JP2021149660A - 加工装置 - Google Patents

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小由紀 大高
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Abstract

【課題】オペレーターの作業漏れや作業順序の間違いを抑制することができる加工装置を提供すること。【解決手段】加工装置１は、オペレーターの操作を受け付けるタッチパネル３０と、タッチパネル３０に表示された操作ボタン２２１をオペレーターが選択することで各機構を駆動させる制御ユニットと、を備える。タッチパネル３０は、複数の操作ボタン２２１が並べられた進捗確認画面２２０を有し、オペレーターが選択して作業を完了した操作ボタン２２１と、オペレーターが作業を完了していない操作ボタン２２１と、を識別可能に表示する。【選択図】図５

Description

本発明は、加工装置に関する。
複数の作業を実施し完了させることがオペレーターに求められる加工装置が知られている（特許文献１参照）。
特開２０１０−０４９４６６号公報
しかしながら、このような加工装置では、実施すべき複数の作業を完了しているか、または作業手順に従って順次実施しているかについて、オペレーターの手書きのチェックリスト等で管理する必要があった。このため、このような加工装置では、オペレーターが複数の作業を実施する場合に、オペレーターの作業漏れや作業順序の間違い等が発生してしまうおそれがあった。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、オペレーターの作業漏れや作業順序の間違いを抑制することができる加工装置を提供することである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、加工装置であって、オペレーターの操作を受け付けるタッチパネルと、該タッチパネルに表示された操作ボタンをオペレーターが選択することで各機構を駆動させる制御ユニットと、を備え、該タッチパネルは、複数の該操作ボタンが並べられた進捗確認画面を有し、オペレーターが選択して作業を完了した該操作ボタンと、オペレーターが作業を完了していない該操作ボタンと、を識別可能に表示することを特徴とする。
オペレーターが該操作ボタンを選択し、該操作ボタンに該当する作業を完了すると、実施した該操作ボタンの上または周囲に実施済みを示す任意のマークが形成されるまたは着色されてもよい。
該進捗確認画面において、オペレーターが次に処理をすべき該操作ボタンの上または周囲に任意のマークが形成されるまたは着色されてもよい。
該進捗確認画面において、オペレーターの作業が完了していない該操作ボタンの上または周囲に任意のマークが形成されるまたは着色されてもよい。
該制御ユニットは、各進捗確認画面に対応する作業手順を記憶する手順記憶部を含み、該進捗確認画面は、該作業手順と異なる順序では該操作ボタンを選択不可に設計されてもよい。
該タッチパネルは、該進捗確認画面においてオペレーターが選択した該操作ボタンに紐付き、より詳細の作業手順に従って並べられた該操作ボタンを有する作業実施画面をさらに含み、該作業実施画面に表示される該操作ボタンに対応するすべての作業をオペレーターが完了すると、該進捗確認画面の該操作ボタンが実施済みであると識別可能な状態に変化するとしてもよい。
該タッチパネルは、該画面に並べられたすべての該操作ボタンに対応する作業を行わず、他の画面に移動した場合、該画面に形成された識別可能なマークや着色はそのまま維持され、該画面に並べられたすべての該操作ボタンに対応するすべての作業が完了すると、識別可能なマークおよび着色をなくすとしてもよい。
本発明は、オペレーターの作業漏れや作業順序の間違いを抑制することができる。
図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、実施形態１に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。 図３は、実施形態１に係る加工装置の手順記憶部が記憶する作業手順データの一例を示す図である。 図４は、実施形態１に係る画面表示処理の一例を示す図である。 図５は、実施形態１に係る画面表示処理の一例を示す図である。 図６は、実施形態１に係る画面表示処理の一例を示す図である。 図７は、実施形態２に係る画面表示処理の一例を示す図である。 図８は、実施形態３に係る画面表示処理の一例を示す図である。
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係る加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すように、箱形の筐体である本体２を備える。加工装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、加工ユニット２０と、タッチパネル３０と、制御ユニット４０と、を備える。
加工装置１の加工対象である被加工物１００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素等を基板１０１とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物１００は、粘着テープ１０３を介して、環状のフレーム１０２の開口に基板１０１を支持して構成される。
チャックテーブル１０は、保持面１１で被加工物１００を保持する。チャックテーブル１０は、不図示の吸引源と連通しており、吸引源から供給される負圧によって被加工物１００を吸引保持する。チャックテーブル１０は、不図示のＸ軸移動ユニットによってＸ軸方向に沿って移動可能であり、不図示の回転駆動源によってＺ軸周りに回転可能である。
加工ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を加工する。加工ユニット２０は、例えば、一対の切削手段２１であり、それぞれ切削ブレード２２を有する。一対の切削手段２１のそれぞれの切削ブレード２２は、Ｙ軸方向において互いに対向しており、いずれもＹ軸周りに回転する。加工ユニット２０は、回転する切削ブレード２２によって、被加工物１００に対して切削加工を施す。加工ユニット２０は、不図示のＹ軸移動ユニットによってＹ軸方向に沿って移動可能であり、不図示のＺ軸移動ユニットによってＺ軸方向に沿って移動可能である。
加工装置１は、Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットにより、チャックテーブル１０と加工ユニット２０とを相対移動させることにより、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を加工する。
なお、加工装置１が備える加工ユニット２０は、切削ブレード２２で被加工物１００を切削加工する切削ユニットに限定されない。他には、加工ユニット２０は、例えば、研削砥石等で同様の被加工物１００を研削加工する研削ユニットや、研磨パッド等で同様の被加工物１００を研磨加工する研磨ユニットや、同様の被加工物１００にレーザービームを照射してレーザー加工するレーザー加工ユニットなどでもよい。
タッチパネル３０は、図１に示すように、表示面を外側に向けた状態で本体２に設置される。タッチパネル３０は、図２に示すように、加工装置１に関する各種情報を表示する表示部３１と、加工条件の設定入力など、加工装置１に関する各種操作入力をオペレーターから受け付ける入力部３２と、を有する。
制御ユニット４０は、加工装置１を駆動する各機構（Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット、Ｚ軸移動ユニット、回転駆動源）を制御する。制御ユニット４０は、加工装置１の各部を制御し、加工装置１による加工処理を実現する。制御ユニット４０は、例えばオペレーターにより入力設定された加工条件に従って、チャックテーブル１０や加工ユニット２０を含む加工装置１の各部を制御し、被加工物１００の加工処理を実現する。
制御ユニット４０は、図２に示すように、記憶部４１と、処理部４２とを備える。制御ユニット４０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。
記憶部４１は、処理部４２により実行される加工装置１に各種処理等の機能を実現するプログラムや、プログラムによる処理に用いられるデータ（加工条件）等を記憶する。記憶部４１は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）等の不揮発性または揮発性の半導体メモリ等を含む。記憶部４１に記憶されるプログラムは、処理部４２が備えるプロセッサにより実行可能なデータ処理を行うための複数の命令を含むプロセッサによる読取り可能かつ非遷移的な（non-transitory）記録媒体を有するプログラムプロダクトであるともいえる。記憶部４１は、処理部４２が備えるプロセッサがプログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用できる。
記憶部４１は、図２に示すように、制御プログラム記憶部４５と、画面構成データ記憶部４６と、手順記憶部４７とを含む。
制御プログラム記憶部４５に記憶される制御プログラムは、加工装置１の各種処理等を実現するための機能を提供する。制御プログラムにより提供される機能は、各種操作画面を生成し、この各種操作画面をタッチパネル３０に表示し、タッチパネル３０上での各種操作画面への入力を受け付け、この各種操作画面への入力等に応じてタッチパネル３０に表示する各種操作画面を切り替える等の画面表示処理機能を含む。
画面構成データ記憶部４６は、タッチパネル３０に表示する各種操作画面の画面構成に関するデータを記憶する。タッチパネル３０に表示する各種操作画面は、加工装置１において動作するプログラムの種類やバージョンに応じた画面構成を備える。
手順記憶部４７は、加工装置１の処理の種類ごとに、処理を実現するためにオペレーターが実施する必要がある各大作業について、各大作業を実施するために必要な各中作業及びその手順、並びに、中作業を実施するために必要なより詳細の各小作業及びその手順のデータを、作業手順データとして記憶する。
ここで、本明細書では、大作業、中作業及び小作業は、説明の便宜上、オペレーターの作業を３階層に分離して設定した表現であり、いずれも本発明における作業に含まれる。また、本明細書では、小作業は、細かく分離された１つ１つの作業のことをいい、中作業は、小作業の上位概念であり小作業の手順に従った一連の複数の小作業の群のことをいい、大作業は、中作業の上位概念であり中作業の手順に従った一連の複数の中作業の群のことをいう。
作業手順データは、各大作業と、大作業ごとの各中作業の項目（中作業項目）と、大作業ごとの各中作業の手順（中作業手順）と、中作業ごとの各小作業の項目（小作業項目）と、中作業ごとの各小作業の手順（小作業手順）とを有し、これらの項目が相互に対応付けられている。
図３は、実施形態１に係る加工装置１の手順記憶部４７が記憶する作業手順データの一例を示す図である。図３は、手順記憶部４７が記憶する作業手順データのうち、加工装置１が加工する被加工物１００のサイズを変更するためにオペレーターが実施する大作業「サイズ交換」に関する部分を示している。なお、図３では、中作業手順が３番目の中作業項目「チャックテーブル交換」以外の小作業項目及び小作業手順の具体的な記載を省略している。
処理部４２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、システムＬＳＩ（Large Scale Integration）などのプロセッサを含む。処理部４２が備えるプロセッサは、記憶部４１が備えるＲＡＭ上にロードされたプログラムを実行する。これにより、加工装置１により実行される各種処理等の機能が実現される。
処理部４２は、記憶部４１に格納されたプログラムに基づいて動作し、以下に説明する加工装置１の画面表示処理を実行する。処理部４２は、以下に説明する画面表示処理において、タッチパネル３０に表示された操作ボタン２１１，２２１，２３１（図４、図５及び図６参照）をオペレーターが選択することで、選択された操作ボタン２１１，２２１，２３１（図４、図５及び図６参照）に応じて、加工装置１を構成する各機能を駆動させる。
図４、図５及び図６は、実施形態１に係る画面表示処理の一例を示す図である。図４〜図６を用いて、画面表示処理について具体的に説明する。
処理部４２は、図４上段に示すように、オペレーターの操作に応じて、タッチパネル３０にトップメニュー画面２１０を表示する（ステップ１０１１）。トップメニュー画面２１０は、加工装置１の各種処理をそれぞれ実行するために必要な各大作業をオペレーターが実行するための複数の操作ボタン２１１を表示する。
トップメニュー画面２１０は、表示する各操作ボタン２１１上に、オペレーターが操作して実行する各大作業の内容を識別可能な記載を重ねて表示する。以下、本明細書では、トップメニュー画面２１０において、所定の大作業を実行するためにオペレーターが操作する操作ボタン２１１を、当該大作業に関する操作ボタン２１１という。オペレーターが各操作ボタン２１１を操作して実行することができる各大作業は、実施形態１では、加工装置１のデバイスデータの確認、被加工物１００のフルオート加工、被加工物１００のマニュアル加工、被加工物１００（ワーク）のサイズ交換、定期メンテナンス、アライメント、各種計測、及び、切削ブレード２２の交換、である。
そして、処理部４２は、図４中段に示すように、「サイズ交換」と記載された操作ボタン２１１に対するオペレーターの操作を検出すると（ステップ１０１２）、図４下段に示すように、大作業「サイズ交換」に関する進捗確認画面２２０をタッチパネル３０に表示する（ステップ１０１３）。なお、本発明におけるタッチパネル３０が進捗確認画面２２０を有するとは、進捗確認画面２２０をタッチパネル３０に表示することができることをいう。また、本明細書では、所定の大作業に関する進捗確認画面２２０とは、オペレーターが所定の大作業に関する操作ボタン２１１を操作して表示される画面であり、所定の大作業を実行するためにオペレーターが参照する画面のことをいう。
進捗確認画面２２０は、処理部４２が手順記憶部４７に記憶された作業手順データを参照して生成する。進捗確認画面２２０は、図４下段に示すように、当該進捗確認画面２２０に関する大作業を実施するために必要な複数の中作業項目を実行する複数の操作ボタン２２１をその中作業手順に従って並べて表示する。進捗確認画面２２０は、当該大作業の実施にオペレーターからの情報の入力が必要な場合には、当該情報の入力欄２２２を表示する。進捗確認画面２２０は、トップメニュー画面２１０への表示切替を実行するための画面表示切替ボタン２１２も、合わせて表示する。
進捗確認画面２２０は、処理部４２により操作ボタン２２１への操作に制限がかけられており、中作業手順と異なる順序では操作ボタン２２１を選択不可に設計される。すなわち、進捗確認画面２２０は、中作業手順に従った順番のみで、操作ボタン２２１を選択可能に設計される。進捗確認画面２２０は、全ての前の手順の操作ボタン２２１に関する中作業が完了した状態でのみ、オペレーターが当該操作ボタン２２１を選択可能に設計される。
進捗確認画面２２０は、トップメニュー画面２１０の各操作ボタン２１１と同様に、各操作ボタン２２１上に、オペレーターが操作して実行する各中作業の内容を識別可能な記載を重ねて表示する。以下、本明細書では、進捗確認画面２２０において、所定の中作業を実行するためにオペレーターが操作する操作ボタン２２１を、当該中作業に関する操作ボタン２２１という。オペレーターが大作業「サイズ交換」に関する進捗確認画面２２０の各操作ボタン２２１を操作して実行することができる各中作業は、実施形態１では、加工装置１内で被加工物１００を搬送する搬送ユニットの上搬送アームの取り替え、搬送ユニットの下搬送アーム取り替え、チャックテーブル１０の交換、洗浄ユニットの洗浄テーブルの交換、である。
処理部４２は、上記したオペレーターが各操作ボタン２１１を操作して実行することができる全ての大作業に関する進捗確認画面２２０をタッチパネル３０に表示することができる。なお、以下、大作業「サイズ交換」に関する進捗確認画面２２０について画面表示処理を実施する場合を説明し、他の大作業に関する進捗確認画面２２０についての説明は、大作業「サイズ交換」に関する進捗確認画面２２０の場合と同様であるので、説明を省略する。
大作業「サイズ交換」に関する進捗確認画面２２０は、オペレーターが操作した「サイズ交換」と記載された操作ボタン２１１に紐付けられている。同様に、各大作業に関する進捗確認画面２２０は、オペレーターが当該進捗確認画面２２０を表示させるために操作する当該大作業の内容が記載された各操作ボタン２１１に紐付けられている。
続いて、大作業「サイズ交換」に必要な中作業のうちの２つの中作業「上搬送アーム取り替え」「下搬送アーム取り替え」について、オペレーターが中作業手順に従って順次、操作ボタン２２１を選択して、当該操作ボタン２２１に該当する中作業を完了させると、処理部４２は、タッチパネル３０に、図５上段に示すような進捗確認画面２２０を表示する（ステップ１０２１）。図５上段に示す進捗確認画面２２０は、オペレーターが完了した中作業「上搬送アーム取り替え」「下搬送アーム取り替え」に関する２つの操作ボタン２２１と、オペレーターが完了していない中作業「チャックテーブル交換」「洗浄テーブル交換」に関する２つの操作ボタン２２１とを、識別可能に表示する。
図５上段に示す進捗確認画面２２０は、実施形態１では、オペレーターが完了した中作業に関する２つの操作ボタン２２１の上に重ねて、実施済みを示すチェックマーク２２３を表示する。一方、図５上段に示す進捗確認画面２２０は、オペレーターが完了していない中作業に関する２つの操作ボタン２２１の上には、実施済みを示すチェックマーク２２３を表示しない。なお、進捗確認画面２２０は、本発明ではこれに限定されず、オペレーターが完了した中作業に関する操作ボタン２２１の上または周囲に、実施済みを示す任意のマークが形成された状態、または、着色された状態で表示してもよい。
そして、処理部４２は、図５中段に示すように、「チャックテーブル交換」と記載された操作ボタン２２１に対するオペレーターの操作を検出すると（ステップ１０２２）、図５下段に示すように、中作業「チャックテーブル交換」に関する作業実施画面２３０をタッチパネル３０に表示する（ステップ１０２３）。なお、本発明におけるタッチパネル３０が作業実施画面２３０を含むとは、作業実施画面２３０をタッチパネル３０に表示することができることをいう。また、本明細書では、所定の中作業に関する作業実施画面２３０とは、オペレーターが所定の中作業に関する操作ボタン２２１を操作して表示される画面であり、所定の大作業を実行するためにオペレーターが参照する画面のことをいう。
作業実施画面２３０は、進捗確認画面２２０と同様に、処理部４２が手順記憶部４７に記憶された作業手順データを参照して生成する。作業実施画面２３０は、図５下段に示すように、当該作業実施画面２３０に関する中作業を実施するために必要な複数の小作業項目を実行する複数の操作ボタン２３１をその小作業手順に従って並べて表示する。作業実施画面２３０は、トップメニュー画面２１０が表示するものと同様の複数の画面表示切替ボタン２１２も合わせて表示する。
作業実施画面２３０は、進捗確認画面２２０と同様に、処理部４２により操作ボタン２３１への操作に制限がかけられており、小作業手順と異なる順序では操作ボタン２３１を選択不可に設計される。すなわち、作業実施画面２３０は、小作業手順に従った順番のみで、操作ボタン２３１を選択可能に設計される。作業実施画面２３０は、全ての前の手順の操作ボタン２３１に関する小作業が完了した状態でのみ、オペレーターが当該操作ボタン２３１を選択可能に設計される。
作業実施画面２３０は、進捗確認画面２２０の各操作ボタン２２１と同様に、各操作ボタン２３１上に、オペレーターが操作して実行する各小作業の内容を識別可能な記載を重ねて表示する。以下、本明細書では、作業実施画面２３０において、所定の小作業を実行するためにオペレーターが操作する操作ボタン２３１を、当該小作業に関する操作ボタン２３１という。オペレーターが中作業「チャックテーブル交換」に関する作業実施画面２３０の各操作ボタン２３１を操作して実行することができる各小作業は、実施形態１では、チャックテーブル１０への負圧の供給の停止（チャックテーブル１０のバキュームのＯＦＦ）、チャックテーブル１０への負圧の供給の開始（チャックテーブル１０のバキュームのＯＮ）、チャックテーブル１０に向けられた顕微鏡のフォーカスの調整、チャックテーブル１０の回転軸の測定、等である。
処理部４２は、上記したオペレーターが各操作ボタン２２１を操作して実行することができる全ての中作業に関する作業実施画面２３０をタッチパネル３０に表示することができる。なお、必要な小作業が１つのみの中作業の場合には、当該中作業に関する作業実施画面２３０が省略されて、当該中作業に関する操作ボタン２２１のみで完結する形態を採用しても構わない。以下、中作業「チャックテーブル交換」に関する作業実施画面２３０について画面表示処理を実施する場合を説明し、他の中作業に関する作業実施画面２３０についての説明は、中作業「チャックテーブル交換」に関する作業実施画面２３０の場合と同様であるので、説明を省略する。
中作業「チャックテーブル交換」に関する作業実施画面２３０は、オペレーターが操作した「チャックテーブル交換」と記載された操作ボタン２２１に紐付けられている。同様に、各中作業に関する作業実施画面２３０は、オペレーターが当該作業実施画面２３０を表示させるために操作する当該中作業が記載された各操作ボタン２２１に紐付けられている。
続いて、中作業「チャックテーブル交換」に必要な小作業のうちの７つの小作業について、オペレーターが小作業手順に従って順次、操作ボタン２３１を選択して、当該操作ボタン２３１に該当する小作業を完了させると、処理部４２は、タッチパネル３０に、図６上段に示すような作業実施画面２３０を表示する（ステップ１０３１）。図６上段に示す作業実施画面２３０は、進捗確認画面２２０と同様に、オペレーターが完了した小作業に関する７つの操作ボタン２３１と、オペレーターが完了していない小作業に関する１つの操作ボタン２３１とを、識別可能に表示する。
処理部４２は、実施形態１では、小作業に関連する所定の検出器による検出結果に基づいて当該小作業の完了を自動で判定して作業実施画面２３０に反映しているが、本発明ではこれに限定されず、小作業を行ったオペレーターによるタッチパネル３０への小作業の完了の旨の入力を受け付けて作業実施画面２３０に反映してもよい。
図６上段に示す作業実施画面２３０は、進捗確認画面２２０と同様に、実施形態１では、オペレーターが完了した小作業に関する７つの操作ボタン２３１の上に重ねて、実施済みを示すチェックマーク２３３を表示する。なお、作業実施画面２３０は、進捗確認画面２２０と同様に、本発明ではこれに限定されず、オペレーターが完了した中作業に関する操作ボタン２３１の上または周囲に、実施済みを示す任意のマークが形成された状態、または、着色された状態で表示してもよい。
そして、中作業「チャックテーブル交換」に必要な小作業のうちの最後の１つの小作業について、オペレーターが操作ボタン２３１を選択して、当該操作ボタン２３１に該当する小作業を完了させると、処理部４２は、図６中段に示すように、全ての小作業に関する操作ボタン２３１上にチェックマーク２３３が表示された状態の作業実施画面２３０をタッチパネル３０に表示する（ステップ１０３２）。処理部４２は、ステップ１０３２が実施されると、図６下段に示すように、進捗確認画面２２０の中作業「チャックテーブル交換」に関する操作ボタン２２１上にチェックマーク２２３の表示を追加して、中作業「チャックテーブル交換」に関する操作ボタン２２１を実施済みであると識別可能な状態に変化させる（ステップ１０３３）。
処理部４２は、このように、中作業に対応付けられた全ての小作業の完了を認識することで、当該中作業の完了を自動で判定して進捗確認画面２２０に反映する。
処理部４２は、任意の大作業について、オペレーターが進捗確認画面２２０または作業実施画面２３０に並べられた全ての操作ボタン２２１，２３１に対する作業（中作業、小作業）を行わず、他の画面に移動する、すなわち、他の画面に表示を切り替えた場合、進捗確認画面２２０または作業実施画面２３０に形成されたチェックマーク２２３，２３３等の識別可能なマークや着色をそのまま維持する。処理部４２は、任意の大作業について、オペレーターが進捗確認画面２２０または作業実施画面２３０に並べられた全ての操作ボタン２２１，２３１に対する作業（中作業、小作業）を完了させると、進捗確認画面２２０または作業実施画面２３０に形成されたチェックマーク２２３，２３３等の識別可能なマークや着色を無くす。
以上のような構成を有する実施形態１に係る加工装置１は、タッチパネル３０が、作業手順（中作業手順）に従い複数の操作ボタン２２１が並べられた進捗確認画面２２０を有し、オペレーターが選択して作業（中作業）を完了した操作ボタン２２１と、オペレーターが作業（中作業）を完了していない操作ボタン２２１と、を識別可能に表示する。このため、実施形態１に係る加工装置１は、オペレーターがタッチパネル３０を見ることで完了した作業（中作業）と完了していない作業（中作業）とを直感的に容易に認識することを可能にするので、オペレーターの作業漏れや作業順序の間違いを抑制することができるという作用効果を奏する。
また、実施形態１に係る加工装置１は、オペレーターが操作ボタン２２１を選択し、操作ボタン２２１に該当する作業（中作業）を完了すると、進捗確認画面２２０において、実施して完了した作業（中作業）に関する操作ボタン２２１の上または周囲に実施済みを示すチェックマーク２２３等の任意のマークが形成される、または、着色される。このため、実施形態１に係る加工装置１は、オペレーターがタッチパネル３０を見ることで、完了した作業（中作業）と完了していない作業（中作業）とをより直感的により容易に認識することを可能にするという作用効果を奏する。
また、実施形態１に係る加工装置１は、制御ユニット４０が、各進捗確認画面２２０に対応する作業手順（中作業手順）を記憶する手順記憶部４７を含み、進捗確認画面２２０は、当該作業手順（中作業手順）と異なる順序では操作ボタン２２１を選択不可に設計される。このため、実施形態１に係る加工装置１は、進捗確認画面２２０に設計された選択制限により、オペレーターが作業手順（中作業手順）と異なる順序で作業（中作業）を行うことを抑制するので、オペレーターの作業漏れや作業順序の間違いをより確実に抑制することができるという作用効果を奏する。
また、実施形態１に係る加工装置１は、タッチパネル３０が、進捗確認画面２２０においてオペレーターが選択した操作ボタン２２１に紐付き、より詳細の作業手順（小作業手順）に従って並べられた操作ボタン２３１を有する作業実施画面２３０をさらに含み、作業実施画面２３０に表示される操作ボタン２３１に対応するすべての作業（小作業）をオペレーターが完了すると、進捗確認画面２２０の操作ボタン２２１が実施済みであると識別可能な状態に変化する。このため、実施形態１に係る加工装置１は、作業実施画面２３０によるより詳細の作業レベルでの管理により、オペレーターの作業漏れや作業順序の間違いをより確実に抑制することができるという作用効果を奏する。
また、実施形態１に係る加工装置１は、タッチパネル３０が、進捗確認画面２２０または作業実施画面２３０に並べられた全ての操作ボタン２２１，２３１に対する作業（中作業、小作業）を行わず、他の画面に移動した場合、進捗確認画面２２０または作業実施画面２３０に形成されたチェックマーク２２３，２３３等の識別可能なマークや着色がそのまま維持され、進捗確認画面２２０または作業実施画面２３０に並べられた全ての操作ボタン２２１，２３１に対する作業（中作業、小作業）が完了すると、進捗確認画面２２０または作業実施画面２３０に形成されたチェックマーク２２３，２３３等の識別可能なマークや着色を無くす。このため、実施形態１に係る加工装置１は、作業（中作業、小作業）の完了の可否を表示するマークや着色を管理することにより、オペレーターの作業漏れや作業順序の間違いをより確実に抑制することができるという作用効果を奏する。
〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図７は、実施形態２に係る画面表示処理の一例を示す図である。図７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態２に係る加工装置１は、実施形態１に係る加工装置１において、図６下段に示す進捗確認画面２２０に代えて、図７に示す進捗確認画面２２０−２を表示させるものである。
進捗確認画面２２０−２は、図７に示すように、オペレーターが次に処理をすべき中作業「洗浄テーブル交換」に関する操作ボタン２２１の周囲に、オペレーターに操作ボタン２２１への注意を引く着色２２４を付して表示する。なお、進捗確認画面２２０−２は、本発明ではこれに限定されず、オペレーターが次に処理をすべき中作業に関する操作ボタン２２１の上または周囲に、オペレーターに操作ボタン２２１への注意を引く任意のマークが形成された状態、または、着色された状態で表示してもよい。また、実施形態２では、作業実施画面２３０は、進捗確認画面２２０−２と同様に、オペレーターが次に処理をすべき小作業に関する操作ボタン２３１の上または周囲に、オペレーターに操作ボタン２３１への注意を引く任意のマークが形成された状態、または、着色された状態で表示してもよい。
以上のような構成を有する実施形態２に係る加工装置１は、実施形態１に係る加工装置１に対して、さらに、進捗確認画面２２０−２または作業実施画面２３０において、オペレーターが次に処理をすべき作業（中作業、小作業）に関する操作ボタン２２１，２３１の上または周囲に、オペレーターに操作ボタン２２１，２３１への注意を引く任意のマークが形成される、または、着色される。このため、実施形態２に係る加工装置１は、オペレーターが次に処理すべき作業（中作業、小作業）を直感的に容易に認識することを可能にするので、オペレーターの作業漏れや作業順序の間違いを抑制することができるという作用効果を奏する。
〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図８は、実施形態３に係る画面表示処理の一例を示す図である。図８は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態３に係る加工装置１は、実施形態１及び実施形態２に係る加工装置１において、さらに、図８に示す進捗確認画面２２０−３を表示させるものである。
処理部４２は、「定期メンテナンス」と記載された操作ボタン２１１に対するオペレーターの操作を検出すると、図８に示すように、大作業「定期メンテナンス」に関する進捗確認画面２２０−３をタッチパネル３０に表示する。なお、実施形態３では、大作業「定期メンテナンス」に属する中作業には中作業手順が設定されていないので、進捗確認画面２２０−３は、各操作ボタン２２１が中作業手順に従って並べて表示しておらず、中作業手順による操作制限が設計されていないが、中作業や小作業が設定されている場合は、実施形態１及び２と同様に進捗確認画面や作業実施画面を表示しても良い。オペレーターが大作業「定期メンテナンス」に関する進捗確認画面２２０−３の各操作ボタン２２１を操作して実行することができる各中作業は、実施形態３では、切削ブレード２２を回転させるスピンドル等の最大出力チェック、スピンドル等の出力セットアップ、チャックテーブル１０に向けられた顕微鏡のフォーカスの調整、等である。
進捗確認画面２２０−３は、図８に示すように、オペレーターの作業が完了していない中作業「○○○」「○△◆」「×□○」に関する３つの操作ボタン２２１の周囲に、オペレーターに操作ボタン２２１への注意を引く着色２２５を付して表示する。なお、進捗確認画面２２０−３は、本発明ではこれに限定されず、オペレーターの作業が完了していない中作業に関する操作ボタン２２１の上または周囲に、オペレーターに操作ボタン２２１への注意を引く任意のマークが形成された状態、または、着色された状態で表示してもよい。また、小作業についても同様の表示をしてもよい。
また、進捗確認画面２２０−３は、大作業「定期メンテナンス」に属する中作業について、オペレーターの中作業が最後に完了してから一定期間経過し再度作業が必要な時期になった場合、例えば１ヶ月経過した場合、当該中作業に関する操作ボタン２２１に形成された実施済みを示すチェックマーク２２３等のマークや着色を無くし、実施を促す注意を引く着色２２５等のマークや着色の表示に切り替えることが好ましい。進捗確認画面２２０−３は、このように表示を切り替えることで、一定期間毎に、例えば１ヶ月毎に、大作業「定期メンテナンス」に属する中作業をオペレーターに確実に実施させることができる。
以上のような構成を有する実施形態３に係る加工装置１は、実施形態１及び実施形態２に係る加工装置１に対して、さらに、進捗確認画面２２０−３において、オペレーターの作業（中作業）が完了していない操作ボタン２２１の上または周囲に、オペレーターに操作ボタン２２１への注意を引く任意のマークが形成される、または、着色される。このため、実施形態３に係る加工装置１は、オペレーターが完了していない作業（中作業）を直感的に容易に認識することを可能にするので、オペレーターの作業漏れや作業順序の間違いを抑制することができるという作用効果を奏する。
なお、本発明は上記実施形態、変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
１ 加工装置
３０ タッチパネル
４０ 制御ユニット
４７ 手順記憶部
２１１，２２１，２３１ 操作ボタン
２２０，２２０−２，２２０−３ 進捗確認画面
２３０ 作業実施画面
２２３，２３３ チェックマーク
２２４，２２５ 着色

Claims (7)

  1. 加工装置であって、
    オペレーターの操作を受け付けるタッチパネルと、
    該タッチパネルに表示された操作ボタンをオペレーターが選択することで各機構を駆動させる制御ユニットと、
    を備え、
    該タッチパネルは、
    複数の該操作ボタンが並べられた進捗確認画面を有し、
    オペレーターが選択して作業を完了した該操作ボタンと、オペレーターが作業を完了していない該操作ボタンと、を識別可能に表示することを特徴とする加工装置。
  2. オペレーターが該操作ボタンを選択し、該操作ボタンに該当する作業を完了すると、実施した該操作ボタンの上または周囲に実施済みを示す任意のマークが形成されるまたは着色されることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
  3. 該進捗確認画面において、オペレーターが次に処理をすべき該操作ボタンの上または周囲に任意のマークが形成されるまたは着色されることを特徴とする請求項１または２に記載の加工装置。
  4. 該進捗確認画面において、オペレーターの作業が完了していない該操作ボタンの上または周囲に任意のマークが形成されるまたは着色されることを特徴とする請求項１または２に記載の加工装置。
  5. 該制御ユニットは、
    各進捗確認画面に対応する作業手順を記憶する手順記憶部を含み、
    該進捗確認画面は、
    該作業手順と異なる順序では該操作ボタンを選択不可に設計されることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の加工装置。
  6. 該タッチパネルは、
    該進捗確認画面においてオペレーターが選択した該操作ボタンに紐付き、より詳細の作業手順に従って並べられた該操作ボタンを有する作業実施画面をさらに含み、
    該作業実施画面に表示される該操作ボタンに対応するすべての作業をオペレーターが完了すると、該進捗確認画面の該操作ボタンが実施済みであると識別可能な状態に変化することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の加工装置。
  7. 該タッチパネルは、
    該画面に並べられたすべての該操作ボタンに対応する作業を行わず、他の画面に移動した場合、該画面に形成された識別可能なマークや着色はそのまま維持され、該画面に並べられたすべての該操作ボタンに対応するすべての作業が完了すると、識別可能なマークおよび着色をなくすことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の加工装置。
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