JP6108806B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
図5に示すように、表示パネル6は、X軸方向に対応したX座標軸X1と、Y軸方向に対応したY座標軸Y1と、ウェーハ11の画像60に接触入力された点の座標である画面上座標Saを関知する座標関知部22と、を備えている。
この実施形態では、ウェーハ11の二箇所を指定してアライメントを行う、いわゆる2ポイントアライメントが実施されるものである。
6a 第一表示エリア
7 制御装置
10 切削装置
11 ウェーハ
12 ウェーハユニット
13 分割予定ライン
30 保持テーブル
36 ラインセンサ
38 顕微鏡
39 顕微鏡
50 画像
71 座標記憶部
72 座標変換部
73 座標移動指示部
74 動作制御部
D1 画面座標系
D2 基準座標系
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルを回転させる回転手段と、
該保持テーブルで保持された被加工物に加工を施す加工手段と、
該保持テーブルと該加工手段とを相対的にX軸方向に移動するX軸移動手段と、
該保持テーブルと該加工手段とを該X軸方向と直交するY軸方向に相対的に移動するY軸移動手段と、
該被加工物を撮像して該被加工物の画像を形成する撮像手段と、
該被加工物の該画像を表示する表示パネルと、
制御手段と、を備えた加工装置であって、
該表示パネルは、
該X軸方向に対応したX座標軸と、
該Y軸方向に対応したY座標軸と、
被加工物の該画像に接触入力された点の座標を関知する座標関知部と、を少なくとも備え、
該制御手段は、
実際に接触入力された点の座標を画面上座標として記憶する座標記憶部と、
基準座標系における該保持テーブルに保持された該被加工物のXY軸方向の移動量及びXY軸移動方向に基づいて、該座標記憶部に記憶されている画面上座標を基準座標系座標に変換する座標変換部と、
該座標記憶部に記憶されている画面上座標への移動を指示する座標移動指示部と、
該座標変換部によって変換された基準座標系座標と該画面上座標とを照合して該X軸移動手段と該Y軸移動手段とを制御する動作制御部と、を少なくとも有し、
前記座標記憶部では、被加工物の前記画像上の第一の点の座標が第一画面上座標として記憶されるとともに第二の点の座標が第二画面上座標として記憶され、
前記座標変換部では、該座標記憶部に記憶されている画面上座標を基準座標系座標である、該第一画面上座標に対応する第一基準座標系座標と、該第二画面上座標に対応する第二基準座標系座標に変換され、
前記座標移動指示部は、該第一基準座標系座標と該第二基準座標系座標が同一Y座標を有するように指示し、
前記動作制御部では、該第一基準座標系座標と該第二基準座標系座標が同一Y座標を有するように該回転手段が制御される、ことを特徴とする加工装置。 - 前記保持テーブルで保持された被加工物を撮像する第二撮像手段を備え、
前記動作制御部は、前記座標記憶部で記憶された画面上座標が該第二撮像手段の直下に位置づくよう該X軸移動手段と該Y軸移動手段とを制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
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