TW202210972A - 加工裝置 - Google Patents

加工裝置 Download PDF

Info

Publication number
TW202210972A
TW202210972A TW110131691A TW110131691A TW202210972A TW 202210972 A TW202210972 A TW 202210972A TW 110131691 A TW110131691 A TW 110131691A TW 110131691 A TW110131691 A TW 110131691A TW 202210972 A TW202210972 A TW 202210972A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
screen
operation screen
control unit
button
processing
Prior art date
Application number
TW110131691A
Other languages
English (en)
Inventor
中山英和
Original Assignee
日商迪思科股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商迪思科股份有限公司 filed Critical 日商迪思科股份有限公司
Publication of TW202210972A publication Critical patent/TW202210972A/zh

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/048Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI]
    • G06F3/0484Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI] for the control of specific functions or operations, e.g. selecting or manipulating an object, an image or a displayed text element, setting a parameter value or selecting a range
    • G06F3/04842Selection of displayed objects or displayed text elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092Apparatus for mechanical treatment
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/409Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by using manual data input [MDI] or by using control panel, e.g. controlling functions with the panel; characterised by control panel details or by setting parameters
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41865Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/048Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI]
    • G06F3/0481Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI] based on specific properties of the displayed interaction object or a metaphor-based environment, e.g. interaction with desktop elements like windows or icons, or assisted by a cursor's changing behaviour or appearance
    • G06F3/04817Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI] based on specific properties of the displayed interaction object or a metaphor-based environment, e.g. interaction with desktop elements like windows or icons, or assisted by a cursor's changing behaviour or appearance using icons
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/048Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI]
    • G06F3/0484Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI] for the control of specific functions or operations, e.g. selecting or manipulating an object, an image or a displayed text element, setting a parameter value or selecting a range
    • G06F3/04847Interaction techniques to control parameter settings, e.g. interaction with sliders or dials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/32Operator till task planning
    • G05B2219/32128Gui graphical user interface
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/35Nc in input of data, input till input file format
    • G05B2219/35409DPC direct programming at the console
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/35Nc in input of data, input till input file format
    • G05B2219/35488Graphical user interface, labview

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • User Interface Of Digital Computer (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

[課題]提供一種加工裝置,其可以在可切換複數個操作畫面來顯示的情況下,提升操作人員的操作性。 [解決手段]一種加工裝置的控制單元,使選擇畫面顯示於顯示部,前述選擇畫面包含:畫面清單;選擇按鈕,可從畫面清單選擇第1操作畫面;及輸出按鈕,將在畫面清單中選擇出的第1操作畫面作為第2操作畫面來輸出至外部記憶裝置。若在同機種的加工裝置中將記憶有第2操作畫面之外部記憶裝置連接到連接部時,會在不經過以既定的順序所設定之第1操作畫面的情形下,使外部記憶裝置的第2操作畫面顯示於顯示部。

Description

加工裝置
本發明是有關於一種加工裝置。
加工裝置會使用複數個操作畫面來受理操作人員的操作,而讓加工裝置的加工條件輸入。例如,在專利文獻1揭示有一種基板處理系統,其在從主顯示裝置輸入使用者的登入資訊時,會在主顯示裝置顯示因應於使用者之主操作畫面,若從外部操作裝置輸入使用者的登入資訊時,會在外部顯示裝置顯示用於設定該使用者所屬之群組的權限參數的外部參數設定畫面、或是顯示因應於該使用者所屬之群組的外部操作畫面。 先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1:日本特開2009-260251號公報
發明欲解決之課題
然而,加工裝置在具有複數個操作畫面的情況下,操作人員必須進行從複數個操作畫面之中切換到輸入加工條件之操作畫面的操作,使提升操作性備受期望。
據此,本發明之目的在於提供一種加工裝置,其可以在可切換複數個操作畫面來顯示的情況下,提升操作人員的操作性。 用以解決課題之手段
根據本發明,可提供一種加工裝置,前述加工裝置的特徵在於:具備:保持工作台,保持被加工物;加工單元,對已保持在該保持工作台之該被加工物進行加工;顯示部,可顯示操作該加工單元的第1操作畫面;控制單元,以既定的順序來切換複數個該第1操作畫面並使其顯示於該顯示部;及連接部,裝卸自如地連接外部記憶裝置, 該控制單元會在該顯示部顯示選擇畫面,前述選擇畫面包含:畫面清單,顯示複數個該第1操作畫面之清單;選擇按鈕,可從該畫面清單選擇任意的該第1操作畫面;及輸出按鈕,將在該畫面清單中選擇出的該第1操作畫面作為第2操作畫面來輸出至該外部記憶裝置, 若在本機或同機種的加工裝置中將記憶有該第2操作畫面之該外部記憶裝置連接於該連接部時,會在不經過以既定的順序所設定之該第1操作畫面的情形下,使該外部記憶裝置的該第2操作畫面顯示於該顯示部。
較佳的是,該控制單元會讓可設定該外部記憶裝置所記憶之複數個該第2操作畫面的位置關係之配置地圖(map)畫面顯示於該顯示部,並因應於對該配置地圖畫面之變更操作來切換該第2操作畫面的位置關係。
較佳的是,該第1操作畫面以及該第2操作畫面具有複數個操作按鈕,該控制單元會使變更該第2操作畫面中的該操作按鈕的位置之布置變更畫面顯示於該顯示部,並在該布置變更畫面中,依據已設定的座標來顯示該第2操作畫面的該操作按鈕。 發明效果
本申請之發明的加工裝置會發揮以下效果:可以在可切換複數個操作畫面來顯示的情況下,提升操作人員的操作性。
用以實施發明之形態
以下,針對本發明的實施形態,一面參照圖式一面詳細地說明。本發明並非因以下的實施形態所記載之內容而受到限定之發明。又,在以下所記載之構成要素中,包含所屬技術領域中具有通常知識者可以容易地設想得到的構成要素、實質上相同的構成要素。此外,以下所記載之構成是可適當組合的。又,在不脫離本發明之要旨的範圍內,可進行構成之各種省略、置換或變更。在以下的各實施形態中,藉由對相同的部位附加相同的符號來省略重複的說明。
在以下說明的實施形態中,是設定XYZ正交座標系統,並一面參照此XYZ正交座標系統一面說明各部分的位置關係。將水平面內的一個方向設為X軸方向,將在水平面內和X軸方向正交之方向設為Y軸方向,將和X軸方向以及Y軸方向的各個方向正交之方向設為Z軸方向。包含X軸及Y軸之XY平面和水平面平行。和XY平面正交之Z軸方向是鉛直方向。
依據圖式來說明本發明的實施形態之加工裝置1。圖1是顯示實施形態之加工裝置1的構成例的立體圖。圖2是示意地顯示實施形態之加工裝置1的功能構成的一例的圖。
如圖1所示,實施形態之加工裝置1具備箱形的殼體即本體2。如圖1所示,加工裝置1具備工作夾台10、加工單元20、觸控面板30、控制單元40與連接部60。控制單元40會和工作夾台10、加工單元20、觸控面板30以及連接部60電連接。
加工裝置1之加工對象即被加工物100是例如將矽、藍寶石、砷化鎵等作為基板101之圓板狀的半導體晶圓或光器件晶圓。被加工物100是透過黏著膠帶103將基板101支撐於環狀的框架102的開口而構成。
工作夾台10以保持面來保持被加工物100。工作夾台10已和未圖示之吸引源連通,並藉由從吸引源所供給之負壓來吸引保持被加工物100。工作夾台10可藉由後述之X軸移動組件22而沿著X軸方向移動,且可藉由未圖示之旋轉驅動源而繞著Z軸旋轉。
在本實施形態中,如圖2所示,加工裝置1更具備拍攝單元12、驅動組件14以及Z軸移動組件15。控制單元40已和拍攝單元12、驅動組件14以及Z軸移動組件15電連接。
如圖1及圖2所示,拍攝單元12是搭載了CCD(電荷耦合器件,Charge Coupled Device)或CMOS(互補式金屬氧化物半導體,Complementary Metal Oxide Semiconductor)等之影像感測器的電子顯微鏡。拍攝單元12會拍攝已保持在工作夾台10的保持面上之被加工物100的正面。拍攝單元12以安裝於加工單元20用之殼體的一部分且受到支撐的方式被一體化,並藉由以滾珠螺桿、螺帽、脈衝馬達等所形成之Z軸移動組件15而以可在Z軸方向上移動的方式設置。拍攝單元12亦可例如具備對已保持在工作夾台10的保持面之被加工物100的正面照射照明光之光源。
加工單元20會對已保持在工作夾台10之被加工物100進行加工。加工單元20可為例如一對切削組件,且各自具有切削刀片。一對切削組件的每一個的切削刀片在Y軸方向上相互相向,且任一個皆是繞著Y軸旋轉。加工單元20藉由旋轉的切削刀片來對被加工物100施行切削加工。加工單元20可藉由Y軸移動組件27而沿著Y軸方向移動,且可藉由Z軸移動組件15而沿著Z軸方向移動。使拍攝單元12或加工單元20對工作夾台10之保持面相對地在Y軸方向上移動之Y軸移動組件27,是由滾珠螺桿、螺帽、脈衝馬達等所構成,且和X軸移動組件22一起構成驅動組件14。
加工裝置1藉由X軸移動組件22、Y軸移動組件27以及Z軸移動組件15,而使工作夾台10與加工單元20相對移動,藉此對已保持在工作夾台10之被加工物100進行加工。
再者,加工裝置1所具備之加工單元20並非限定於以切削刀片對被加工物100進行切削加工之切削單元。除此之外,加工單元20亦可為例如以磨削磨石等對同樣的被加工物100進行磨削加工之磨削單元、或以研磨墊等對同樣的被加工物100進行研磨加工之研磨單元、或對同樣的被加工物100照射雷射光束來進行雷射加工之雷射加工單元等。
如圖1所示,觸控面板30以讓顯示面朝向外側的狀態設置於本體2。觸控面板30在加工裝置1的本體2中配設在易於觀看且易於操作之部位。觸控面板30在由控制單元40所進行的控制之下,會顯示拍攝單元12所拍攝到之被加工物100的正面的圖像或加工處理所需要的各種資訊,並且從操作人員受理加工處理所需要的輸入操作等。在本實施形態中,觸控面板30是顯示部之一例。
如圖2所示,觸控面板30具有:顯示部31,顯示有關於加工裝置1之各種資訊;及輸入部32,從操作人員受理加工條件的設定輸入等有關於加工裝置1之各種操作輸入。顯示部31具有例如液晶顯示器或有機EL顯示器等之顯示設備。輸入部32具有例如指定顯示設備的顯示面中的物體的接觸位置或座標之觸控螢幕。
在本實施形態中,雖然針對觸控面板30是輸出資訊之輸出部的一例之情況來說明,但是並非限定於此。例如,輸出部亦可藉揚聲器、通訊裝置等之電子機器來實現。
如圖2所示,加工裝置1具備儲存器(storage)50。儲存器50會記憶實現各種處理等的功能之程式、或在由所述之程式進行之處理上會使用的資料等,其中前述處理是藉由控制單元40來執行。儲存器50已和控制單元40電連接。儲存器50可藉由HDD(硬碟驅動器,Hard Disk Drive)或半導體記憶體等來實現。儲存器50亦可作為控制單元40所具備之處理器在執行已於控制程式描述的命令時之暫時的作業區域而被利用。
再者,在本實施形態中,雖然針對加工裝置1具備儲存器50之情況來說明,但是並非限定於此。例如,儲存器50可以作為加工裝置1的外部的電腦以及電子機器、其他的加工裝置1等之加工裝置1可存取的記憶裝置。
儲存器50可以記憶例如識別資料500、主畫面資料510、複數個第1操作畫面資料520等的各種資料。識別資料500包含例如可識別加工裝置1之資料、可識別加工裝置1的動作環境之資料等。主畫面資料510包含例如用於顯示主畫面之HTML(超文件標示語言,Hyper Text Markup Language)形式之資料。主畫面是例如已將複數個第1操作畫面建立連繫之上位的畫面。
複數個第1操作畫面資料520包含例如HTML形式之資料,其用於對應於加工裝置1中的複數個加工步驟、維護等,而顯示讓操作人員操作加工裝置1之第1操作畫面。複數個第1操作畫面構成為例如:藉由選擇主畫面、其他的第1操作畫面等的操作按鈕,而以既定的順序來切換並顯示。以既定的順序來切換意指例如:切換到已和正在顯示的畫面建立連繫之畫面、以按複數個畫面被分配到的編號之順序來切換等。複數個第1操作畫面可以分成例如以下階層來構成:藉由從主畫面選擇操作按鈕而顯示之第2階層的第1操作畫面、或藉由選擇顯示於第2階層的第1操作畫面之操作按鈕而顯示之第3階層的第1操作畫面等。在例如將處理、指令等分配於第1操作畫面的操作按鈕的情況下,第1操作畫面資料520包含處理、指令等之資料。第1操作畫面資料520附加有可識別操作內容的關鍵字資料。在要讓第1操作畫面顯示圖像的情況下,第1操作畫面資料520與可顯示該圖像之圖像資料建立連繫。
連接部60具有連接其他裝置之端子。連接部60可以使用例如USB(通用串列匯流排,Universal Serial Bus)之類的通用的端子。在本實施形態中,連接部60可以例如裝卸自如地連接於外部記憶裝置70。在圖1所示之一例中,連接部60是以可從本體2的外部裝卸的方式設置在本體2的觸控面板30的附近。再者,連接部60亦可設成例如以下之構成:透過纜線或無線通訊,來和記憶裝置、電子機器的記憶媒體等進行資料的交接。
控制單元40會控制驅動加工裝置1之各機構(X軸移動組件22、Y軸移動組件27、Z軸移動組件15)。控制單元40控制加工裝置1的各部而實現由加工裝置1所進行之加工處理。控制單元40依照例如由操作人員所輸入設定之加工條件,來控制包含工作夾台10或加工單元20之加工裝置1的各部分,而實現被加工物100的加工處理。
控制單元40具備CPU(中央處理單元,Central Processing Unit)等之運算處理裝置、ROM(唯讀記憶體,Read Only Memory)或RAM(隨機存取記憶體,Random Access Memory)等之記憶裝置、與輸入輸出介面裝置。控制單元40是可執行控制程式等的電腦,前述控制程式用於使用所述之裝置,依照加工裝置1所實施之一連串的加工步驟,來控制上述之各構成要素。
控制單元40會依照藉由操作人員透過觸控面板30的輸入部32所設定之加工條件來控制加工裝置1的整體動作。控制單元40會使操作畫面顯示於觸控面板30,並因應對該操作畫面的操作按鈕之操作來控制加工單元20的動作。
控制單元40具備顯示控制部41、輸出控制部42、地圖變更部43與布置變更部44。控制單元40藉由執行程式,來實現各個部的功能、作用等。
顯示控制部41以既定的順序來切換複數個該第1操作畫面並且使其顯示於觸控面板30。顯示控制部41使選擇畫面顯示於觸控面板30,前述選擇畫面包含:畫面清單,顯示複數個該第1操作畫面之清單;選擇按鈕,可從該畫面清單選擇任意之該第1操作畫面;及輸出按鈕,將在該選擇畫面中選擇出的該第1操作畫面作為第2操作畫面來輸出至外部記憶裝置70。顯示控制部41依據包含在第1操作畫面資料520之HTML形式的資料之HTML標籤,使第1操作畫面顯示於觸控面板30。顯示控制部41依據包含在第2操作畫面資料720之HTML形式的資料之HTML標籤,使第2操作畫面顯示於觸控面板30。亦即,控制單元40具有顯示主畫面、頂端畫面、操作畫面等之瀏覽器的功能。
顯示控制部41會在觸控面板30顯示可設定外部記憶裝置70所記憶之複數個該第2操作畫面的位置關係之配置地圖畫面。顯示控制部41將觸控面板30控制成因應於對該配置地圖畫面之變更操作來切換該第2操作畫面的位置關係。顯示控制部41會在觸控面板30顯示變更該操作畫面中的該操作按鈕的位置之布置變更畫面。顯示控制部41將觸控面板30控制成:在該布置變更畫面中,依據已設定的座標來顯示該操作按鈕。
輸出控制部42會將操作人員已在畫面清單中選擇出的第1操作畫面之第1操作畫面資料520,編輯為第2操作畫面資料720。輸出控制部42會製作管理經編輯之第2操作畫面資料720的裝置資料700、頂端畫面資料710等。裝置資料700包含用於判別可適用第2操作畫面資料720之加工裝置1的判別資料。判別資料包含例如用於識別加工裝置1、加工系統等的識別資料、機種資料等。頂端畫面資料710包含用於顯示頂端畫面之HTML形式的資料。在例如外部記憶裝置70記憶有複數個第2操作畫面資料720的情況下,頂端畫面是依據外部記憶裝置70所記憶之順序、配置地圖等,來排列並顯示複數個第2操作畫面資料720所表示之第2操作畫面的縮圖(thumbnail)之畫面。頂端畫面是以可從複數個縮圖之中選擇1個縮圖的方式來顯示之畫面。頂端畫面是已將複數個第2操作畫面建立連繫之上位的畫面。在例如外部記憶裝置70未記憶有第2操作畫面資料720的情況下,頂端畫面是通知未記憶有第2操作畫面之情形的畫面。輸出控制部42藉由將裝置資料700、頂端畫面資料710、第2操作畫面資料720等輸出至連接於連接部60之外部記憶裝置70,而將各種資料記憶於外部記憶裝置70。
地圖變更部43會在觸控面板30顯示配置地圖畫面,前述配置地圖畫面可進行外部記憶裝置70所記憶之複數個第2操作畫面資料720所示之第2操作畫面的位置關係、顯示之順序等的設定。地圖變更部43會因應於對該配置地圖畫面之變更操作,而變更複數個第2操作畫面的地圖(位置關係)。地圖變更部43亦可提供將第2操作畫面資料720刪除之功能。地圖變更部43會將已記憶於外部記憶裝置70的複數個第2操作畫面資料720的位置關係變更成成為因應於該變更操作之位置關係。
布置變更部44會對已顯示於觸控面板30之第2操作畫面資料720所表示的第2操作畫面之布置進行變更。布置變更部44會執行例如使操作人員變更第2操作畫面中的操作按鈕、輸入欄等之物件的位置之處理。布置變更部44會例如因應於拖曳及放下(drag and drop)之操作,來變更第2操作畫面的布置。當藉由操作人員指示變更內容的保存時,布置變更部44即依據變更內容來變更第2操作畫面資料720。再者,布置變更部44亦可構成:在觸控面板30顯示將物件與第2操作畫面內的位置座標建立連繫來輸入之輸入部,並因應於對該輸入部之輸入值而變更第2操作畫面的布置。布置變更部44亦可變更第1操作畫面資料520的布置。
連接於連接部60之外部記憶裝置70包含例如USB記憶體、記憶卡等之外接的記憶媒體。外部記憶裝置70可以記憶加工裝置1所輸出之裝置資料700、頂端畫面資料710、複數個第2操作畫面資料720等的各種資料。外部記憶裝置70將複數個第2操作畫面資料720以顯示之順序來記憶。外部記憶裝置70可被例如操作加工裝置1的操作人員攜帶。外部記憶裝置70為例如:在利用加工裝置1的情況下會裝設於連接部60,且當加工裝置1的利用結束時,即從連接部60卸除。再者,在本實施形態中,雖然針對外部記憶裝置70會記憶裝置資料700、頂端畫面資料710以及複數個第2操作畫面資料720之情況來說明,但亦可將該等資料作為1個資料來記憶。
以上,已說明本實施形態之加工裝置1的構成例。再者,使用圖1及圖2所說明的上述之構成僅為一例,本實施形態之加工裝置1的構成並不限定於所述之例子。本實施形態之加工裝置1的功能構成可因應於規格或運用而靈活地變形。
(加工裝置之顯示例) 其次,說明實施形態之加工裝置1所執行的畫面轉變之一例。圖3是顯示實施形態之加工裝置1的畫面轉變的一例的圖。圖4是顯示實施形態之加工裝置1的畫面轉變的另一例的圖。圖5是顯示實施形態之加工裝置1的配置地圖畫面的一例的圖。圖6是顯示實施形態之加工裝置1的布置變更畫面的一例的圖。
在圖3所示之場景1001中,加工裝置1在觸控面板30顯示有依據主畫面資料510之主畫面511。主畫面511具有例如對應於複數個第1操作畫面的各個畫面的圖標512、可選擇選擇畫面的第1按鈕513、及指示轉變到第2操作畫面的第2按鈕514。在場景1001所示之一例中為:操作人員為了顯示選擇畫面而選擇第1按鈕513。加工裝置1會透過觸控面板30,檢測出對第1按鈕513之選擇操作。選擇操作可包含例如觸摸(touch)、長觸摸(long touch)、觸碰滑移(flick)等的手勢。
如場景1002所示,加工裝置1會製作可選擇複數個第1操作畫面資料520之選擇畫面資料,並在觸控面板30顯示依據該選擇畫面資料之選擇畫面531。選擇畫面531具有例如按鈕532、按鈕533、按鈕534、按鈕535、按鈕536以及按鈕537。按鈕532是用於指示例如以手動操作所檢索到的畫面清單的顯示之按鈕。手動操作包含例如操作人員輸入任意的關鍵字,而從複數個第1操作畫面之中檢索包含該關鍵字之第1操作畫面。按鈕533是用於指示例如依據操作人員、加工裝置1等的歷程之畫面清單的顯示之按鈕。依據履程之畫面清單是例如依使用日期時間接近的順序來顯示第1操作畫面的清單。按鈕534是用於指示例如依據使用頻率之畫面清單的顯示之按鈕。依據使用頻率之畫面清單是例如依使用頻率高的順序來顯示第1操作畫面的清單。按鈕535是用於指示例如依據畫面編號之畫面清單的顯示之按鈕。依據畫面編號之畫面清單是例如依已分派到複數個第1操作畫面之畫面編號的順序來顯示第1操作畫面的清單。按鈕536是用於指示例如在畫面清單中選擇出的複數個第1操作畫面的輸出之按鈕。按鈕537是用於指示例如回到主畫面511之按鈕。
在場景1002所示之一例中,加工裝置1針對手動操作而在選擇畫面531顯示有畫面清單540,前述畫面清單540顯示第1操作畫面資料520所示之第1操作畫面的縮圖541之一覽。加工裝置1例如將操作畫面(3)、操作畫面(4)、操作畫面(5)等複數個縮圖541的畫面清單540以可捲動的方式顯示於選擇畫面531。操作人員例如選擇操作畫面(3)及操作畫面(5)的縮圖541後,選擇表示為輸出按鈕之按鈕536。在此情況下,加工裝置1會將表示所選擇之操作畫面(3)以及操作畫面(5)的各自的第1操作畫面資料520,作為第2操作畫面資料720來輸出至外部記憶裝置70。加工裝置1會依據識別資料500來製作裝置資料700,並輸出至外部記憶裝置70。加工裝置1會製作用於顯示所選擇之操作畫面(3)以及操作畫面(5)之第2操作畫面資料720的頂端畫面資料710,並輸出至外部記憶裝置70。藉此,加工裝置1可以將裝置資料700、頂端畫面資料710以及第2操作畫面資料720記憶於外部記憶裝置70。於操作人員不再在加工裝置1進行操作的情況下,會將保存(記憶)有所選擇之第2操作畫面資料720的該外部記憶裝置70從加工裝置1卸除,並從加工裝置1的場所離開。
在圖4的場景1011中,是在已使外部記憶裝置70連接於連接部60之狀態下,操作人員正在利用加工裝置1。加工裝置1會在觸控面板30顯示有依據主畫面資料510之設定在加工裝置1的主畫面511。操作人員為了使外部記憶裝置70的第2操作畫面顯示,而選擇第2按鈕514。加工裝置1會透過觸控面板30檢測出對第2按鈕514之選擇操作。
如場景1012所示,加工裝置1會在觸控面板30顯示依據外部記憶裝置70的頂端畫面資料710之頂端畫面711。外部記憶裝置70如上述地記憶有對應於操作畫面(3)以及操作畫面(5)之第2操作畫面資料720。此時,加工裝置1會在觸控面板30顯示頂端畫面711,前述頂端畫面711具有可選擇已記憶於外部記憶裝置70之操作畫面(3)以及操作畫面(5)之2個縮圖712。亦即,加工裝置1可以使操作人員選擇操作畫面(3)以及操作畫面(5)。頂端畫面711更具有用於指示例如返回到原本就已設定在加工裝置1之主畫面511的按鈕714。加工裝置1是將觸控面板30控制成:當按鈕714被操作人員選擇後,即從頂端畫面711切換為主畫面511來顯示。
在場景1012中,是操作人員為了讓外部記憶裝置70的操作畫面(3)顯示,而選擇操作畫面(3)的縮圖712。加工裝置1已透過觸控面板30檢測出對操作畫面(3)的縮圖712之選擇操作。
如場景1013所示,加工裝置1會在觸控面板30顯示操作畫面721,前述操作畫面721是依據和外部記憶裝置70的操作畫面(3)對應之第2操作畫面資料720的畫面。操作畫面721顯示有例如操作畫面(3)之手動操作的搬送臂的操作畫面。操作畫面721具有複數個操作按鈕722、表示「配置地圖」之按鈕723、表示「布置變更畫面」之按鈕724、及表示「頂端畫面」之按鈕725。複數個操作按鈕722具有例如可對加工裝置1指示移動、開啟/關閉(ON/OFF)真空等操作之按鈕。按鈕723是用於指示例如配置地圖的顯示之按鈕。按鈕724是用於指示例如後述之布置變更畫面的顯示之按鈕。按鈕725是用於指示例如回到頂端畫面711之按鈕。
加工裝置1在檢測到操作人員對操作按鈕722之選擇操作時,會執行已和操作按鈕722建立連繫之加工處理。例如,在操作人員選擇「移動」之操作按鈕722時,藉由加工裝置1會執行將切削加工前的晶圓從片匣搬送到搬入搬出區域之有關於搬送臂的移動控制之處理,而變得可進行由操作人員進行之搬送臂的移動控制。
當加工裝置1檢測到操作人員對表示「配置地圖」之按鈕723的選擇操作時,會如圖5所示,在觸控面板30顯示依據未圖示之配置地圖畫面資料之配置地圖畫面810。圖5所示的配置地圖畫面810是用於變更操作畫面(3)等之配置之配置地圖。配置地圖畫面810具有例如為操作畫面的縮圖且可供選擇操作畫面之複數個圖標811、表示「保存」之按鈕812、及表示「到頂端畫面」之按鈕813。於圖5所示之一例中,配置地圖畫面810是將依據外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720且和操作畫面(3)、操作畫面(5)、…操作畫面(30)對應之複數個圖標811顯示為矩陣。配置地圖畫面810所顯示之圖標811的數量,會和外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720的數量、配置地圖畫面810的顯示區域的尺寸等相應而改變。加工裝置1可以受理圖標811的移動、更換等之由操作人員所進行的操作。按鈕812是用於將已對外部記憶裝置70的複數個第2操作畫面資料720的順序、配置進行變更後之結果反映至外部記憶裝置70之按鈕。按鈕813是用於指示例如回到頂端畫面711之按鈕。
於圖5所示之一例中,操作人員為了使操作畫面(30)位於操作畫面(3)的前方,而將操作畫面(30)之圖標811朝向操作畫面(3)的圖標811拖曳(drag),且拖曳到操作畫面(3)的圖標811的前方放下(drop)。當加工裝置1檢測到操作人員的拖曳及放下之操作時,會使操作畫面(30)的圖標811移動於操作畫面(3)的圖標811的前方,而變更配置地圖畫面810的圖標811的順序及配置。
當操作人員結束圖標811的配置之變更後,會選擇「保存」之按鈕812。加工裝置1會讓外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720的順序及配置變更,以成為經變更之配置地圖畫面810的圖標811的順序以及配置。藉此,由於加工裝置1可以讓操作人員變更外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720的順序以及配置,因此可以提升便利性。
在圖6所示之場景1014中,是加工裝置1在觸控面板30顯示依據外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720之操作畫面721。操作畫面721具有複數個操作按鈕722、表示「配置地圖」之按鈕723、表示「布置變更畫面」之按鈕724、及表示「頂端畫面」之按鈕725。複數個操作按鈕722是配置在可操作片匣動作之操作區域726。複數個操作按鈕722具有例如可操作以下動作之按鈕:返回到原點位置、打開/關閉閘門、上升、下降等。表示「配置地圖」之按鈕723、表示「布置變更畫面」之按鈕724、以及表示「頂端畫面」之按鈕725和圖4所示之按鈕相同。操作人員會為了變更操作畫面721之布置,而選擇表示「布置變更畫面」之按鈕724。
當加工裝置1檢測到操作人員對表示「布置變更畫面」之按鈕724的選擇操作時,會如圖6的場景1015所示,觸控面板30顯示依據未圖示之布置變更畫面資料之布置變更畫面820。布置變更畫面820是例如為了變更操作畫面721的布置,而以操作按鈕722、操作區域726等物件可被操作人員移動的方式來構成。布置變更畫面820具有表示「保存」之按鈕727、表示「配置地圖」之按鈕723、及表示「頂端畫面」之按鈕725。表示「保存」之按鈕812是用於對加工裝置1指示對布置變更畫面820之變更內容的保存之按鈕。亦即,按鈕727是用於讓外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720變更,以使操作畫面721的布置成為變更內容之按鈕。按鈕723是用於指示例如配置地圖的顯示之按鈕。按鈕725是用於指示例如回到頂端畫面711之按鈕。
在場景1015所示之一例中,是操作人員為了使位於操作區域726的內部之「返回到原點位置」之操作按鈕722從操作區域726的內部移動到外部,而正在進行拖曳及放下之操作。當加工裝置1檢測到操作人員的拖曳及放下之操作時,會依據檢測結果來變更操作畫面721上的操作按鈕722之配置。
當操作人員結束操作按鈕722的布置變更後,會選擇「保存」之按鈕727。加工裝置1會讓外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720變更,以成為經變更之布置變更畫面820之布置。例如,加工裝置1將第2操作畫面資料720之HTML資料變更成:成為布置變更畫面820之布置。藉此,由於加工裝置1可以變更外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720的布置,因此可以向操作人員提供布置和第1操作畫面不同的第2操作畫面。
(加工裝置的顯示控制的一例) 其次,說明實施形態之加工裝置1所執行的操作畫面的顯示控制的一例。圖7是顯示實施形態之加工裝置1的顯示控制之處理程序的一例的流程圖。圖8是顯示圖7所示之選擇畫面的顯示控制處理的一例的流程圖。圖9是顯示圖7所示之第2操作畫面的顯示控制處理的一例的流程圖。從圖7至圖9所示之處理程序可藉由加工裝置1的控制單元40執行程式來實現。圖7至圖9所示之處理程序可例如因應於加工裝置1的啟動來執行。
如圖7所示,加工裝置1的控制單元40會在觸控面板30顯示主畫面資料510(步驟2001)。例如,控制單元40將觸控面板30控制成顯示主畫面資料510之HTML資料所示之主畫面511。其結果,觸控面板30會顯示主畫面511。控制單元40在步驟2001的處理結束後,即讓處理前進到步驟2002。
控制單元40會判定選擇畫面531是否已被選擇(步驟2002)。例如,控制單元40在透過觸控面板30檢測到表示「選擇畫面」之第1按鈕513已被選擇的情況下,會判定為選擇畫面531已被選擇。又,控制單元40在判定為選擇畫面531已被選擇的情況下(在步驟2002中為「是」),會讓處理前進到步驟2003。
控制單元40會執行選擇畫面531的顯示控制處理(步驟2003)。選擇畫面531的顯示控制處理是藉由控制單元40執行程式,而實現例如有關於選擇畫面531的顯示之處理。
在圖8所示之一例中,是控制單元40製作選擇畫面資料(步驟2101)。例如,控制單元40會將包含HTML資料之選擇畫面資料製作成可進行複數個第1操作畫面資料520之選擇。例如,控制單元40如上述地製作用於顯示選擇畫面531之選擇畫面資料,前述選擇畫面531具有第1操作畫面資料520的畫面清單540、按鈕532、按鈕533、按鈕534、按鈕535、按鈕536以及按鈕537。控制單元40在步驟2101的處理結束後,會讓處理前進到步驟2102。
控制單元40會在觸控面板30顯示選擇畫面資料(步驟2102)。例如,控制單元40將觸控面板30控制成顯示選擇畫面資料所示之選擇畫面531。其結果,觸控面板30會顯示選擇畫面531。控制單元40在步驟2102的處理結束後,會讓處理前進到步驟2103。
控制單元40會判定畫面清單540是否已被選擇(步驟2103)。例如,控制單元40在透過觸控面板30檢測到選擇畫面531的畫面清單540已被選擇的情況下,會判定為畫面清單540已被選擇。控制單元40在判定為畫面清單540未被選擇的情況下(在步驟2103中為「否」),會讓處理前進到後述之步驟2105。又,控制單元40在判定為畫面清單540已被選擇之情況下(在步驟2103中為「是」),會讓處理前進到步驟2104。
控制單元40會變更在畫面清單540中選擇出的第1操作畫面的顯示態樣(步驟2104)。例如,控制單元40將觸控面板30的顯示控制成:變得可在畫面清單540中,形成已被選擇之第1操作畫面、與未被選擇之第1操作畫面的區別的顯示態樣。控制單元40在步驟2104的處理結束後,會讓處理前進到步驟2105。
控制單元40會判定輸出按鈕是否已被選擇(步驟2105)。例如,在透過觸控面板30檢測出「輸出按鈕」之按鈕536已被選擇的情況下,會判定為輸出按鈕已被選擇。控制單元40在判定為輸出按鈕未被選擇的情況下(在步驟2105中為「否」),會讓處理前進到後述之步驟2111。又,控制單元40在判定為輸出按鈕已被選擇之情況下(在步驟2105中為「是」),會讓處理前進到步驟2106。
控制單元40會依據畫面清單540的選擇結果來收集第1操作畫面資料520(步驟2106)。例如,控制單元40會從儲存器50收集在畫面清單540中選擇出的第1操作畫面資料520。控制單元40在步驟2106的處理結束後,會讓處理前進到步驟2107。
控制單元40會製作裝置資料700以及頂端畫面資料710(步驟2107)。例如,控制單元40會依據儲存器50的識別資料500等來製作裝置資料700,前述裝置資料700可判別可以利用第2操作畫面資料720之加工裝置1。例如,控制單元40會製作頂端畫面資料710,前述頂端畫面資料710會顯示頂端畫面711,前述頂端畫面711是將以選擇出的第1操作畫面資料520為依據之第2操作畫面資料720建立連繫的上位畫面。控制單元40在結束步驟2107的處理後,會讓處理前進到步驟2108。
控制單元40會判定是否連接有外部記憶裝置70(步驟2108)。例如,控制單元40會在已將外部記憶裝置70連接於連接部60的情況下、可對外部記憶裝置70進行存取的情況下等,判定為連接有外部記憶裝置70。控制單元40在判定為未連接有外部記憶裝置70的情況下(在步驟2108中為「否」),會讓處理前進到步驟2109。
控制單元40會通報未連接外部記憶裝置70(步驟2109)。例如,控制單元40會通知並未將外部記憶裝置70連接於連接部60之情形。例如,控制單元40亦可催促操作人員將外部記憶裝置70連接到連接部60。控制單元40在結束步驟2109的處理後,會讓處理返回到已經說明過的步驟2108,並等待外部記憶裝置70被連接。圖8所示之處理順序亦可構成為在結束了步驟2109的處理後,讓處理前進到步驟2111。
又,控制單元40在判定為連接有外部記憶裝置70的情況下(在步驟2108中為「是」),會讓處理前進到步驟2110。控制單元40會將第1操作畫面資料520作為第2操作畫面資料720,來對外部記憶裝置70輸出記憶對象之資料(步驟2110)。例如,控制單元40藉由將裝置資料700、頂端畫面資料710、第2操作畫面資料720等輸出至已連接於連接部60之外部記憶裝置70,而將各種資料記憶在外部記憶裝置70。藉此,加工裝置1可以將裝置資料700、頂端畫面資料710以及第2操作畫面資料720記憶於外部記憶裝置70。控制單元40在步驟2110的處理結束後,會讓處理前進到後述之步驟2111。
控制單元40會判定是否返回主畫面511(步驟2111)。例如,控制單元40在透過觸控面板30而檢測到表示「到主畫面」之按鈕537已被選擇的情況下,會判定為返回主畫面511。控制單元40在判定為不返回主畫面511的情況下(在步驟2111中為「否」),會讓處理返回到已經說明過之步驟2103,並繼續進行處理。又,控制單元40在判定為返回主畫面511的情況下(在步驟2111中為「是」),會讓處理前進到步驟2112。
控制單元40會讓顯示從選擇畫面531轉變到主畫面511(步驟2112)。例如,控制單元40將觸控面板30控制成讓正在顯示之選擇畫面531消失而顯示主畫面511。控制單元40在結束步驟2112的處理後,會結束圖8所示之處理程序,並使處理回歸到圖7所示之處理程序的步驟2003。
回到圖7,控制單元40在結束步驟2003的處理後,會讓處理前進到後述之步驟2008。
又,控制單元40在判定為選擇畫面531未被選擇的情況下(在步驟2002中為「否」),會讓處理前進到步驟2004。控制單元40會判定第2操作畫面是否已被選擇(步驟2004)。例如,控制單元40在透過觸控面板30檢測到指示從主畫面511轉變到第2操作畫面的第2按鈕514已被選擇的情況下,會判定為第2操作畫面已被選擇。控制單元40在判定為第2操作畫面已被選擇的情況下(在步驟2004中為「是」),會讓處理前進到步驟2005。
控制單元40會執行第2操作畫面的顯示控制處理(步驟2005)。第2操作畫面的顯示控制處理是藉由控制單元40執行程式,來實現例如有關於已記憶於外部記憶裝置70的頂端畫面資料710、第2操作畫面資料720等的顯示之處理。
在圖9所示之一例中,控制單元40會判定是否可進行外部記憶裝置70的讀入(步驟2201)。例如,控制單元40在可透過連接部60從外部記憶裝置70進行資料的讀入的情況下、顯示有外部記憶裝置70的裝置資料700可適用於加工裝置1的情況下等,會判定為可進行外部記憶裝置70的讀入。控制單元40在判定為不可能進行外部記憶裝置70的讀入的情況下(在步驟2201中為「否」),會讓處理前進到步驟2202。
控制單元40會通報外部記憶裝置70之異常(步驟2202)。例如,控制單元40會在觸控面板30顯示通報外部記憶裝置70異常之情形的畫面、或以顯示燈來進行警報。例如,控制單元40亦可向操作人員通報異常的詳細內容。控制單元40在結束步驟2202的處理後,會讓處理返回到步驟2201,並等待外部記憶裝置70被連接。再者,圖9所示之處理程序亦可構成為在結束了步驟2202的處理後,讓處理前進到步驟2211。
又,控制單元40在判定為可進行外部記憶裝置70的讀取的情況下(在步驟2201中為「是」),會讓處理前進到步驟2203。控制單元40會從外部記憶裝置70取得資料(步驟2203)。例如,控制單元40透過連接部60,從外部記憶裝置70取得頂端畫面資料710、第2操作畫面資料720等之資料,並記憶於儲存器50。控制單元40在結束步驟2203的處理後,會讓處理前進到步驟2204。
控制單元40會在觸控面板30顯示頂端畫面資料710(步驟2204)。例如,控制單元40將觸控面板30控制成顯示頂端畫面資料710所示之頂端畫面711。其結果,觸控面板30會顯示頂端畫面711。控制單元40在步驟2204的處理結束後,會讓處理前進到步驟2205。
控制單元40會判定是否已在頂端畫面711中選擇操作畫面721(步驟2205)。例如,控制單元40在已透過觸控面板30而選擇了頂端畫面711的縮圖712的情況下,會判定為已在頂端畫面711中選擇了操作畫面721。控制單元40在判定為未在頂端畫面711中選擇操作畫面721的情況下(在步驟2205中為「否」),會讓處理前進到後述之步驟2211。又,控制單元40在判定為已在頂端畫面711中選擇了操作畫面721的情況下(在步驟2205中為「是」),會讓處理前進到步驟2206。
控制單元40會依據選擇結果,在觸控面板30顯示第2操作畫面資料720(步驟2206)。例如,控制單元40將觸控面板30控制成顯示第2操作畫面資料720所示之操作畫面721。其結果,觸控面板30會顯示操作畫面721。控制單元40在結束步驟2206的處理後,會讓處理前進到步驟2207。
控制單元40會判定配置地圖是否已被選擇(步驟2207)。例如,控制單元40在透過觸控面板30檢測到操作畫面721之表示「配置地圖」之按鈕723已被選擇的情況下,會判定為配置地圖已被選擇。控制單元40在判定為配置地圖未被選擇的情況下(在步驟2207中為「否」),會讓處理前進到後述之步驟2209。又,控制單元40在判定為配置地圖已被選擇的情況下(在步驟2207中為「是」),會讓處理前進到步驟2208。
控制單元40會執行配置地圖變更處理(步驟2208)。配置地圖變更處理包含例如將依據配置地圖畫面資料之配置地圖畫面810顯示於觸控面板30之處理、因應於圖標811的移動來變更第2操作畫面資料720的配置之處理、將變更結果反映到外部記憶裝置70之處理等。控制單元40藉由執行配置地圖變更處理,而實現圖5所示之加工裝置1的動作。控制單元40在步驟2208的處理結束後,會讓處理前進到步驟2209。
控制單元40會判定布置變更是否已被選擇(步驟2209)。例如,控制單元40在透過觸控面板30檢測到操作畫面721之表示「布置變更畫面」之按鈕724已被選擇的情況下,會判定為布置變更已被選擇。控制單元40在判定為布置變更未被選擇的情況下(在步驟2209中為「否」),會讓處理前進到後述之步驟2211。又,控制單元40在判定為布置變更已被選擇的情況下(在步驟2209中為「是」),會讓處理前進到步驟2210。
控制單元40會執行布置變更處理(步驟2210)。布置變更處理包含例如讓依據布置變更畫面資料之布置變更畫面820顯示於觸控面板30之處理、因應於所顯示之操作按鈕722的移動來變更布置之處理、將經變更之布置反映到外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720之處理等。控制單元40藉由執行布置變更處理,而實現圖6所示之加工裝置1的動作。控制單元40在結束步驟2210的處理後,會讓處理前進到步驟2211。
控制單元40會判定是否結束第2操作畫面(步驟2211)。例如,控制單元40會在透過觸控面板30指示了轉變到主畫面511的情況下、依據第2操作畫面之控制處理已結束的情況下等,判定為結束。控制單元40在判定為不結束第2操作畫面的情況下(在步驟2211中為「否」),會讓處理返回到已經說明過之步驟2205,並繼續進行處理。又,控制單元40在判定為結束第2操作畫面的情況下(在步驟2211中為「是」),會讓處理前進到步驟2212。
控制單元40會讓顯示從頂端畫面711轉變到主畫面511(步驟2212)。例如,控制單元40將觸控面板30控制成讓正在顯示之頂端畫面711消失而顯示主畫面511。控制單元40在結束步驟2212的處理後,會結束圖9所示之處理程序,並使處理回歸到圖7所示之處理程序的步驟2005。
回到圖7,控制單元40在結束步驟2005的處理後,會讓處理前進到後述之步驟2008。
又,控制單元40在判定為2操作畫面未被選擇的情況下(在步驟2004中為「否」),會讓處理前進到步驟2006。控制單元40會判定第1操作畫面是否已被選擇(步驟2006)。例如,控制單元40在透過觸控面板30檢測到已在主畫面511中選擇圖標512的情況下,會判定為第1操作畫面已被選擇。控制單元40在判定為第1操作畫面未被選擇的情況下(在步驟2006中為「否」),會讓處理前進到後述之步驟2008。又,控制單元40在判定為第1操作畫面已被選擇的情況下(在步驟2006中為「是」),會讓處理前進到步驟2007。
控制單元40會執行第1操作畫面的顯示控制處理(步驟2007)。第1操作畫面的顯示控制處理是藉由控制單元40執行程式,來實現例如有關於儲存器50之第1操作畫面資料520的顯示之處理。第1操作畫面的顯示控制處理包含例如以下處理:使依據第1操作畫面資料520之第1操作畫面顯示於觸控面板30之處理、因應於第1操作畫面的操作按鈕來指示加工裝置1的控制、或執行控制程式等之處理。控制單元40會藉由執行第1操作畫面的顯示控制處理,來控制第1操作畫面的顯示。控制單元40在結束步驟2007的處理後,會讓處理前進到步驟2008。
控制單元40會判定是否結束(步驟2008)。例如,控制單元40在已滿足加工裝置1的結束條件的情況下,會判定為結束。結束條件包含例如從操作人員、管理裝置、其他的加工裝置等受理結束的指示之結束全部的加工等之條件。控制單元40在判定為未結束的情況下(在步驟2008中為「否」),會讓處理返回到已經說明過的步驟2002。又,控制單元40在判定為已結束的情況下(在步驟2008中為「是」),會結束圖7所示之處理程序。
如以上所說明,加工裝置1可以使選擇畫面531顯示於觸控面板30,並且將從以規定的順序所設定的複數個第1操作畫面資料520之中選擇出的第1操作畫面資料520作為第2操作畫面資料720來記憶至外部記憶裝置70。將外部記憶裝置70連接到連接部60後,加工裝置1可以在不經過以既定的順序所設定之該第1操作畫面資料520的情形下,使該外部記憶裝置70之第2操作畫面資料720顯示於觸控面板30。藉此,加工裝置1在因可操作之功能的增加、多樣化等而可切換顯示之第1操作畫面資料520的數量已變得很多的情況下,可以從複數個第1操作畫面資料520中限定出僅和加工操作相應之第1操作畫面資料520,並作為第2操作畫面資料720來記憶於外部記憶裝置70。其結果,由於加工裝置1可以讓操作人員選擇經限定之第2操作畫面資料720,因此可以提升作業效率。
例如,加工裝置1會有以下情況:在觸控面板30中,複數個操作畫面(第1操作畫面)因為要從主畫面511選擇操作按鈕722,所以會將可被顯示之第2階層的操作畫面、或可藉由選擇顯示於第2階層的操作畫面之操作按鈕722而被顯示之第3階層的操作畫面等而被分成階層來記憶第1操作畫面資料520。在此情況下,在加工裝置1的操作會依據操作人員而有限定性,且和操作相當之第1操作畫面資料520的操作畫面存在於較深的階層的情況下,為了到達該操作畫面,必須在複數個第1操作畫面中轉變,很沒有效率。
相對於此,實施形態之加工裝置1,可以將從複數個第1操作畫面資料520之中選擇出的第1操作畫面資料520設定為第2操作畫面資料720,以使各操作人員容易操作。此外,加工裝置1可以藉由讓操作人員隨身攜帶記憶有第2操作畫面資料720之外部記憶裝置70,來連接於任意的加工裝置1,而形成為可讓適合於操作人員的操作畫面顯示而進行操作。其結果,即使是在不同的加工裝置1中所記憶之第2操作畫面資料720,加工裝置1仍然會進行成可使用操作人員專用或限定之操作畫面(第2操作畫面),藉此提升操作人員的操作性。
又,加工裝置1可以使配置地圖畫面810顯示在觸控面板30,而因應於對配置地圖畫面810之變更操作來切換該第2操作畫面資料720的位置關係,其中前述配置地圖畫面810是可設定外部記憶裝置70所記憶的複數個該第2操作畫面資料720的位置關係之畫面。藉此,加工裝置1可以將第2操作畫面資料720以和第1操作畫面資料520的位置關係不同的位置關係來記憶到外部記憶裝置70。其結果,由於加工裝置1可以用因應於操作人員的喜好的順序來配置第2操作畫面資料720,因此可以自訂(customize)操作畫面的順序。
又,加工裝置1可以在觸控面板30顯示變更該第2操作畫面資料720中的操作按鈕722的位置之布置變更畫面820,並且在布置變更畫面820中,依據所設定之座標來顯示該第2操作畫面資料720的該操作按鈕722。藉此,加工裝置1可以變更已記憶於外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720的該操作按鈕722的配置。其結果,由於加工裝置1可以變更顯示同一操作畫面之第1操作畫面資料520以及第2操作畫面資料720的操作按鈕722之配置,因此變得可進行操作畫面的布置之自訂。
又,因為加工裝置1可以藉由讓操作人員攜帶記憶有裝置資料700之外部記憶裝置70,而在適合於裝置資料700之其他加工裝置上也顯示第2操作畫面資料720,所以可以提升操作人員的便利性。
圖10是顯示實施形態之加工裝置1的顯示控制的一例的圖。如圖10所示,加工裝置1具有以下功能:依據記憶在外部記憶裝置70的複數個第2操作畫面資料720,以規定的順序來切換操作畫面721-1、操作畫面721-2、操作畫面721-3、操作畫面721-4、操作畫面721-5、操作畫面721-6而顯示。規定的順序包含操作畫面721-1、操作畫面721-2、操作畫面721-3、操作畫面721-4、操作畫面721-5、操作畫面721-6之順序。規定的順序包含:切換操作畫面721-1與操作畫面721-4的順序、切換操作畫面721-2與操作畫面721-5的順序、切換操作畫面721-3與操作畫面721-6的順序等之順序。外部記憶裝置70的第2操作畫面資料720可以藉由對連結(link)目的地資訊建立連繫而設成可進行各種的切換順序。例如,加工裝置1會在觸控面板30顯示操作畫面721-1,並因應於操作人員對操作畫面721-1之滑動(swipe)的方向等,而使其以規定的順序切換成操作畫面721-2、操作畫面721-4的任一個畫面來顯示。
[變形例] 在上述之實施形態中,雖然說明了加工裝置1會在觸控面板30顯示外部記憶裝置70的頂端畫面資料710,並在那裏顯示選擇出的第2操作畫面資料720之情況,但非限定於此。加工裝置1亦可構成為:設成在不使頂端畫面資料710顯示於觸控面板30的情形下,使位於配置地圖畫面810的開頭之相當於操作畫面的第2操作畫面資料720在第2操作畫面的顯示已被選擇時首先顯示,並因應於滑動的方向而依據已設定在配置地圖之位置關係且以規定的順序來切換第2操作畫面資料720而顯示於觸控面板30。
[其他實施形態] 再者,本發明之加工裝置1並非限定於上述實施形態之加工裝置,且可以在不脫離本發明之要旨的範圍內進行各種變形而實施。例如,加工裝置1亦可為切削裝置以外的磨削裝置或雷射加工裝置。
又,在上述之實施形態中所說明的加工裝置1的各構成要素是功能概念的構成要素,並不一定需要物理上如圖示地構成。亦即,加工裝置1之分散/整合之具體的形態並不受限於圖示之形態,而是可以將其全部或一部分因應於各種負荷或使用狀況等,以任意的單位來進行功能上或物理上的分散/整合而構成。例如,加工裝置1亦可將顯示控制部41、輸出控制部42、地圖變更部43以及布置變更部44在功能上進行統合、或組合。
又,在上述之實施形態中所說明的加工裝置1,雖然說明了操作人員選擇第1操作畫面資料520之情況,但並非限定於此。例如,加工裝置1亦可讓管理人員選擇適合於機種,作業內容之第1操作畫面資料520,並將所選擇之第1操作畫面資料520作為第2操作畫面資料720來記憶於外部記憶裝置70。
1:加工裝置 2:本體 10:工作夾台 12:拍攝單元 14:驅動組件 15:Z軸移動組件 20:加工單元 22:X軸移動組件 27:Y軸移動組件 30:觸控面板 31:顯示部 32:輸入部 40:控制單元 41:顯示控制部 42:輸出控制部 43:地圖變更部 44:布置變更部 50:儲存器 60:連接部 70:外部記憶裝置 100:被加工物 101:基板 102:框架 103:黏著膠帶 500:識別資料 510:主畫面資料 511:主畫面 512,811:圖標 513:第1按鈕 514:第2按鈕 520:第1操作畫面資料 531:選擇畫面 532~537,714,723~725,727,812,813:按鈕 540:畫面清單 541,712:縮圖 700:裝置資料 710:頂端畫面資料 711:頂端畫面 720:第2操作畫面資料 721,721-1~721-6:操作畫面 722:操作按鈕 726:操作區域 810:配置地圖畫面 820:布置變更畫面 1001,1002,1011,1012,1013,1014,1015:場景 X,Y,Z:方向 2001,2002,2003,2004,2005,2006,2007,2008,2101,2102,2103,2104,2105,2106,2107,2108,2109,2110,2111,2112,2201,2202,2203,2204,2205,2206,2207,2208,2209,2210,2211,2212:步驟
圖1是顯示實施形態之加工裝置的構成例的立體圖。 圖2是示意地顯示實施形態之加工裝置的功能構成的一例的圖。 圖3是顯示實施形態之加工裝置的畫面轉變的一例的圖。 圖4是顯示實施形態之加工裝置的畫面轉變的另一例的圖。 圖5是顯示實施形態之加工裝置的配置地圖畫面的一例的圖。 圖6是顯示實施形態之加工裝置的布置變更畫面的一例的圖。 圖7是顯示實施形態之加工裝置的顯示控制之處理程序的一例的流程圖。 圖8是顯示圖7所示之選擇畫面的顯示控制處理的一例的流程圖。 圖9是顯示圖7所示之第2操作畫面的顯示控制處理的一例的流程圖。 圖10是顯示實施形態之加工裝置的顯示控制的一例的圖。
1:加工裝置
12:拍攝單元
14:驅動組件
15:Z軸移動組件
20:加工單元
22:X軸移動組件
27:Y軸移動組件
30:觸控面板
31:顯示部
32:輸入部
40:控制單元
41:顯示控制部
42:輸出控制部
43:地圖變更部
44:布置變更部
50:儲存器
60:連接部
70:外部記憶裝置
500:識別資料
510:主畫面資料
520:第1操作畫面資料
700:裝置資料
710:頂端畫面資料
720:第2操作畫面資料

Claims (3)

  1. 一種加工裝置,其特徵在於: 具備: 保持工作台,保持被加工物; 加工單元,對已保持在該保持工作台之該被加工物進行加工; 顯示部,可顯示操作該加工單元的第1操作畫面; 控制單元,以既定的順序來切換複數個該第1操作畫面並使其顯示於該顯示部;及 連接部,裝卸自如地連接外部記憶裝置, 該控制單元會在該顯示部顯示選擇畫面,前述選擇畫面包含: 畫面清單,顯示複數個該第1操作畫面之清單; 選擇按鈕,可從該畫面清單選擇任意的該第1操作畫面;及 輸出按鈕,將在該畫面清單中選擇出的該第1操作畫面作為第2操作畫面來輸出至該外部記憶裝置, 若在本機或同機種的加工裝置中將記憶有該第2操作畫面之該外部記憶裝置連接於該連接部時,會在不經過以既定的順序所設定之該第1操作畫面的情形下,使該外部記憶裝置的該第2操作畫面顯示於該顯示部。
  2. 如請求項1之加工裝置,其中該控制單元會讓可設定該外部記憶裝置所記憶之複數個該第2操作畫面的位置關係之配置地圖畫面顯示於該顯示部, 並因應於對該配置地圖畫面之變更操作來切換該第2操作畫面的位置關係。
  3. 如請求項1之加工裝置,其中該第1操作畫面以及該第2操作畫面具有複數個操作按鈕, 該控制單元會使變更該第2操作畫面中的該操作按鈕的位置之布置變更畫面顯示於該顯示部, 並在該布置變更畫面中,依據已設定的座標來顯示該第2操作畫面的該操作按鈕。
TW110131691A 2020-09-01 2021-08-26 加工裝置 TW202210972A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-146709 2020-09-01
JP2020146709A JP2022041484A (ja) 2020-09-01 2020-09-01 加工装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW202210972A true TW202210972A (zh) 2022-03-16

Family

ID=80221729

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW110131691A TW202210972A (zh) 2020-09-01 2021-08-26 加工裝置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20220066625A1 (zh)
JP (1) JP2022041484A (zh)
KR (1) KR20220029485A (zh)
CN (1) CN114121721A (zh)
DE (1) DE102021209269A1 (zh)
TW (1) TW202210972A (zh)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020002560A1 (en) * 2000-06-30 2002-01-03 Snehanshu Shah Method and system for collecting diverse data types within a manufacturing environment and accessing the diverse data types through a network portal
US20020065900A1 (en) * 2000-10-02 2002-05-30 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for communicating images, data, or other information in a defect source identifier
US7656172B2 (en) * 2005-01-31 2010-02-02 Cascade Microtech, Inc. System for testing semiconductors
JP4825021B2 (ja) * 2006-02-28 2011-11-30 株式会社日立ハイテクノロジーズ レポートフォーマット設定方法、レポートフォーマット設定装置、及び欠陥レビューシステム
JP4555881B2 (ja) 2008-03-18 2010-10-06 株式会社日立国際電気 基板処理装置及び表示方法
JP6943830B2 (ja) * 2018-10-19 2021-10-06 ファナック株式会社 制御装置、通信端末、及び制御システム
JP6923499B2 (ja) * 2018-11-05 2021-08-18 ファナック株式会社 情報処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE102021209269A1 (de) 2022-03-03
US20220066625A1 (en) 2022-03-03
CN114121721A (zh) 2022-03-01
KR20220029485A (ko) 2022-03-08
JP2022041484A (ja) 2022-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BRPI1107088A2 (pt) aparelho, mÉtodo para controlar uma interface grÁfica de usuÁrio,e, dispositivo de armazenamento de computador nço transitàrio
JP2017140682A (ja) 装置
JP6518141B2 (ja) タッチパネル装置
JP2008089351A (ja) 外観検査装置及び外観検査方法
JP2013191618A (ja) 加工装置
JP2009278029A (ja) ダイシング装置
JP2015098063A (ja) 加工装置
JP6108806B2 (ja) 加工装置
TW202210972A (zh) 加工裝置
KR101094134B1 (ko) 기판 처리 장치, 표시 방법, 기록 매체 및 프로그램
JP6827380B2 (ja) 検査装置およびメンテナンスのガイダンス方法
JP2014235699A (ja) 情報処理装置、機器設定システム、機器設定装置、機器設定方法、およびプログラム
JP2009117648A (ja) Guiを備える半導体製造装置
KR20220130589A (ko) 가공 장치
US20200030961A1 (en) Rework system for unsoldering and/or soldering electronic components on a circuit board
JP2022164003A (ja) 基板処理装置
JP6844900B2 (ja) 加工装置及び入力方法
JP2010179388A (ja) ロボット教示システム
JP2020123049A (ja) 寸法単位設定方法、情報処理装置、及びロボットシステム
US11256406B2 (en) Processing apparatus
JP2019063863A (ja) 半田付装置及びプログラム
JP7408235B2 (ja) 加工装置
JP2022051461A (ja) 加工装置
US20210182009A1 (en) Display device, display system, and display method
JP5058053B2 (ja) ラダー図編集方法