JPH0785520B2 - 電子回路用のx線検査装置 - Google Patents
電子回路用のx線検査装置Info
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- JPH0785520B2 JPH0785520B2 JP5135678A JP13567893A JPH0785520B2 JP H0785520 B2 JPH0785520 B2 JP H0785520B2 JP 5135678 A JP5135678 A JP 5135678A JP 13567893 A JP13567893 A JP 13567893A JP H0785520 B2 JPH0785520 B2 JP H0785520B2
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- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/303—Contactless testing of integrated circuits
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、製造済みの電子部品を
X線を用いてプログラマブルに高解像度の検査を行うた
めの電子計算機制御化されたシステムに関するものであ
る。
X線を用いてプログラマブルに高解像度の検査を行うた
めの電子計算機制御化されたシステムに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】電子部品の小型化、それに伴うプリント
配線基板上の部品密度の増加が著しいために、伝統的検
査方法によってはもはや十分かつ正確な品質管理検査を
行うことができなくなった。特に、ダイレクト・チップ
・アッタチメント(DCA)を用いるとハンダの接合部
が観察できないために、電子部品の速くて正確な品質管
理検査が難しい。電子部品の内部構造や接合部のイメー
ジを生成して電子部品を検査するために、透過性放射線
を用いることは知られている。既存の検査システムのほ
とんどは、X線放射およびX線写真の技術を用いてい
る。
配線基板上の部品密度の増加が著しいために、伝統的検
査方法によってはもはや十分かつ正確な品質管理検査を
行うことができなくなった。特に、ダイレクト・チップ
・アッタチメント(DCA)を用いるとハンダの接合部
が観察できないために、電子部品の速くて正確な品質管
理検査が難しい。電子部品の内部構造や接合部のイメー
ジを生成して電子部品を検査するために、透過性放射線
を用いることは知られている。既存の検査システムのほ
とんどは、X線放射およびX線写真の技術を用いてい
る。
【0003】欧州特許236001号は、ディジタルX
線写真技術を用いてプリント配線基板上のハンダ接合部
の検査をする機械について述べている。この機械により
行われる検査は多くの場合十分なものであるが、ハンダ
接合部の幾つかの特徴が他の隣接する物体によりマスク
される場合がある。
線写真技術を用いてプリント配線基板上のハンダ接合部
の検査をする機械について述べている。この機械により
行われる検査は多くの場合十分なものであるが、ハンダ
接合部の幾つかの特徴が他の隣接する物体によりマスク
される場合がある。
【0004】この技術の改良が米国特許第492645
2号に開示されたシステムで与えられる。このシステム
は回転式検出器と組み合わされた回転式X線ビームを利
用して、検査すべきプリント配線基板の断面のイメージ
を生成する。このようなシステムは、高解像度のイメー
ジを用いて自動化されたラミノグラフィ(lamino
graphy)検査を行う。しかしこのシステムは、検
出器の回転質量が大きいことや検査の実施方法に起因す
る幾つかの欠点を有していた。またこのシステムにより
得られた連続イメージ・ラミノグラフィは、広範囲の電
子部品をカバーすることができるが、全ラミノグラフ・
イメージにおいて問題を生じうる任意のイメージ角度か
らの濃い影を取り除くことができなかった。さらにパラ
メータ(例えばX線の入射角度)の修正は、拡大を犠牲
にしないと容易にすることができない。
2号に開示されたシステムで与えられる。このシステム
は回転式検出器と組み合わされた回転式X線ビームを利
用して、検査すべきプリント配線基板の断面のイメージ
を生成する。このようなシステムは、高解像度のイメー
ジを用いて自動化されたラミノグラフィ(lamino
graphy)検査を行う。しかしこのシステムは、検
出器の回転質量が大きいことや検査の実施方法に起因す
る幾つかの欠点を有していた。またこのシステムにより
得られた連続イメージ・ラミノグラフィは、広範囲の電
子部品をカバーすることができるが、全ラミノグラフ・
イメージにおいて問題を生じうる任意のイメージ角度か
らの濃い影を取り除くことができなかった。さらにパラ
メータ(例えばX線の入射角度)の修正は、拡大を犠牲
にしないと容易にすることができない。
【0005】例えば、DCAプリント配線基板に対して
は高角度(50度までの)の検査が必要とされるが、米
国特許第4926452号では低角度(30度より小さ
い)のみが可能となっている。またこのシステムにおい
ては、1種類の解析のみ(ラミノグラフィ検査)が可能
である。多くの場合、ユーザにとってパラメータを動的
に変えたり、さまざまな種類の検査(例えばラミノグラ
フィおよび透過性検査)を組み合わせることができれば
非常に有用である。
は高角度(50度までの)の検査が必要とされるが、米
国特許第4926452号では低角度(30度より小さ
い)のみが可能となっている。またこのシステムにおい
ては、1種類の解析のみ(ラミノグラフィ検査)が可能
である。多くの場合、ユーザにとってパラメータを動的
に変えたり、さまざまな種類の検査(例えばラミノグラ
フィおよび透過性検査)を組み合わせることができれば
非常に有用である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、先行
技術の前記欠点を解決することにある。また本発明の他
の目的は、先行技術の検出器の相当大きな回転質量を減
少させるとともに、異なった種類の検査を可能とするこ
とにある。また他の目的は、X線放射の入射角や被検査
ボードからのX線源や検出器の距離といったパラメータ
を、たとえ入射角が大きかろうととも拡大を犠牲とする
ことなく、動的に調節できるようにすることである。
技術の前記欠点を解決することにある。また本発明の他
の目的は、先行技術の検出器の相当大きな回転質量を減
少させるとともに、異なった種類の検査を可能とするこ
とにある。また他の目的は、X線放射の入射角や被検査
ボードからのX線源や検出器の距離といったパラメータ
を、たとえ入射角が大きかろうととも拡大を犠牲とする
ことなく、動的に調節できるようにすることである。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に従った電子回路用のX線検査装置は、異な
る角度からの回路要素のX線イメージを生成するように
X線を照射する手段と、前記イメージを検出する手段と
を備え、前記検出手段を構成する複数の検出器の各々は
関連する特定の照射角度から前記回路要素を通過した後
のX線を感受するように配置されていることを特徴とす
る。
め、本発明に従った電子回路用のX線検査装置は、異な
る角度からの回路要素のX線イメージを生成するように
X線を照射する手段と、前記イメージを検出する手段と
を備え、前記検出手段を構成する複数の検出器の各々は
関連する特定の照射角度から前記回路要素を通過した後
のX線を感受するように配置されていることを特徴とす
る。
【0008】
【実施例】図1には全システムが示されている。検査す
べき電子デバイスはテーブルセット 11に乗せられ、
当該テーブルセットはX線源 12とX線検出器 13の
間に配置される。テーブルセット 11はそれが存在す
る平面内において移動可能であり、その移動はマスタ・
コンピュータ 14により制御される。
べき電子デバイスはテーブルセット 11に乗せられ、
当該テーブルセットはX線源 12とX線検出器 13の
間に配置される。テーブルセット 11はそれが存在す
る平面内において移動可能であり、その移動はマスタ・
コンピュータ 14により制御される。
【0009】このシステムは複数のX線源を有する。実
施例においては8つのX線源があり、これらのX線源は
一平面内に放射状に配置されている。各X線源は放射状
に移動可能なスライド 15上に乗せてあり、当該スラ
イドはコンピュータ制御された位置づけシステムを有す
る。各X線源の移動はマスタ・コンピュータ 14によ
り制御される。実施例における各X線源は、1.0mA
において160KVA級のものである。
施例においては8つのX線源があり、これらのX線源は
一平面内に放射状に配置されている。各X線源は放射状
に移動可能なスライド 15上に乗せてあり、当該スラ
イドはコンピュータ制御された位置づけシステムを有す
る。各X線源の移動はマスタ・コンピュータ 14によ
り制御される。実施例における各X線源は、1.0mA
において160KVA級のものである。
【0010】このシステムは複数(X線源と同じ数だ
け)のX線検出器を有する。実施例においては8つの検
出器があり、それらはX線源 12と平行な平面に放射
状に配置されている。各検出器は放射状に移動するスラ
イド 16上に乗せられている。スライド 16はコンピ
ュータ制御された位置づけシステムを有している。各X
線源の移動はマスタ・コンピュータ 14により制御さ
れる。
け)のX線検出器を有する。実施例においては8つの検
出器があり、それらはX線源 12と平行な平面に放射
状に配置されている。各検出器は放射状に移動するスラ
イド 16上に乗せられている。スライド 16はコンピ
ュータ制御された位置づけシステムを有している。各X
線源の移動はマスタ・コンピュータ 14により制御さ
れる。
【0011】実施例においては、各検出器はシリコン・
イメージ検出器を有し、検出器からの出力信号は適当な
補正およびスムーシングをされた後、最終的には標準の
イメージボード上の像として計算機処理される。各イメ
ージ・ボードは1024×1024のビデオRAM(V
RAM)を有している。各検出器は電子部品を通過した
後のX線を感受するように配置されていて、特定の照射
角度と関係付けられている。
イメージ検出器を有し、検出器からの出力信号は適当な
補正およびスムーシングをされた後、最終的には標準の
イメージボード上の像として計算機処理される。各イメ
ージ・ボードは1024×1024のビデオRAM(V
RAM)を有している。各検出器は電子部品を通過した
後のX線を感受するように配置されていて、特定の照射
角度と関係付けられている。
【0012】X線源と対応する検出器との位置合わせ
(同期)はマスタ・コンピュータ 14により制御され
る。この制御は計算機制御化されたX線源と検出器の位
置を表すための放射線状マッピングに基づきおこなわれ
る。すなわち、検出器からの全てのイメージは、VRA
Mに入る時に放射線状マッピング座標に基づき同期がと
られ、対応するX線源から照射されたX線によるイメー
ジであることが認識される。
(同期)はマスタ・コンピュータ 14により制御され
る。この制御は計算機制御化されたX線源と検出器の位
置を表すための放射線状マッピングに基づきおこなわれ
る。すなわち、検出器からの全てのイメージは、VRA
Mに入る時に放射線状マッピング座標に基づき同期がと
られ、対応するX線源から照射されたX線によるイメー
ジであることが認識される。
【0013】図2には、X線源および検出器の配置の例
が示されている。これは、X線源および検出器の存在す
る平面に垂直な上面図を示す。二つの円(21及び2
2)はそれぞれ平行であり、検査すべき電子部品に対し
互いに対向する側にある。内側の円 22には8つのX
線源 23がそれぞれ独立の調整用スライド 24上に乗
せられているので、これを調整することによりX線源を
放射方向に移動させることができる。
が示されている。これは、X線源および検出器の存在す
る平面に垂直な上面図を示す。二つの円(21及び2
2)はそれぞれ平行であり、検査すべき電子部品に対し
互いに対向する側にある。内側の円 22には8つのX
線源 23がそれぞれ独立の調整用スライド 24上に乗
せられているので、これを調整することによりX線源を
放射方向に移動させることができる。
【0014】図2の外側の円上に示してある8つのX線
検出器 25についても同様な移動を行わせることがで
きる。X線源および検出器は、これらの円に対して垂直
方向に移動することも許容されている。全ての動きはマ
スタ・コンピュータ 14により制御される。このマス
タ・コンピュータは各X線源及び関係する検出器の間の
対応関係をも制御する。X線源および検出器が配置され
た円パターンはそれらを配置する可能な複数の方法のう
ちの1つであるにすぎない。
検出器 25についても同様な移動を行わせることがで
きる。X線源および検出器は、これらの円に対して垂直
方向に移動することも許容されている。全ての動きはマ
スタ・コンピュータ 14により制御される。このマス
タ・コンピュータは各X線源及び関係する検出器の間の
対応関係をも制御する。X線源および検出器が配置され
た円パターンはそれらを配置する可能な複数の方法のう
ちの1つであるにすぎない。
【0015】この放射状および垂直方向への移動が自由
であることは本発明の利点の一つを表している。図3を
参照すると、電子回路の検査角度を小さい角度aから大
きい角度a1に変えたい場合には、X線源と検出器間の
距離を一定に維持しなければならない。もしこのことを
しないと、拡大率は変化する。拡大率は、X線源 23
およびこれに関係する検出器 25の間の距離STと、
X線源 23および検査物体 11上の焦点 Fの間の距
離SFとの比である。SEを一定に保ちたい場合、もし
検出器が垂直方向Zには動かないで平面方向Xのみにし
か動かなければ、STは増加することになろう。このシ
ステムでは、検出器25は位置Tから位置T´に移動可
能であり、X線源 23と検出器 25の間の距離を一定
に維持し、従って拡大率ST/SFも一定に維持するこ
とができる。
であることは本発明の利点の一つを表している。図3を
参照すると、電子回路の検査角度を小さい角度aから大
きい角度a1に変えたい場合には、X線源と検出器間の
距離を一定に維持しなければならない。もしこのことを
しないと、拡大率は変化する。拡大率は、X線源 23
およびこれに関係する検出器 25の間の距離STと、
X線源 23および検査物体 11上の焦点 Fの間の距
離SFとの比である。SEを一定に保ちたい場合、もし
検出器が垂直方向Zには動かないで平面方向Xのみにし
か動かなければ、STは増加することになろう。このシ
ステムでは、検出器25は位置Tから位置T´に移動可
能であり、X線源 23と検出器 25の間の距離を一定
に維持し、従って拡大率ST/SFも一定に維持するこ
とができる。
【0016】断面のイメージを得るために、45度の角
度を開けて配置された8つのX線源/検出器からの情報
が8つのイメージ・ボードに集められる。各イメージ・
ボードは一つのX線源/検出器に対応し、VRAMを有
している。図2を参照すると、X線源 S0(23)は
検出器 T0(25)と、S1はT1と組み合わされね
ばならず、以下同様である。8つのイメージは、断層X
線写真のイメージのようなイメージを得るために、ある
中間レベル値に関する論理的‘AND’と組み合わさ
れ、マスタVRAM(8つのうちどれか)に入れられ
る。この技術は個々のイメージ内の全ての不要データを
取り除き、合焦データを強調する。連続回転獲得ラミノ
グラフィに対するこのシステムの連続性の欠如を解決す
るために、個別のイメージ間の差をスムースにするため
のコンボリューション・プロセスが行われる。このシス
テムの他の利点は不要なX線源/検出器イメージを除去
することができ、残りのX線源/検出器イメージのみが
論理的にANDされることである。
度を開けて配置された8つのX線源/検出器からの情報
が8つのイメージ・ボードに集められる。各イメージ・
ボードは一つのX線源/検出器に対応し、VRAMを有
している。図2を参照すると、X線源 S0(23)は
検出器 T0(25)と、S1はT1と組み合わされね
ばならず、以下同様である。8つのイメージは、断層X
線写真のイメージのようなイメージを得るために、ある
中間レベル値に関する論理的‘AND’と組み合わさ
れ、マスタVRAM(8つのうちどれか)に入れられ
る。この技術は個々のイメージ内の全ての不要データを
取り除き、合焦データを強調する。連続回転獲得ラミノ
グラフィに対するこのシステムの連続性の欠如を解決す
るために、個別のイメージ間の差をスムースにするため
のコンボリューション・プロセスが行われる。このシス
テムの他の利点は不要なX線源/検出器イメージを除去
することができ、残りのX線源/検出器イメージのみが
論理的にANDされることである。
【0017】直接透過性イメージが必要な場合には、或
るX線源は検出器の一つと整列されねばならない。例え
ば、X線源 S4(23)と検出器 T0(25)は、ス
ムーシングなしに90度のイメージを生成するように、
互いに整列されねばならない。
るX線源は検出器の一つと整列されねばならない。例え
ば、X線源 S4(23)と検出器 T0(25)は、ス
ムーシングなしに90度のイメージを生成するように、
互いに整列されねばならない。
【0018】図4にはマスタ・コンピュータ 14の概
略図が示してある。このマスタ・コンピュータは、プロ
セッサ41、RAMメモリ42、ROMメモリ43、シ
ステムの異なった機械的電子的機能(検査される物体の
移動の制御 44、X線源及び検出器の制御 45、4
6)との複数の接合や、SITイメージ検出器を備える
イメージ獲得システム 47との接続をも有する。他の
入出力デバイス 48、49はプロセッサ 41に直接ま
たは遠隔的に接続される。プロセッサ 41はマイクロ
プロセッサや、データリンクを通して他のコンポネント
と接続したホストプロセッサでもよい。マスタ・コンピ
ュータ 14は当該装置の正しい3次元の位置付けやフ
レームの固定を制御するように適切にプログラムされ
る。プログラムはRAM42に格納される。またRAM
42は、行うべき検査の種類に関する情報、検出器お
よびX線源の幾何配置、適切な校正情報をも保持する。
本発明のシステムにより得られたイメージは、当業者に
は周知の技術を使って処理され、解析される。例えば米
国特許49262452号はそれらの技術の幾つかにつ
いて説明している。
略図が示してある。このマスタ・コンピュータは、プロ
セッサ41、RAMメモリ42、ROMメモリ43、シ
ステムの異なった機械的電子的機能(検査される物体の
移動の制御 44、X線源及び検出器の制御 45、4
6)との複数の接合や、SITイメージ検出器を備える
イメージ獲得システム 47との接続をも有する。他の
入出力デバイス 48、49はプロセッサ 41に直接ま
たは遠隔的に接続される。プロセッサ 41はマイクロ
プロセッサや、データリンクを通して他のコンポネント
と接続したホストプロセッサでもよい。マスタ・コンピ
ュータ 14は当該装置の正しい3次元の位置付けやフ
レームの固定を制御するように適切にプログラムされ
る。プログラムはRAM42に格納される。またRAM
42は、行うべき検査の種類に関する情報、検出器お
よびX線源の幾何配置、適切な校正情報をも保持する。
本発明のシステムにより得られたイメージは、当業者に
は周知の技術を使って処理され、解析される。例えば米
国特許49262452号はそれらの技術の幾つかにつ
いて説明している。
【図1】実施例のシステムの概略図である。
【図2】多重X線源および多重検出器配列の概略図であ
る。
る。
【図3】拡大率を変えずに検査角をかえる方法の一例を
示す図である。
示す図である。
【図4】全操作を制御するマスタ・コンピュータの概略
図である。
図である。
11 テーブルセット 12 X線源 13 X線検出器 14 マスタ・コンピュータ 15 X線源のスライド 16 X線検出器のスライド 23 X線源 24 スライド 25 X線検出器 S0−7 X線源 T0−7 X線検出器 41 プロセッサ 42 RAMメモリ 43 ROMメモリ 44 被検査物体 45 X線源制御 46 X線検出器制御 47 イメージ獲得システム
フロントページの続き (72)発明者 アレクサンダー・ステゥアート・マキノン イギリス国スコットランド州レンフレッシ ャー ゴーロック・アシュバン・ゲート1 (72)発明者 クリストファ・デビィッド・スミス イギリス国スコットランド州グラスゴー ロイヤル・テラス6
Claims (9)
- 【請求項1】 異なる角度からの回路要素のX線イメー
ジを生成するようにX線を照射する手段と、前記イメー
ジを検出する手段とを備える電子回路用のX線検査装置
であって、前記検出手段が複数の検出器を有し、前記各
検出器が関連する特定の照射角度から前記回路要素を通
過した後のX線を感受するように配置されていることを
特徴とする前記X線検査装置。 - 【請求項2】 前記X線検出器が前記回路要素に対する
前記X線放射の入射角を変化させるように調整可能であ
る請求項1記載のX線検査装置。 - 【請求項3】 前記X線検出器が前記回路要素が存在す
る平面に垂直でかつ前記回路要素を通る軸について対称
に配置された請求項1乃至2記載のX線検査装置。 - 【請求項4】 前記X線検出器が前記軸に対して放射状
に移動可能であり、かつ前記軸に沿って移動可能である
請求項3記載のX線検査装置。 - 【請求項5】 前記X線を照射する手段が複数のX線源
から成る請求項3記載のX線検査装置。 - 【請求項6】 前記X線源が前記軸について対称に配置
され、前記軸に関して放射状に移動可能で、かつ前記軸
に沿って移動可能である請求項5のX線検査装置。 - 【請求項7】 各前記X線検出器がシリコン・イメージ
検出器を備える請求項6記載のX線検査装置。 - 【請求項8】 1の合成イメージを形成するために前記
検出器からの複数のイメージを結合させるイメージ処理
手段を備える請求項7記載のX線検査装置。 - 【請求項9】 前記X線を照射する手段と前記電子回路
と前記X線検出器の相対的位置を変化させることによ
り、X線の入射角度を拡大率を変えることなく変化させ
る制御手段を備える請求項8記載のX線検査装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB929214114A GB9214114D0 (en) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | X-ray inspection apparatus for electronic circuits |
GB9214114.2 | 1992-07-03 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06177600A JPH06177600A (ja) | 1994-06-24 |
JPH0785520B2 true JPH0785520B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=10718117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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