JP2013129024A - 被加工物の分割方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サブストレートS上にワックスHで貼着された被加工物Wを切削ブレードによって切削することで、四角柱のチップに分割する被加工物Wの分割方法であって、第1の方向に平行に複数回切削することで、被加工物Wをチップの幅を有する短冊状片Wsに分割する第1切削工程と、第1切削工程後に、ワックスHを溶融した状態で、短冊状片Wsを移動させることで、隣接する短冊状片Wsを当接させてすべての短冊状片Wsを隙間なく幅寄せする短冊状片幅寄せ工程と、短冊状片幅寄せ工程後に、第1の方向と直交する第2の方向に平行に複数回切削することで、被加工物Wを四角柱のチップに分割する第2切削工程とを含む。
【選択図】図6
Description
図1は、被加工物の構成例を示す図である。図2は、切削装置の構成例を示す図である。本実施形態に係る被加工物の分割方法は、切削ブレード121を有する切削装置100により被加工物Wを第1の方向に平行に複数回切削する切削加工を行う第1切削工程と、隣接する短冊状片を当接させてすべての短冊状片を隙間なく幅寄せする短冊状片幅寄せ工程と、切削装置100により短冊状片が幅寄せされた被加工物Wを第2の方向に平行に複数回切削する切削加工を行う第2切削工程とを含んでいる。
110 チャックテーブル
120 加工手段
121 切削ブレード
130 Y軸移動手段
140 Z軸移動手段
150 制御装置
C チップ
D1 第1切削溝
Ds1 ストレート側切削溝
Dw1 被加工物側切削溝
D2 第2切削溝
F フレーム
H ワックス
S サブストレート
T ダイシングテープ
W 被加工物
Ws 短冊状片
Claims (1)
- サブストレート上にワックスで貼着された被加工物を切削ブレードによって切削することで、四角柱のチップに分割する被加工物の分割方法であって、
第1の方向に平行に複数回切削することで、前記被加工物を前記チップの幅を有する短冊状片に分割する第1切削工程と、
前記第1切削工程後に、前記ワックスを溶融した状態で、前記短冊状片を移動させることで、隣接する前記短冊状片を当接させてすべての前記短冊状片を隙間なく幅寄せする短冊状片幅寄せ工程と、
前記短冊状片幅寄せ工程後に、前記第1の方向と直交する第2の方向に平行に複数回切削することで、前記被加工物を前記四角柱のチップに分割する第2切削工程と、
を含むことを特徴とする被加工物の分割方法。
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