TW202136937A - 加工裝置 - Google Patents

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Abstract

[課題]提供一種加工裝置，其可抑制操作員的作業疏漏及作業順序的錯誤。[解決手段]加工裝置具備：觸控面板，其受理操作員的操作；以及控制單元，其藉由操作員選擇顯示於觸控面板之操作按鈕，而使各機構驅動。觸控面板構成為可顯示排列有多個操作按鈕之進度確認畫面，且以能識別的方式，顯示操作員選擇並完成作業之操作按鈕、與操作員未完成作業之操作按鈕。

Description

加工裝置
本發明關於加工裝置。
已知一種加工裝置，其要求操作員實施並完成多個作業（參考專利文獻1）。 [習知技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2010-049466號公報
[發明所欲解決的課題] 然而，在此種加工裝置中，必須利用操作員的手寫檢查清單等以管理應實施之多個作業是否完成、或是否遵循作業程序而依序實施。因此，在此種加工裝置中，在操作員實施多個作業之情形，會有發生操作員的作業疏漏及作業順序的錯誤等之疑慮。
因此，本發明之目的在於提供可抑制操作員的作業疏漏及作業順序的錯誤之加工裝置。
[解決課題的技術手段] 根據本發明之一態樣，提供一種加工裝置，其具備：觸控面板，其受理操作員的操作；以及控制單元，其藉由操作員選擇顯示於該觸控面板之操作按鈕，而使各機構驅動，其中，該觸控面板構成為可顯示排列有多個該操作按鈕之進度確認畫面，且以能識別的方式，顯示操作員選擇並完成作業之該操作按鈕、與操作員未完成作業之該操作按鈕。
若操作員選擇該操作按鈕，並完成與該操作按鈕對應之作業，則可在已實施之該操作按鈕之上或周圍，形成表示實施完畢之任意的標記或予以上色。
在該進度確認畫面中，可在操作員接下來應處理之該操作按鈕之上或周圍，形成任意標記或予以上色。
在該進度確認畫面中，可在操作員的作業未完成之該操作按鈕之上或周圍，形成任意的標記或予以上色。
該控制單元可包含：程序記憶部，其記憶與各進度確認畫面對應之作業程序，該進度確認畫面被設計成順序與該作業程序不同時不可選擇該操作按鈕。
該觸控面板可被構成為可進一步顯示作業實施畫面，該作業實施畫面係與該進度確認畫面中操作員所選擇之該操作按鈕連結，且具有遵循更詳細的作業程序而排列之該操作按鈕，若操作員完成與顯示於該作業實施畫面之該操作按鈕對應之全部的作業，則進度確認畫面的該操作按鈕改變成能識別為實施完畢之狀態。
在未進行與排列於該畫面之全部的該操作按鈕對應之作業而移動至其他畫面之情形，該觸控面板可將形成於該畫面之能識別的標記或上色維持原樣，而若完成與排列於該畫面之全部該操作按鈕對應之全部的作業，則該觸控面板可消除能識別的標記及上色。
[發明功效] 本發明可抑制操作員的作業疏漏及作業順序的錯誤。
以下，一邊參考隨附圖式，一邊詳細地說明本發明的實施方式。本發明並不受限於以下的實施方式所記載之內容。並且，在以下所記載之構成要素中，包含所屬技術領域中具有通常知識者可輕易思及者、實質上相同者。再者，以下所記載之構成能進行適當組合。並且，在不背離本發明的主旨之範圍內，可進行構成的各種省略、取代或變更。
〔第一實施方式〕 基於圖式，說明本發明的第一實施方式之加工裝置1。圖1係表示第一實施方式之加工裝置1的構成例之立體圖。圖2係示意性表示第一實施方式之加工裝置1的功能構成的一例之圖。如圖1所示，第一實施方式之加工裝置1具備：箱形的殼體，亦即本體2。如圖1所示，加工裝置1具備：卡盤台10、加工單元20、觸控面板30及控制單元40。
加工裝置1的加工對象亦即被加工物100，例如為將矽、藍寶石、砷化鎵等作為基板101之圓板狀的半導體晶圓或光元件晶圓。被加工物100係透過膠紙103而將基板101支撐於環狀的框架102的開口所構成。
卡盤台10係以保持面11保持被加工物100。卡盤台10係與未圖示的吸引源連通，藉由從吸引源供給之負壓而吸引保持被加工物100。卡盤台10係藉由未圖示的X軸移動單元而能沿著X軸方向移動，且藉由未圖示的旋轉驅動源而能繞著Z軸旋轉。
加工單元20將被保持於卡盤台10之被加工物100加工。加工單元20例如為一對切割單元21，且分別具有切割刀片22。一對切割單元21的各自的切割刀片22係於Y軸方向中彼此對向，且皆繞著Y軸旋轉。加工單元20係藉由旋轉之切割刀片22而對被加工物100施行切割加工。加工單元20係藉由未圖示的Y軸移動單元而能沿著Y軸方向移動，並藉由未圖示的Z軸移動單元而能沿著Z軸方向移動。
加工裝置1係藉由X軸移動單元、Y軸移動單元及Z軸移動單元而使卡盤台10與加工單元20相對移動，藉此將保持於卡盤台10之被加工物100加工。
此外，加工裝置1所具備之加工單元20並不限定於以切割刀片22將被加工物100切割加工之切割單元21。加工單元20例如亦可為以研削磨石等將同樣的被加工物100研削加工之研削單元、以研磨墊等將同樣的被加工物100研磨加工之研磨單元、對同樣的被加工物100照射雷射束而進行雷射加工之雷射加工單元等。
如圖1所示，觸控面板30以將顯示面朝向外側之狀態設置於本體2。如圖2所示，觸控面板30具有：顯示部31，其顯示與加工裝置1相關之各種資訊；以及輸入部32，其從操作員受理加工條件的設定輸入等與加工裝置1相關之各種操作輸入。
控制單元40控制驅動加工裝置1之各機構（X軸移動單元、Y軸移動單元、Z軸移動單元、旋轉驅動源）。控制單元40控制加工裝置1的各部，實現由加工裝置1所進行之加工處理。控制單元40例如遵循由操作員所輸入設定之加工條件，而控制包含卡盤台10及加工單元20之加工裝置1的各部，實現被加工物100的加工處理。
如圖2所示，控制單元40具備記憶部41與處理部42。在第一實施方式中，控制單元40包含電腦系統。
記憶部41記憶藉由處理部42所執行之在加工裝置1中實現各種處理等功能的程式、以及由程式所進行之處理所使用的資料（加工條件）等。記憶部41包含：RAM（Random Access Memory，隨機存取記憶體）、ROM（Read Only Memory，唯讀記憶體）、快閃記憶體、EPROM（Erasable Programmable Read Only Memory，可抹除可程式化唯讀記憶體）及EEPROM（註冊商標）（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory，電子可抹除可程式化唯讀記憶體）等非揮發性或揮發性的半導體記憶體等。已記憶有程式之記憶部41例如為：非暫態性（non-transitory）的記錄媒體，其包含用於進行資料處理的多個命令，所述資料處理能藉由處理部42所具備的處理器而執行，並且，所述記錄媒體能進行由處理器所進行之讀取，亦稱作程式產品。記憶部41亦可利用作為處理部42所具備之處理器執行記述於程式之命令時的暫時性作業區域。
如圖2所示，記憶部41包含：控制程式記憶部45、畫面構成資料記憶部46及程序記憶部47。
記憶於控制程式記憶部45之控制程式提供用於實現加工裝置1的各種處理等的功能。由控制程式所提供之功能包含畫面顯示處理功能，所述畫面顯示處理功能生成各種操作畫面，將此各種操作畫面顯示於觸控面板30，受理在觸控面板30上對各種操作畫面的輸入，因應此對各種操作畫面的輸入等而切換顯示於觸控面板30之各種操作畫面等。
畫面構成資料記憶部46記憶與顯示於觸控面板30之各種操作畫面的畫面構成相關之資料。顯示於觸控面板30之各種操作畫面具備：與在加工裝置1中運作之程式的種類及版本相應之畫面構成。
對於加工裝置1的每一種處理，針對為了實現處理而操作員必須實施之各大型作業，程序記憶部47係將為了實施各大型作業所必須之各中型作業及其程序、以及為了實施中型作業所必須之更詳細的各小型作業及其程序的資料記憶作為作業程序資料。
於此，為了方便說明，在本說明書中，大型作業、中型作業及小型作業係將操作員的作業分為三階層而設定之表現，其等皆包含在本發明的作業中。並且，在本說明書中，小型作業係指精細地分離之一個一個的作業，中型作業係指小型作業的上位概念且為遵循小型作業的程序之一連串的多個小型作業的群組，大型作業係指中型作業的上位概念且為遵循中型作業的程序之一連串多個中型作業的群組。
作業程序資料具有：各大型作業、每一大型作業的各中型作業的項目（中型作業項目）、每一大型作業的各中型作業的程序（中型作業程序）、每一中型作業的各小型作業的項目（小型作業項目）、以及每一中型作業的各小型作業的程序（小型作業程序），並使此等項目相互對應。
圖3係表示第一實施方式之加工裝置1的程序記憶部47所記憶之作業程序資料的一例之圖。圖3顯示在程序記憶部47所記憶之作業程序資料之中，關於操作員為了變更加工裝置1所加工之被加工物100的尺寸而實施之大型作業「替換尺寸」的部分。此外，在圖3中，省略中型作業程序為第三的中型作業項目「替換卡盤台」以外的小型作業項目及小型作業程序的具體記載。
處理部42包含：CPU（Central Processing Unit，中央處理單元）微處理器、微電腦、DSP（Digital Signal Processor，數位訊號處理器）、系統LSI（Large Scale Integration，大型積體電路）等處理器。處理部42所具備之處理器，執行裝載於記憶部41所具備之RAM上的程式。藉此，實現藉由加工裝置1所執行之各種處理等功能。
處理部42係基於儲存於記憶部41之程式而運作，且執行以下說明之加工裝置1的畫面顯示處理。處理部42藉由在以下說明之畫面顯示處理中，操作員選擇顯示於觸控面板30之操作按鈕211、221、231（參考圖4、圖5及圖6），而因應所選擇之操作按鈕211、221、231（參考圖4、圖5及圖6），使構成加工裝置1之各功能驅動。
圖4（A）、圖4（B）、圖4（C）、圖5（A）、圖5（B）、圖5（C）、圖6（A）、圖6（B）及圖6（C）係顯示第一實施方式之畫面顯示處理的一例之圖。利用圖4（A）～圖6（C），具體地說明畫面顯示處理。
如圖4（A）所示，處理部42因應操作員的操作，而在觸控面板30顯示頂部選單畫面210（步驟1011）。頂部選單畫面210顯示多個操作按鈕211，所述多個操作按鈕211係用於讓操作員執行各大型作業，所述各大型作業係為了分別執行加工裝置1的各種處理所必須的各大型作業。
頂部選單畫面210係在顯示的各操作按鈕211上，重疊顯示能識別操作員所操作且執行之各大型作業的內容之記載。以下，在本說明書中，將在頂部選單畫面210中操作員為了執行預定的大型作業而操作之操作按鈕211，稱作與該大型作業相關之操作按鈕211。操作員可操作各操作按鈕211且執行之各大型作業，在第一實施方式中為：確認加工裝置1的裝置資料、被加工物100的全自動加工、被加工物100的手動加工、替換被加工物100（工件）的尺寸、定期維護、對準、各種測量以及替換切割刀片22。
然後，如圖4（B）所示，處理部42若檢測操作員對於被記載為「替換尺寸」之操作按鈕211的操作（步驟1012），則如圖4下段所示，將與大型作業「替換尺寸」相關之進度確認畫面220顯示於觸控面板30（步驟1013）。此外，所謂本發明之觸控面板30具有進度確認畫面220，係指可將進度確認畫面220顯示於觸控面板30。並且，在本說明書中，所謂與預定的大型作業相關之進度確認畫面220，係指操作員操作與預定的大型作業相關之操作按鈕211而顯示之畫面，且為操作員為了執行預定的大型作業而參考之畫面。
進度確認畫面220係處理部42參考記憶於程序記憶部47的作業程序資料而生成。如圖4（C）所示，進度確認畫面220將多個操作按鈕221遵循其中型作業程序而排列顯示，所述多個操作按鈕221係執行為了實施與該進度確認畫面220相關之大型作業所必須之多個中型作業項目。在需要對該大型作業的實施輸入來自操作員的資訊之情形中，進度確認畫面220會顯示該資訊的輸入欄222。進度確認畫面220亦一併顯示畫面顯示切換按鈕212，所述畫面顯示切換按鈕212用於執行往頂部選單畫面210的顯示切換。
進度確認畫面220係被處理部42限制往操作按鈕221的操作，且被設計成順序與中型作業程序不同時不可選擇操作按鈕221。亦即，進度確認畫面220被設計成僅能以遵循中型作業程序之順序選擇操作按鈕221。進度確認畫面220被設計成操作員僅能在前程序之與操作按鈕221相關之中型作業已全部結束之狀態下，選擇該操作按鈕221。
與頂部選單畫面210的各操作按鈕211同樣地，進度確認畫面220係在各操作按鈕221上重疊顯示能識別操作員所操作且執行之各中型作業的內容之記載。以下，在本說明書中，將在進度確認畫面220中操作員為了執行預定的中型作業而操作之操作按鈕221，稱作與該中型作業相關之操作按鈕221。操作員可操作與大型作業「替換尺寸」相關之進度確認畫面220的各操作按鈕221而執行之各中型作業，在第一實施方式中為：更換在加工裝置1內搬送被加工物100之搬送單元的上搬送臂、更換搬送單元的下搬送臂、替換卡盤台10及替換清洗單元的清洗台。
處理部42可將進度確認畫面220顯示於觸控面板30，所述進度確認畫面220係與上述操作員可操作各操作按鈕211而執行之全部的大型作業相關。此外，以下，針對與大型作業「替換尺寸」相關之進度確認畫面220，說明實施畫面顯示處理之情形，而針對與其他大型作業相關之進度確認畫面220的說明因和與大型作業「替換尺寸」相關之進度確認畫面220之情形為同樣，故省略說明。
與大型作業「替換尺寸」相關之進度確認畫面220係與操作員所操作之被記載為「替換尺寸」之操作按鈕211連結。同樣地，與各大型作業相關之進度確認畫面220係與操作員為了使該進度確認畫面220顯示而操作之記載有該大型作業的內容之各操作按鈕211連結。
接著，針對大型作業「替換尺寸」所必須之中型作業中的二個中型作業「更換上搬送臂」「更換下搬送臂」，若操作員遵循中型作業程序，依序選擇操作按鈕221，並使與該操作按鈕221對應之中型作業完成，則處理部42會將如圖5（A）所示之進度確認畫面220顯示於觸控面板30（步驟1021）。圖5（A）所示之進度確認畫面220係以能識別的方式顯示：與操作員已完成之中型作業「更換上搬送臂」「更換下搬送臂」相關之二個操作按鈕221、以及與操作員未完成之中型作業「替換卡盤台」「替換清洗台」相關之二個操作按鈕221。
在第一實施方式中，圖5（A）所示之進度確認畫面220係重疊在與操作員已完成之中型作業相關之二個操作按鈕221之上，並顯示表示實施完畢之檢查標記223。另一方面，圖5（A）所示之進度確認畫面220係在與操作員未完成之中型作業相關之二個操作按鈕221之上，未顯示表示實施完畢之檢查標記223。此外，進度確認畫面220在本發明中並不限定於此，也可在下述狀態中顯示：在與操作員已完成之中型作業相關之操作按鈕221之上或周圍，形成有表示實施完畢之任意的標記之狀態，或予以上色之狀態。
然後，如圖5（B）所示，若處理部42檢測操作員對被記載為「替換卡盤台」的操作按鈕221之操作（步驟1022），則如圖5（C）所示，將與中型作業「替換卡盤台」相關之作業實施畫面230顯示於觸控面板30（步驟1023）。此外，所謂本發明之觸控面板30包含作業實施畫面230，係指可將作業實施畫面230顯示於觸控面板30。並且，在本說明書中，所謂與預定的中型作業相關之作業實施畫面230，係指操作員操作與預定的中型作業相關之操作按鈕221而顯示之畫面，且為操作員為了執行預定的大型作業而參考之畫面。
與進度確認畫面220同樣地，作業實施畫面230係處理部42參考記憶於程序記憶部47之作業程序資料而生成。如圖5（C）所示，作業實施畫面230將多個操作按鈕231遵循該小型作業程序而排列顯示，所述多個操作按鈕231執行為了實施與該作業實施畫面230相關之中型作業所必須之多個小型作業項目。作業實施畫面230亦一併顯示與頂部選單畫面210所顯示之內容同樣的多個畫面顯示切換按鈕212。
與進度確認畫面220同樣地，作業實施畫面230係被處理部42限制往操作按鈕231之操作，且被設計成順序與小型作業程序不同時不可選擇操作按鈕231。亦即，作業實施畫面230被設計成僅能以遵循小型作業程序之順序選擇操作按鈕231。作業實施畫面230被設計成操作員僅能在前程序之與操作按鈕231相關之小型作業已全部完成之狀態下，選擇該操作按鈕231。
與進度確認畫面220的各操作按鈕221同樣地，作業實施畫面230係在各操作按鈕231上重疊顯示能識別操作員所操作且執行之各小型作業的內容之記載。以下，在本說明書中，將在作業實施畫面230中操作員為了執行預定的小型作業而操作之操作按鈕231，稱作與該小型作業相關之操作按鈕231。操作員可操作與中型作業「替換卡盤台」相關之作業實施畫面230的各操作按鈕231而執行之各小型作業，在第一實施方式中為：停止往卡盤台10供給負壓（關閉卡盤台10的真空）、開始往卡盤台10供給負壓（開啟卡盤台10的真空）、調整朝向卡盤台10之顯微鏡的聚焦、以及測量卡盤台10的旋轉軸等。
處理部42可將作業實施畫面230顯示在觸控面板30，所述作業實施畫面230關於上述操作員可操作各操作按鈕221而執行之全部的中型作業。此外，在中型作業僅有一個必要之小型作業之情形中，亦可省略與該中型作業相關之作業實施畫面230，而採用僅以與該中型作業相關之操作按鈕221進行完結的方式。以下，針對與中型作業「替換卡盤台」相關之作業實施畫面230，說明實施畫面顯示處理之情形，而針對與其他中型作業相關之作業實施畫面230的說明，因和與中型作業「替換卡盤台」相關之作業實施畫面230的情況為同樣，故省略說明。
與中型作業「替換卡盤台」相關之作業實施畫面230係與操作員所操作之被記載為「替換卡盤台」之操作按鈕221連結。同樣地，與各中型作業相關之作業實施畫面230係與操作員為了使該作業實施畫面230顯示而操作之記載有該中型作業之各操作按鈕221連結。
接著，針對在中型作業「替換卡盤台」所必須之小型作業中的七個小型作業，若操作員遵循小型作業程序，依序選擇操作按鈕231，並使與該操作按鈕231對應之小型作業完成，則處理部42會將如圖6（A）所示之作業實施畫面230顯示於觸控面板30（步驟1031）。與進度確認畫面220同樣地，圖6（A）所示之作業實施畫面230係以能識別的方式顯示：與操作員已完成之小型作業相關之七個操作按鈕231、以及與操作員未完成之小型作業相關之一個操作按鈕231。
在第一實施方式中，處理部42係基於與小型作業相關之由預定的檢測器所進行之檢測結果，而自動判定該小型作業的結束並反映至作業實施畫面230，但在本發明中並不限定於此，亦可受理由已進行小型作業的操作員往觸控面板30輸入之結束小型作業的主旨，並反映至作業實施畫面230。
與進度確認畫面220同樣地，在第一實施方式中，圖6（A）所示之作業實施畫面230係重疊在與操作員已完成之小型作業相關之七個操作按鈕231之上，並顯示表示實施完畢之檢查標記233。此外，與進度確認畫面220同樣地，作業實施畫面230在本發明中並不限定於此，也可在下述狀態中顯示：在與操作員已完成之中型作業相關之操作按鈕231之上或周圍，形成有表示實施完畢之任意的標記之狀態，或予以上色之狀態。
然後，針對中型作業「替換卡盤台」所必須之小型作業中的最後一個小型作業，若操作員選擇操作按鈕231，並使與該操作按鈕231對應之小型作業完成，則如圖6（B）所示，處理部42會將在全部的與小型作業相關之操作按鈕231上顯示有檢查標記233之狀態的作業實施畫面230，顯示於觸控面板30（步驟1032）。若實施步驟1032，則如圖6（C）所示，處理部42係在進度確認畫面220之與中型作業「替換卡盤台」相關之操作按鈕221上追加檢查標記223的顯示，並使與中型作業「替換卡盤台」相關之操作按鈕221改變成能識別為實施完畢之狀態（步驟1033）。
如此一來，處理部42係藉由辨識與中型作業相對應之全部的小型作業的結束，而自動判定該中型作業的結束，並反映至進度確認畫面220。
針對任意的大型作業，在操作員未進行對於排列於進度確認畫面220或作業實施畫面230之全部的操作按鈕221、231的作業（中型作業、小型作業）便移動至其他畫面亦即將顯示切換為其他畫面之情形，處理部42將形成於進度確認畫面220或作業實施畫面230之檢查標記223、233等能識別的標記或上色維持原樣。針對任意的大型作業，若操作員使對於排列於進度確認畫面220或作業實施畫面230之全部的操作按鈕221、231的作業（中型作業、小型作業）結束，則處理部42消除形成於進度確認畫面220或作業實施畫面230之檢查標記223、233等能識別的標記或上色。
具有如以上般之構成的第一實施方式之加工裝置1，其觸控面板30具有遵循作業程序（中型作業程序）而排列有多個操作按鈕221之進度確認畫面220，並以能識別的方式，顯示操作員所選擇且結束作業（中型作業）之操作按鈕221、以及操作員未結束作業（中型作業）之操作按鈕221。因此，第一實施方式之加工裝置1能使操作員藉由觀看觸控面板30便直觀且容易地辨識已結束的作業（中型作業）與未結束的作業（中型作業），因此發揮可抑制操作員的作業疏漏及作業順序的錯誤等作用效果。
並且，第一實施方式之加工裝置1，若操作員選擇操作按鈕221，並結束與操作按鈕221相應之作業（中型作業），則在進度確認畫面220中，在與已實施結束的作業（中型作業）相關之操作按鈕221之上或周圍，形成表示實施完畢之檢查標記223等任意的標記，或予以上色。因此，第一實施方式之加工裝置1發揮能使操作員藉由觀看觸控面板30便更直觀且更容易地辨識已結束的作業（中型作業）與未結束的作業（中型作業）等作用效果。
並且，第一實施方式之加工裝置1中，控制單元40包含程序記憶部47，所述程序記憶部47記憶與各進度確認畫面220對應之作業程序（中型作業程序），進度確認畫面220被設計成順序與該作業程序（中型作業程序）不同時不可選擇操作按鈕221。因此，第一實施方式之加工裝置1係藉由在進度確認畫面220設計之選擇限制，而抑制操作員以與作業程序（中型作業程序）不同之順序進行作業（中型作業），因此發揮可更確實地抑制操作員的作業疏漏及作業順序的錯誤等作用效果。
並且，第一實施方式之加工裝置1，其觸控面板30進一步包含作業實施畫面230，所述作業實施畫面230係與進度確認畫面220中操作員所選擇之操作按鈕221連結，且具有遵循更詳細的作業程序（小型作業程序）而排列之操作按鈕231，若操作員結束與顯示於作業實施畫面230之操作按鈕231對應之全部的作業（小型作業），則將進度確認畫面220的操作按鈕221改變成能識別為實施完畢之狀態。因此，第一實施方式之加工裝置1係藉由作業實施畫面230所進行之更詳細的作業層級的管理，而發揮可更確實地抑制操作員的作業疏漏及作業順序的錯誤等作用效果。
並且，第一實施方式之加工裝置1，其觸控面板30在未進行對於排列於進度確認畫面220或作業實施畫面230之全部的操作按鈕221、231的作業（中型作業、小型作業）便移動至其他畫面之情形，使形成於進度確認畫面220或作業實施畫面230之檢查標記223、233等能識別的標記或上色維持原樣，若對於排列於進度確認畫面220或作業實施畫面230之全部的操作按鈕221、231的作業（中型作業、小型作業）結束，則消除形成於進度確認畫面220或作業實施畫面230之檢查標記223、233等能識別的標記或上色。因此，第一實施方式之加工裝置1係藉由管理顯示可否結束作業（中型作業、小型作業）之標記或上色，而發揮可更確實地抑制操作員的作業疏漏及作業順序的錯誤等作用效果。
〔第二實施方式〕 基於圖式，說明本發明的第二實施方式之加工裝置1。圖7係表示第二實施方式之畫面顯示處理的一例之圖。圖7係對於與第一實施方式相同的部分賦予相同符號並省略說明。
第二實施方式之加工裝置1係在第一實施方式之加工裝置1中，顯示圖7所示之進度確認畫面220-2，以取代圖6（C）所示之進度確認畫面220。
如圖7所示，進度確認畫面220-2在與操作員接下來應處理之中型作業「替換清洗台」相關之操作按鈕221之周圍，附上並顯示引起操作員對操作按鈕221的注意之上色224。此外，進度確認畫面220-2在本發明中並不限定於此，也可在下述狀態中顯示：在與操作員接下來應處理之中型作業相關之操作按鈕221之上或周圍，形成有引起操作員對操作按鈕221的注意之任意的標記之狀態，或已予以上色之狀態。並且，在第二實施方式中，與進度確認畫面220-2同樣地，作業實施畫面230也可在下述狀態中顯示：在與操作員接下來應處理之小型作業相關之操作按鈕231之上或周圍，形成有引起操作員對操作按鈕231的注意之任意的標記之狀態，或已予以上色之狀態。
具有如以上般之構成的第二實施方式之加工裝置1，相對於第一實施方式之加工裝置1，進一步在進度確認畫面220-2或作業實施畫面230中，在與操作員接下來應處理之作業（中型作業、小型作業）相關之操作按鈕221、231之上或周圍，形成引起操作員對操作按鈕221、231的注意之任意的標記，或予以上色。因此，第二實施方式之加工裝置1能直觀且容易地辨識操作員接下來應處理之作業（中型作業、小型作業），因此發揮可抑制操作員的作業疏漏及作業順序的錯誤之作用效果。
〔第三實施方式〕 基於圖式，說明本發明的第三實施方式之加工裝置1。圖8係顯示第三實施方式之畫面顯示處理的一例之圖。圖8係對於與第一實施方式及第二實施方式相同的部分賦予相同符號並省略說明。
第三實施方式之加工裝置1係在第一實施方式及第二實施方式之加工裝置1中，進一步顯示圖8所示之進度確認畫面220-3。
若檢測操作員對於被記載為「定期維護」之操作按鈕211之操作，則如圖8所示，處理部42係將與大型作業「定期維護」相關之進度確認畫面220-3顯示於觸控面板30。此外，在第三實施方式中，屬於大型作業「定期維護」之中型作業中並未設定中型作業程序，因此進度確認畫面220-3並未將各操作按鈕221遵循中型作業程序而排列顯示，而未設計由中型作業程序所進行之操作限制，但在設定有中型作業與小型作業之情形，亦可與第一實施方式及第二實施方式同樣地，顯示進度確認畫面及作業實施畫面。操作員可操作與大型作業「定期維護」相關之進度確認畫面220-3的各操作按鈕221而執行之各中型作業，在第三實施方式中為：檢查使切割刀片22旋轉之主軸等的最大輸出、設置主軸等的輸出、調整朝向卡盤台10之顯微鏡的聚焦等。
如圖8所示，進度確認畫面220-3在與操作員的作業未結束之中型作業「○○○」「○△◆」「×□○」相關之三個操作按鈕221之周圍，附上並顯示引起操作員對操作按鈕221的注意之上色225。此外，進度確認畫面220-3在本發明中並不限定於此，也可在下述狀態中顯示：在與操作員的作業未結束之中型作業相關之操作按鈕221之上或周圍，形成有引起操作員對操作按鈕221的注意之任意的標記之狀態，或已予以上色之狀態。並且，針對小型作業亦可進行同樣的顯示。
並且，較佳為，針對屬於大型作業「定期維護」之中型作業，在操作員最後結束中型作業後經過一定期間並到了必須再度作業的時期之情形，例如經過一個月之情形，進度確認畫面220-3消除形成於與該中型作業相關之操作按鈕221之表示實施完畢之檢查標記223等標記或上色，而切換為引起促使實施之注意的上色225等標記或上色的顯示。進度確認畫面220-3藉由如此地切換顯示，而可每隔一定期間，例如每隔一個月，使操作員確實地實施屬於大型作業「定期維護」之中型作業。
具有如以上般之構成的第三實施方式之加工裝置1，相對於第一實施方式及第二實施方式之加工裝置1，進一步在進度確認畫面220-3中，在操作員的作業（中型作業）未結束之操作按鈕221之上或周圍，形成引起操作員對操作按鈕221的注意之任意的標記，或予以上色。因此，第三實施方式之加工裝置1可使操作員直觀且容易地辨識未結束之作業（中型作業），因此發揮可抑制操作員的作業疏漏及作業順序的錯誤等作用效果。
此外，本發明並不限定於上述實施方式、變形例。亦即，在不背離本發明的架構之範圍內，可進行各種變形並實施。
1:加工裝置 30:觸控面板 40:控制單元 47:程序記憶部 211,221,231:操作按鈕 220,220-2,220-3:進度確認畫面 230:作業實施畫面 223,233:檢查標記 224,225:上色
圖1係表示第一實施方式之加工裝置的構成例之立體圖。 圖2係示意性表示第一實施方式之加工裝置的功能構成的一例之圖。 圖3係表示第一實施方式之加工裝置的程序記憶部所記憶之作業程序資料的一例之圖。 圖4（A）、圖4（B）及圖4（C）係表示第一實施方式之畫面顯示處理的一例之圖。 圖5（A）、圖5（B）及圖5（C）係表示第一實施方式之畫面顯示處理的一例之圖。 圖6（A）、圖6（B）及圖6（C）係表示第一實施方式之畫面顯示處理的一例之圖。 圖7係表示第二實施方式之畫面顯示處理的一例之圖。 圖8係表示第三實施方式之畫面顯示處理的一例之圖。
30:觸控面板
221,231:操作按鈕
212:畫面顯示切換按鈕
220:進度確認畫面
222:輸入欄
223:檢查標記
1021,1022,1023:步驟

Claims (7)

  1. 一種加工裝置，其特徵在於，具備： 觸控面板，其受理操作員的操作；以及 控制單元，其藉由操作員選擇顯示於該觸控面板之操作按鈕，而使各機構驅動， 其中，該觸控面板構成為可顯示排列有多個該操作按鈕之進度確認畫面，且以能識別的方式，顯示操作員選擇並完成作業之該操作按鈕、與操作員未完成作業之該操作按鈕。
  2. 如請求項1之加工裝置，其中，若操作員選擇該操作按鈕並完成與該操作按鈕對應之作業，則在已實施之該操作按鈕之上或周圍，形成表示實施完畢之任意的標記或予以上色。
  3. 如請求項1或2之加工裝置，其中，在該進度確認畫面中，在操作員接下來應處理之該操作按鈕之上或周圍，形成任意的標記或予以上色。
  4. 如請求項1或2之加工裝置，其中，在該進度確認畫面中，在操作員的作業未完成之該操作按鈕之上或周圍，形成任意的標記或予以上色。
  5. 如請求項1或2之加工裝置，其中， 該控制單元包含：程序記憶部，其記憶與各進度確認畫面對應之作業程序， 該進度確認畫面被設計成順序與該作業程序不同時不可選擇該操作按鈕。
  6. 如請求項1或2之加工裝置，其中， 該觸控面板被構成為可進一步顯示作業實施畫面，該作業實施畫面係與該進度確認畫面中操作員所選擇之該操作按鈕連結，且具有遵循更詳細的作業程序而排列之該操作按鈕， 若操作員完成與顯示於該作業實施畫面之該操作按鈕對應之全部的作業，則該進度確認畫面的該操作按鈕改變成能識別為實施完畢之狀態。
  7. 如請求項1或2之加工裝置，其中，在未進行與排列於該畫面之全部的該操作按鈕對應之作業而移動至其他畫面之情形，該觸控面板將形成於該畫面之能識別的標記或上色維持原樣，而若完成與排列於該畫面之全部的該操作按鈕對應之全部的作業，則該觸控面板消除能識別的標記及上色。
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