JP7198119B2 - 加工装置 - Google Patents
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また、加工装置1は、その筐体Cの内部に設けられた加工室PR内に、ウェーハWを保持する保持手段6、保持手段6に保持されたウェーハWを切削加工する加工手段2、および、加工前後のウェーハWを撮像する撮像手段7を備えている。また、加工装置1は、筐体Cの上部および側部に、作業者に稼働状況を通知するための表示灯8、および、ユーザーインターフェースとしてのタッチパネル4を、それぞれ備えている。さらに、加工装置1は、筐体Cの内部に、加工装置1の各構成要素を制御する制御手段3を備えている。
保持手段6は、ウェーハWを保持するチャックテーブル60、および、チャックテーブル60の周囲に設けられたクランプ部61を有している。
チャックテーブル60の上面には、ポーラスセラミックス材を含む保持面が形成されている。この保持面に生じる負圧によって、ワークセットW1のウェーハWが吸引保持される。
また、制御手段3は、タッチパネル4を用いた、作業者による加工手段2の加工条件の設定を制御する。すなわち、制御手段3は、図示しないメモリを有しており、複数の加工条件を記憶している。そして、制御手段3は、タッチパネル4に、図2に示すような加工条件リスト画面を表示する。この加工条件リスト画面は、加工条件の一覧表示画面の一例に相当する。
この加工条件リスト画面は、複数の加工条件の名称の一覧を含む。作業者は、この加工条件リスト画面を用いて、加工に使用する加工条件を選択可能である。
なお、図2に示した加工条件表示領域33では、各加工条件名の表示範囲のハッチングおよびトーンを変えることによって、各表示範囲が互いに異なる色で表示されることを示している。
5:カセットステージ、6:保持手段、7:撮像手段、8:表示灯、
31:フォルダ表示領域、33:加工条件表示領域、
41:カンバン、
W:ウェーハ、W1:ワークセット
Claims (2)
- 被加工物を加工する加工手段と、該加工手段を動作させる制御手段と、該加工手段による被加工物の加工に関する加工条件を表示する表示手段と、を備えた加工装置であって、
該制御手段は、複数の加工条件を記憶しており、
該制御手段は、該表示手段に、該複数の加工条件の名称の一覧を含むとともに、加工に使用される加工条件を選択可能な一覧表示画面を表示し、
該制御手段は、該一覧表示画面において、該複数の加工条件の名称を、互いに異なる色で表示し、
加工管理部材をさらに備え、該加工管理部材には、該制御手段に記憶されている該複数の加工条件のうちの一つの加工条件の名称が記載され、該加工管理部材の一部または全体の色が、該加工条件の名称における該一覧表示画面での表示色と同色であり、
該加工管理部材が、被加工物を保持するカセットに付されている、
加工装置。 - 該制御手段は、該表示手段に、該一覧表示画面を介して選択された加工条件の内容を示す加工条件画面を表示し、
該制御手段は、該加工条件画面の一部または全体を、該選択された加工条件の名称における該一覧表示画面での表示色と同色で表示する、
請求項1に記載の加工装置。
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