JP2017028157A - チャックテーブルの製造方法及び加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1a 第1面(保持面)
1b 第2面
1c 保持領域
1d 第1負圧伝達領域(負圧伝達領域)
1e 第2負圧伝達領域(負圧伝達領域)
3 被覆部材
5 保護部材
7 第1逃げ溝(逃げ溝)
9 樹脂
11 第2逃げ溝(逃げ溝)
13 樹脂
15 逆止弁(負圧維持部材)
17 筐体
19 栓
21 ばね
23 チャックテーブル
25 チャックテーブル
27 基台
31 被加工物
33 分割予定ライン(ストリート)
35 デバイス
2 切削装置
4 保持テーブル
4a 保持面
6 切削ユニット
8 スピンドル
10 切削ブレード
12 研削装置
14 保持テーブル
14a 保持面
16 研削ユニット
18 スピンドルハウジング
20 スピンドル
22 ホイールマウント
24 研削ホイール
26 ホイール基台
28 研削砥石
32 切削装置
34 保持テーブル
34a 保持面
36 切削ユニット
38 スピンドル
40 切削ブレード
42 切削装置(加工装置)
44 基台
44a 開口
46 X軸移動テーブル
48 防塵防滴カバー
50 支持基台
52 切削ユニット(加工手段)
54 支持構造
56 切削ユニット移動機構
58 Y軸ガイドレール
60 Y軸移動プレート
62 Y軸ボールネジ
64 Z軸ガイドレール
66 Z軸移動プレート
68 Z軸ボールネジ
70 Z軸パルスモータ
72 切削ブレード
74 カメラ
76 搬送ユニット(搬送手段)
78 吸引経路
80 バルブ
82 吸引源
84 吸引経路
86 バルブ
88 吸引源
90 吸着パッド
Claims (3)
- 分割予定ラインによって複数の領域に区画された板状の被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置で用いられるチャックテーブルの製造方法であって、
該保持面を有する板状の多孔質材の該保持面を被覆部材で覆うカバーステップと、
該カバーステップを実施した後、被加工物の該分割予定ラインに対応する第1逃げ溝を該保持面に形成する第1逃げ溝形成ステップと、
該第1逃げ溝形成ステップを実施した後、該第1逃げ溝に樹脂を供給して硬化させる第1逃げ溝封止ステップと、
該第1逃げ溝封止ステップを実施した後、該第1逃げ溝より浅くて幅の狭い第2逃げ溝を該第1逃げ溝に沿って該樹脂に形成する第2逃げ溝形成ステップと、
該保持面の被加工物に対応する保持領域と、吸引源に接続され該保持面の該保持領域に負圧を伝える負圧伝達領域と、を除く該多孔質材の表面を封止する表面封止ステップと、
該被覆部材を該保持面から剥離する剥離ステップと、を備えることを特徴とするチャックテーブルの製造方法。 - 該加工手段は、被加工物を切削する切削ブレードを含み、
該第2逃げ溝形成ステップでは、該切削ブレードの厚さより幅の広い該第2逃げ溝を形成することを特徴とする請求項1に記載のチャックテーブルの製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載のチャックテーブルの製造方法で製造されるチャックテーブルを用いる加工装置であって、
該チャックテーブルを支持する支持基台と、
該チャックテーブルを搬送する搬送手段と、を更に備え、
該負圧伝達領域は、
該支持基台と対面する位置に設けられ該支持基台の吸引経路に接続される第1負圧伝達領域と、
該搬送手段と接触する位置に設けられ該搬送手段の吸引経路に接続される第2負圧伝達領域と、を含み、
該第1負圧伝達領域及び該第2負圧伝達領域には、逆止弁からなる負圧維持部材がそれぞれ設けられており、
該搬送手段は、該第2負圧伝達領域を介して該保持領域に負圧を作用させることで、該チャックテーブルと共に被加工物を搬送できるように構成されていることを特徴とする加工装置。
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