JP6844900B2

JP6844900B2 - 加工装置及び入力方法

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Publication number: JP6844900B2
Application number: JP2017027795A
Authority: JP
Inventors: 慎弥千葉
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2017-02-17
Filing date: 2017-02-17
Publication date: 2021-03-17
Anticipated expiration: 2037-02-17
Also published as: JP2018133027A

Description

本発明は、各種設定を受け付ける入力装置を備えた加工装置及び入力方法に関する。

従来、加工装置としてタッチパネル式の入力装置を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のタッチパネルには、加工装置に対する各種設定条件を設定するための入力画面が表示されている。入力画面には、設定条件毎に入力セルが表示されると共に、入力セルに対してオペレータからのデータ入力を受け付けるキーボードが表示される。オペレータによって各設定条件の入力セルが選択されてキーボードのキーがタッチされることで、この入力セルに対してデータが入力されて加工装置に設定条件が設定される。

特開平１０−２４０３４０号公報

しかしながら、上記の入力画面ではキーボードと入力セルが離れているため、キーボードから入力されたデータがどの入力セルに設定されているかが分かり難い。すなわち、キーボードの入力時には入力セルからオペレータの視線が外れるため、入力画面の入力セルを見失って設定ミスを引き起こすおそれがあった。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、入力セルを見失うことなくデータ入力することができる加工装置及び入力方法を提供することを目的の１つとする。

本発明の一態様の加工装置は、タッチパネルと、制御部と、を備えた加工装置であって、該タッチパネルには、文字または数値による文字データが入力される複数の入力セルと、該入力セルに該文字データを入力するキーボードと、が表示され、該制御部は、該入力セルに入力するために選択された該キーボードの文字または数値での文字画像を、選択された位置から該入力セルに向けて送り出して、該入力セルに該文字画像で示される該文字データを入力させる。

本発明の一態様の入力方法は、上記記載の加工装置を用いて該入力セルに該文字データを入力する入力方法であって、該入力セルを選択するセル選択工程と、該セル選択工程の後、該タッチパネルに該キーボードを表示させるキーボード表示工程と、該タッチパネルに表示された該キーボードの選択された該文字データを該セル選択工程で選択した該入力セルに入力する入力工程と、該入力工程では、該キーボードの該文字画像を、選択された位置から該入力セルに向けて送り出して、該入力セルに該文字画像で示される該文字データを入力する。

これらの構成によれば、オペレータにキーボードのキーがタッチされると、キーから入力先の入力セルに向かってキーの文字画像が送り出される。このため、文字画像の移動軌跡から文字データの入力先をオペレータに認識させることができ、入力先を見失うことなく入力セルに文字データを入力することができる。よって、オペレータによる設定ミスを効果的に防止することができる。

本発明によれば、選択したキーから入力セルに向かって文字画像が送り出されるため、文字画像の移動軌跡から文字データの入力先をオペレータに認識させることができる。

本実施の形態の切削装置の外観斜視図である。比較例のデータ入力時の表示例を示す図である。本実施の形態のデータ入力時の表示制御を示すブロック図である。本実施の形態のデータ入力時の表示例を示す図である。本実施の形態の入力セルに対する文字データの入力方法の説明図である。変形例のデータ入力時の表示例を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態の切削装置について説明する。図１は、本実施の形態の切削装置の外観斜視図である。なお、図１では、加工装置として切削装置を例示して説明するが、加工装置はタッチパネルを備えた装置であれば、どのような構成でもよい。

図１に示すように、切削装置１には、オペレータの操作を受け付けるタッチパネル（入力装置）３１が設けられており、タッチパネル３１によって各種加工条件が設定されている。切削装置１は、タッチパネル３１で設定された設定条件に基づいて、切削ブレード（不図示）とチャックテーブル２１に保持されたウェーハＷとを相対的に移動させて、チャックテーブル２１上のウェーハＷを分割予定ラインに沿って切削するように構成されている。ウェーハＷの表面は、格子状の分割予定ラインによって複数の領域に区画されており、区画された各領域には各種デバイスが形成されている。

ウェーハＷの裏面にはダイシングテープＴが貼着されており、ダイシングテープＴの外周にはリングフレームＦが貼着されている。ウェーハＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持された状態で切削装置１に搬入される。なお、ウェーハＷは、加工対象になるものであればよく、例えば、デバイス形成済みの半導体ウェーハや光デバイスウェーハでもよい。また、ダイシングテープＴは、テープ基材に粘着層が塗布された通常の粘着テープの他、テープ基材にＤＡＦが貼着されたＤＡＦ（Dai Attach Film）テープでもよい。

切削装置１は、切削加工の加工スペースを覆う直方体状の筐体１１と、筐体１１に隣接して待機スペースや洗浄スペースを形成する支持台１２とを有している。支持台１２の上面中央は、筐体１１内に向かって延在するように開口されており、この開口はチャックテーブル２１と共に移動可能な移動板１３及び蛇腹状の防水カバー１４に覆われている。防水カバー１４の下方には、チャックテーブル２１をＸ軸方向に移動させるボールねじ式の駆動機構（不図示）が設けられている。図１においては、チャックテーブル２１を筐体１１の外部に移動させて支持台１２上で待機させた状態を示している。

チャックテーブル２１は、ポーラスセラミック材によって保持面２２が形成されており、この保持面２２に生じる負圧によってウェーハＷが吸引保持される。チャックテーブル２１の周囲にはエア駆動式の４つのクランプ２３が設けられており、各クランプ２３によってウェーハＷの周囲のリングフレームＦが四方から挟持固定される。チャックテーブル２１の上方には、Ｙ軸方向に延在する一対のセンタリングガイド２４が設けられている。一対のセンタリングガイド２４のＸ軸方向の離間接近によって、チャックテーブル２１に対してウェーハＷのＸ軸方向が位置決めされる。

支持台１２には、チャックテーブル２１の隣に、カセットが載置されるエレベータユニット２５が設けられている。エレベータユニット２５では、カセットが載置されたステージ２６が昇降されて、カセット内のウェーハＷの出し入れ位置が高さ方向で調整される。筐体１１の側面１５には、一対のセンタリングガイド２４にリングフレームＦをガイドさせながらカセットにウェーハＷを出し入れするプッシュプルアーム２７が設けられている。また、筐体１１の側面１５には、一対のセンタリングガイド２４とチャックテーブル２１との間でウェーハＷを移載する移載アーム２８が設けられている。

図示は省略するが、筐体１１及び支持台１２内には、一対の切削ブレードでチャックテーブル２１上のウェーハを切削する切削機構が設けられている。このような切削装置１では、プッシュプルアーム２７でウェーハＷがカセットから一対のセンタリングガイド２４に引き出されてセンタリングされ、移載アーム２８によってチャックテーブル２１に載置されて筐体１１内に取り込まれる。筐体１１内で切削機構によってウェーハＷが切削された後に、移載アーム２８によって切削後のウェーハＷが一対のセンタリングガイド２４に載置されて、プッシュプルアーム２７によってカセットに押し込まれる。

また、筐体１１の前面１６には、切削装置１に加工条件を設定するタッチパネル３１が設置されている。タッチパネル３１には、設定条件毎に入力セルが表示されると共に、入力セルに対してオペレータからのデータ入力を受け付けるキーボードが表示されている。オペレータによって入力セルが選択された状態で、キーボードでキーがタッチされることで選択中の入力セルに文字データが入力される。そして、キーボードによって各入力セルに対して個々にデータ入力されて、各入力セルの文字データが反映されることで切削装置１に対して所望の加工条件が設定される。

ところで、図２に示すように、一般的な切削装置のタッチパネルには、入力セル３２等が表示された表示エリア３３の下方にキーボード３４が表示される。入力セル３２が選択されると色が変わって強調表示されるが、入力セル３２とキーボード３４が離れて表示されていると、オペレータが入力先の入力セル３２を見失うおそれがある。例えば、選択した入力セル３２が強調表示されていても、キー操作時には入力セル３２からオペレータの視線が外れるため、どの入力セル３２にデータ入力しているのか、何の値を入力しているのかが分かり難くなって、設定ミスを引き起こす要因になっていた。

そこで、本実施の形態のタッチパネル３１では、キーボード３４で選択したキーから入力セル３２に向かって、キー表記を示す文字画像５１を送り出すように表示制御している（図４参照）。これにより、文字画像５１の移動軌跡からデータの入力先をオペレータに認識させることができるため、入力先を見失うことがなく、切削装置１に対する加工条件の設定ミスを防止することが可能になっている。

以下、図３及び図４を参照して、データ入力時の表示制御について説明する。図３は、本実施の形態のデータ入力時の表示制御を示すブロック図である。図４は、本実施の形態のデータ入力時の表示例を示す図である。なお、図３においては、説明の便宜上、データ入力時の表示制御に関係のない構成については省略して記載している。

図３に示すように、タッチパネル３１には、文字または数値による文字データが入力される複数の入力セル３２と、各入力セル３２に対して文字データを入力可能なキーボード３４とが表示されている。入力セル３２は、タッチパネル３１上で加工条件の設定項目毎に用意されており、入力セル３２に入力された文字データによって加工条件が設定される。キーボード３４には、数値やアルファベット等が入力可能な入力キーの他、数値入力やアルファベット入力等の文字入力を切り換える入力変更キーや、複数の入力セル３２間でカーソルを移動させるＴＡＢキー等が用意されている。

タッチパネル３１は、切削装置１（図１参照）の各部を統括制御する制御部４１によって制御されている。制御部４１には、入力セル３２のセル選択によって文字または数値での文字画像５１の送り先座標を検出する第１の検出部４２と、キーボード３４のキー選択によって文字画像５１の送り元座標を検出する第２の検出部４３とが設けられている。また、制御部４１には、キーボード３４の各キー表記に対応した文字画像５１が記憶された記憶部４４と、キーボード３４の入力先を指し示すように送り元座標から送り先座標に文字画像５１を送り出す表示制御部４５とが設けられている。なお、制御部４１は、切削装置１全体の制御とは別に、タッチパネル３１専用に設けられていてもよい。

第１の検出部４２では、オペレータにセル選択された入力セル３２の中心が文字データの送り先座標として検出される。第２の検出部４３では、オペレータにキー選択されたキーボード３４の入力キーの中心が文字データの送り元座標として検出される。送り先座標及び送り元座標は、それぞれ第１、第２の検出部４２、４３から表示制御部４５に出力される。記憶部４４には、キーボード３４の各キーに関連付けて文字画像５１が記憶されている。各文字画像５１は、中央にキー表記（文字）が付された半透明の円形画像であり、キーボード３４の数値やアルファベット等の入力キー毎に用意されている。

表示制御部４５では、キーボード３４で選択された入力キーに応じて記憶部４４から文字画像５１が読み込まれる。また、第１の検出部４２に検出された送り先座標と第２の検出部４３に検出された送り元座標を直線で結んで文字画像５１の移動ルートが決定される。そして、送り元座標が移動ルートの始点、送り先座標が移動ルートの終点に設定され、送り元座標から送り先座標に移動ルートに沿って文字画像５１が動かされる。これにより、選択されたキーボード３４の文字画像５１が入力セル３２に向かって送り出されて、入力セル３２に文字画像５１で示される文字データが入力される（図４参照）。

また、表示制御部４５では、上記の文字画像の移動表示の他にも、選択した入力セル３２の強調表示や拡大表示が制御されている。例えば、入力セル３２はハイライトで強調処理されると共に、ズームウィンドウ５２（図４参照）で拡大表示される。なお、制御部４１の各部は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成されている。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。メモリには、例えば、装置各部の駆動制御用のプログラムや表示制御用のプログラムが記憶されている。

具体的には、図４に示すように、タッチパネル３１の表示エリア３３には設定項目毎に入力セル３２が表示されており、表示エリア３３の下方には入力ツールとしてキーボード３４が表示されている。図の例では、「Ｚ１ブレードハイト」の設定項目の入力セル３２にカーソルが合わせられて、入力セル３２がハイライトで強調表示されると共に、円形のズームウィンドウ５２で入力セル３２が拡大表示されている。キーボード３４には入力キー３５としてテンキーが表示されており、入力セル３２が選択された状態でテンキーの中から数値「５」を示す入力キー３５がオペレータによって選択されている。

このとき、数値「５」の入力キー３５の中心が送り元座標（ｘ_１、ｙ_１）に設定され、「Ｚ１ブレードハイト」の入力セル３２の中心が送り先座標（ｘ_２、ｙ_２）に設定されている。この送り元座標（ｘ_１、ｙ_１）と送り先座標（ｘ_２、ｙ_２）から文字画像５１の直線状の移動ルート５３が決定される。そして、数値「５」の文字画像５１が記憶部４４（図３参照）から読み出されて、数値「５」の入力キー３５から「Ｚ１ブレードハイト」の入力セル３２に向かって文字画像５１が送り出される。文字画像５１がズームウィンドウ５２まで到達すると、入力セル３２に文字画像５１が示す文字データが入力される。

このように、送り元の入力キー３５から送り先の入力セル３２に向けて文字画像５１が送り出されて、文字画像５１の移動軌跡によってオペレータに文字データの入力先を認識させることができる。また、文字画像５１がズームウィンドウ５２に到達したタイミングで、文字画像５１がタッチパネル３１から消失する代わりに入力セル３２に文字データが入力されるため、あたかも文字画像５１自体が入力セル３２に入力されるような演出効果が期待できる。なお、図４では、ズームウィンドウ５２の隣に計算器のアイコン５４が表示され、このアイコン５４をタッチすることで計算器を表示させることも可能になっている。

ここで、タッチパネル３１では、キーボード３４で１文字ずつ選択される度に、選択された入力キー３５から入力セル３２に向かって文字画像５１が送り出されている。入力セル３２に文字列を入力する際には、キーボード３４から入力セル３２に向かって文字画像５１が１文字ずつ順番に送り出されるため、全ての文字が送り出される前に文字データの入力先を認識させることができる。一般にパラメータの設定に使用されるタッチパネル３１上の仮想的なキーボード３４は、文章作成に使用される実物のキーボードほどの入力速度が求められておらず、１文字ずつ文字画像５１を送り出すのに適した構成になっている。

図５を参照して、入力セルに対する文字データの入力方法について説明する。図５は、本実施の形態の入力セルに対する文字データの入力方法の説明図である。なお、図５は、入力方法の一例を示すものであり、適宜変更が可能である。

図５Ａに示すように、タッチパネル３１上の入力セル３２がオペレータの指先でタッチされて、文字データの入力先となる入力セル３２が選択される（セル選択工程）。入力セル３２が選択されると、入力セル３２の中心が送り先座標に設定される。また、入力セル３２の選択によって入力セル３２がハイライトで強調表示されると共にズームウィンドウ５２で拡大表示される。次に、図５Ｂに示すように、タッチパネル３１上の所定位置をタッチしてキーボード３４が表示される（キーボード表示工程）。なお、キーボード３４は、入力セル３２を選択した時点でタッチパネル３１に自動的に表示されてもよい。

次に、図５Ｃに示すように、キーボード３４がオペレータの指先でタッチされて、キーボード３４の中から文字データの入力キー３５が選択される（入力工程）。入力キー３５が選択されると、入力キー３５の中心が送り元座標に設定されて、送り元座標から送り先座標に向かう移動ルートが決定される。また、入力セル３２の選択によって入力キー３５に対応する文字画像５１がタッチパネル３１の送り元座標に表示される。次に、図５Ｄに示すように、キーボード３４の文字画像５１が入力セル３２に向けて送り出されて、入力セル３２に文字画像５１で示される文字データが入力される（入力工程）。そして、キーボード３４から入力キー３５が選択される度に、入力キー３５から入力セル３２に向かって文字画像５１が送り出される。文字画像５１の送り出しが繰り返されることで、入力セル３２に任意の文字列から成るパラメータが入力される。

以上のように、本実施の形態の切削装置１によれば、オペレータにキーボード３４の入力キー３５がタッチされると、入力キー３５から入力先の入力セル３２に向かって入力キー３５の文字画像が送り出される。このため、文字画像の移動軌跡から文字データの入力先をオペレータに認識させることができ、入力先を見失うことなく入力セルに文字データを入力することができる。よって、オペレータによる設定ミスを効果的に防止することができる。

なお、本実施の形態では、キーボードから入力セルに文字画像が１文字ずつ送り出されるため、別々の入力キーから送り出された文字画像が入力セルに到達する前に重なって判別できなくなる場合がある。そこで、図６に示すように、入力セル３２の中心ではなく、入力セル３２に対する文字データの入力位置に応じて送り先座標を可変させ、各入力キー３５からの文字画像５１の送り先を横にずらして文字画像５１の重なりを抑えてもよい。例えば、入力セル３２の１文字目に数値「５」、２文字目に数値「６」を入力するとき、入力セル３２では数値「５」、「６」の入力位置が１文字だけ横にずれている。このため、数値「５」の文字画像と数値「６」の文字画像の送り先が横にずれるため、数値「５」の文字画像と数値「６」の文字画像が判別できる程度に重なりを抑えることができる。

また、本実施の形態では、文字データとして、数値及びアルファベットを例示して説明したが、この構成に限定されない。文字データは、入力セルに入力可能であればよく、数値やアルファベットに限らず、仮名文字、空白文字、その他の記号を含んでいる。したがって、加工条件の設定だけでなく、ＩＤの入力、書き込み等にも適用することが可能である。また、文字入力の指示を文字画像で送り出すだけでなく、バックスペース等の指示を文字画像で送り出すようにしてもよい。これにより、入力セルから文字を削除することも可能である。

また、本実施の形態では、入力セルが選択されると、入力セルがハイライトで強調表示される構成にしたが、この構成に限定されない。入力セルの強調表示の方法は特に限定されるものではなく、例えば、縁取りによって強調表示されてもよい。また、入力セルの強調表示は必須の構成ではなく、入力セルが強調表示されなくてもよい。

また、本実施の形態では、入力セルが選択されると、入力セルがズームウィンドウで拡大表示される構成にしたが、この構成に限定されない。入力セルの拡大表示の方法は特に限定されるものではなく、例えば、ポップアップによって拡大表示されてもよい。また、入力セルの拡大表示は必須の構成ではなく、入力セルが拡大表示されなくてもよい。

また、本実施の形態では、入力セルの中心を送り先座標、入力キーの中心を送り元座標に設定したが、この構成に限定されない。送り先座標は入力セルの表示領域内のいずれの位置に設定されてもよいし、送り元座標は入力キーの表示領域内のいずれの位置に設定されてもよい。

また、本実施の形態では、文字画像の移動ルートが直線状に設定されたが、この構成に限定されない。文字画像の移動ルートは、送り元座標と送り先座標を結ぶルートであればよく、例えば、送り元座標と送り先座標を結ぶ円弧状のルートに設定されていてもよい。

また、本実施の形態では、文字画像がキー表記を付した半透明の円形画像である構成にしたが、この構成に限定されない。文字画像は、入力セルに入力される文字データに対応した画像であればよい。

また、本実施の形態では、文字画像の移動によって文字画像の移動軌跡をオペレータに認識させる構成にしたが、この構成に限定されない。文字画像が残像を残しつつ移動して、文字画像の残像から文字画像の移動軌跡をオペレータに認識させてもよい。

また、本実施の形態では、加工装置としてワークを切削する切削装置を例示して説明したが、この構成に限定されない。本発明は、タッチパネルを備えた他の加工装置に適用可能である。例えば、タッチパネルを備えた加工装置であれば、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、プラズマエッチング装置、エッジトリミング装置、エキスパンド装置、ブレーキング装置、及びこれらを組み合わせたクラスター装置等の他の加工装置に各種設定する際に適用されてもよい。

また、加工対象のワークとして、加工の種類に応じて、例えば、半導体デバイスウェーハ、光デバイスウェーハ、パッケージ基板、半導体基板、無機材料基板、酸化物ウェーハ、生セラミックス基板、圧電基板等の各種ワークが用いられてもよい。半導体デバイスウェーハとしては、デバイス形成後のシリコンウェーハや化合物半導体ウェーハが用いられてもよい。光デバイスウェーハとしては、デバイス形成後のサファイアウェーハやシリコンカーバイドウェーハが用いられてもよい。また、パッケージ基板としてはＣＳＰ（Chip Size Package）基板、半導体基板としてはシリコンやガリウム砒素等、無機材料基板としてはサファイア、セラミックス、ガラス等が用いられてもよい。さらに、酸化物ウェーハとしては、デバイス形成後又はデバイス形成前のリチウムタンタレート、リチウムナイオベートが用いられてもよい。

また、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

また、本実施の形態では、本発明を加工装置のデータ入力に用いる構成について説明したが、タッチパネルでデータ入力が必要な他の装置に適用することが可能である。

以上説明したように、本発明は、入力セルを見失うことなくデータ入力することができるという効果を有し、特に、加工条件の設定を受け付けるタッチパネルを備えた加工装置及び入力方法に有用である。

１切削装置（加工装置）
３１タッチパネル
３２入力セル
３３表示エリア
３４キーボード
３５入力キー
４１制御部
４２第１の検出部
４３第２の検出部
４４記憶部
４５表示制御部
５１文字画像

Claims

タッチパネルと、制御部と、を備えた加工装置であって、
該タッチパネルには、文字または数値による文字データが入力される複数の入力セルと、該入力セルに該文字データを入力するキーボードと、が表示され、
該制御部は、
該入力セルに入力するために選択された該キーボードの文字または数値に対応した文字画像を、選択された位置から該入力セルに向けて、拡大して送り出して、該入力セルに該文字画像で示される該文字データを入力させ、更に該文字データを入力させる際に該入力セルを強調処理及び拡大表示させる加工装置。
請求項１記載の加工装置を用いて該入力セルに該文字データを入力する入力方法であって、
該入力セルを選択するセル選択工程と、
該セル選択工程の後、該タッチパネルに該キーボードを表示させるキーボード表示工程と、
該タッチパネルに表示された該キーボードの選択された該文字データを該セル選択工程で選択した該入力セルに入力する入力工程と、
該入力工程では、該キーボードの該文字画像を、選択された位置から該入力セルに向けて、拡大して送り出して、該入力セルに該文字画像で示される該文字データを入力するとともに、該文字データを入力する際に該入力セルを強調処理及び拡大表示させる入力方法。