JP2010049466A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】当該加工装置に関して必要とする所望の操作方法やユーザメンテナンス方法を直感的かつ迅速にユーザに理解させることができるようにする。
【解決手段】当該加工装置に搭載されて運転制御に関する各種情報を表示する表示手段１０２に、予め記憶手段に記憶されてタッチパネル１０３（入力手段）により指示された当該加工装置に関する所望の操作方法またはユーザメンテナンス方法を説明するために予め作成された動画を表示させるようにした。
【選択図】 図６

Description

本発明は、表面に複数のデバイスが形成された被加工物を加工する加工装置に関するものである。

ＩＣやＬＳＩ等の電子回路が表面に形成された半導体チップは、各種電気・電子機器を小型化する上で必須のものとなっている。半導体チップは、円盤状の半導体ウエーハの表面に、ストリートと称される切断ラインで格子状の矩形領域を区画し、これら矩形領域に電子回路を形成した後、半導体ウエーハをストリートに沿って分割する工程を経て製造される。

このような一連の製造工程においては、種々の加工装置が使用される。例えば、半導体ウエーハを半導体チップに分割するのに先立ち、電子回路が形成されたデバイス面とは反対側の裏面を研削して所望篤さに薄化するグラインダ等の研削装置や、高速回転する切削ブレードを作用させることで切削加工を行うダイサー等の切削装置や、被加工物にアルミナ、シリカ、ガーネット、ダイヤモンド等の砥粒を混入した高圧の加工水をノズルから噴射して切断するウォータージェット加工装置や、被加工物にレーザ光線を照射して加工を行うレーザ加工装置などがある。

特開２００７−０５８５０１号公報 特開平５−０８０９５８号公報

これらの加工装置は、近年、その機能の拡充とともに各種処理に関する操作方法やユーザメンテナンス方法が複雑化してきている。従来、このような状況下で、これら加工装置を使用するオペレータ等のユーザは、操作方法やユーザメンテナンス方法が分からない場合には、何冊もの厚いマニュアルを読み直して該当する部分を見つけるか、当該加工装置を熟知している熟練者に聞くことで、操作上やユーザメンテナンス上の不明点や問題点を解決するようにしている。

しかしながら、厚いマニュアルを読んで該当する部分を見つけるには膨大な時間が必要となることがある上に、該当する部分を見つけたとしても直感的には理解できず分かりにくいことが多い。また、熟練者に頼る場合、その熟練者がいつも傍に居るとは限らず、問題解決までに多くの時間を費やしてしまうという問題がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、当該加工装置に関して必要とする所望の操作方法やユーザメンテナンス方法を直感的かつ迅速にユーザに理解させることができる加工装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる加工装置は、表面に複数のデバイスが形成された被加工物を加工する加工装置であって、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、運転制御に関する各種情報を表示する表示手段と、当該加工装置の操作方法またはユーザメンテナンス方法を説明するために予め作成された動画の情報を記憶する記憶手段と、前記表示手段に所望の動画を表示させるための指示を入力する入力手段と、該入力手段により入力された指示に従い前記記憶手段に記憶された動画中から所望の動画を選択して前記表示手段に表示させる制御手段と、を備えることを特徴とする。

また、本発明にかかる加工装置は、上記発明において、前記記憶手段は、操作方法に属する動画の情報と、ユーザメンテナンス方法に属する動画の情報とで分類して記憶し、前記制御手段は、前記入力手段により動画を表示させるための指示が入力された場合には、表示すべき所望の動画が操作方法に属するかユーザメンテナンス方法に属するかを該入力手段により選択させるための第１の選択画面を前記表示手段に表示させ、該第１の選択画面の表示において前記入力手段により操作方法に属する旨が選択された場合には、該操作方法に属する全ての動画を示す第１のリストを第２の選択画面として前記入力手段により選択可能に前記表示手段に表示させ、前記第１の選択画面の表示において前記入力手段によりユーザメンテナンス方法に属する旨が選択された場合には、該ユーザメンテナンス方法に属する全ての動画を示す第２のリストを第３の選択画面として前記入力手段により選択可能に前記表示手段に表示させ、前記第２の選択画面に表示された前記第１のリスト、または前記第３の選択画面に表示された前記第２のリスト中から、前記入力手段により選択された所望の動画を前記表示手段に表示させることを特徴とする。

また、本発明にかかる加工装置は、上記発明において、前記制御手段は、前記動画の表示に際して、静止画、グラフィックス、文字または音声の情報を含ませることを特徴とする。

また、本発明にかかる加工装置は、上記発明において、前記表示手段は、表示面に前記入力手段となるタッチパネルを備えることを特徴とする。

本発明にかかる加工装置によれば、当該加工装置に搭載されて運転制御に関する各種情報を表示する表示手段に、予め記憶手段に記憶されて入力手段により指示された当該加工装置に関する所望の操作方法またはユーザメンテナンス方法を説明するために予め作成された動画を表示させるようにしたので、当該加工装置に関して必要とする所望の操作方法やユーザメンテナンス方法をマニュアル等の文字による場合に比して直感的かつ迅速にユーザに理解させることができ、よって、当該加工装置を使用する上で、ユーザは適切に対応することができるという効果を奏する。

以下、本発明の加工装置を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。本実施の形態は、加工装置として切削装置への適用例で説明するが、前述したような研削装置、ウォータージェット装置、レーザ加工装置等の各種加工装置に関しても同様に適用可能である。

図１は、本実施の形態の加工装置の外観構成例を示す概略斜視図である。本実施の形態の加工装置１００は、切削ブレードを用いて被加工物の切削加工を行う切削装置である。本実施の形態の加工装置１００は、後述する加工手段等を内蔵した筐体１０１の正面前面側に表示手段１０２を備える。この表示手段１０２は、ユーザにとって操作しやすく見やすい位置に配置されて、当該加工装置１００の運転制御に関する各種情報を表示するためのものであり、例えば液晶パネルにより構成されている。この表示手段１０２は、その表示面に入力手段としてのタッチパネル１０３を一体に備える。このタッチパネル１０３は、周知の如く、表示面に表示されたボタンや文字部分中の所望の箇所にタッチすることで、入力操作が可能なものである。ここで、この表示手段１０２は、後述する動画の表示にも用いられる。

また、本実施の形態の加工装置１００は、制御手段１０４と記憶手段１０５とを備える。記憶手段１０５は、当該加工装置１００の操作方法またはユーザメンテナンス方法を説明するために予め作成された動画の情報を記憶するメモリである。また、制御手段１０４は、タッチパネル１０３を通じて入力された指示に従い記憶手段１０５に記憶された動画中から所望の動画を選択して表示手段１０２に表示させる処理を実行する。詳細は、後述する。

図２は、筐体１０１に内蔵された加工装置１００の要部を示す斜視図であり、図３は、ブレード付近の構成例を示す縦断側面図であり、図４は、被加工物の構成例を示す斜視図である。加工装置１００は、保持手段１１０、撮像手段１２０および加工手段としての切削手段１３０を備える。切削手段１３０は、図２および図３に示すように、例えばブレード１３１とスピンドル１３２とスピンドルハウジング１３３とモータ等の駆動源１３４とナット１３５と２つのフランジ１３６，１３７とボルト１３８等を備える。ブレード１３１は、リング形状に形成されて被加工物を切削加工するワッシャ状のブレードであり、一対のフランジ１３６，１３７によって両側より挟持された状態でスピンドル１３２上に取付けられる。スピンドル１３２は、駆動源１３４による回転駆動力をブレード１３１に伝達させて高速回転させるための回転軸であり、スピンドルハウジング１３３内にベアリング機構等を介して高速回転可能に支持されている。また、ナット１３５は、ブレード１３１をスピンドル１３２に固定するためにフランジ１３６に締結されるフランジナットである。

ここで、図３を参照して、切削手段１３０において、ブレード１３１をスピンドル１３２に装着する態様について説明する。まず、スピンドル１３２は、フランジ１３６を取付けるための小径の先端部１３２ａを有し、この先端部１３２ａにはボルト１３８が螺合する雌ねじ部１３２ｂが形成されている。また、フランジ１３６には、ナット１３５の雌ねじ部１３５ａと螺合するフランジ雄ねじ部１３６ａが形成されている。また、フランジ１３６には、スピンドル１３２の先端部１３２ａを途中まで挿通させる中心孔１３６ｂが形成されている。

そこで、ブレード１３１をスピンドル１３２に装着する際には、フランジ１３６の中心孔１３６ｂにスピンドル１３２の先端部１３２ａを挿通させる。この後、ボルト１３８の雄ねじ部１３８ａをスピンドル１３２の雌ねじ部１３２ｂに螺合させて締め付けることによって、フランジ１３６をスピンドル１３２から抜け止めされた状態とする。なお、ボルト１３８の軸心には、六角レンチ等が嵌合する例えば六角形状の係合穴１３８ｂが形成されている。

ついで、ブレード１３１およびフランジ１３７をフランジ１３６に嵌合させ、ブレード１３１を一対のフランジ１３６，１３７によって挟持させる。さらに、ナット１３５の雌ねじ部１３５ａをフランジ１３６のフランジ雄ねじ部１３６ａに螺合させて締め付けることで、ブレード１３１はフランジ１３６，１３７の外周面寄りの端面１３６ｃ，１３７ａによって挟持固定される。なお、ナット１３５の表面には、ナット締結具が嵌合する複数の係合穴１３５ｂが形成されている。

また、撮像手段１２０は、図２に示すように、ハウジング１３１の側部に設けられたもので、保持手段１１０に保持された被加工物の表面を撮像するＣＣＤカメラ等を搭載した顕微鏡である。また、被加工物を負圧によって吸着保持する保持手段１１０は、図２に示すように、駆動源１４０に連結されて回転可能とされている。駆動源１４０は、移動基台１４１に固定されている。また、加工装置１００は、切削加工動作に必要な送り動作を行うための加工送り手段１４２、切り込み送り手段１４３および割り出し送り手段１４４を備える。これら加工送り手段１４２、切り込み送り手段１４３および割り出し送り手段１４４は、例えばボールねじとこのボールねじを回転させるパルスモータとを備え、それぞれ所望の方向に移動対象となる保持手段１１０や切削手段１３０を移動させる周知構造のものであり、詳細説明は省略する。

また、被加工物Ｗは、図４に示すように、環状のフレームＦに装着された粘着テープＴの表面に貼着されている。また、被加工物Ｗは、図４に示すように、表面Ｗａに格子状に形成された複数の分割予定ラインＳによって複数の矩形領域が区画され、この区画された矩形領域にＩＣ，ＬＳＩ等の半導体チップ構成のデバイスＤが形成されている。このように構成された被加工物Ｗは、環状のフレームＦに装着された粘着テープＴに表面Ｗａを上側にして裏面が貼着される。

ここで、記憶手段１０５は、必要に応じて表示手段１０２に表示され得る動画の情報を、当該加工装置１００の処理に関する操作方法を説明するために予め作成された操作方法のジャンルに属する動画の情報と、当該加工装置１００に関するユーザメンテナンス方法を説明するために予め作成されたユーザメンテナンス方法のジャンルに属する動画の情報とに分類して記憶している。また、操作方法に属する動画は、例えば、「オートアライメント」「マニュアルアライメント」「セットアップ」「ドレス作業」の各項目に分類されている。一方、ユーザメンテナンス方法に属する動画は、例えば、「フランジ／マウントの端面修正方法」「フレームサイズの変更方法」「チャックテーブルの交換方法」「デバイスデータのメンテナンス」「ユーザ設定データメンテナンス」の各項目に分類されている。さらに、項目毎に分類された動画は、それぞれの項目毎の内容に応じて、さらに所定の作業単位毎に細分類されて記憶手段１０５に記憶され、動画の再生表示において、作業単位での進み・戻りが可能とされている。

このように構成された加工装置１００において、制御手段１０４による制御の下に実行される動画の表示制御例について説明する。まず、図５は、表示手段１０２においてタッチパネル１０３に表示されるトップメニューの表示画面例を示す正面図である。この表示画面例において、メインエリア１５０には、「フルオートメーション」「マニュアルオペレーション」「デバイスデータ」「ブレードメンテナンス」「オペレータメンテナンス」「マシンメンテナンス」「エンジニアリングメンテナンス」「ヘルプガイダンス表示」の各モードの作業項目が選択操作可能に表示され、その下部のソフトウエアキーボードエリア１５１には、「ブレードセットアップ」「デバイスデータ」等の項目キーが選択操作可能に表示される。

このような表示画面例において、「ヘルプガイダンス表示」のボタン画像１５２が押下されることにより、本実施の形態の特徴とする動画表示に移行させる。図６は、動画表示に至る操作等の概要を示す説明図である。まず、図６（ａ）に示すように、タッチパネル１０３上にて「ヘルプガイダンス表示」のボタン画像１５２が押下されることにより、ユーザにより動画の表示が指示されると、制御手段１０４は、タッチパネル１０３上のメインエリア１５０部分に、図６（ｂ）に示すように、第１の選択画面１６０を表示させる。この第１の選択画面１６０は、表示すべき所望の動画が操作方法に属するかユーザメンテナンス方法に属するかをユーザに選択操作させるための画面であり、ユーザメンテナンス方法を指示するための「メンテナンス」のボタン画像１６１と、操作方法を指示するための「操作」のボタン１６２とが選択自在に表示される。

ここで、タッチパネル１０３上の「操作」のボタン画像１６２が押下されることにより、ユーザにより操作方法の属する動画表示が指示されると、制御手段１０４は、タッチパネル１０３のメインエリア１５０部分に、図６（ｃ）に示すように、第２の選択画面１７０を表示させる。この第２の選択画面１７０は、所望の操作方法に関する動画を選択させるために操作方法に属する全ての動画を示す第１のリスト１７１を選択自在に表示させるものである。第１のリスト１７１には、「オートアライメント」「マニュアルアライメント」「セットアップ」「ブレード交換作業」の各項目ボタン１７２が含まれている。

一方、タッチパネル１０３上の「メンテナンス」のボタン画像１６１が押下されることにより、ユーザによりユーザメンテナンス方法の属する動画表示が指示されると、制御手段１０４は、タッチパネル１０３のメインエリア１５０部分に、図６（ｄ）に示すように、第３の選択画面１８０を表示させる。この第３の選択画面１８０は、所望のユーザメンテナンス方法に関する動画を選択させるためにユーザメンテナンス方法に属する全ての動画を示す第２のリスト１８１を選択自在に表示させるものである。第２のリスト１８１には、「フランジ／マウントの端面修正方法」「フレームサイズの変更方法」「チャックテーブルの交換方法」「デバイスデータのメンテナンス」「ユーザ設定データメンテナンス」の各項目ボタン１８２が含まれている。

ここで、例えば図６（ｃ）の第２の選択画面１７０において、タッチパネル１０３上の「ブレード交換作業」で示すボタン画像１７２が押下されることにより、ユーザにより操作方法中の「ブレード交換作業」の動画表示が指示されると、制御手段１０４は、記憶手段１０５中から対応する動画の情報を読み出すことで、タッチパネル１０３のメインエリア１５０部分に「ブレード交換作業」の動画を再生表示させる。図６（ｅ）は、この「ブレード交換作業」中の動画表示画面１９０の一例を示す図である。なお、この動画表示画面１９０中においては、「次へ」ボタン１９１や「戻り」ボタン１９２もユーザ操作可能に表示される。

一方、例えば図６（ｄ）の第３の選択画面１８０において、タッチパネル１０３上の「フランジ／マウントの端面修正方法」で示すボタン画像１８２が押下されることにより、ユーザにより操作方法中の「フランジ／マウントの端面修正方法」の動画表示が指示されると、制御手段１０４は、記憶手段１０５中から対応する動画の情報を読み出すことで、タッチパネル１０３のメインエリア１５０部分に「フランジ／マウントの端面修正方法」の動画を再生表示させる。図６（ｆ）は、この「フランジ／マウントの端面修正方法」中の動画表示画面１９０の一例を示す図である。

ここで、例えば、図６（ｅ）に対応するブレード交換手順に関する動画の表示例について、さらに説明する。切削手段１３０においては、被加工物Ｗに対して所望の切削加工を施すために切削条件に適合するブレード１３１を用いる必要があり、また、ブレード１３１に損傷が生じた場合にも交換を必要とする。ブレード交換手順に関する動画は、このような場合の手順を説明するためのものである。本実施の形態では、このようなブレード交換手順に関する動画は、例えば、「フランジの掃除」「ブレードの装着」「ナットの締め付け」の作業単位毎に細分類されて記憶手段１０５に記憶され、動画の再生表示において、作業単位での進み・戻りが可能とされている。

まず、「フランジの掃除」は、フランジ１３６のブレード保持面となる端面１３６ｃに付着しているごみを取り除く作業工程である。図７は、フランジ１３６の掃除中の動画表示の一画面例を示す正面図である。つづいて、「ブレードの装着」は、ブレード１３１をフランジ１３６の端面１３６ｃに装着する作業工程である。図８は、ブレード１３１の装着中の動画表示の一画面例を示す正面図である。さらに、「ナットの締め付け」は、ナット１３５をフランジ１３６に取り付け、その上から締め付け治具をかぶせて専用のレンチで締め付ける作業工程である。図９は、ナット１３５の締め付け中の動画表示の一画面例を示す正面図である。他の操作方法に関する動画表示についても、同様である。

このように、表示手段１０２に、予め記憶手段１０５に記憶されてタッチパネル１０３により指示された当該加工装置１００に関する所望の操作方法を説明するために予め作成された動画を表示させるので、当該加工装置１００に関して必要とする所望の操作方法をマニュアル等の文字による場合に比して直感的かつ迅速にユーザに理解させることができる。よって、当該加工装置１００を使用する上で、ユーザは適切に対応することができる。

ここで、例えば図７に示すようなフランジ１３６の掃除に関する動画の表示中に、「次へ」ボタン１９１が押下されると、制御手段１０４は、フランジ１３６の掃除に関する動画表示から、図８に示すようなブレード１３１の装着に関する動画表示に移行させる。逆に、図８に示すようなブレード１３１の装着に関する動画の表示中に、「戻る」ボタン１９２が押下されると、制御手段１０４は、ブレード１３１の装着に関する動画表示から、図７に示すようなフランジ１３６の掃除に関する動画表示に移行させる。同様に、例えば図８に示すようなブレード１３１の装着に関する動画の表示中に、「次へ」ボタン１９１が押下されると、制御手段１０４は、ブレード１３１の装着に関する動画表示から、図９に示すようなナット１３５の締め付けに関する動画表示に移行させる。すなわち、このようなブレード交換手順に関する動画は、例えば、「フランジの掃除」「ブレードの装着」「ナットの締め付け」の作業単位毎に細分類されて記憶手段１０５に記憶され、動画の再生表示において、作業単位での進み・戻りが可能とされているので、ユーザとしては、分かっている場面の動画に関しては、その表示をスキップさせることで、必ずしも動画を最初から最後まで見ることなく、所望の動画画面の表示に迅速に移行させることができる。また、再度見たい動画に戻ることも簡単である。

また、例えば、図６（ｆ）に対応するフランジ端面修正手順に関する動画の表示例について、さらに説明する。切削手段１３０において、ブレード１３１は、２つのフランジ１３６，１３７に挟持された状態でスピンドル１３２の先端にナット１３５によって固定されている。このように、ブレード１３１は、フランジ１３６，１３７に接触した状態で固定されるため、フランジ１３６のブレード１３１に接触する端面１３６ｃとスピンドル１３２の回転中心線とのなす角度が９０度でないと、スピンドル１３２の回転時にフランジ１３６が端面ブレを生じてしまい、精密な加工ができなくなってしまう。このような場合には、例えば特許第３４７２３９０号公報に示されるようなフランジ端面修正治具を用いてフランジ１３６の端面１３６ｃを修正する必要がある。

フランジ端面修正手順に関する動画は、このような場合の手順を説明するためのものである。本実施の形態では、このようなフランジ端面修正手順に関する動画は、例えば、「チャックテーブルの交換」「端面修正治具のセット」「端面修正の実行」の作業単位毎に細分類されて記憶手段１０５に記憶され、動画の再生表示において、作業単位での進み・戻りが可能とされている。

まず、「チャックテーブルの交換」は、保持手段１１１をチャックテーブル端面修正治具を吸着して保持できるチャックテーブルに交換する作業工程である。図１０は、チャックテーブル交換中の動画表示の一画面例を示す正面図である。つづいて、「端面修正治具のセット」は、交換装着されたチャックテーブルに端面修正治具を保持させ、端面修正治具のチップが対象となるフランジ１３６の端面１３６ｃに接触するように調整してセットする作業工程である。図１１は、端面修正治具の調整中の動画表示の一画面例を示す正面図である。さらに、「端面修正の実行」は、フランジ１３６を回転させ、一定量、端面修正治具側に送りながら、往復移動させて、フランジ１３６の端面１３６ｃを削り平坦にする作業工程である。図１２は、端面修正の実行中の動画表示の一画面例を示す正面図である。他のユーザメンテナンス方法に関する動画表示についても、同様である。

このように、表示手段１０２に、予め記憶手段１０５に記憶されてタッチパネル１０３により指示された当該加工装置１００に関する所望のユーザメンテナンス方法を説明するために予め作成された動画を表示させるので、当該加工装置１００に関して必要とする所望のユーザメンテナンス方法をマニュアル等の文字による場合に比して直感的かつ迅速にユーザに理解させることができる。よって、当該加工装置１００を使用する上で、ユーザは適切に対応することができる。

ここで、例えば図１０に示すようなチャックテーブルの交換に関する動画の表示中に、「次へ」ボタン１９１が押下されると、制御手段１０４は、チャックテーブルの交換に関する動画表示から、図１１に示すような端面修正治具のセットに関する動画表示に移行させる。逆に、図１１に示すような端面修正治具のセットに関する動画の表示中に、「戻る」ボタン１９２が押下されると、制御手段１０４は、端面修正治具のセットに関する動画表示から、図１０に示すようなチャックテーブルの交換に関する動画表示に移行させる。同様に、例えば図１１に示すような端面修正治具のセットに関する動画の表示中に、「次へ」ボタン１９１が押下されると、制御手段１０４は、端面修正治具のセットに関する動画表示から、図１２に示すような端面修正の実行に関する動画表示に移行させる。すなわち、このようなフランジ端面修正手順に関する動画は、例えば、「チャックテーブルの交換」「端面修正治具のセット」「端面修正の実行」の作業単位毎に細分類されて記憶手段１０５に記憶され、動画の再生表示において、作業単位での進み・戻りが可能とされているので、ユーザとしては、分かっている場面の動画に関しては、その表示をスキップさせることで、必ずしも動画を最初から最後まで見ることなく、所望の動画画面の表示に迅速に移行させることができる。また、再度見たい動画に戻ることも簡単である。

本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、動画の表示に際しては、動画のみならず、動画を一時的に静止させた静止画や、注視事項・注視部分等を強調するためのグラフィックスや文字、あるいは、動画に対応する音声の情報を含ませることで、一層分かりやすくなるようにしてもよい。例えば、動画中に重ねて表示させた図１２中の両方向矢印は、往復移動方向を示すグラフィックスの一例を示している。

また、本実施の形態では、表示手段１０２の表示面に一体に配置されたタッチパネル１０３を入力手段としたが、入力手段は、表示手段１０２とは別個に設けられていてもよい。

本発明の実施の形態の加工装置の外観構成例を示す概略斜視図である。 筐体に内蔵された加工装置の要部を示す斜視図である。 ブレード付近の構成例を示す縦断側面図である。 被加工物の構成例を示す斜視図である。 表示手段においてタッチパネルに表示されるトップメニューの表示画面例を示す正面図である。 動画表示に至る操作等の概要を示す説明図である。 フランジの掃除中の動画表示の一画面例を示す正面図である。 ブレードの装着中の動画表示の一画面例を示す正面図である。 ナットの締め付け中の動画表示の一画面例を示す正面図である。 チャックテーブル交換中の動画表示の一画面例を示す正面図である。 端面修正治具の調整中の動画表示の一画面例を示す正面図である。 端面修正の実行中の動画表示の一画面例を示す正面図である。

符号の説明

１００ 加工装置
１０２ 表示手段
１０３ タッチパネル
１０４ 制御手段
１０５ 記憶手段
１１０ 保持手段
１３０ 切削手段
１６０ 第１の選択画面
１７０ 第２の選択画面
１７１ 第１のリスト
１８０ 第３の選択画面
１８１ 第２のリスト
Ｄ デバイス
Ｗ 被加工物

Claims (4)

1. 表面に複数のデバイスが形成された被加工物を加工する加工装置であって、
   被加工物を保持する保持手段と、
   該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、
   運転制御に関する各種情報を表示する表示手段と、
   当該加工装置の操作方法またはユーザメンテナンス方法を説明するために予め作成された動画の情報を記憶する記憶手段と、
   前記表示手段に所望の動画を表示させるための指示を入力する入力手段と、
   該入力手段により入力された指示に従い前記記憶手段に記憶された動画中から所望の動画を選択して前記表示手段に表示させる制御手段と、
   を備えることを特徴とする加工装置。
2. 前記記憶手段は、操作方法に属する動画の情報と、ユーザメンテナンス方法に属する動画の情報とで分類して記憶し、
   前記制御手段は、
   前記入力手段により動画を表示させるための指示が入力された場合には、表示すべき所望の動画が操作方法に属するかユーザメンテナンス方法に属するかを該入力手段により選択させるための第１の選択画面を前記表示手段に表示させ、
   該第１の選択画面の表示において前記入力手段により操作方法に属する旨が選択された場合には、該操作方法に属する全ての動画を示す第１のリストを第２の選択画面として前記入力手段により選択可能に前記表示手段に表示させ、
   前記第１の選択画面の表示において前記入力手段によりユーザメンテナンス方法に属する旨が選択された場合には、該ユーザメンテナンス方法に属する全ての動画を示す第２のリストを第３の選択画面として前記入力手段により選択可能に前記表示手段に表示させ、
   前記第２の選択画面に表示された前記第１のリスト、または前記第３の選択画面に表示された前記第２のリスト中から、前記入力手段により選択された所望の動画を前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
3. 前記制御手段は、前記動画の表示に際して、静止画、グラフィックス、文字または音声の情報を含ませることを特徴とする請求項１または２に記載の加工装置。
4. 前記表示手段は、表示面に前記入力手段となるタッチパネルを備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の加工装置。

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