフ
レーム１７上に取り付けられた被検体である基板１４は
ｘ方向に移動し得るとともに、またｙ方向にも移動し得
るようになっている。

【００２７】ｙフレーム１７上に取り付けられた基板１
４の下側には、Ｘ線管１１がフロアに固定されて設けら
れ、該Ｘ線管１１からのＸ線ビーム１２が上方に放射さ
れ、基板１４を透過するようになっている。そして、基
板１４の上方には、２次元Ｘ線面センサからなる複数
（本実施例では、４個）のＸ線検出器１３が設けられ、
基板１４を透過した前記Ｘ線管１１からのＸ線ビームを
検出するようになっている。なお、前記複数のＸ線検出
器１３はその測定面をｘｙ平面と平行にして、ｘ方向に
配列されている。

【００２８】Ｘ線検出器１３からの検出出力は、データ
収集装置２０に供給される。該データ収集装置２０は、
ｘ移動機構１６からの所定の移動量毎の収集信号（エン
コーダパルス）を入力され、該収集信号に応答して所定
の移動量毎にＸ線検出器１３からの検出出力信号から被
検体である基板１４の透過画像を形成し、この透過画像
を画像処理装置２１に供給する。画像処理装置２１は、
データ収集装置２０からのそれぞれの透過画像を前記移
動量に対応させてｘ方向にずらしながら加算平均し、こ
れによりｘｙ平面に平行な焦点面にピントの合った断層
像を作成し、表示装置２２に表示するようになってい
る。なお、図３では省略されているが、ｘ移動機構１６
およびｙ移動機構１８を制御する機構制御装置およびＸ
線管１１を制御し、電力を供給するＸ線制御装置が設け
られているものである。

【００２９】前記Ｘ線管１１は、高分解能の画像を得る
ために焦点サイズが数１０〜数１００μｍの小焦点Ｘ線
管が使用されている。前記Ｘ線検出器１３は、図４に詳
細に示すように、シンチレータ３１とＣＣＤ２次元光セ
ンサ３３をテーパ光ファイバ３２の両端に接着した構造
を有し、１つのＸ線検出器１３でＣＣＤ２次元光センサ
のマトリックスサイズ（約５００×５００）の透過画像
が得られる。従って、図３に示すように、４個のＸ線検
出器１３を使用することにより、２０００×５００のマ
トリックスサイズが得られる。なお、図４において、３
４は遮光膜である。

【００３０】以上のように構成されるラミノグラフの作
用を図５および図６を参照して説明する。図５は、Ｘ線
管１１、基板１４、Ｘ線検出器１３の検出面１３ａの幾
何学的関係を示す図である。同図に示すように、基板１
４をＰで示す移動方向であるｘ方向に移動させながら、
所定の移動量ΔＰ毎に透過画像を収集すると、基板１４
内の焦点面１４ａの上の点の検出面１３ａ上の射影点は
ΔＰ’ずつずれる。このずれ量ΔＰ’は

【００３１】

【数１】 ΔＰ’＝ΔＰ×ＦＤＤ／Ｌ（１）で求められる。この式において、ＬはＸ線管１１のＸ線
焦点Ｓと焦点面１４ａとの間の距離であり、ＦＤＤはＸ
線管１１のＸ線焦点Ｓと検出面１３ａとの間の距離であ
る。

【００３２】次に、図６を参照して、前記加算平均につ
いて説明する。同一移動位置Ｐで得られた複数のＸ線検
出器１３による画像をＸ線検出器１３の間隔をとってｘ
ｙ平面に並べて、１枚の画像とし、所定の移動量ΔＰ毎
の複数枚の透過画像をそれぞれｘ方向にΔＰ’ずつずら
して加算平均することにより（一次補間計算を含む）、
焦点面１４ａ上の点は常に同一位置に重ね合わされて強
調されるので、焦点面１４ａ上にない点はずれて重ね合
わされ、ぼけて目立たなくなる。このようにして、検出
面１３ａに平行な１つの焦点面にピントの合った透過
像、すなわち断層像が得られる。

【００３３】なお、上述したように加算平均される前の
画像は一旦メモリに保存されるので、データ収集をやり
直すことなしに、ΔＰ’を変えて計算することにより、
何度でも焦点面を変えた画像を作成することができる。

【００３４】図７は、基板１４を上から見た図である。
上述したように、１回の移動（走査）によるデータ収集
により、例えば図７に示す走査領域Ａ１を走査した画像
が得られたとすると、この領域内において検査対象のＩ
Ｃ２４を検査することができる。それから、次にｙ移動
機構１８により基板１４をｙ方向に移動して、次の走査
領域Ａ２を走査し、該領域Ａ２内のＩＣ２４を検査する
ことができる。このような動作を繰り返すことにより、
１枚の基板１４を検査することができる。

【００３５】図８は、基板１４を横から見た図である。
この図では、基板１４にＩＣ２４のＪリード端子が半田
付けされている半田付け部分２５が示されているが、上
述した実施例のラミノグラフでは、この半田付け部分２
５の良否を検査することができる。すなわち、通常の透
過画像では、対象とするＩＣ自体の影や裏面の部品の影
等が障害となるのに対して、本実施例のラミノグラフで
は焦点面のみにピントの合った画像を得ることができる
ので、このような半田付け部分も適確に検査することが
できる。

【００３６】上述した実施例では、Ｘ線ビーム１２の開
き角αを大きくとることができるので、焦点深度を浅く
でき、焦点面のみによくピントの合った断層像を得るこ
とができる。また、画像マトリックスが大きくできるの
で、画像の分解能を高くすることができる。更に、被検
体の一方向の移動のみで焦点深度の浅い焦点面のみによ
くピントの合った断層像を得ることができる。

【００３７】また、ＣＣＤ２次元光センサを使用してい
るので、画像ひずみが少なく、加算平均の誤差が少な
く、鮮明な画像が得られる。１回の走査（移動）で得ら
れたデータから再度走査することなく、異なる焦点位置
の画像を得ることができる。更に、ｘ，ｙ移動機構のみ
の簡単な機構でよく、軽量、小型、安価、故障しにく
い、納期が短い、長寿命等の利点を有する。

【００３８】図９は、本発明の別の実施例に係わるラミ
ノグラフの構成を示す図である。同図に示すラミノグラ
フは、図３に示した実施例のラミノグラフにおいて複数
のＸ線検出器１３の代わりに１つのＸ線検出器１３１に
するとともに、該Ｘ線検出器１３１をｘフレーム１５上
でｘ方向に移動させる検出器移動機構２３を設け、該検
出器移動機構２３によりＸ線検出器１３１をｘ方向に移
動し得るように構成した点が異なるものであり、その他
の構成は図３に示す実施例と同じであり、同じ構成要素
には同じ符号が付されている。

【００３９】このように構成されるラミノグラフにおい
ては、データ収集に先立ち、Ｘ線検出器１３１を検出器
移動機構２３により被検体の検査対象位置の真上に移動
して固定する。そして、この状態においてｘ移動機構１
６および検出器移動機構２３により被検体である基板１
４およびＸ線検出器１３１をそれぞれｘ方向に移動させ
ながらＸ線管１１から発生するＸ線で基板１４を照射
し、該基板１４を透過したＸ線をＸ線検出器１３１で検
出し、この検出出力をデータ収集装置２０に供給する。
データ収集装置２０は、ｘ移動機構１６からの所定の移
動量毎の収集信号を入力され、該収集信号に応答して所
定の移動量毎にＸ線検出器１３１からの検出信号から基
板１４の透過画像を形成し、この透過画像を画像処理装
置２１に供給する。画像処理装置２１は、データ収集装
置２０からのそれぞれの透過画像を前記移動量に対応さ
せてｘ方向にずらしながら加算平均し、これによりｘｙ
平面に平行な焦点面にピントの合った断層像を作成し、
表示装置２２に表示するようになっている。

【００４０】図１０は、図９に示すラミノグラフにおけ
るＸ線管１１、基板１４の焦点面１４ａ、およびＸ線検
出器１３１の検出面１３１ａの幾何学的関係を示す図で
ある。同図に示すように、基板１４をＰで示す移動方向
であるｘ方向に移動させながら、所定の移動量ΔＰ毎に
透過画像を収集すると、基板１４内の焦点面１４ａの上
の点の検出面１３１ａ上の射影点はΔＰ’ずつずれる
（なお、図１０では、分かりやすいようにΔＰは大きめ
に描かれている）。このずれ量ΔＰ’は

【００４１】

【数２】 ΔＰ’＝ΔＰ×（ＦＤＤ−Ｌ）／Ｌ（２）で求められる。この式において、ＬはＸ線管１１のＸ線
焦点Ｓと焦点面１４ａとの間の距離であり、ＦＤＤはＸ
線管１１のＸ線焦点Ｓと検出面１３１ａとの間の距離で
ある。

【００４２】上述したように、所定の移動量ΔＰ毎に得
られた複数の透過画像を図１１に示すようにΔＰ’ずつ
ｘ方向にずらしながら、加算平均することにより断層像
が得られる。

【００４３】図１２は、被検体である基板１４を上から
見た図であり、ｙ移動機構１８によりｙ方向の移動と検
出器移動機構２３によるＸ線検出器１３１の移動により
検査対象のＩＣ２４の１つがＸ線検出器１３１の真下に
なるようにセットし、この状態でｘ方向の移動による走
査を行い、例えば走査領域Ｂ１の画像を得、次にｙ方向
の移動とＸ線検出器１３１により走査領域をＢ２，Ｂ
３，・・・Ｂ６に順次設定し、走査を行うことにより各
領域におけるＩＣ２４の検査を行うことができる。

【００４４】上述した実施例においては、１つのＸ線検
出器１３１により被検体の透過画像を得ることができる
ので、経済化を図ることができるとともに、図３に示し
た実施例のように複数のＸ線検出器１３による透過画像
をつなぎ合わせるためにＸ線検出器１３間の間隔を正確
に校正する必要がない。

【００４５】図１３は、本発明の更に別の実施例に係わ
るラミノグラフにおけるＸ線管１１、被検体の焦点面１
４ａおよびＸ線検出器の検出面１３１ａの幾何学的関係
を示す図である。なお、同図に示す実施例のラミノグラ
フの構成は、図９に示したラミノグラフの構成と同じで
あるが、検出器移動機構２３はフロアから支持すること
も可能である。

【００４６】図１３の実施例では、Ｘ線管１１に対する
Ｘ線検出器１３１と被検体である基板１４の移動速度を
異なる速度としているものである。Ｘ線検出器１３１と
基板１４の移動の速度比をＦＤＤ／Ｌとすると、ずらし
量ΔＰ’＝０で画像の加算平均処理を行うことにより、
焦点面１４ａの断層像を得ることができる。そして、Δ
Ｐ’を０の近くで可変することにより、焦点面を上下に
微調整することができる。図１４に示すように、新しい
焦点位置をＬ’とすると、ΔＰ’は

【００４７】

【数３】 ΔＰ’＝ΔＰ₁ ・ＦＤＤ・（１／Ｌ−１／Ｌ’）（３）で計算される。この実施例の利点は、上述した図９に示
した実施例において１回の走査で良好な断層像が得られ
る領域にロスが出る点を改善することができることであ
る。すなわち、図９に示した実施例では、走査の前端と
後端付近で周辺の透過像が検出面からはみ出るので、周
辺の断層像ほどピントがシャープにならずロスとなる
が、これに対して図１３の実施例では最初から最後まで
はみ出しが生じずロスがない。

【００４８】なお、上述した各実施例において、放射線
面センサとして、図４に示したようなＣＣＤ２次元光セ
ンサを用いたが、これに限定されるものでなく、他の検
出器でも適用可能である。例えば、Ｘ線Ｉ．Ｉ．でもよ
く、この場合には、画像に歪があるが、歪補正を行うこ
とにより使用可能である。Ｘ線Ｉ．Ｉ．は比較的大きな
検出面を有するので、大きな被検体の場合に有効であ
る。

【００４９】また、テレビ用の撮像管もＸ線に感度を有
するので、適用可能であるが、この場合にも歪補正が必
要である。撮像管は検出面が小さく、高分解能である
が、高エネルギで高透過力のＸ線に対しては検出効率が
低下するので好ましくない。従って、Ｘ線が透過しやす
い小さな被検体を高精度で検査する場合に有効である。

【００５０】また、蛍光板とテレビカメラを組み合わせ
てもよい。この場合には、Ｘ線Ｉ．Ｉ．より更に大きな
検出面が可能である。その他、２次元の分解能をもった
放射線面センサであれば、どのような形式のものでも適
用することができる。

【００５１】更に、上記各実施例は、表面実装基板の半
田付け検査に適用したラミノグラフの例を示している
が、検査対象はこれに限定されるものでなく、例えば多
層基板の内部パターン、電子部品の内部欠陥、寸法検
査、空港での荷物検査等の種々のものに適用可能であ
る。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
放射線源に対向してｘｙ平面上のｘ方向に配列された複
数の放射線面センサと放射線源との間で被検体をｘ方向
に移動させ、被検体を透過した放射線を複数の放射線面
センサで検出し、この検出出力を順次収集して複数の透
過画像を作成し、この複数の透過画像をｘ方向に互いに
ずらしながら加算平均し、被検体のｘｙ平面に平行な１
つの平面に焦点の合った画像を作成するので、焦点面の
みにピントがよく合った断層像が得られるとともに、画
像の分解能を高くできる。また、比較的簡単な構造で軽
量化、小型化、経済化を達成し得る上に、故障しにく
く、長寿命である。

【００５３】また、本発明によれば、放射線源に対向し
たｘｙ平面を測定平面として有する放射線面センサおよ
び被検体を移動させ、被検体を透過した放射線を放射線
面センサで検出し、この検出出力を順次収集して複数の
透過画像を作成し、この複数の透過画像をｘ方向に互い
にずらしながら加算平均し、被検体のｘｙ平面に平行な
１つの平面に焦点の合った画像を作成するので、焦点面
のみにピントがよく合った断層像が得られるとともに、
１つの放射線面センサで実現できるため、経済的である
上に、センサ間の間隔を正確に校正する必要がなく、軽
量化、小型化、経済化を達成し得る。

【００５４】更に、本発明によれば、放射線源に対向し
たｘｙ平面を測定平面として有する放射線面センサおよ
び被検体を異なる速度で移動させながら、被検体を透過
した放射線を放射線面センサで検出し、この検出出力を
順次収集して複数の透過画像を作成し、この複数の透過
画像をｘ方向に互いにずらしながら加算平均し、被検体
のｘｙ平面に平行な１つの平面に焦点の合った画像を作
成するので、焦点面のみにピントがよく合った断層像が
得られるとともに、周辺の断層像ほどピントがシャープ
にならないというロスも生じない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係わるラミノグラフの構成
を概略的に示す図である。

【図２】本発明の他の実施例に係わるラミノグラフの構
成を概略的に示す図である。

【図３】本発明の更に他の実施例に係わるラミノグラフ
の更に詳細な構成を示す平面図および正面図である。

【図４】図３に示すラミノグラフに使用されているＸ線
検出器の構成を示す図である。

【図５】図３に示すラミノグラフにおけるＸ線管、基
板、Ｘ線検出器の検出面の幾何学的関係を示す図であ
る。

【図６】図３に示すラミノグラフにおける複数の透過画
像をｘ方向にずらしながら加算平均する処理を示す説明
図である。

【図７】図３に示すラミノグラフで検査される基板を上
から見た図である。

【図８】図３に示すラミノグラフで検査される基板を横
から見た図である。

【図９】本発明の別の実施例に係わるラミノグラフの構
成を示す図である。

【図１０】図９に示すラミノグラフにおけるＸ線管、基
板、Ｘ線検出器の検出面の幾何学的関係を示す図であ
る。

【図１１】図９に示すラミノグラフにおける複数の透過
画像をｘ方向にずらしながら加算平均する処理を示す説
明図である。

【図１２】図９に示すラミノグラフで検査される基板を
上から見た図である。

【図１３】本発明の更に別の実施例に係わるラミノグラ
フにおけるＸ線管、被検体の焦点面およびＸ線検出器の
検出面の幾何学的関係を示す図である。

【図１４】図１３に示すラミノグラフにおけるＸ線管、
被検体の焦点面およびＸ線検出器の検出面の幾何学的関
係を示す図である。

【図１５】従来のラミノグラフの構成を示す図である。

【図１６】従来の別のラミノグラフの構成を示す図であ
る。

【符号の説明】

１放射線源２放射線ビーム３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ放射線面センサ４被検体５焦点面１１Ｘ線管１２Ｘ線ビーム１３Ｘ線検出器１４基板（被検体）１６ｘ移動機構１８ｙ移動機構２０データ収集装置２１画像処理装置

フロントページの続き (72)発明者森三樹神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地株式会社東芝生産技術研究所内 (72)発明者鈴木博勝東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】放射線を発生する放射線源と、該放射線
源に対向してｘｙ平面上のｘ方向に配列され、前記放射
線源からの被検体を透過した放射線を検出する複数の放
射線面センサと、前記放射線源と前記複数の放射線面セ
ンサとの間において被検体をｘ方向に移動させる移動手
段と、該移動手段によって被検体を前記放射線源と前記
複数の放射線面センサとの間でｘ方向に移動させた場合
に被検体を透過した前記放射線源からの放射線を前記複
数の放射線面センサで検出し、この検出出力を順次収集
して複数の透過画像を作成するデータ収集手段と、該デ
ータ収集手段で作成した前記複数の透過画像をｘ方向に
互いにずらしながら加算平均し、被検体のｘｙ平面に平
行な１つの平面に焦点の合った画像を作成する画像処理
手段とを有することを特徴とするラミノグラフ。
【請求項２】放射線を発生する放射線源と、該放射線
源に対向したｘｙ平面を測定平面として有し、該測定平
面で前記放射線源からの被検体を透過した放射線を検出
する放射線面センサと、前記放射線源と前記放射線面セ
ンサとの間において被検体をｘ方向に移動させる被検体
移動手段と、前記放射線面センサをｘ方向に移動させる
センサ移動手段と、被検体および前記放射線面センサを
移動させながら、被検体を透過した前記放射線源からの
放射線を前記放射線面センサで検出し、この検出出力を
順次収集して複数の透過画像を作成するデータ収集手段
と、該データ収集手段で作成した前記複数の透過画像を
ｘ方向に互いにずらしながら加算平均し、被検体のｘｙ
平面に平行な１つの平面に焦点の合った画像を作成する
画像処理手段とを有することを特徴とするラミノグラ
フ。
【請求項３】放射線を発生する放射線源と、該放射線
源に対向したｘｙ平面を測定平面として有し、該測定平
面で前記放射線源からの被検体を透過した放射線を検出
する放射線面センサと、前記放射線源と前記放射線面セ
ンサとの間において被検体をｘ方向に移動させる被検体
移動手段と、前記放射線面センサをｘ方向に移動させる
センサ移動手段と、被検体および前記放射線面センサを
異なる速度で移動させながら、被検体を透過した前記放
射線源からの放射線を前記放射線面センサで検出し、こ
の検出出力を順次収集して複数の透過画像を作成するデ
ータ収集手段と、該データ収集手段で作成した前記複数
の透過画像をｘ方向に互いにずらしながら加算平均し、
被検体のｘｙ平面に平行な１つの平面に焦点の合った画
像を作成する画像処理手段とを有することを特徴とする
ラミノグラフ。
【請求項４】被検体をｙ方向に移動させる移動手段を
更に有することを特徴とする請求項１，２または３記載
のラミノグラフ。