JP2000230911A - 断層映像撮影装置及び方法 - Google Patents
断層映像撮影装置及び方法Info
- Publication number
- JP2000230911A JP2000230911A JP2000025650A JP2000025650A JP2000230911A JP 2000230911 A JP2000230911 A JP 2000230911A JP 2000025650 A JP2000025650 A JP 2000025650A JP 2000025650 A JP2000025650 A JP 2000025650A JP 2000230911 A JP2000230911 A JP 2000230911A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- image
- tomographic
- plane
- planar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査物を透過した放射線映像の歪みを防止
できる断層映像撮影装置及びその方法を提供する。 【解決手段】 本発明の断層映像撮影装置は、被検査物
が搭載される搭載テーブルと、一平面上の多様な位置か
ら搭載テーブルに搭載された被検査物に対して放射線を
照射する放射線照射器と、被検査物を透過した複数の放
射線部分映像を電気的な映像信号として得る平面放射線
検出器と、平面放射線検出器により得られた映像を処理
して被検査物の断層映像を得る映像処理部とを含み、こ
こで、放射線はＸ線が利用され、平面放射線検出器は多
数個が放射線照射器の相異なるの位置から照射され被検
査物を透過する放射線映像の位置に対応されるよう設け
られることを特徴とする。
できる断層映像撮影装置及びその方法を提供する。 【解決手段】 本発明の断層映像撮影装置は、被検査物
が搭載される搭載テーブルと、一平面上の多様な位置か
ら搭載テーブルに搭載された被検査物に対して放射線を
照射する放射線照射器と、被検査物を透過した複数の放
射線部分映像を電気的な映像信号として得る平面放射線
検出器と、平面放射線検出器により得られた映像を処理
して被検査物の断層映像を得る映像処理部とを含み、こ
こで、放射線はＸ線が利用され、平面放射線検出器は多
数個が放射線照射器の相異なるの位置から照射され被検
査物を透過する放射線映像の位置に対応されるよう設け
られることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被検査物の断層映像
を得て直接に肉眼で確認できない被検査物の内部を検査
するための断層映像撮影装置及びその方法に関する。
を得て直接に肉眼で確認できない被検査物の内部を検査
するための断層映像撮影装置及びその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、工業製品の生産工程では生産さ
れた製品の異常有無を確認するための色々な品質検査が
施されている。印刷回路基板に実装された電子部品のハ
ンダ付けなどのように肉眼で直接にその異常有無を確認
できない対象については放射線断層映像、例えばＸ線断
層映像(以下、'Ｘ線断層映像'と称する)を通した品質検
査が実施されている。このようなＸ線断層映像を用いた
品質検査は、図１に示したような断層映像撮影装置とい
う専用の機器によりなされる。
れた製品の異常有無を確認するための色々な品質検査が
施されている。印刷回路基板に実装された電子部品のハ
ンダ付けなどのように肉眼で直接にその異常有無を確認
できない対象については放射線断層映像、例えばＸ線断
層映像(以下、'Ｘ線断層映像'と称する)を通した品質検
査が実施されている。このようなＸ線断層映像を用いた
品質検査は、図１に示したような断層映像撮影装置とい
う専用の機器によりなされる。
【０００３】このような従来の断層映像撮影装置は、図
１に示したように、搭載テーブル１０、Ｘ線照射器２
０、映像増配管３０、ビューセレクター４０及びカメラ
５０とを含む。Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線は図
２に示したように、円周に沿って一定速度に回転され
る。このように回転されるＸ線は搭載テーブル１０に搭
載された被検査物(Ｅ)を透過するようになる。被検査物
(Ｅ)を透過したＸ線は映像増配管３０を通して可視映像
として結像される。
１に示したように、搭載テーブル１０、Ｘ線照射器２
０、映像増配管３０、ビューセレクター４０及びカメラ
５０とを含む。Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線は図
２に示したように、円周に沿って一定速度に回転され
る。このように回転されるＸ線は搭載テーブル１０に搭
載された被検査物(Ｅ)を透過するようになる。被検査物
(Ｅ)を透過したＸ線は映像増配管３０を通して可視映像
として結像される。
【０００４】この際、得ようとする映像はＸ線の発生位
置によって映像増配管３０の映像面３２で、図２のよう
に、相異なる位置に結像される。このように相異なる位
置に結像される映像はそれぞれ異る方向からＸ線を透過
させ得た部分映像であって、この部分映像を特定の方法
で合成して一つの断面に対するＸ線断層映像を得る。
置によって映像増配管３０の映像面３２で、図２のよう
に、相異なる位置に結像される。このように相異なる位
置に結像される映像はそれぞれ異る方向からＸ線を透過
させ得た部分映像であって、この部分映像を特定の方法
で合成して一つの断面に対するＸ線断層映像を得る。
【０００５】通常、Ｘ線が円周に沿って移動する時、被
検査物を透過した部分映像もやはり映像増配管３０の映
像面３２上で円周に沿って動くようになる。従って、ビ
ューセレクター４０を通じて映像面３２上の部分映像を
選択し、これら部分映像をカメラ５０で取得する。
検査物を透過した部分映像もやはり映像増配管３０の映
像面３２上で円周に沿って動くようになる。従って、ビ
ューセレクター４０を通じて映像面３２上の部分映像を
選択し、これら部分映像をカメラ５０で取得する。
【０００６】ここでビューセレクター４０は二枚の鏡を
利用して映像面３２の特定位置に結ばれた映像をカメラ
５０に導くもので、その代表的な例がFour PI Systems
社に許可された米国特許第4、926、452号とThermo Spe
ctra社に許可された米国特許第5、594、770号にそれぞ
れ開示されている。
利用して映像面３２の特定位置に結ばれた映像をカメラ
５０に導くもので、その代表的な例がFour PI Systems
社に許可された米国特許第4、926、452号とThermo Spe
ctra社に許可された米国特許第5、594、770号にそれぞ
れ開示されている。
【０００７】Four PI Systems社のビューセレクターは
図３に示したように、お互い斜めに向い合って設けられ
た一対の鏡４２a、４２bが映像面３２に沿って移動する
映像と等速度に回転され、円周上の映像をカメラ５０に
導く。Thermo Spectra社の製品の場合は、図４に示した
通り、一対の鏡４４a、４４bが映像増配管の下側でそれ
ぞれX軸及びY軸を中心に回転可能に設けられている。映
像増配管の映像面３２に結ばれた部分映像が移動する
時、一対の鏡４４a、４４bは映像面３２上の特定領域の
部分映像が選ばれるようにX軸及びY軸を中心に回転され
る。これに伴い、映像面３２上の部分映像が一対の鏡４
４a、４４bに順次に反射されカメラ５０に捕えられるよ
うになる。一方、図４において部材符号４３、４５は一
対の鏡４４a、４４bを回転させるためのモータである。
図３に示したように、お互い斜めに向い合って設けられ
た一対の鏡４２a、４２bが映像面３２に沿って移動する
映像と等速度に回転され、円周上の映像をカメラ５０に
導く。Thermo Spectra社の製品の場合は、図４に示した
通り、一対の鏡４４a、４４bが映像増配管の下側でそれ
ぞれX軸及びY軸を中心に回転可能に設けられている。映
像増配管の映像面３２に結ばれた部分映像が移動する
時、一対の鏡４４a、４４bは映像面３２上の特定領域の
部分映像が選ばれるようにX軸及びY軸を中心に回転され
る。これに伴い、映像面３２上の部分映像が一対の鏡４
４a、４４bに順次に反射されカメラ５０に捕えられるよ
うになる。一方、図４において部材符号４３、４５は一
対の鏡４４a、４４bを回転させるためのモータである。
【０００８】しかし、前述したような従来の断層映像撮
影装置は、映像増配管３０を使用しており、この映像増
配管３０に結ばれた複数の部分映像をビューセレクター
４０で選択してカメラ５０で得る構造よりなっているた
め、映像増配管３０の構造などによりＸ線映像が結ばれ
る位置に応じて映像の歪みが生ずる問題点がある。さら
に、前記Thermo Spectra社のビューセレクターは映像
の位置に応じて光軸の入射角が各々変わるので、映像の
歪みがさらにひどく現れる。
影装置は、映像増配管３０を使用しており、この映像増
配管３０に結ばれた複数の部分映像をビューセレクター
４０で選択してカメラ５０で得る構造よりなっているた
め、映像増配管３０の構造などによりＸ線映像が結ばれ
る位置に応じて映像の歪みが生ずる問題点がある。さら
に、前記Thermo Spectra社のビューセレクターは映像
の位置に応じて光軸の入射角が各々変わるので、映像の
歪みがさらにひどく現れる。
【０００９】このように映像の歪みが生ずれば、被検査
物に対する正確な断層映像を得られないため、従来はカ
メラ５０で取得したそれぞれの部分映像を合成する直前
にソフトウェアー的に映像の歪みを補正する過程を持っ
ており、これにともなう断層映像撮影装置の制御に困難
があった。
物に対する正確な断層映像を得られないため、従来はカ
メラ５０で取得したそれぞれの部分映像を合成する直前
にソフトウェアー的に映像の歪みを補正する過程を持っ
ており、これにともなう断層映像撮影装置の制御に困難
があった。
【００１０】また、従来の断層映像撮影装置は、前述し
たような映像の歪み問題以外も映像増配管３０の映像面
に結ばれた複数の部分映像を選ぶためにビューセレクタ
ー、即ち一対の鏡４２a、４２b又は４４a、４４bを回転
駆動させるための駆動部を持つため、その構成が複雑で
故障する確率が高いという他の問題もあった。
たような映像の歪み問題以外も映像増配管３０の映像面
に結ばれた複数の部分映像を選ぶためにビューセレクタ
ー、即ち一対の鏡４２a、４２b又は４４a、４４bを回転
駆動させるための駆動部を持つため、その構成が複雑で
故障する確率が高いという他の問題もあった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述した点に
鑑みて案出されたことで、被検査物を透過した放射線映
像の歪みを防止できる断層映像撮影装置及びその方法を
提供するところにその目的がある。
鑑みて案出されたことで、被検査物を透過した放射線映
像の歪みを防止できる断層映像撮影装置及びその方法を
提供するところにその目的がある。
【００１２】本発明の他の目的は駆動部品の使用を最小
化してその構成が簡単で信頼性が向上できる断層映像撮
影装置及びその方法を提供するところにある。
化してその構成が簡単で信頼性が向上できる断層映像撮
影装置及びその方法を提供するところにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の前述した目的を
達成するための断層映像撮影装置は、被検査物が搭載さ
れる搭載テーブルと、一平面上の多様な位置から搭載テ
ーブルに搭載された被検査物に対して放射線を照射する
放射線照射器と、被検査物を透過した複数の放射線部分
映像を電気的な映像信号として得て出力する平面放射線
検出器と、平面放射線検出器により得られた複数の部分
映像を合成処理して被検査物の断層映像を得る映像処理
部とを含む。
達成するための断層映像撮影装置は、被検査物が搭載さ
れる搭載テーブルと、一平面上の多様な位置から搭載テ
ーブルに搭載された被検査物に対して放射線を照射する
放射線照射器と、被検査物を透過した複数の放射線部分
映像を電気的な映像信号として得て出力する平面放射線
検出器と、平面放射線検出器により得られた複数の部分
映像を合成処理して被検査物の断層映像を得る映像処理
部とを含む。
【００１４】本発明の望ましい実施形態によれば、放射
線はＸ線であることを特徴とする。
線はＸ線であることを特徴とする。
【００１５】平面放射線検出器は、一つまたは多数個が
備わられる。この際、一つの平面放射線検出器が備わる
場合、平面放射線検出器はXYテーブルに搭載され放射線
照射器の相異なる位置から照射される放射線の位置に対
応して移動するように設けられる。そして、多数の平面
放射線検出器が備わる場合、多数の平面放射線検出器は
放射線照射器の相異なる位置から照射され被検査物を透
過する放射線の位置に対応されるよう設けられる。ここ
で、平面放射線検出器の数は４乃至８個が望ましい。よ
り望ましくは、搭載テーブルの直下方に他の平面放射線
検出器がさらに設けられる。
備わられる。この際、一つの平面放射線検出器が備わる
場合、平面放射線検出器はXYテーブルに搭載され放射線
照射器の相異なる位置から照射される放射線の位置に対
応して移動するように設けられる。そして、多数の平面
放射線検出器が備わる場合、多数の平面放射線検出器は
放射線照射器の相異なる位置から照射され被検査物を透
過する放射線の位置に対応されるよう設けられる。ここ
で、平面放射線検出器の数は４乃至８個が望ましい。よ
り望ましくは、搭載テーブルの直下方に他の平面放射線
検出器がさらに設けられる。
【００１６】映像処理部は、コンピュータと平面放射線
検出器により得られた電気的な映像信号をコンピュータ
が処理できる映像データに変換してコンピュータに入力
するフレームグラ─バーで構成される。
検出器により得られた電気的な映像信号をコンピュータ
が処理できる映像データに変換してコンピュータに入力
するフレームグラ─バーで構成される。
【００１７】一方、本発明の前述したような目的を達成
するための断層映像撮影方法は、a)断層映像撮影装置の
搭載テーブルに被検査物を載置し、被検査物に対する一
断層面の高さを断層映像撮影装置の焦点平面に合せる段
階と、b)放射線照射器から発生された放射線を放射線照
射器の円周上の少なくとも二個所以上の位置で被検査物
に対して照射される段階と、c)被検査物を透過した少な
くとも二個の放射線部分映像を平面放射線検出器を利用
して電気的な映像信号として得る段階と、d)平面放射線
検出器により得られた少なくとも２個の放射線映像信号
を合成処理して断層映像を得る段階とを含むことを特徴
とする。
するための断層映像撮影方法は、a)断層映像撮影装置の
搭載テーブルに被検査物を載置し、被検査物に対する一
断層面の高さを断層映像撮影装置の焦点平面に合せる段
階と、b)放射線照射器から発生された放射線を放射線照
射器の円周上の少なくとも二個所以上の位置で被検査物
に対して照射される段階と、c)被検査物を透過した少な
くとも二個の放射線部分映像を平面放射線検出器を利用
して電気的な映像信号として得る段階と、d)平面放射線
検出器により得られた少なくとも２個の放射線映像信号
を合成処理して断層映像を得る段階とを含むことを特徴
とする。
【００１８】これによれば、被検査物を透過した放射線
映像を平面放射線検出器を利用して直接に得るため、従
来のような映像の歪みが生じない。また、映像増配管、
ビューセレクター及びカメラなどの構成部品が不要であ
り、多数の平面放射線検出器を備える場合は駆動部が不
要なので、断層映像撮影装置の構成が簡単になり、検査
の信頼性を一層高められる。
映像を平面放射線検出器を利用して直接に得るため、従
来のような映像の歪みが生じない。また、映像増配管、
ビューセレクター及びカメラなどの構成部品が不要であ
り、多数の平面放射線検出器を備える場合は駆動部が不
要なので、断層映像撮影装置の構成が簡単になり、検査
の信頼性を一層高められる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明の一実施形態をさらに詳しく説明する。
明の一実施形態をさらに詳しく説明する。
【００２０】本発明の一実施形態にともなう断層映像撮
影装置が図５に示されている。示したように、本発明に
係る断層映像撮影装置は搭載テーブル１１０と、放射線
照射器１２０と、平面放射線検出器１３０と、映像処理
部１４０とを含む。
影装置が図５に示されている。示したように、本発明に
係る断層映像撮影装置は搭載テーブル１１０と、放射線
照射器１２０と、平面放射線検出器１３０と、映像処理
部１４０とを含む。
【００２１】搭載テーブル１１０には被検査物(Ｅ)が搭
載され、該搭載テーブル１１０は被検査物(Ｅ)の所望の
領域の断面を得られるように前後、左右及び上下方向に
移動可能に設けられる。上記のように設けられた搭載テ
ーブル１１０を移動させ被検査物(Ｅ)に対する一断層面
の高さを断層映像撮影装置の焦点平面に合せる。
載され、該搭載テーブル１１０は被検査物(Ｅ)の所望の
領域の断面を得られるように前後、左右及び上下方向に
移動可能に設けられる。上記のように設けられた搭載テ
ーブル１１０を移動させ被検査物(Ｅ)に対する一断層面
の高さを断層映像撮影装置の焦点平面に合せる。
【００２２】放射線照射器１２０は被検査物(Ｅ)の上側
に置かれた平面上の多様な位置から被検査物(Ｅ)に放射
線を照射する。ここで、放射線としてはＸ線を使用する
ことが望ましく、このＸ線が照射される多様な位置は放
射線照射器１２０の円周を成す。
に置かれた平面上の多様な位置から被検査物(Ｅ)に放射
線を照射する。ここで、放射線としてはＸ線を使用する
ことが望ましく、このＸ線が照射される多様な位置は放
射線照射器１２０の円周を成す。
【００２３】平面放射線検出器１３０は搭載テーブル１
１０の下側に多数個が円周をなすように設けられる。こ
の平面放射線検出器１３０は前記被検査物(Ｅ)を透過し
た複数の放射線部分映像を電気的な映像信号として得て
出力する。このような役割を果たす平面放射線検出器１
３０は現在多種が開発され販売中であるが、本発明では
フランスDpix社で製作されたモデル名フラッシュスキャ
ン30(Flash Scan 30)を採用して構成したが、これに限
らず、いかなる種類の平面放射線検出器を使用しても問
題ない。
１０の下側に多数個が円周をなすように設けられる。こ
の平面放射線検出器１３０は前記被検査物(Ｅ)を透過し
た複数の放射線部分映像を電気的な映像信号として得て
出力する。このような役割を果たす平面放射線検出器１
３０は現在多種が開発され販売中であるが、本発明では
フランスDpix社で製作されたモデル名フラッシュスキャ
ン30(Flash Scan 30)を採用して構成したが、これに限
らず、いかなる種類の平面放射線検出器を使用しても問
題ない。
【００２４】一方、図示例では４個の平面放射線検出器
１３０が放射線照射器１２０の円周方向を追って約９０
゜の等間隔に設けられた例を示してあるが、これに必ず
限定するものではなく、平面放射線検出器１３０の数に
は制限がない。設けられた平面放射線検出器１３０の数
が多いほど断層映像の輪郭をさらに正確に得られるが、
製品コストアップを招き、検査時間が延びるので、適切
な数に選択する必要がある。実験によれば、平面放射線
検出器１３０は４個乃至８個が望ましいことと現れた。
さらに望ましくは、図６のように、搭載テーブル１１０
の直下方にもう一つの平面放射線検出器１３０aが設け
られれば、放射線照射器１２０から被検査物(Ｅ)を垂直
に透過する放射線映像を得られる。
１３０が放射線照射器１２０の円周方向を追って約９０
゜の等間隔に設けられた例を示してあるが、これに必ず
限定するものではなく、平面放射線検出器１３０の数に
は制限がない。設けられた平面放射線検出器１３０の数
が多いほど断層映像の輪郭をさらに正確に得られるが、
製品コストアップを招き、検査時間が延びるので、適切
な数に選択する必要がある。実験によれば、平面放射線
検出器１３０は４個乃至８個が望ましいことと現れた。
さらに望ましくは、図６のように、搭載テーブル１１０
の直下方にもう一つの平面放射線検出器１３０aが設け
られれば、放射線照射器１２０から被検査物(Ｅ)を垂直
に透過する放射線映像を得られる。
【００２５】映像処理部１４０では多数の平面放射線検
出器１３０で得た部分映像を合成処理して所望の断面の
断層映像を得る。この映像処理部１４０はフレームグラ
ーバー(frame grabber)１４４とコンピュータ１４２よ
りなる。フレームグラーバー１４４は多数の平面放射線
検出器１３０から出力される電気的な映像信号を受けて
コンピュータ１４２が処理できる映像データに変化させ
コンピュータ１４２に入力する。そして、コンピュータ
１４２はこれら映像データを処理する。
出器１３０で得た部分映像を合成処理して所望の断面の
断層映像を得る。この映像処理部１４０はフレームグラ
ーバー(frame grabber)１４４とコンピュータ１４２よ
りなる。フレームグラーバー１４４は多数の平面放射線
検出器１３０から出力される電気的な映像信号を受けて
コンピュータ１４２が処理できる映像データに変化させ
コンピュータ１４２に入力する。そして、コンピュータ
１４２はこれら映像データを処理する。
【００２６】このように構成された本発明の一実施形態
にともなう断層映像撮影装置の断層映像撮影方法を段階
別に説明すれば次の通りである。
にともなう断層映像撮影装置の断層映像撮影方法を段階
別に説明すれば次の通りである。
【００２７】まず、被検査物(Ｅ)を搭載テーブル１１０
に載置して固定した後、搭載テーブル１１０を移動しつ
つ被検査物(Ｅ)に対する一断層面の高さを断層映像撮影
装置の焦点平面に合せる。これは自動に調整される事が
でき、作業者により手動に調整される事も出来る。
に載置して固定した後、搭載テーブル１１０を移動しつ
つ被検査物(Ｅ)に対する一断層面の高さを断層映像撮影
装置の焦点平面に合せる。これは自動に調整される事が
でき、作業者により手動に調整される事も出来る。
【００２８】前述したような焦点調整が終われば、放射
線照射器１２０から被検査物(Ｅ)に対して放射線が照射
されるが、放射線照射器の円周上の少なくとも二個所以
上の位置、本実施形態によれば、四個所乃至八個所の位
置から前記被検査物(Ｅ)に対して放射線が照射される。
線照射器１２０から被検査物(Ｅ)に対して放射線が照射
されるが、放射線照射器の円周上の少なくとも二個所以
上の位置、本実施形態によれば、四個所乃至八個所の位
置から前記被検査物(Ｅ)に対して放射線が照射される。
【００２９】上記の過程により放射線照射器１２０から
照射される放射線は被検査物(Ｅ)を透過して多数の平面
放射線検出器１３０のうち一つに照らされ、平面放射線
検出器１３０はこの映像を電気的な映像信号に変換して
フレームグラ─バー１４４に出力する。フレームグラ─
バー１４４はこの電気映像信号をコンピュータ１４２が
処理できる映像データに変えてコンピュータ１４２に出
力する。
照射される放射線は被検査物(Ｅ)を透過して多数の平面
放射線検出器１３０のうち一つに照らされ、平面放射線
検出器１３０はこの映像を電気的な映像信号に変換して
フレームグラ─バー１４４に出力する。フレームグラ─
バー１４４はこの電気映像信号をコンピュータ１４２が
処理できる映像データに変えてコンピュータ１４２に出
力する。
【００３０】このような過程が放射線照射器１２０の相
異なる多様な位置から順次に放射線が照射される間相異
なるそれぞれの位置に対応される平面放射線検出器１３
０により繰り返してなされる。ここで、平面放射線検出
器１３０により得られた放射線映像は従来の映像増配管
により得られた映像に比較すれば映像の歪みがほとんど
生じないため、その品質に優れた長所がある。従って、
従来のような映像歪み補正過程を削除できる。
異なる多様な位置から順次に放射線が照射される間相異
なるそれぞれの位置に対応される平面放射線検出器１３
０により繰り返してなされる。ここで、平面放射線検出
器１３０により得られた放射線映像は従来の映像増配管
により得られた映像に比較すれば映像の歪みがほとんど
生じないため、その品質に優れた長所がある。従って、
従来のような映像歪み補正過程を削除できる。
【００３１】全ての平面放射線検出器１３０で得た放射
線映像がフレームグラ─バ─１４４を通じてコンピュー
タ１４２に入力されれば、コンピュータ１４２はこれら
多数の映像を合成処理して所望の断面の断層映像を得
る。
線映像がフレームグラ─バ─１４４を通じてコンピュー
タ１４２に入力されれば、コンピュータ１４２はこれら
多数の映像を合成処理して所望の断面の断層映像を得
る。
【００３２】一方、本発明は上記の実施形態のように多
数の平面放射線検出器１３０及び１３０aを使用せず、
図７に示したように、一つの平面放射線検出器１３０'
を利用して構成される事も出来る。この場合、平面放射
線検出器１３０'はＸＹテーブル１３２上に搭載される
が、このＸＹテーブル１３２は放射線照射器１２０の多
様な位置から照射される放射線映像に対応される位置に
順次に移動するように設けられる。その他の構成及び作
用は前述した本発明の一実施形態と同一なので、ここで
は具体的な説明を省く。
数の平面放射線検出器１３０及び１３０aを使用せず、
図７に示したように、一つの平面放射線検出器１３０'
を利用して構成される事も出来る。この場合、平面放射
線検出器１３０'はＸＹテーブル１３２上に搭載される
が、このＸＹテーブル１３２は放射線照射器１２０の多
様な位置から照射される放射線映像に対応される位置に
順次に移動するように設けられる。その他の構成及び作
用は前述した本発明の一実施形態と同一なので、ここで
は具体的な説明を省く。
【００３３】
【発明の効果】以上述べた通り、本発明によれば、被検
査物を透過した放射線映像を平面放射線検出器を利用し
て直接に得るため、従来のような映像の歪みが生じな
い。従って、断層映像を得る過程中の一つ、即ち従来の
映像の歪みが生ずることによって映像合成過程の直前に
必ず行うべきだった映像歪み補正過程を削除できるの
で、断層映像撮影装置の制御が容易にできる。
査物を透過した放射線映像を平面放射線検出器を利用し
て直接に得るため、従来のような映像の歪みが生じな
い。従って、断層映像を得る過程中の一つ、即ち従来の
映像の歪みが生ずることによって映像合成過程の直前に
必ず行うべきだった映像歪み補正過程を削除できるの
で、断層映像撮影装置の制御が容易にできる。
【００３４】また、本発明は映像増配管、ビューセレク
ター及びカメラなどの構成部品が不要であり、多数の平
面放射線検出器を備える場合は駆動部が不要なので、断
層映像撮影装置の構成が簡単になり検査の信頼性を一層
高められる。
ター及びカメラなどの構成部品が不要であり、多数の平
面放射線検出器を備える場合は駆動部が不要なので、断
層映像撮影装置の構成が簡単になり検査の信頼性を一層
高められる。
【００３５】以上、は本発明の特定の望ましい実施形態
について示しかつ説明した。しかし、本発明は前述した
実施形態に限らず、特許請求の範囲で請求する本発明の
要旨を逸脱せず当該発明の属する分野で通常の知識を持
つ者ならば誰でも多様な変形実施が可能である。
について示しかつ説明した。しかし、本発明は前述した
実施形態に限らず、特許請求の範囲で請求する本発明の
要旨を逸脱せず当該発明の属する分野で通常の知識を持
つ者ならば誰でも多様な変形実施が可能である。
【図１】 一般の断層映像撮影装置の構成を示した斜
視図である。
視図である。
【図２】 図１に示した一般の断層映像撮影装置でＸ
線の照射方向にともなう透過映像の位置変化を示した模
式図である。
線の照射方向にともなう透過映像の位置変化を示した模
式図である。
【図３】 従来の断層映像撮影装置に適用されたビュ
ーセレクターの一例を示した概略図である。
ーセレクターの一例を示した概略図である。
【図４】 従来の断層映像撮影装置に適用されたビュ
ーセレクターの他の例を示した概略図である。
ーセレクターの他の例を示した概略図である。
【図５】 本発明の第１実施形態にともなう断層映像
撮影装置の構成を示した概略図である。
撮影装置の構成を示した概略図である。
【図６】 本発明の第２実施形態にともなう断層映像
撮影装置の構成を示した概略図である。
撮影装置の構成を示した概略図である。
【図７】 本発明の第３実施形態にともなう断層映像
撮影装置の構成を示した概略図である。
撮影装置の構成を示した概略図である。
１１０ 搭載テーブル １２０ 放射線照射器 １３０，１３０a 平面放射線検出器 １３２ ＸＹテーブル １４０ 映像処理部 １４２ コンピュータ １４４ フレームグラーバー Ｅ 被検査物
Claims (8)
- 【請求項１】 被検査物が搭載される搭載テーブル
と、 一平面上の多様な位置で前記搭載テーブルに搭載された
被検査物に対して放射線を照射する放射線照射器と、 前記被検査物を透過した複数の放射線部分映像を電気的
な映像信号として得て出力する平面放射線検出器と、 前記平面放射線検出器により得られた複数の部分映像を
合成処理して被検査物の断層映像を得る映像処理部とを
含むことを特徴とする断層映像撮影装置。 - 【請求項２】 前記放射線はＸ線であることを特徴と
する請求項１に記載の断層映像撮影装置。 - 【請求項３】 多数の前記平面放射線検出器が前記放
射線照射器の相異なる位置から照射される放射線の位置
に対応されるよう設けられたことを特徴とする請求項１
に記載の断層映像撮影装置。 - 【請求項４】 前記平面放射線検出器の数は４乃至８
個であることを特徴とする請求項３に記載の断層映像撮
影装置。 - 【請求項５】 前記搭載テーブルの直下方に他の平面
放射線検出器がさらに設けられたことを特徴とする請求
項４に記載の断層映像撮影装置。 - 【請求項６】 一つの前記平面放射線検出器が前記放
射線照射器の相異なる位置から照射され前記被検査物を
透過した放射線映像の位置に対応して移動されるように
設けられたことを特徴とする請求項１に記載の断層映像
撮影装置。 - 【請求項７】 前記映像処理部は、 前記平面放射線検出器により得られた複数の放射線部分
映像を合成処理するコンピュータと、 前記平面放射線検出器から出力される電気的な映像信号
を前記コンピュータが処理できる映像データに変換して
前記コンピュータに入力させるフレームグラーバーとを
含むことを特徴とする請求項１に記載の断層映像撮影装
置。 - 【請求項８】 a) 断層検査装置の搭載テーブルに被
検査物を載置し、前記被検査物に対する一断層面の高さ
を断層映像撮影装置の焦点平面に合せる段階と、 b) 放射線照射器から発生された放射線を放射線照射器
の円周上の少なくとも二個所以上の位置から前記被検査
物に対して照射する段階と、 c) 前記被検査物を透過した少なくとも二つの放射線部
分映像を平面放射線検出器を利用して電気的な映像信号
として得る段階と、 d) 前記平面放射線検出器により得られた少なくとも二
つの放射線映像信号を処理して断層映像を得る段階とを
含むことを特徴とする断層映像撮影方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR19993409 | 1999-02-02 | ||
| KR19990003409 | 1999-02-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000230911A true JP2000230911A (ja) | 2000-08-22 |
Family
ID=19573095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000025650A Pending JP2000230911A (ja) | 1999-02-02 | 2000-02-02 | 断層映像撮影装置及び方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6480564B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000230911A (ja) |
| TW (1) | TW418342B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007107959A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Hitachi Ltd | Ｒｔ３次元サイジング装置 |
| KR101773960B1 (ko) | 2011-06-30 | 2017-09-12 | 한국전자통신연구원 | 단층합성영상 시스템 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7188998B2 (en) | 2002-03-13 | 2007-03-13 | Breakaway Imaging, Llc | Systems and methods for quasi-simultaneous multi-planar x-ray imaging |
| JP2005527800A (ja) | 2002-03-19 | 2005-09-15 | ブレークアウェイ・イメージング・エルエルシー | 大視野の対象物を画像化するシステムおよび方法 |
| CN100482165C (zh) | 2002-06-11 | 2009-04-29 | 分离成像有限责任公司 | 用于x射线成像的悬臂式支架装置 |
| US7106825B2 (en) | 2002-08-21 | 2006-09-12 | Breakaway Imaging, Llc | Apparatus and method for reconstruction of volumetric images in a divergent scanning computed tomography system |
| US7991242B2 (en) | 2005-05-11 | 2011-08-02 | Optosecurity Inc. | Apparatus, method and system for screening receptacles and persons, having image distortion correction functionality |
| CA2608119A1 (en) | 2005-05-11 | 2006-11-16 | Optosecurity Inc. | Method and system for screening luggage items, cargo containers or persons |
| US7899232B2 (en) | 2006-05-11 | 2011-03-01 | Optosecurity Inc. | Method and apparatus for providing threat image projection (TIP) in a luggage screening system, and luggage screening system implementing same |
| US8494210B2 (en) | 2007-03-30 | 2013-07-23 | Optosecurity Inc. | User interface for use in security screening providing image enhancement capabilities and apparatus for implementing same |
| JP2008224448A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Omron Corp | Ｘ線検査方法およびｘ線検査装置 |
| US7529336B2 (en) | 2007-05-31 | 2009-05-05 | Test Research, Inc. | System and method for laminography inspection |
| WO2009084581A1 (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-09 | Omron Corporation | Ｘ線検査装置およびｘ線検査方法 |
| TWI394490B (zh) * | 2008-09-10 | 2013-04-21 | Omron Tateisi Electronics Co | Ｘ射線檢查裝置及ｘ射線檢查方法 |
| EP2753920B1 (en) | 2011-09-07 | 2018-04-04 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray inspection system that integrates manifest data with imaging/detection processing |
| GB2564038B (en) | 2016-02-22 | 2021-11-10 | Rapiscan Systems Inc | Systems and methods for detecting threats and contraband in cargo |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4926452A (en) | 1987-10-30 | 1990-05-15 | Four Pi Systems Corporation | Automated laminography system for inspection of electronics |
| JPH0351040A (ja) | 1989-07-19 | 1991-03-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｘ線撮影方法 |
| JPH03186710A (ja) | 1989-12-18 | 1991-08-14 | Hitachi Ltd | Ｘ線断層撮影方法とその装置並びにｘ線発生用ターゲット |
| JP2849491B2 (ja) | 1991-04-25 | 1999-01-20 | 株式会社日立製作所 | Ｘ線断層撮影方法とその装置 |
| GB9214114D0 (en) * | 1992-07-03 | 1992-08-12 | Ibm | X-ray inspection apparatus for electronic circuits |
| JPH06265487A (ja) | 1993-03-15 | 1994-09-22 | Hitachi Ltd | 透過ｘ線による断層像検出方法とその装置 |
| EP0683389A1 (en) * | 1994-05-12 | 1995-11-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Laminograph and inspection and repair device using the same |
| US5594770A (en) | 1994-11-18 | 1997-01-14 | Thermospectra Corporation | Method and apparatus for imaging obscured areas of a test object |
-
2000
- 2000-02-01 TW TW089101737A patent/TW418342B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-02-02 JP JP2000025650A patent/JP2000230911A/ja active Pending
- 2000-02-02 US US09/496,623 patent/US6480564B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007107959A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Hitachi Ltd | Ｒｔ３次元サイジング装置 |
| JP4676300B2 (ja) * | 2005-10-12 | 2011-04-27 | 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 | Ｒｔ３次元サイジング装置 |
| KR101773960B1 (ko) | 2011-06-30 | 2017-09-12 | 한국전자통신연구원 | 단층합성영상 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW418342B (en) | 2001-01-11 |
| US6480564B1 (en) | 2002-11-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000230911A (ja) | 断層映像撮影装置及び方法 | |
| JP4619349B2 (ja) | 偏心断層合成 | |
| US7099432B2 (en) | X-ray inspection apparatus and X-ray inspection method | |
| JP4577312B2 (ja) | Ｘ線ｃｔ装置およびｘ線ｃｔ方法 | |
| US6574296B2 (en) | Computer tomography unit and method for operating same | |
| JP4740779B2 (ja) | 放射線撮影装置 | |
| JP4488885B2 (ja) | Ｃｔ装置 | |
| JP2009115462A (ja) | Ｘ線断層画像によるはんだ電極の検査方法およびこの方法を用いた基板検査装置 | |
| JP2000262515A (ja) | 放射線画像撮影方法及び装置 | |
| KR20000021710A (ko) | 단층 검사 장치 | |
| JPH0785520B2 (ja) | 電子回路用のｘ線検査装置 | |
| US20050185755A1 (en) | Radiographic apparatus and radiation detection signal processing method | |
| JP2003240736A (ja) | Ｘ線断層面検査方法、及びｘ線断層面検査装置 | |
| JPH0861941A (ja) | 放射線検査装置 | |
| KR20010006602A (ko) | 단층영상 촬영장치 및 방법 | |
| JPWO2005008227A1 (ja) | 透過撮影装置 | |
| JP6671413B2 (ja) | 放射線画像取得装置 | |
| KR102679145B1 (ko) | 토모신테시스를 활용한 3d 이미지 재구성 방법 및 그 시스템 | |
| JP3690786B2 (ja) | Ｘ線断層撮像装置 | |
| JP2009014710A (ja) | Ｘ線ｃｔ装置 | |
| KR100487148B1 (ko) | 엑스선 촬영장치의 단층영상 복원방법 | |
| JP4609643B2 (ja) | Ｘ線ｃｔ装置 | |
| JP2013160710A (ja) | 放射線撮影装置および投影画像処理方法 | |
| JPH06265487A (ja) | 透過ｘ線による断層像検出方法とその装置 | |
| JP2004333310A (ja) | Ｘ線断層撮像装置 |