CN113495529A - 加工装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供加工装置，能够抑制操作人员的作业遗漏和作业顺序的错误。加工装置具有：触摸面板，其受理操作人员的操作；以及控制单元，由操作人员选择触摸面板所显示的操作按钮，从而该控制单元使各机构驱动。触摸面板构成为能够显示排列有多个操作按钮的进展确认画面，该触目面板按照能够识别的方式显示由操作人员选择并完成了作业的操作按钮和操作人员未完成作业的操作按钮。

Description

加工装置
技术领域
本发明涉及加工装置。
背景技术
已知有要求操作人员实施并完成多个作业的加工装置(参照专利文献1)。
专利文献1：日本特开2010-049466号公报
但是，在这样的加工装置中，需要按照操作人员的手写的核对列表等来管理是否完成了应实施的多个作业或者是否按照作业顺序依次进行了实施。因此，在这样的加工装置中，在操作人员实施多个作业的情况下，有可能发生操作人员的作业遗漏或作业顺序错误等。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供能够抑制操作人员的作业遗漏和作业顺序错误的加工装置。
根据本发明的一个方面，提供加工装置，其具有：触摸面板，其受理操作人员的操作；以及控制单元，由操作人员选择该触摸面板所显示的操作按钮，从而该控制单元使各机构驱动，该触摸面板构成为能够显示排列有多个该操作按钮的进展确认画面，该触摸面板按照能够识别的方式显示由操作人员选择并完成了作业的该操作按钮和操作人员未完成作业的该操作按钮。
也可以是，当操作人员选择该操作按钮并完成了与该操作按钮对应的作业时，在实施后的该操作按钮上或该操作按钮的周围形成表示实施完毕的任意的标记或进行着色。
也可以是，在该进展确认画面中，在操作人员接下来应处理的该操作按钮上或该操作按钮的周围形成任意的标记或进行着色。
也可以是，在该进展确认画面中，在操作人员的作业未完成的该操作按钮上或该操作按钮的周围形成任意的标记或进行着色。
也可以是，该控制单元包含顺序存储部，该顺序存储部存储与各进展确认画面对应的作业顺序，该进展确认画面被设计成无法按照与该作业顺序不同的顺序选择该操作按钮。
也可以是，该触摸面板构成为还能够显示作业实施画面，该作业实施画面与操作人员在该进展确认画面中选择的该操作按钮相关联，并且具有按照更详细的作业顺序而排列的该操作按钮，当操作人员完成与该作业实施画面所显示的该操作按钮对应的所有的作业时，该进展确认画面的该操作按钮变化成能够识别为实施完毕的状态。
也可以是，在未进行完与排列在该画面上的所有的该操作按钮对应的作业而移动到其他画面的情况下，该触摸面板原样维持形成在该画面上的能够识别的标记或着色，当完成与排列在该画面上的所有的该操作按钮对应的所有的作业时，消除能够识别的标记和着色。
本发明能够抑制操作人员的作业遗漏和作业顺序错误。
附图说明
图1是示出第1实施方式的加工装置的结构例的立体图。
图2是示意性地示出第1实施方式的加工装置的功能结构的一例的图。
图3是示出第1实施方式的加工装置的顺序存储部所存储的作业顺序数据的一例的图。
图4的(A)、图4的(B)以及图4的(C)是示出第1实施方式的画面显示处理的一例的图。
图5的(A)、图5的(B)以及图5的(C)是示出第1实施方式的画面显示处理的一例的图。
图6的(A)、图6的(B)以及图6的(C)是示出第1实施方式的画面显示处理的一例的图。
图7是示出第2实施方式的画面显示处理的一例的图。
图8是示出第3实施方式的画面显示处理的一例的图。
标号说明
1：加工装置；30：触摸面板；40：控制单元；47：顺序存储部；211、221、231：操作按钮；220、220-2、220-3：进展确认画面；230：作业实施画面；223、233：核对标记；224、225：着色。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。本发明并不受以下实施方式中记载的内容限定。并且，在以下记载的构成要素中包含本领域技术人员所容易想到的、实际上相同的构成要素。此外，以下记载的结构可以适当组合。并且，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。
〔第1实施方式〕
基于附图对本发明的第1实施方式的加工装置1进行说明。图1是示出第1实施方式的加工装置1的结构例的立体图。图2是示意性地示出第1实施方式的加工装置1的功能结构的一例的图。如图1所示，第1实施方式的加工装置1具有作为箱形的壳体的主体2。如图1所示，加工装置1具有卡盘工作台10、加工单元20、触摸面板30以及控制单元40。
作为加工装置1的加工对象的被加工物100例如是以硅、蓝宝石、砷化镓等为基板101的圆板状的半导体晶片或光器件晶片。被加工物100通过将基板101借助粘接带103而支承在环状框架102的开口中而构成。
卡盘工作台10利用保持面11对被加工物100进行保持。卡盘工作台10与未图示的吸引源连通，通过从吸引源提供的负压对被加工物100进行吸引保持。卡盘工作台10能够通过未图示的X轴移动单元沿X轴方向移动，并能够通过未图示的旋转驱动源绕Z轴进行旋转。
加工单元20对卡盘工作台10所保持的被加工物100进行加工。加工单元20例如是一对切削单元21，分别具有切削刀具22。一对切削单元21各自的切削刀具22在Y轴方向上互相对置，都绕Y轴进行旋转。加工单元20通过旋转的切削刀具22对被加工物100实施切削加工。加工单元20能够通过未图示的Y轴移动单元沿Y轴方向移动，并且能够通过未图示的Z轴移动单元沿Z轴方向移动。
加工装置1通过X轴移动单元、Y轴移动单元以及Z轴移动单元使卡盘工作台10和加工单元20相对移动，由此对保持在卡盘工作台10上的被加工物100进行加工。
另外，加工装置1所具有的加工单元20不限于利用切削刀具22对被加工物100进行切削加工的切削单元21。加工单元20例如可以是具有利用磨削磨具等对同样的被加工物100进行磨削加工的磨削单元、利用研磨垫等对同样的被加工物100进行研磨加工的研磨单元、对同样的被加工物100照射激光束而进行激光加工的激光加工单元等。
如图1所示，触摸面板30以显示面朝向外侧的状态设置在主体2上。如图2所示，触摸面板30具有：显示部31，其显示与加工装置1相关的各种信息；以及输入部32，其从操作人员受理加工条件的设定输入等与加工装置1相关的各种操作输入。
控制单元40对驱动加工装置1的各机构(X轴移动单元、Y轴移动单元、Z轴移动单元、旋转驱动源)进行控制。控制单元40对加工装置1的各部分进行控制，从而实现加工装置1的加工处理。控制单元40按照例如由操作人员输入设定的加工条件对包含卡盘工作台10和加工单元20在内的加工装置1的各部分进行控制，实现被加工物100的加工处理。
如图2所示，控制单元40具有存储部41和处理部42。在第1实施方式中，控制单元40包含计算机系统。
存储部41存储由处理部42执行的在加工装置1中实现各种处理等的功能的程序、在基于程序的处理中所使用的数据(加工条件)等。存储部41包含RAM(Random AccessMemory，随机存取存储器)、ROM(Read Only Memory，只读存储器)、闪存、EPROM(ErasableProgrammable Read Only Memory，可擦可编程只读存储器)、EEPROM(注册商标)(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory，电可擦可编程只读存储器)等非易失性或易失性半导体存储器等。存储有程序的存储部41例如包含用于进行能够由处理部42所具有的处理器执行的数据处理的多个命令，是能够由处理器读取且非迁移性的(non-transitory，非暂时性)记录介质，也可以说是程序产品(program product)。存储部41也可以作为处理部42所具有的处理器执行记述在程序中的命令时的临时的作业区域来利用。
如图2所示，存储部41包含控制程序存储部45、画面构成数据存储部46以及顺序存储部47。
存储在控制程序存储部45中的控制程序提供用于实现加工装置1的各种处理等的功能。由控制程序提供的功能包含下述的画面显示处理功能：生成各种操作画面；将该各种操作画面显示在触摸面板30上；受理对触摸面板30上的各种操作画面的输入；以及根据对该各种操作画面的输入等来切换在触摸面板30上显示的各种操作画面；等等。
画面构成数据存储部46存储与在触摸面板30上显示的各种操作画面的画面结构相关的数据。在触摸面板30上显示的各种操作画面具有与在加工装置1中运行的程序的种类和版本对应的画面结构。
顺序存储部47按照加工装置1的处理的种类，关于为了实现处理而需要由操作人员实施的各个大作业，将实施各个大作业所需的各个中作业及其顺序以及实施中作业所需的更详细的各个小作业及其顺序的数据作为作业顺序数据进行存储。
这里，在本说明书中，大作业、中作业以及小作业是为了便于说明而将操作人员的作业分为3个等级而设定的表达，均包含在本发明的作业中。另外，在本说明书中，小作业是指细致地分出的一个一个的作业，中作业是小作业的上位概念，是指按照小作业的顺序的一系列的多个小作业的组，大作业是中作业的上位概念，是指按照中作业的顺序的一系列的多个中作业的组。
作业顺序数据具有各个大作业、每个大作业的各个中作业的项目(中作业项目)、每个大作业的各个中作业的顺序(中作业顺序)、每个中作业的各个小作业的项目(小作业项目)以及每个中作业的各个小作业的顺序(小作业顺序)，这些项目被相互对应起来。
图3是示出第1实施方式的加工装置1的顺序存储部47所存储的作业顺序数据的一例的图。图3示出了顺序存储部47所存储的作业顺序数据中的与为了变更由加工装置1加工的被加工物100的尺寸而由操作人员实施的大作业“尺寸更换”相关的部分。另外，在图3中，省略了除中作业顺序为第3个的中作业项目“卡盘工作台更换”以外的小作业项目以及小作业顺序的具体记载。
处理部42包含CPU(Central Processing Unit，中央处理单元)微处理器、微型计算机、DSP(Digital Signal Processor，数字信号处理器)、系统LSI(Large ScaleIntegration，大规模集成)等处理器。处理部42所具有的处理器执行存储部41所具有的RAM上所加载的程序。由此，实现由加工装置1执行的各种处理等的功能。
处理部42基于存储在存储部41中的程序进行动作，并执行以下说明的加工装置1的画面显示处理。处理部42在以下说明的画面显示处理中，通过操作人员选择显示在触摸面板30上的操作按钮211、221、231(参照图4、图5以及图6)而按照所选择的操作按钮211、221、231(参照图4、图5以及图6)使构成加工装置1的各功能驱动。
图4的(A)、图4的(B)、图4的(C)、图5的(A)、图5的(B)、图5的(C)、图6的(A)、图6的(B)以及图6的(C)是示出第1实施方式的画面显示处理的一例的图。使用图4的(A)～图6的(C)对画面显示处理进行具体说明。
如图4的(A)所示，处理部42根据操作人员的操作，在触摸面板30上显示顶部菜单画面210(步骤1011)。顶部菜单画面210显示多个操作按钮211，该多个操作按钮211用于供操作人员执行为了分别执行加工装置1的各种处理而需要的各个大作业。
顶部菜单画面210在所显示的各操作按钮211上重叠显示能够识别由操作人员操作并执行的各个大作业的内容的记载。以下，在本说明书中，在顶部菜单画面210中，将为了执行规定的大作业而由操作人员操作的操作按钮211称为与该大作业相关的操作按钮211。在第1实施方式中，能够由操作人员操作各操作按钮211来执行的各个大作业是加工装置1的设备数据的确认、被加工物100的全自动加工、被加工物100的手动加工、被加工物100(工件)的尺寸更换、定期维护、对准、各种测量以及切削刀具22的更换。
然后，当处理部42检测到如图4的(B)所示操作人员对记载为“尺寸更换”的操作按钮211的操作时(步骤1012)，如图4的(C)所示，在触摸面板30上显示与大作业“尺寸更换”相关的进展确认画面220(步骤1013)。另外，本发明中的“触摸面板30具有进展确认画面220”是指能够在触摸面板30上显示进展确认画面220。另外，在本说明书中，与规定的大作业相关的进展确认画面220是指操作人员操作与规定的大作业相关的操作按钮211而显示的画面，是为了执行规定的大作业而供操作人员参照的画面。
处理部42参照存储在顺序存储部47中的作业顺序数据而生成进展确认画面220。如图4的(C)所示，进展确认画面220将执行为了实施与该进展确认画面220相关的大作业而需要的多个中作业项目的多个操作按钮221按照该中作业顺序而排列显示。当在该大作业的实施中需要从操作人员输入信息的情况下，进展确认画面220显示该信息的输入栏222。进展确认画面220还一并显示用于执行向顶部菜单画面210的显示切换的画面显示切换按钮212。
进展确认画面220被设计成通过处理部42对操作按钮221的操作加以限制，从而无法按照与中作业顺序不同的顺序选择操作按钮221。即，进展确认画面220被设计成仅能够按照遵循中作业顺序的顺序来选择操作按钮221。进展确认画面220被设计成：仅在全部的与前面顺序的操作按钮221相关的中作业完成的状态下，操作人员才能够选择该操作按钮221。
与顶部菜单画面210的各操作按钮211同样，进展确认画面220在各操作按钮221上重叠显示能够识别由操作人员操作并执行的各个中作业的内容的记载。以下，在本说明书中，在进展确认画面220中，将为了执行规定的中作业而由操作人员操作的操作按钮221称为与该中作业相关的操作按钮221。在第1实施方式中，能够由操作人员操作与大作业“尺寸更换”相关的进展确认画面220的各操作按钮221来执行的各个中作业是在加工装置1内搬送被加工物100的搬送单元的上搬送臂的更换、搬送单元的下搬送臂的更换、卡盘工作台10的更换、清洗单元的清洗工作台的更换。
处理部42能够在触摸面板30上显示与上述的能够由操作人员操作各操作按钮211而执行的所有的大作业相关的进展确认画面220。另外，以下，对在与大作业“尺寸更换”相关的进展确认画面220中实施画面显示处理的情况进行说明，由于对与其他大作业相关的进展确认画面220的说明与关于大作业“尺寸交换”的进展确认画面220的情况相同，所以省略说明。
与大作业“尺寸更换”相关的进展确认画面220与操作人员所操作的记载为“尺寸更换”的操作按钮211相关联。同样，与各个大作业相关的进展确认画面220与操作人员为了使该进展确认画面220显示而操作的记载了该大作业的内容的各操作按钮211相关联。
接着，关于大作业“尺寸更换”所需的中作业中的两个中作业“上搬送臂更换”、“下搬送臂更换”，当操作人员按照中作业顺序依次选择操作按钮221而使该操作按钮221所对应的中作业完成时，处理部42在触摸面板30上显示图5的(A)所示的进展确认画面220(步骤1021)。图5的(A)所示的进展确认画面220以能够识别的方式显示与操作人员已完成的中作业“上搬送臂更换”、“下搬送臂更换”相关的两个操作按钮221和与操作人员未完成的中作业“卡盘工作台更换”、“清洗工作台更换”相关的两个操作按钮221。
在第1实施方式中，图5的(A)所示的进展确认画面220在与操作人员完成了的中作业相关的2个操作按钮221上重叠显示表示实施完毕的核对标记223。另一方面，图5的(A)所示的进展确认画面220在与操作人员未完成的中作业相关的两个操作按钮221上不显示表示实施完毕的核对标记223。另外，进展确认画面220在本发明中不限定于此，也可以以在与操作人员已完成的中作业相关的操作按钮221上或该操作按钮221的周围形成有表示实施完毕的任意的标记的状态或着色的状态进行显示。
然后，当处理部42检测到如图5的(B)所示操作人员对记载为“卡盘工作台更换”的操作按钮221的操作时(步骤1022)，如图5的(C)所示，将与中作业“卡盘工作台更换”相关的作业实施画面230显示在触摸面板30上(步骤1023)。另外，本发明中的“触摸面板30包含作业实施画面230”是指能够在触摸面板30上显示作业实施画面230。并且，在本说明书中，与规定的中作业相关的作业实施画面230是指操作人员操作与规定的中作业相关的操作按钮221而显示的画面，是为了执行规定的大作业而供操作人员参照的画面。
与进展确认画面220同样，处理部42参照存储于顺序存储部47的作业顺序数据来生成作业实施画面230。如图5的(C)所示，作业实施画面230将执行为了实施与该进展确认画面230相关的中作业而需要的多个小作业项目的多个操作按钮231按照该小作业顺序排列显示。作业实施画面230还一并显示与顶部菜单画面210所显示的画面相同的多个画面显示切换按钮212。
与进展确认画面220同样，作业实施画面230被设计成通过处理部42对操作按钮231的操作加以限制，从而无法按照与小作业顺序不同的顺序选择操作按钮231。即，作业实施画面230被设计成仅能够按照遵循小作业顺序的顺序来选择操作按钮231。作业实施画面230被设计成仅在全部的与前面顺序的操作按钮231相关的小作业完成的状态下，操作人员才能够选择该操作按钮231。
与进展确认画面220的各操作按钮221同样，作业实施画面230在各操作按钮231上重叠显示能够识别由操作人员操作并执行的各个小作业的内容的记载。以下，在本说明书中，在作业实施画面230中，将为了执行规定的小作业而由操作人员操作的操作按钮231称为与该小作业相关的操作按钮231。在第1实施方式中，能够由操作人员操作与中作业“卡盘工作台更换”相关的作业实施画面230的各操作按钮231来执行的各个小作业是停止向卡盘工作台10提供负压(卡盘工作台10的真空关闭)、开始向卡盘工作台10提供负压(卡盘工作台10的真空开启)、朝向卡盘工作台10的显微镜的聚焦的调整、卡盘工作台10的旋转轴的测量等。
处理部42能够在触摸面板30上显示上述的与能够由操作人员操作各操作按钮221来执行的所有的中作业相关的作业实施画面230。另外，在中作业所需的小作业仅为一个的情况下，也可以省略与该中作业相关的作业实施画面230，采用仅用与该中作业相关的操作按钮221来完成的方式。以下，对关于与中作业“卡盘工作台更换”相关的作业实施画面230实施画面显示处理的情况进行说明，由于对与其他中作业相关的作业实施画面230的说明与中作业“卡盘工作台更换”的作业实施画面230的情况相同，所以省略说明。
与中作业“卡盘工作台更换”相关的作业实施画面230与操作人员所操作的记载为“卡盘工作台更换”的操作按钮221相关联。同样，与各个中作业相关的作业实施画面230与记载了操作人员为了使该作业实施画面230显示而操作的该中作业的各操作按钮221相关联。
接着，关于中作业“卡盘工作台更换”所需的小作业中的7个小作业，当操作人员按照小作业顺序依次选择操作按钮231而完成该操作按钮231所对应的小作业时，处理部42在触摸面板30上显示图6的(A)所示的作业实施画面230(步骤1031)。与进展确认画面220同样，图6的(A)所示的作业实施画面230按照能够识别的方式显示与操作人员完成了的小作业相关的7个操作按钮231和与操作人员未完成的小作业相关的1个操作按钮231。
在第1实施方式中，处理部42根据与小作业关联的规定的检测器所检测的检测结果，自动判定该小作业的完成并反映在作业实施画面230中，但本发明不限于此，也可以受理进行了小作业的操作人员对触摸面板30进行的小作业完成的指令的输入并反映在作业实施画面230中。
与进展确认画面220同样，在第1实施方式中，图6的(A)所示的作业实施画面230在与操作人员完成了的小作业相关的7个操作按钮231上重叠显示表示实施完毕的核对标记233。另外，与进展确认画面220同样，作业实施画面230在本发明中并不限于此，也可以以在与操作人员完成了的中作业相关的操作按钮231上或该操作按钮231的周围形成有表示实施完毕的任意的标记的状态或者着色的状态进行显示。
并且，关于中作业“卡盘工作台更换”所需的小作业中的最后一个小作业，当操作人员选择操作按钮231而完成该操作按钮231所对应的小作业时，处理部42在触摸面板30上如图6的(B)所示显示出在与全部的小作业相关的操作按钮231上显示有核对标记233的状态的作业实施画面230(步骤1032)。当实施步骤1032时，如图6的(C)所示，处理部42在进展确认画面220的与中作业“卡盘工作台更换”相关的操作按钮221上追加核对标记223的显示，从而使与中作业“卡盘工作台更换”相关的操作按钮221变化成能够识别为实施完毕的状态(步骤1033)。
这样，处理部42识别与中作业对应的全部小作业的完成，从而自动判定该中作业的完成并反映在进展确认画面220中。
关于任意的大作业，在操作人员未进行完对进展确认画面220或者作业实施画面230中排列的全部的操作按钮221、231的作业(中作业、小作业)而移动到其他画面也就是说将显示切换到其他画面的情况下，处理部42原样维持进展确认画面220或作业实施画面230上所形成的核对标记223、233等能够识别的标记或着色。关于任意的大作业，当操作人员完成对进展确认画面220或者作业实施画面230中排列的全部的操作按钮221、231的作业(中作业、小作业)时，处理部42消除进展确认画面220或作业实施画面230上形成的核对标记223、233等能够识别的标记或着色。
具有以上结构的第1实施方式的加工装置1中，触摸面板30具有按照作业顺序(中作业顺序)排列有多个操作按钮221的进展确认画面220，并且以能够识别的方式显示操作人员选择而完成了作业(中作业)的操作按钮221和操作人员未完成作业(中作业)的操作按钮221。因此，第1实施方式的加工装置1中，能够使操作人员通过观察触摸面板30来直观且容易地识别已完成的作业(中作业)和未完成的作业(中作业)，因此起到了能够抑制操作人员的作业遗漏和作业顺序错误的作用效果。
另外，第1实施方式的加工装置1中，当操作人员选择操作按钮221并完成操作按钮221所对应的作业(中作业)时，在进展确认画面220中在与已实施而完成的作业(中作业)相关的操作按钮221上或该操作按钮221的周围形成表示实施完毕的核对标记223等任意标记或进行着色。因此，第1实施方式的加工装置1起到如下的作用效果：操作人员能够通过观察触摸面板30来更直观且更容易地识别已完成的作业(中作业)和未完成的作业(中作业)。
另外，第1实施方式的加工装置1中，控制单元40包含顺序存储部47，该顺序存储部47存储与各进展确认画面220对应的作业顺序(中作业步骤)，进展确认画面220被设计成无法按照与该作业顺序(中作业顺序)不同的顺序选择操作按钮221。因此，第1实施方式的加工装置1中，通过对进展确认画面220设计的选择限制，抑制操作人员按照与作业顺序(中作业顺序)不同的顺序进行作业(中作业)，因此起到了能够更可靠地抑制操作人员的作业遗漏和作业顺序错误的作用效果。
另外，第1实施方式的加工装置1中，触摸面板30还包含作业实施画面230，该作业实施画面230与在进展确认画面220中已由操作人员选择的操作按钮221相关联，并且具有按照更详细的作业顺序(小作业顺序)排列的操作按钮231，当操作人员完成与显示在作业实施画面230上的操作按钮231对应的全部的作业(小作业)时，进展确认画面220的操作按钮221变化成能够识别为实施完毕的状态。因此，第1实施方式的加工装置1中，通过由作业实施画面230实现的更详细的作业等级的管理，起到了能够更可靠地抑制操作人员的作业遗漏和作业顺序错误的作用效果。
另外，第1实施方式的加工装置1中，在未进行完对进展确认画面220或作业实施画面230上排列的全部的操作按钮221、231的作业(中作业、小作业)而移动到其他画面的情况下，触摸面板30原样维持进展确认画面220或作业实施画面230上所形成的核对标记223、233等能够识别的标记或颜色，当完成对进展确认画面220或作业实施画面230上排列的全部的操作按钮221、231的作业(中作业、小作业)时，消除进展确认画面220或作业实施画面230上所形成的核对标记223、233等能够识别的标记或着色。因此，第1实施方式的加工装置1中，通过管理表示作业(中作业、小作业)是否完成的标记或着色，起到了能够更可靠地抑制操作人员的作业遗漏和作业顺序错误的作用效果。
〔第2实施方式〕
基于附图对本发明的第2实施方式的加工装置1进行说明。图7是示出第2实施方式的画面显示处理的一例的图。在图7中，对与第1实施方式相同的部分标注相同的标号而省略说明
第2实施方式的加工装置1是在第1实施方式的加工装置1中显示图7所示的进展确认画面220-2来代替图6的(C)所示的进展确认画面220的装置。
如图7所示，进展确认画面220-2中，在与操作人员接下来应该处理的中作业“清洗工作台更换”相关的操作按钮221的周围，附加了引起操作人员对操作按钮221的注意的着色224而进行显示。另外，进展确认画面220-2在本发明中不限定于此，也可以以在与操作人员接下来应该处理的中作业相关的操作按钮221上或该操作按钮221的周围形成有引起操作人员对操作按钮221的注意的任意的标记的状态或者着色的状态进行显示。另外，在第2实施方式中，与进展确认画面220-2同样，作业实施画面230也可以以在与操作人员接下来应该处理的小作业相关的操作按钮231上或该操作按钮231的周围形成有引起操作人员对操作按钮231的注意的任意的标记的状态或者着色的状态进行显示。
具有以上结构的第2实施方式的加工装置1与第1实施方式的加工装置1相比，进一步在进展确认画面220-2或作业实施画面230中，在与操作人员接下来应该处理的作业(中作业、小作业)相关的操作按钮221、231上或该操作按钮221、231的周围形成引起操作人员对操作按钮221、231的注意的任意的标记或进行着色。因此，第2实施方式的加工装置1能够使操作人员直观且容易地识别接下来应该处理的作业(中作业、小作业)，因此，起到了能够抑制操作人员的作业遗漏和作业顺序错误的作用效果。
〔第3实施方式〕
基于附图对本发明的第3实施方式的加工装置1进行说明。图8是示出第3实施方式的画面显示处理的一例的图。在图8中，对与第1实施方式和第2实施方式相同的部分标注相同的附图标记并省略说明。
第3实施方式的加工装置1是在第1实施方式和第2实施方式的加工装置1中进一步显示图8所示的进展确认画面220-3的装置。
当检测到操作人员对记载为“定期维护”的操作按钮211的操作时，如图8所示，处理部42在触摸面板30上显示与大作业“定期维护”相关的进展确认画面220-3。另外，在第3实施方式中，由于没有对属于大作业“定期维护”的中作业设定中作业顺序，所以进展确认画面220-3不用将各操作按钮221按照中作业顺序排列显示，不用设计基于中作业顺序的操作限制，但在设置了中作业或小作业的情况下，也可以与第1实施方式和第2实施方式同样地显示进展确认画面或作业实施画面。在第3实施方式中，能够由操作人员操作与大作业“定期维护”相关的进展确认画面220-3的各操作按钮221来执行的各个中作业是检查使切削刀具22旋转的主轴等的最大输出、主轴等的输出设置、朝向卡盘工作台10的显微镜的聚焦的调整等。
如图8所示，进展确认画面220-3在与操作人员的作业未完成的中作业“○○○”、“○△◆”、“×□○”相关的3个操作按钮221的周围附加引起操作人员对操作按钮221的注意的着色225而进行显示。另外，进展确认画面220-3在本发明中不限定于此，也可以以在与操作人员的作业未完成的中作业相关的操作按钮221上或该操作按钮221的周围形成有引起操作人员对操作按钮221的注意的任意的标记的状态或着色的状态进行显示。另外，对于小作业，也可以进行同样的显示。
另外，优选的是，关于属于大作业“定期维护”的中作业，在操作人员的中作业最后完成之后经过一定的期间而成为需要再次作业的时期的情况下，例如在经过了一个月的情况下，进展确认画面220-3消除形成在与该中作业相关的操作按钮221上的表示实施完毕的核对标记223等标记或着色，并切换为引起催促实施的注意的着色225等标记或着色的显示。进展确认画面220-3通过这样切换显示，能够可靠地使操作人员每隔一定的期间例如每隔一个月实施属于大作业“定期维护”的中作业。
具有以上结构的第3实施方式的加工装置1与第1实施方式和第2实施方式的加工装置1相比，进一步在进展确认画面220-3中在操作人员的作业(中作业)未完成的操作按钮221上或该操作按钮221的周围形成引起操作人员对操作按钮221的注意的任意的标记或进行着色。因此，第3实施方式的加工装置1能够使操作人员直观且容易地识别未完成的作业(中作业)，因此，起到了能够抑制操作人员的作业遗漏和作业顺序错误的作用效果。
另外，本发明并不限定于上述实施方式和变形例。即，在不脱离本发明的主旨的范围中可以进行各种变形而实施。

Claims (7)

1.一种加工装置，其具有：
触摸面板，其受理操作人员的操作；以及
控制单元，由操作人员选择该触摸面板所显示的操作按钮，从而该控制单元使各机构驱动，
该触摸面板构成为能够显示排列有多个该操作按钮的进展确认画面，
该触摸面板按照能够识别的方式显示由操作人员选择并完成了作业的该操作按钮和操作人员未完成作业的该操作按钮。
2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
当操作人员选择该操作按钮并完成了与该操作按钮对应的作业时，在实施后的该操作按钮上或该操作按钮的周围形成表示实施完毕的任意的标记或进行着色。
3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中，
在该进展确认画面中，在操作人员接下来应处理的该操作按钮上或该操作按钮的周围形成任意的标记或进行着色。
4.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中，
在该进展确认画面中，在操作人员的作业未完成的该操作按钮上或该操作按钮的周围形成任意的标记或进行着色。
5.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中，
该控制单元包含顺序存储部，该顺序存储部存储与各进展确认画面对应的作业顺序，
该进展确认画面被设计成无法按照与该作业顺序不同的顺序选择该操作按钮。
6.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中，
该触摸面板构成为还能够显示作业实施画面，该作业实施画面与操作人员在该进展确认画面中选择的该操作按钮相关联，并且具有按照更详细的作业顺序而排列的该操作按钮，
当操作人员完成与该作业实施画面所显示的该操作按钮对应的所有的作业时，该进展确认画面的该操作按钮变化成能够识别为实施完毕的状态。
7.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中，
在未进行完与排列在该画面上的所有的该操作按钮对应的作业而移动到其他画面的情况下，该触摸面板原样维持形成在该画面上的能够识别的标记或着色，当完成与排列在该画面上的所有的该操作按钮对应的所有的作业时，消除能够识别的标记和着色。
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