KR20210117935A - 가공 장치 - Google Patents

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KR20210117935A
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사유키 오타카
다스쿠 고조
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 오퍼레이터의 작업 누락이나 작업 순서의 실수를 억제할 수 있는 가공 장치를 제공한다.
(해결 수단) 가공 장치는, 오퍼레이터의 조작을 받아들이는 터치 패널과, 터치 패널에 표시된 조작 버튼을 오퍼레이터가 선택함으로써 각 기구를 구동시키는 제어 유닛을 구비한다. 터치 패널은, 복수의 조작 버튼이 나열된 진척 확인 화면을 표시할 수 있도록 구성되고, 오퍼레이터가 선택하여 작업을 완료한 조작 버튼과, 오퍼레이터가 작업을 완료하지 않은 조작 버튼을 식별 가능하게 표시한다.

Description

가공 장치{PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 가공 장치에 관한 것이다.
복수의 작업을 실시하고 완료시키는 것이 오퍼레이터에게 요구되는 가공 장치가 알려져 있다 (특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 2010-049466호
그러나, 이와 같은 가공 장치에서는, 실시해야 할 복수의 작업을 완료하고 있는지, 또는 작업 순서에 따라서 순차 실시하고 있는지에 대하여, 오퍼레이터의 손글씨의 체크 리스트 등으로 관리할 필요가 있었다. 이 때문에, 이와 같은 가공 장치에서는, 오퍼레이터가 복수의 작업을 실시하는 경우에, 오퍼레이터의 작업 누락이나 작업 순서의 실수 등이 발생해 버릴 우려가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 오퍼레이터의 작업 누락이나 작업 순서의 실수를 억제할 수 있는 가공 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 가공 장치로서, 오퍼레이터의 조작을 받아들이는 터치 패널과, 그 터치 패널에 표시된 조작 버튼을 오퍼레이터가 선택함으로써 각 기구를 구동시키는 제어 유닛을 구비하고, 그 터치 패널은, 복수의 그 조작 버튼이 나열된 진척 확인 화면을 표시할 수 있도록 구성되고, 오퍼레이터가 선택하여 작업을 완료한 그 조작 버튼과, 오퍼레이터가 작업을 완료하지 않은 그 조작 버튼을 식별 가능하게 표시하는 가공 장치가 제공된다.
오퍼레이터가 그 조작 버튼을 선택하여, 그 조작 버튼에 해당하는 작업을 완료하면, 실시한 그 조작 버튼의 상 또는 주위에 실시 완료를 나타내는 임의의 마크가 형성되거나 또는 착색되어도 된다.
그 진척 확인 화면에 있어서, 오퍼레이터가 다음으로 처리를 해야 할 그 조작 버튼의 상 또는 주위에 임의의 마크가 형성되거나 또는 착색되어도 된다.
그 진척 확인 화면에 있어서, 오퍼레이터의 작업이 완료되지 않은 그 조작 버튼의 상 또는 주위에 임의의 마크가 형성되거나 또는 착색되어도 된다.
그 제어 유닛은, 각 진척 확인 화면에 대응하는 작업 순서를 기억하는 순서 기억부를 포함하고, 그 진척 확인 화면은, 그 작업 순서와 상이한 순서에서는 그 조작 버튼을 선택 불가로 설계되어도 된다.
그 터치 패널은, 그 진척 확인 화면에 있어서 오퍼레이터가 선택한 그 조작 버튼에 연결하여, 보다 상세한 작업 순서에 따라서 나열된 그 조작 버튼을 갖는 작업 실시 화면을 추가로 표시할 수 있도록 구성되고, 그 작업 실시 화면에 표시되는 그 조작 버튼에 대응하는 모든 작업을 오퍼레이터가 완료하면, 그 진척 확인 화면의 그 조작 버튼이 실시 완료라고 식별 가능한 상태로 변화하는 것으로 해도 된다.
그 터치 패널은, 그 화면에 나열된 모든 그 조작 버튼에 대응하는 작업을 실시하지 않고, 다른 화면으로 이동한 경우, 그 화면에 형성된 식별 가능한 마크나 착색은 그대로 유지되고, 그 화면에 나열된 모든 그 조작 버튼에 대응하는 모든 작업이 완료되면, 식별 가능한 마크 및 착색을 없애는 것으로 해도 된다.
본 발명은, 오퍼레이터의 작업 누락이나 작업 순서의 실수를 억제할 수 있다.
도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치의 기능 구성의 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 3 은, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치의 순서 기억부가 기억하는 작업 순서 데이터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4(A), 도 4(B), 및 도 4(C) 는, 제 1 실시형태에 관련된 화면 표시 처리의 일례를 나타내는 도면이다.
도 5(A), 도 5(B), 및 도 5(C) 는, 제 1 실시형태에 관련된 화면 표시 처리의 일례를 나타내는 도면이다.
도 6(A), 도 6(B), 및 도 6(C) 는, 제 1 실시형태에 관련된 화면 표시 처리의 일례를 나타내는 도면이다.
도 7 은, 제 2 실시형태에 관련된 화면 표시 처리의 일례를 나타내는 도면이다.
도 8 은, 제 3 실시형태에 관련된 화면 표시 처리의 일례를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.
〔제 1 실시형태〕
본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 의 기능 구성의 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다. 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 박스형의 케이싱인 본체 (2) 를 구비한다. 가공 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 (10) 과, 가공 유닛 (20) 과, 터치 패널 (30) 과, 제어 유닛 (40) 을 구비한다.
가공 장치 (1) 의 가공 대상인 피가공물 (100) 은, 예를 들어, 실리콘, 사파이어, 갈륨비소 등을 기판 (101) 으로 하는 원판상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼이다. 피가공물 (100) 은, 점착 테이프 (103) 를 개재하여, 환상의 프레임 (102) 의 개구에 기판 (101) 을 지지하여 구성된다.
척 테이블 (10) 은, 유지면 (11) 에서 피가공물 (100) 을 유지한다. 척 테이블 (10) 은, 도시를 생략한 흡인원과 연통하고 있고, 흡인원으로부터 공급되는 부압에 의해 피가공물 (100) 을 흡인 유지한다. 척 테이블 (10) 은, 도시를 생략한 X 축 이동 유닛에 의해 X 축 방향을 따라 이동 가능하고, 도시를 생략한 회전 구동원에 의해 Z 축 둘레로 회전 가능하다.
가공 유닛 (20) 은, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (100) 을 가공한다. 가공 유닛 (20) 은, 예를 들어, 1 쌍의 절삭 유닛 (21) 이고, 각각 절삭 블레이드 (22) 를 갖는다. 1 쌍의 절삭 유닛 (21) 의 각각의 절삭 블레이드 (22) 는, Y 축 방향에 있어서 서로 대향하고 있고, 모두 Y 축 둘레로 회전한다. 가공 유닛 (20) 은, 회전하는 절삭 블레이드 (22) 에 의해, 피가공물 (100) 에 대해 절삭 가공을 실시한다. 가공 유닛 (20) 은, 도시를 생략한 Y 축 이동 유닛에 의해 Y 축 방향을 따라 이동 가능하고, 도시를 생략한 Z 축 이동 유닛에 의해 Z 축 방향을 따라 이동 가능하다.
가공 장치 (1) 는, X 축 이동 유닛, Y 축 이동 유닛 및 Z 축 이동 유닛에 의해, 척 테이블 (10) 과 가공 유닛 (20) 을 상대 이동시킴으로써, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (100) 을 가공한다.
또한, 가공 장치 (1) 가 구비하는 가공 유닛 (20) 은, 절삭 블레이드 (22) 로 피가공물 (100) 을 절삭 가공하는 절삭 유닛 (21) 에 한정되지 않는다. 가공 유닛 (20) 은, 예를 들어, 연삭 지석 등으로 동일한 피가공물 (100) 을 연삭 가공하는 연삭 유닛이나, 연마 패드 등으로 동일한 피가공물 (100) 을 연마 가공하는 연마 유닛이나, 동일한 피가공물 (100) 에 레이저 빔을 조사하여 레이저 가공하는 레이저 가공 유닛 등이어도 된다.
터치 패널 (30) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 표시면을 외측을 향한 상태로 본체 (2) 에 설치된다. 터치 패널 (30) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 가공 장치 (1) 에 관한 각종 정보를 표시하는 표시부 (31) 와, 가공 조건의 설정 입력 등, 가공 장치 (1) 에 관한 각종 조작 입력을 오퍼레이터로부터 받아들이는 입력부 (32) 를 갖는다.
제어 유닛 (40) 은, 가공 장치 (1) 를 구동시키는 각 기구 (X 축 이동 유닛, Y 축 이동 유닛, Z 축 이동 유닛, 회전 구동원) 를 제어한다. 제어 유닛 (40) 은, 가공 장치 (1) 의 각 부를 제어하여, 가공 장치 (1) 에 의한 가공 처리를 실현한다. 제어 유닛 (40) 은, 예를 들어, 오퍼레이터에 의해 입력 설정된 가공 조건에 따라서, 척 테이블 (10) 이나 가공 유닛 (20) 을 포함하는 가공 장치 (1) 의 각 부를 제어하여, 피가공물 (100) 의 가공 처리를 실현한다.
제어 유닛 (40) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 기억부 (41) 와, 처리부 (42) 를 구비한다. 제어 유닛 (40) 은, 제 1 실시형태에서는, 컴퓨터 시스템을 포함한다.
기억부 (41) 는, 처리부 (42) 에 의해 실행되는 가공 장치 (1) 에 각종 처리 등의 기능을 실현하는 프로그램이나, 프로그램에 의한 처리에 사용되는 데이터 (가공 조건) 등을 기억한다. 기억부 (41) 는, RAM (Random Access Memory), ROM (Read Only Memory), 플래쉬 메모리, EPROM (Erasable Programmable Read Only Memory), EEPROM (등록상표) (Electrically Erasable Programmable Read Only Memory) 등의 불휘발성 또는 휘발성의 반도체 메모리 등을 포함한다. 프로그램이 기억된 기억부 (41) 는, 예를 들어, 처리부 (42) 가 구비하는 프로세서에 의해 실행 가능한 데이터 처리를 실시하기 위한 복수의 명령을 포함하고 프로세서에 의한 판독이 가능하고, 또한 비천이적인 (non-transitory) 기록 매체이며, 프로그램 프로덕트라고도 말할 수 있다. 기억부 (41) 는, 처리부 (42) 가 구비하는 프로세서가 프로그램에 기술된 명령을 실행할 때의 일시적인 작업 영역으로서도 이용할 수 있다.
기억부 (41) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 제어 프로그램 기억부 (45) 와, 화면 구성 데이터 기억부 (46) 와, 순서 기억부 (47) 를 포함한다.
제어 프로그램 기억부 (45) 에 기억되는 제어 프로그램은, 가공 장치 (1) 의 각종 처리 등을 실현하기 위한 기능을 제공한다. 제어 프로그램에 의해 제공되는 기능은, 각종 조작 화면을 생성하고, 이 각종 조작 화면을 터치 패널 (30) 에 표시하고, 터치 패널 (30) 상에서의 각종 조작 화면에 대한 입력을 받아들이고, 이 각종 조작 화면에 대한 입력 등에 따라 터치 패널 (30) 에 표시하는 각종 조작 화면을 전환하는 등의 화면 표시 처리 기능을 포함한다.
화면 구성 데이터 기억부 (46) 는, 터치 패널 (30) 에 표시하는 각종 조작 화면의 화면 구성에 관한 데이터를 기억한다. 터치 패널 (30) 에 표시하는 각종 조작 화면은, 가공 장치 (1) 에 있어서 동작하는 프로그램의 종류나 버젼에 따른 화면 구성을 구비한다.
순서 기억부 (47) 는, 가공 장치 (1) 의 처리의 종류마다, 처리를 실현하기 위해서 오퍼레이터가 실시할 필요가 있는 각 대작업에 대하여, 각 대작업을 실시하기 위해서 필요한 각 중작업 및 그 순서, 그리고 중작업을 실시하기 위해서 필요한 보다 상세한 각 소작업 및 그 순서의 데이터를, 작업 순서 데이터로서 기억한다.
여기서, 본 명세서에서는, 대작업, 중작업 및 소작업은, 설명의 편의상, 오퍼레이터의 작업을 3 계층으로 분리하여 설정한 표현으로, 모두 본 발명에 있어서의 작업에 포함된다. 또, 본 명세서에서는, 소작업은, 세세하게 분리된 하나 하나의 작업을 말하고, 중작업은, 소작업의 상위 개념이며 소작업의 순서에 따른 일련의 복수의 소작업의 군을 말하고, 대작업은, 중작업의 상위 개념이며 중작업의 순서에 따른 일련의 복수 중작업의 군을 말한다.
작업 순서 데이터는, 각 대작업과, 대작업마다의 각 중작업의 항목 (중작업 항목) 과 대작업마다의 각 중작업의 순서 (중작업 순서) 와, 중작업마다의 각 소작업의 항목 (소작업 항목) 과, 중작업마다의 각 소작업의 순서 (소작업 순서) 를 갖고, 이들 항목이 서로 대응지어져 있다.
도 3 은, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 의 순서 기억부 (47) 가 기억하는 작업 순서 데이터의 일례를 나타내는 도면이다. 도 3 은, 순서 기억부 (47) 가 기억하는 작업 순서 데이터 중, 가공 장치 (1) 가 가공하는 피가공물 (100) 의 사이즈를 변경하기 위해서 오퍼레이터가 실시하는 대작업「사이즈 교환」에 관한 부분을 나타내고 있다. 또한, 도 3 에서는, 중작업 순서가 3 번째인 중작업 항목「척 테이블 교환」이외의 소작업 항목 및 소작업 순서의 구체적인 기재를 생략하고 있다.
처리부 (42) 는, CPU (Central Processing Unit) 마이크로 프로세서, 마이크로 컴퓨터, DSP (Digital Signal Processor), 시스템 LSI (Large Scale Integration) 등의 프로세서를 포함한다. 처리부 (42) 가 구비하는 프로세서는, 기억부 (41) 가 구비하는 RAM 상에 로드된 프로그램을 실행한다. 이로써, 가공 장치 (1) 에 의해 실행되는 각종 처리 등의 기능이 실현된다.
처리부 (42) 는, 기억부 (41) 에 격납된 프로그램에 기초하여 동작하고, 이하에 설명하는 가공 장치 (1) 의 화면 표시 처리를 실행한다. 처리부 (42) 는, 이하에 설명하는 화면 표시 처리에 있어서, 터치 패널 (30) 에 표시된 조작 버튼 (211, 221, 231) (도 4, 도 5 및 도 6 참조) 을 오퍼레이터가 선택함으로써, 선택된 조작 버튼 (211, 221, 231) (도 4, 도 5 및 도 6 참조) 에 따라, 가공 장치 (1) 를 구성하는 각 기능을 구동시킨다.
도 4(A), 도 4(B), 도 4(C), 도 5(A), 도 5(B), 도 5(C), 도 6(A), 도 6(B), 및 도 6(C) 는, 제 1 실시형태에 관련된 화면 표시 처리의 일례를 나타내는 도면이다. 도 4(A) ∼ 도 6(C) 를 사용하여, 화면 표시 처리에 대해 구체적으로 설명한다.
처리부 (42) 는, 도 4(A) 에 나타내는 바와 같이, 오퍼레이터의 조작에 따라, 터치 패널 (30) 에 톱 메뉴 화면 (210) 을 표시한다 (스텝 1011). 톱 메뉴 화면 (210) 은, 가공 장치 (1) 의 각종 처리를 각각 실행하기 위해서 필요한 각 대작업을 오퍼레이터가 실행하기 위한 복수의 조작 버튼 (211) 을 표시한다.
톱 메뉴 화면 (210) 은, 표시하는 각 조작 버튼 (211) 상에, 오퍼레이터가 조작하여 실행하는 각 대작업의 내용을 식별 가능한 기재를 중첩하여 표시한다. 이하, 본 명세서에서는, 톱 메뉴 화면 (210) 에 있어서, 소정의 대작업을 실행하기 위해서 오퍼레이터가 조작하는 조작 버튼 (211) 을, 당해 대작업에 관한 조작 버튼 (211) 이라고 한다. 오퍼레이터가 각 조작 버튼 (211) 을 조작하여 실행할 수 있는 각 대작업은, 제 1 실시형태에서는, 가공 장치 (1) 의 디바이스 데이터의 확인, 피가공물 (100) 의 풀오토 가공, 피가공물 (100) 의 메뉴얼 가공, 피가공물 (100) (워크) 의 사이즈 교환, 정기 메인터넌스, 얼라인먼트, 각종 계측, 및 절삭 블레이드 (22) 의 교환이다.
그리고, 처리부 (42) 는, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이,「사이즈 교환」이라고 기재된 조작 버튼 (211) 에 대한 오퍼레이터의 조작을 검출하면 (스텝 1012), 도 4 하단에 나타내는 바와 같이, 대작업「사이즈 교환」에 관한 진척 확인 화면 (220) 을 터치 패널 (30) 에 표시한다 (스텝 1013). 또한, 본 발명에 있어서의 터치 패널 (30) 이 진척 확인 화면 (220) 을 갖는다는 것은, 진척 확인 화면 (220) 을 터치 패널 (30) 에 표시할 수 있는 것을 말한다. 또, 본 명세서에서는, 소정의 대작업에 관한 진척 확인 화면 (220) 이란, 오퍼레이터가 소정의 대작업에 관한 조작 버튼 (211) 을 조작하여 표시되는 화면이고, 소정의 대작업을 실행하기 위해서 오퍼레이터가 참조하는 화면을 말한다.
진척 확인 화면 (220) 은, 처리부 (42) 가 순서 기억부 (47) 에 기억된 작업 순서 데이터를 참조하여 생성한다. 진척 확인 화면 (220) 은, 도 4(C) 에 나타내는 바와 같이, 당해 진척 확인 화면 (220) 에 관한 대작업을 실시하기 위해서 필요한 복수의 중작업 항목을 실행하는 복수의 조작 버튼 (221) 을 그 중작업 순서에 따라서 나열하여 표시한다. 진척 확인 화면 (220) 은, 당해 대작업의 실시에 오퍼레이터로부터의 정보의 입력이 필요한 경우에는, 당해 정보의 입력란 (222) 을 표시한다. 진척 확인 화면 (220) 은, 톱 메뉴 화면 (210) 에 대한 표시 전환을 실행하기 위한 화면 표시 전환 버튼 (212) 도 아울러 표시한다.
진척 확인 화면 (220) 은, 처리부 (42) 에 의해 조작 버튼 (221) 에 대한 조작에 제한이 가해져 있고, 중작업 순서와 상이한 순서에서는 조작 버튼 (221) 을 선택 불가로 설계된다. 즉, 진척 확인 화면 (220) 은, 중작업 순서에 따른 순번만으로, 조작 버튼 (221) 을 선택 가능하게 설계된다. 진척 확인 화면 (220) 은, 모든 이전의 순서의 조작 버튼 (221) 에 관한 중작업이 완료된 상태에서만, 오퍼레이터가 당해 조작 버튼 (221) 을 선택 가능하게 설계된다.
진척 확인 화면 (220) 은, 톱 메뉴 화면 (210) 의 각 조작 버튼 (211) 과 마찬가지로, 각 조작 버튼 (221) 상에, 오퍼레이터가 조작하여 실행하는 각 중작업의 내용을 식별 가능한 기재를 중첩하여 표시한다. 이하, 본 명세서에서는, 진척 확인 화면 (220) 에 있어서, 소정의 중작업을 실행하기 위해서 오퍼레이터가 조작하는 조작 버튼 (221) 을, 당해 중작업에 관한 조작 버튼 (221) 이라고 한다. 오퍼레이터가 대작업「사이즈 교환」에 관한 진척 확인 화면 (220) 의 각 조작 버튼 (221) 을 조작하여 실행할 수 있는 각 중작업은, 제 1 실시형태에서는, 가공 장치 (1) 내에서 피가공물 (100) 을 반송하는 반송 유닛의 상반송 아암의 교체, 반송 유닛의 하반송 아암 교체, 척 테이블 (10) 의 교환, 세정 유닛의 세정 테이블의 교환이다.
처리부 (42) 는, 상기한 오퍼레이터가 각 조작 버튼 (211) 을 조작하여 실행할 수 있는 모든 대작업에 관한 진척 확인 화면 (220) 을 터치 패널 (30) 에 표시할 수 있다. 또한, 이하, 대작업「사이즈 교환」에 관한 진척 확인 화면 (220) 에 대해 화면 표시 처리를 실시하는 경우를 설명하고, 다른 대작업에 관한 진척 확인 화면 (220) 에 대한 설명은, 대작업「사이즈 교환」에 관한 진척 확인 화면 (220) 의 경우와 동일하므로, 설명을 생략한다.
대작업「사이즈 교환」에 관한 진척 확인 화면 (220) 은, 오퍼레이터가 조작한「사이즈 교환」이라고 기재된 조작 버튼 (211) 에 연결되어 있다. 동일하게, 각 대작업에 관한 진척 확인 화면 (220) 은, 오퍼레이터가 당해 진척 확인 화면 (220) 을 표시시키기 위해서 조작하는 당해 대작업의 내용이 기재된 각 조작 버튼 (211) 에 연결되어 있다.
계속해서, 대작업「사이즈 교환」에 필요한 중작업 중 2 개의 중작업「상반송 아암 교체」「하반송 아암 교체」에 대하여, 오퍼레이터가 중작업 순서에 따라서 순차적으로 조작 버튼 (221) 을 선택하여, 당해 조작 버튼 (221) 에 해당하는 중작업을 완료시키면, 처리부 (42) 는, 터치 패널 (30) 에, 도 5(A) 에 나타내는 바와 같은 진척 확인 화면 (220) 을 표시한다 (스텝 1021). 도 5(A) 에 나타내는 진척 확인 화면 (220) 은, 오퍼레이터가 완료한 중작업「상반송 아암 교체」「하반송 아암 교체」에 관한 2 개의 조작 버튼 (221) 과, 오퍼레이터가 완료하지 않은 중작업「척 테이블 교환」「세정 테이블 교환」에 관한 2 개의 조작 버튼 (221) 을 식별 가능하게 표시한다.
도 5(A) 에 나타내는 진척 확인 화면 (220) 은, 제 1 실시형태에서는, 오퍼레이터가 완료한 중작업에 관한 2 개의 조작 버튼 (221) 상에 중첩하여, 실시 완료를 나타내는 체크 마크 (223) 를 표시한다. 한편, 도 5(A) 에 나타내는 진척 확인 화면 (220) 은, 오퍼레이터가 완료하지 않은 중작업에 관한 2 개의 조작 버튼 (221) 상에는, 실시 완료를 나타내는 체크 마크 (223) 를 표시하지 않는다. 또한, 진척 확인 화면 (220) 은, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 오퍼레이터가 완료한 중작업에 관한 조작 버튼 (221) 상 또는 주위에, 실시 완료를 나타내는 임의의 마크가 형성된 상태, 또는 착색된 상태로 표시해도 된다.
그리고, 처리부 (42) 는, 도 5(B) 에 나타내는 바와 같이,「척 테이블 교환」이라고 기재된 조작 버튼 (221) 에 대한 오퍼레이터의 조작을 검출하면 (스텝 1022), 도 5(C) 에 나타내는 바와 같이, 중작업「척 테이블 교환」에 관한 작업 실시 화면 (230) 을 터치 패널 (30) 에 표시한다 (스텝 1023). 또한, 본 발명에 있어서의 터치 패널 (30) 이 작업 실시 화면 (230) 을 포함한다는 것은, 작업 실시 화면 (230) 을 터치 패널 (30) 에 표시할 수 있는 것을 말한다. 또, 본 명세서에서는, 소정의 중작업에 관한 작업 실시 화면 (230) 이란, 오퍼레이터가 소정의 중작업에 관한 조작 버튼 (221) 을 조작하여 표시되는 화면이고, 소정의 대작업을 실행하기 위해서 오퍼레이터가 참조하는 화면을 말한다.
작업 실시 화면 (230) 은, 진척 확인 화면 (220) 과 마찬가지로, 처리부 (42) 가 순서 기억부 (47) 에 기억된 작업 순서 데이터를 참조하여 생성한다. 작업 실시 화면 (230) 은, 도 5(C) 에 나타내는 바와 같이, 당해 작업 실시 화면 (230) 에 관한 중작업을 실시하기 위해서 필요한 복수의 소작업 항목을 실행하는 복수의 조작 버튼 (231) 을 그 소작업 순서에 따라서 나열하여 표시한다. 작업 실시 화면 (230) 은, 톱 메뉴 화면 (210) 이 표시하는 것과 동일한 복수의 화면 표시 전환 버튼 (212) 도 아울러 표시한다.
작업 실시 화면 (230) 은, 진척 확인 화면 (220) 과 마찬가지로, 처리부 (42) 에 의해 조작 버튼 (231) 에 대한 조작에 제한이 가해져 있고, 소작업 순서와 상이한 순서에서는 조작 버튼 (231) 을 선택 불가로 설계된다. 즉, 작업 실시 화면 (230) 은, 소작업 순서에 따른 순번만으로, 조작 버튼 (231) 을 선택 가능하게 설계된다. 작업 실시 화면 (230) 은, 모든 이전의 순서의 조작 버튼 (231) 에 관한 소작업이 완료된 상태에서만, 오퍼레이터가 당해 조작 버튼 (231) 을 선택 가능하게 설계된다.
작업 실시 화면 (230) 은, 진척 확인 화면 (220) 의 각 조작 버튼 (221) 과 마찬가지로, 각 조작 버튼 (231) 상에, 오퍼레이터가 조작하여 실행하는 각 소작업의 내용을 식별 가능한 기재를 중첩하여 표시한다. 이하, 본 명세서에서는, 작업 실시 화면 (230) 에 있어서, 소정의 소작업을 실행하기 위해서 오퍼레이터가 조작하는 조작 버튼 (231) 을, 당해 소작업에 관한 조작 버튼 (231) 이라고 한다. 오퍼레이터가 중작업「척 테이블 교환」에 관한 작업 실시 화면 (230) 의 각 조작 버튼 (231) 을 조작하여 실행할 수 있는 각 소작업은, 제 1 실시형태에서는, 척 테이블 (10) 에 대한 부압의 공급의 정지 (척 테이블 (10) 의 베큠의 OFF), 척 테이블 (10) 에 대한 부압의 공급의 개시 (척 테이블 (10) 의 베큠의 ON), 척 테이블 (10) 을 향하여진 현미경의 포커스의 조정, 척 테이블 (10) 의 회전축의 측정 등이다.
처리부 (42) 는, 상기한 오퍼레이터가 각 조작 버튼 (221) 을 조작하여 실행할 수 있는 모든 중작업에 관한 작업 실시 화면 (230) 을 터치 패널 (30) 에 표시할 수 있다. 또한, 필요한 소작업이 1 개만의 중작업인 경우에는, 당해 중작업에 관한 작업 실시 화면 (230) 이 생략되고, 당해 중작업에 관한 조작 버튼 (221) 만으로 완결하는 형태를 채용해도 상관없다. 이하, 중작업「척 테이블 교환」에 관한 작업 실시 화면 (230) 에 대해 화면 표시 처리를 실시하는 경우를 설명하고, 다른 중작업에 관한 작업 실시 화면 (230) 에 대한 설명은, 중작업「척 테이블 교환」에 관한 작업 실시 화면 (230) 의 경우와 동일하므로 설명을 생략한다.
중작업「척 테이블 교환」에 관한 작업 실시 화면 (230) 은, 오퍼레이터가 조작한「척 테이블 교환」이라고 기재된 조작 버튼 (221) 에 연결되어 있다. 동일하게, 각 중작업에 관한 작업 실시 화면 (230) 은, 오퍼레이터가 당해 작업 실시 화면 (230) 을 표시시키기 위해서 조작하는 당해 중작업이 기재된 각 조작 버튼 (221) 에 연결되어 있다.
계속해서, 중작업「척 테이블 교환」에 필요한 소작업 중 7 개의 소작업에 대하여, 오퍼레이터가 소작업 순서에 따라서 순차적으로 조작 버튼 (231) 을 선택하여, 당해 조작 버튼 (231) 에 해당하는 소작업을 완료시키면, 처리부 (42) 는, 터치 패널 (30) 에, 도 6(A) 에 나타내는 바와 같은 작업 실시 화면 (230) 을 표시한다 (스텝 1031). 도 6(A) 에 나타내는 작업 실시 화면 (230) 은, 진척 확인 화면 (220) 과 마찬가지로, 오퍼레이터가 완료한 소작업에 관한 7 개의 조작 버튼 (231) 과, 오퍼레이터가 완료하지 않은 소작업에 관한 1 개의 조작 버튼 (231) 을, 식별 가능하게 표시한다.
처리부 (42) 는, 제 1 실시형태에서는, 소작업에 관한 소정의 검출기에 의한 검출 결과에 기초하여 당해 소작업의 완료를 자동으로 판정하여 작업 실시 화면 (230) 에 반영하고 있지만, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 소작업을 실시한 오퍼레이터에 의한 터치 패널 (30) 에 대한 소작업 완료의 취지의 입력을 받아들여 작업 실시 화면 (230) 에 반영해도 된다.
도 6(A) 에 나타내는 작업 실시 화면 (230) 은, 진척 확인 화면 (220) 과 마찬가지로, 제 1 실시형태에서는, 오퍼레이터가 완료한 소작업에 관한 7 개의 조작 버튼 (231) 상에 중첩하여, 실시 완료를 나타내는 체크 마크 (233) 를 표시한다. 또한, 작업 실시 화면 (230) 은, 진척 확인 화면 (220) 과 마찬가지로, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 오퍼레이터가 완료한 중작업에 관한 조작 버튼 (231) 상 또는 주위에, 실시 완료를 나타내는 임의의 마크가 형성된 상태, 또는 착색된 상태로 표시해도 된다.
그리고, 중작업「척 테이블 교환」에 필요한 소작업 중 마지막 1 개의 소작업에 대하여, 오퍼레이터가 조작 버튼 (231) 을 선택하여, 당해 조작 버튼 (231) 에 해당하는 소작업을 완료시키면, 처리부 (42) 는, 도 6(B) 에 나타내는 바와 같이, 모든 소작업에 관한 조작 버튼 (231) 상에 체크 마크 (233) 가 표시된 상태의 작업 실시 화면 (230) 을 터치 패널 (30) 에 표시한다 (스텝 1032). 처리부 (42) 는, 스텝 1032 가 실시되면, 도 6(C) 에 나타내는 바와 같이, 진척 확인 화면 (220) 의 중작업「척 테이블 교환」에 관한 조작 버튼 (221) 상에 체크 마크 (223) 의 표시를 추가하고, 중작업「척 테이블 교환」에 관한 조작 버튼 (221) 을 실시 완료라고 식별 가능한 상태로 변화시킨다 (스텝 1033).
처리부 (42) 는, 이와 같이, 중작업에 대응지어진 모든 소작업의 완료를 인식함으로써, 당해 중작업의 완료를 자동으로 판정하여 진척 확인 화면 (220) 에 반영한다.
처리부 (42) 는, 임의의 대작업에 대하여, 오퍼레이터가 진척 확인 화면 (220) 또는 작업 실시 화면 (230) 에 나열된 모든 조작 버튼 (221, 231) 에 대한 작업 (중작업, 소작업) 을 실시하지 않고, 다른 화면으로 이동하는, 즉, 다른 화면으로 표시를 전환한 경우, 진척 확인 화면 (220) 또는 작업 실시 화면 (230) 에 형성된 체크 마크 (223, 233) 등의 식별 가능한 마크나 착색을 그대로 유지한다. 처리부 (42) 는, 임의의 대작업에 대하여, 오퍼레이터가 진척 확인 화면 (220) 또는 작업 실시 화면 (230) 에 나열된 모든 조작 버튼 (221, 231) 에 대한 작업 (중작업, 소작업) 을 완료시키면, 진척 확인 화면 (220) 또는 작업 실시 화면 (230) 에 형성된 체크 마크 (223, 233) 등의 식별 가능한 마크나 착색을 없앤다.
이상과 같은 구성을 갖는 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 터치 패널 (30) 이, 작업 순서 (중작업 순서) 에 따라 복수의 조작 버튼 (221) 이 나열된 진척 확인 화면 (220) 을 갖고, 오퍼레이터가 선택하여 작업 (중작업) 을 완료한 조작 버튼 (221) 과, 오퍼레이터가 작업 (중작업) 을 완료하지 않은 조작 버튼 (221) 을 식별 가능하게 표시한다. 이 때문에, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 오퍼레이터가 터치 패널 (30) 을 봄으로써 완료한 작업 (중작업) 과 완료하지 않은 작업 (중작업) 을 직감적으로 용이하게 인식하는 것을 가능하게 하므로, 오퍼레이터의 작업 누락이나 작업 순서의 실수를 억제할 수 있다는 작용 효과를 발휘한다.
또, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 오퍼레이터가 조작 버튼 (221) 을 선택하여, 조작 버튼 (221) 에 해당하는 작업 (중작업) 을 완료하면, 진척 확인 화면 (220) 에 있어서, 실시하여 완료한 작업 (중작업) 에 관한 조작 버튼 (221) 상 또는 주위에 실시 완료를 나타내는 체크 마크 (223) 등의 임의의 마크가 형성되거나 또는 착색된다. 이 때문에, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 오퍼레이터가 터치 패널 (30) 을 봄으로써, 완료한 작업 (중작업) 과 완료하지 않은 작업 (중작업) 을 보다 직감적으로 보다 용이하게 인식하는 것을 가능하게 한다는 작용 효과를 발휘한다.
또, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 제어 유닛 (40) 이, 각 진척 확인 화면 (220) 에 대응하는 작업 순서 (중작업 순서) 를 기억하는 순서 기억부 (47) 를 포함하고, 진척 확인 화면 (220) 은, 당해 작업 순서 (중작업 순서) 와 상이한 순서에서는 조작 버튼 (221) 을 선택 불가로 설계된다. 이 때문에, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 진척 확인 화면 (220) 에 설계된 선택 제한에 의해, 오퍼레이터가 작업 순서 (중작업 순서) 와 상이한 순서로 작업 (중작업) 을 실시하는 것을 억제하므로, 오퍼레이터의 작업 누락이나 작업 순서의 실수를 보다 확실하게 억제할 수 있다는 작용 효과를 발휘한다.
또, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 터치 패널 (30) 이, 진척 확인 화면 (220) 에 있어서 오퍼레이터가 선택한 조작 버튼 (221) 에 연결하여, 보다 상세한 작업 순서 (소작업 순서) 에 따라서 나열된 조작 버튼 (231) 을 갖는 작업 실시 화면 (230) 을 추가로 포함하고, 작업 실시 화면 (230) 에 표시되는 조작 버튼 (231) 에 대응하는 모든 작업 (소작업) 을 오퍼레이터가 완료하면, 진척 확인 화면 (220) 의 조작 버튼 (221) 이 실시 완료라고 식별 가능한 상태로 변화한다. 이 때문에, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 작업 실시 화면 (230) 에 의한 보다 상세한 작업 레벨에서의 관리에 의해, 오퍼레이터의 작업 누락이나 작업 순서의 실수를 보다 확실하게 억제할 수 있다는 작용 효과를 발휘한다.
또, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 터치 패널 (30) 이, 진척 확인 화면 (220) 또는 작업 실시 화면 (230) 에 나열된 모든 조작 버튼 (221, 231) 에 대한 작업 (중작업, 소작업) 을 실시하지 않고, 다른 화면으로 이동한 경우, 진척 확인 화면 (220) 또는 작업 실시 화면 (230) 에 형성된 체크 마크 (223, 233) 등의 식별 가능한 마크나 착색이 그대로 유지되고, 진척 확인 화면 (220) 또는 작업 실시 화면 (230) 에 나열된 모든 조작 버튼 (221, 231) 에 대한 작업 (중작업, 소작업) 이 완료되면, 진척 확인 화면 (220) 또는 작업 실시 화면 (230) 에 형성된 체크 마크 (223, 233) 등의 식별 가능한 마크나 착색을 없앤다. 이 때문에, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 작업 (중작업, 소작업) 의 완료의 가부를 표시하는 마크나 착색을 관리함으로써, 오퍼레이터의 작업 누락이나 작업 순서의 실수를 보다 확실하게 억제할 수 있다는 작용 효과를 발휘한다.
〔제 2 실시형태〕
본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 를 도면에 기초하여 설명한다. 도 7 은, 제 2 실시형태에 관련된 화면 표시 처리의 일례를 나타내는 도면이다. 도 7 은, 제 1 실시형태와 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
제 2 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 에 있어서, 도 6(C) 에 나타내는 진척 확인 화면 (220) 대신에, 도 7 에 나타내는 진척 확인 화면 (220-2) 을 표시시키는 것이다.
진척 확인 화면 (220-2) 은, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 오퍼레이터가 다음으로 처리를 해야 할 중작업「세정 테이블 교환」에 관한 조작 버튼 (221) 의 주위에, 오퍼레이터에게 조작 버튼 (221) 에 대한 주의를 끄는 착색 (224) 을 붙여 표시한다. 또한, 진척 확인 화면 (220-2) 은, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 오퍼레이터가 다음으로 처리를 해야 할 중작업에 관한 조작 버튼 (221) 상 또는 주위에, 오퍼레이터에게 조작 버튼 (221) 에 대한 주의를 끄는 임의의 마크가 형성된 상태, 또는 착색된 상태로 표시해도 된다. 또, 제 2 실시형태에서는, 작업 실시 화면 (230) 은, 진척 확인 화면 (220-2) 과 마찬가지로, 오퍼레이터가 다음으로 처리를 해야 할 소작업에 관한 조작 버튼 (231) 상 또는 주위에, 오퍼레이터에게 조작 버튼 (231) 에 대한 주의를 끄는 임의의 마크가 형성된 상태, 또는 착색된 상태로 표시해도 된다.
이상과 같은 구성을 갖는 제 2 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 제 1 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 에 대하여, 추가로 진척 확인 화면 (220-2) 또는 작업 실시 화면 (230) 에 있어서, 오퍼레이터가 다음으로 처리를 해야 할 작업 (중작업, 소작업) 에 관한 조작 버튼 (221, 231) 상 또는 주위에, 오퍼레이터에게 조작 버튼 (221, 231) 에 대한 주의를 끄는 임의의 마크가 형성되거나 또는 착색된다. 이 때문에, 제 2 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 오퍼레이터가 다음으로 처리하여야 할 작업 (중작업, 소작업) 을 직감적으로 용이하게 인식하는 것을 가능하게 하므로, 오퍼레이터의 작업 누락이나 작업 순서의 실수를 억제할 수 있다는 작용 효과를 발휘한다.
〔제 3 실시형태〕
본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 를 도면에 기초하여 설명한다. 도 8 은, 제 3 실시형태에 관련된 화면 표시 처리의 일례를 나타내는 도면이다. 도 8 은, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태와 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
제 3 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 에 있어서, 추가로 도 8 에 나타내는 진척 확인 화면 (220-3) 을 표시시키는 것이다.
처리부 (42) 는,「정기 메인터넌스」라고 기재된 조작 버튼 (211) 에 대한 오퍼레이터의 조작을 검출하면, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 대작업「정기 메인터넌스」에 관한 진척 확인 화면 (220-3) 을 터치 패널 (30) 에 표시한다. 또한, 제 3 실시형태에서는, 대작업「정기 메인터넌스」에 속하는 중작업에는 중작업 순서가 설정되어 있지 않기 때문에, 진척 확인 화면 (220-3) 은, 각 조작 버튼 (221) 이 중작업 순서에 따라서 나열하여 표시하고 있지 않고, 중작업 순서에 의한 조작 제한이 설계되어 있지 않지만, 중작업이나 소작업이 설정되어 있는 경우에는, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태와 마찬가지로 진척 확인 화면이나 작업 실시 화면을 표시해도 된다. 오퍼레이터가 대작업「정기 메인터넌스」에 관한 진척 확인 화면 (220-3) 의 각 조작 버튼 (221) 을 조작하여 실행할 수 있는 각 중작업은, 제 3 실시형태에서는, 절삭 블레이드 (22) 를 회전시키는 스핀들 등의 최대 출력 체크, 스핀들 등의 출력 셋업, 척 테이블 (10) 을 향하여진 현미경의 포커스의 조정 등이다.
진척 확인 화면 (220-3) 은, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 오퍼레이터의 작업이 완료되지 않은 중작업「○○○」「○△◆」「×□○」에 관한 3 개의 조작 버튼 (221) 의 주위에, 오퍼레이터에게 조작 버튼 (221) 에 대한 주의를 끄는 착색 (225) 을 붙여 표시한다. 또한, 진척 확인 화면 (220-3) 은, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 오퍼레이터의 작업이 완료되지 않은 중작업에 관한 조작 버튼 (221) 상 또는 주위에, 오퍼레이터에게 조작 버튼 (221) 에 대한 주의를 끄는 임의의 마크가 형성된 상태 또는 착색된 상태로 표시해도 된다. 또, 소작업에 대해서도 동일한 표시를 해도 된다.
또, 진척 확인 화면 (220-3) 은, 대작업「정기 메인터넌스」에 속하는 중작업에 대하여, 오퍼레이터의 중작업이 마지막으로 완료되고 나서 일정 기간 경과하여 재차 작업이 필요한 시기가 되었을 경우, 예를 들어, 1 개월 경과한 경우, 당해 중작업에 관한 조작 버튼 (221) 에 형성된 실시 완료를 나타내는 체크 마크 (223) 등의 마크나 착색을 없애고, 실시를 재촉하는 주의를 끄는 착색 (225) 등의 마크나 착색의 표시로 전환하는 것이 바람직하다. 진척 확인 화면 (220-3) 은, 이와 같이 표시를 전환함으로써, 일정 기간마다, 예를 들어, 1 개월마다, 대작업「정기 메인터넌스」에 속하는 중작업을 오퍼레이터에게 확실하게 실시시킬 수 있다.
이상과 같은 구성을 갖는 제 3 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 에 대하여, 추가로 진척 확인 화면 (220-3) 에 있어서, 오퍼레이터의 작업 (중작업) 이 완료되지 않은 조작 버튼 (221) 상 또는 주위에, 오퍼레이터에게 조작 버튼 (221) 에 대한 주의를 끄는 임의의 마크가 형성되거나 또는 착색된다. 이 때문에, 제 3 실시형태에 관련된 가공 장치 (1) 는, 오퍼레이터가 완료하지 않은 작업 (중작업) 을 직감적으로 용이하게 인식하는 것을 가능하게 하므로, 오퍼레이터의 작업 누락이나 작업 순서의 실수를 억제할 수 있다는 작용 효과를 발휘한다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태, 변형예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형하여 실시할 수 있다.
1 : 가공 장치
30 : 터치 패널
40 : 제어 유닛
47 : 순서 기억부
211, 221, 231 : 조작 버튼
220, 220-2, 220-3 : 진척 확인 화면
230 : 작업 실시 화면
223, 233 : 체크 마크
224, 225 : 착색

Claims (7)

  1. 가공 장치로서,
    오퍼레이터의 조작을 받아들이는 터치 패널과,
    그 터치 패널에 표시된 조작 버튼을 오퍼레이터가 선택함으로써 각 기구를 구동시키는 제어 유닛을 구비하고,
    그 터치 패널은,
    복수의 그 조작 버튼이 나열된 진척 확인 화면을 표시할 수 있도록 구성되고,
    오퍼레이터가 선택하여 작업을 완료한 그 조작 버튼과, 오퍼레이터가 작업을 완료하지 않은 그 조작 버튼을 식별 가능하게 표시하는 것을 특징으로 하는 가공 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    오퍼레이터가 그 조작 버튼을 선택하여, 그 조작 버튼에 해당하는 작업을 완료하면, 실시한 그 조작 버튼의 상 또는 주위에 실시 완료를 나타내는 임의의 마크가 형성되거나 또는 착색되는, 가공 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    그 진척 확인 화면에 있어서, 오퍼레이터가 다음으로 처리를 해야 할 그 조작 버튼의 상 또는 주위에 임의의 마크가 형성되거나 또는 착색되는, 가공 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    그 진척 확인 화면에 있어서, 오퍼레이터의 작업이 완료되지 않은 그 조작 버튼의 상 또는 주위에 임의의 마크가 형성되거나 또는 착색되는, 가공 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    그 제어 유닛은,
    각 진척 확인 화면에 대응하는 작업 순서를 기억하는 순서 기억부를 포함하고,
    그 진척 확인 화면은,
    그 작업 순서와 상이한 순서에서는 그 조작 버튼을 선택 불가로 설계되는, 가공 장치.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    그 터치 패널은,
    그 진척 확인 화면에 있어서 오퍼레이터가 선택한 그 조작 버튼에 연결하여, 보다 상세한 작업 순서에 따라서 나열된 그 조작 버튼을 갖는 작업 실시 화면을 추가로 표시할 수 있도록 구성되고,
    그 작업 실시 화면에 표시되는 그 조작 버튼에 대응하는 모든 작업을 오퍼레이터가 완료하면, 그 진척 확인 화면의 그 조작 버튼이 실시 완료라고 식별 가능한 상태로 변화하는, 가공 장치.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    그 터치 패널은,
    그 화면에 나열된 모든 그 조작 버튼에 대응하는 작업을 실시하지 않고, 다른 화면으로 이동한 경우, 그 화면에 형성된 식별 가능한 마크나 착색은 그대로 유지되고, 그 화면에 나열된 모든 그 조작 버튼에 대응하는 모든 작업이 완료되면, 식별 가능한 마크 및 착색을 없애는, 가공 장치.
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