KR20230073989A - 가공 장치 - Google Patents

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KR20230073989A
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히로나리 오쿠보
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 정밀도가 높은 정보 공유가 가능한 가공 장치를 제공하는 것이다.
(해결 수단) 가공 장치(1)는, 피가공물(200)을 유지하는 유지 테이블(10)과, 유지 테이블(10)에 유지된 피가공물(200)에 가공을 실시하는 가공 유닛(20)과, 각종 정보를 표시하는 표시 유닛(110)과, 제어 유닛(100)을 구비하고, 제어 유닛(100)은, 촬상 장치(70)가 촬상하여 취득한 동영상을 입력하는 동영상 입력부(101)와, 동영상 입력부(101)에 입력한 동영상을 기억하는 동영상 기억부(102)와, 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상을 재생하는 동영상 재생부(103)를 포함하고, 동영상 입력부(101)는, 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상을 표시 유닛(110)에 표시시키고, 동영상 재생부(103)는, 재생하는 동영상을 표시 유닛(110)에 표시시킨다.

Description

가공 장치{PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 가공 장치에 관한 것이다.
IC(integrated circuit), LSI(Large Scale Integration) 등의 복수의 디바이스가 형성된 반도체 웨이퍼는, 연삭 장치에 의해 이면이 연삭되어 소정의 두께로 형성된 후, 다이싱 장치, 레이저 가공 장치 등의 가공 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 각 디바이스 칩은 휴대 전화나 퍼스널 컴퓨터 등의 전기 기기에 이용된다.
이러한 일련의 반도체 제조 프로세스에 이용되는 가공 장치는, 최근, 그 기능의 확충과 함께, 각종 처리에 관한 조작 방법이나 메인터넌스 방법, 트러블 대처 방법이 복잡화되고 있다.
종래, 이러한 상황하에서, 이들 가공 장치를 사용하는 오퍼레이터 등의 유저는, 메인터넌스 방법이나 트러블 대처 방법 등을 모르는 경우에는, 몇 권의 두꺼운 매뉴얼을 다시 읽어 해당하는 부분을 찾아내거나, 당해 가공 장치를 숙지하고 있는 숙련자에게 질문함으로써, 불명확한 점이나 문제점을 해결하도록 하고 있었다. 그러나, 두꺼운 매뉴얼을 읽어서 해당하는 부분을 찾아내기에는 방대한 시간이 필요해지는 경우가 있고, 해당하는 부분을 찾아냈다고 해도 직감적으로는 이해할 수 없어 이해하기 어려운 경우가 많다. 또한, 숙련자에 의지하는 경우, 그 숙련자가 항상 곁에 있다고는 할 수 없어, 문제 해결까지 많은 시간을 소비해 버린다는 문제가 있다.
상술한 문제를 해결하기 위해서, 가공 장치에 미리 작성된 메인터넌스 방법을 기억시켜 표시시킬 수 있는 기술(예를 들어, 특허문헌 1 참조)이나, 가공 장치에 임의의 기록을 하거나, 음성을 기억하여 재생시킴으로써 다른 오퍼레이터에게 메모를 남길 수 있는 기술(예를 들어, 특허문헌 2 및 특허문헌 3 참조) 등이 고안되어 있다.
특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2010-49466호 특허문헌 2: 일본 공개특허공보 2014-231123호 특허문헌 3: 일본 공개특허공보 2020-183001호
그런데, 가공 장치에 새로운 기능을 추가한 경우 등에는, 메인터넌스 방법이나 트러블 대처 방법은 기억되어 있지 않기 때문에, 그때마다 강습 등을 행하여 오퍼레이터가 습득할 필요가 있었다. 또한, 기록이나 음성에 의한 정보 공유에서는 장치의 미세한 동작 등을 전달하는 것이 어려운 경우도 있었다.
본원 발명은 상기 사실을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 정밀도가 높은 정보 공유가 가능한 가공 장치를 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 가공 장치는, 피가공물을 가공하는 가공 장치로서, 상기 피가공물을 유지하는 유지 테이블과, 상기 유지 테이블에 유지된 피가공물에 가공을 실시하는 가공 유닛과, 각종의 정보를 표시하는 표시 유닛과, 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛을 구비하고, 상기 제어 유닛은, 촬상 장치가 촬상하여 취득한 동영상을 입력하는 동영상 입력부와, 상기 동영상 입력부에 입력한 동영상을 기억하는 동영상 기억부와, 상기 동영상 기억부에 기억된 동영상을 재생하는 동영상 재생부를 포함하고, 상기 동영상 입력부는, 상기 촬상 장치로부터 입력한 동영상을 상기 표시 유닛에 표시시키고, 상기 동영상 재생부는, 재생하는 동영상을 상기 표시 유닛에 표시시키는 것을 특징으로 한다.
상기 가공 장치에 있어서, 상기 제어 유닛은, 상기 동영상 기억부에 기억된 동영상을 편집 가능하게 하는 동영상 편집부를 포함해도 좋다.
본 발명은, 정밀도가 높은 정보 공유가 가능해진다는 효과를 발휘한다.
도 1은, 실시 형태 1에 관련된 가공 장치의 구성예를 도시하는 사시도이다.
도 2는, 도 1에 도시되는 가공 장치의 표시 유닛에 표시되는 톱 메뉴의 표시 화면예를 도시하는 도면이다.
도 3은, 도 2에 도시되는 톱 메뉴의 "동영상 데이터"의 버튼 화상이 눌러졌을 때에 표시 유닛에 표시되는 동영상의 선택 화면의 표시 화면예를 도시하는 도면이다.
도 4는, 도 3에 도시되는 동영상의 선택 화면의 "녹화"의 버튼 화상이 눌러졌을 때에 표시 유닛에 표시되는 동영상 등을 도시하는 도면이다.
도 5는, 도 3에 도시되는 동영상의 선택 화면의 "재생" 및 "편집"의 버튼 화상이 눌러졌을 때에 표시 유닛에 표시되는 동영상 데이터의 선택 화면을 도시하는 도면이다.
도 6은, 도 3에 도시되는 동영상의 선택 화상의 "재생"의 버튼 화상이 눌러지고, 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면의 동영상명이 "플랜지 청소"의 버튼 화상이 눌러졌을 때에 표시 유닛에 표시되는 표시 화면을 도시하는 도면이다.
도 7은, 도 3에 도시되는 동영상의 선택 화상의 "편집"의 버튼 화상이 눌러지고, 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면의 동영상명이 "플랜지 청소"의 버튼 화상이 눌러졌을 때에 표시 유닛에 표시되는 표시 화면을 도시하는 도면이다.
본 발명을 실시하기 위한 형태(실시 형태)에 대하여, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시 형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 다양한 생략, 치환 또는 변경을 행할 수 있다.
<실시 형태 1>
본 발명의 실시 형태 1에 관련된 가공 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은, 실시 형태 1에 따른 가공 장치의 구성예를 도시하는 사시도이다.
(피가공물)
실시 형태 1과 관련되는 도 1에 도시하는 가공 장치(1)는, 피가공물(200)을 절삭 가공하는 절삭 장치이다. 도 1에 도시하는 가공 장치(1)의 가공 대상인 피가공물(200)은, 실리콘, 사파이어, 갈륨 등을 기판(201)으로 하는 원판 형상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼 등의 웨이퍼이다. 피가공물(200)은, 표면(202)에 서로 교차하는 분할 예정 라인(203)이 복수 설정되고, 분할 예정 라인(203)에 의해 구획된 영역에 디바이스(204)가 형성되어 있다. 디바이스(204)는, 예를 들면, IC(Integrated Circuit), 또는 LSI(Large Scale Integration) 등의 집적 회로, CCD(Charge Coupled Device), 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 등의 이미지 센서, 또는 메모리(반도체 기억 장치)이다.
실시 형태 1에 있어서, 피가공물(200)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 피가공물(200)의 외직경보다 대직경인 원판 형상이고 또한 외측 가장자리부에 환형 프레임(210)이 부착된 점착 테이프(209)가 표면(202)의 이면 측의 이면(206)에 부착되어, 환형 프레임(210)의 개구 내에 지지된다. 피가공물(200)은, 분할 예정 라인(203)이 절삭 가공되어, 개개의 디바이스(204)로 분할된다.
(가공 장치)
도 1에 도시되는 가공 장치(1)는, 피가공물(200)을 유지 테이블(10)로 유지하고 분할 예정 라인(203)을 따라 절삭 블레이드(21)로 절삭 가공(가공에 상당)하여, 피가공물(200)을 개개의 디바이스(204)로 분할하는 절삭 장치이다.
가공 장치(1)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 피가공물(200)을 유지면(11)으로 흡인 유지하는 유지 테이블(10)과, 유지 테이블(10)에 유지된 피가공물(200)을 절삭 가공하는 가공 유닛인 절삭 유닛(20)과, 유지 테이블(10)에 유지된 피가공물(200)을 촬영하는 촬상 유닛(30)과, 제어 유닛(100)을 구비한다. 가공 장치(1)는, 도 1에 도시되는 바와 같이, 절삭 유닛(20)을 2개 구비한, 즉, 2 스핀들의 다이서, 소위 페이싱 듀얼 타입의 절삭 장치이다.
또한, 가공 장치(1)는, 유지 테이블(10)과 절삭 유닛(20)을 상대적으로 이동시키는 이동 유닛(40)을 구비한다. 이동 유닛(40)은, 유지 테이블(10)을 수평 방향과 평행한 X축 방향으로 가공 이송하는 가공 이송 유닛(41)과, 절삭 유닛(20)을 수평 방향과 평행하고 또한 X축 방향과 직교하는 Y축 방향으로 인덱싱 이송하는 인덱싱 이송 유닛(42)과, 절삭 유닛(20)을 X축 방향과 Y축 방향의 양쪽과 직교하는 연직 방향에 평행한 Z축 방향으로 절입 이송하는 절입 이송 유닛(43)과, 유지 테이블(10)을 Z축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전하는 회전 이동 유닛(44)을 적어도 구비한다. 즉, 이동 유닛(40)은, 유지 테이블(10)과 절삭 유닛(20)을 X축 방향과 Y축 방향과 Z축 방향과 축심 둘레로 상대적으로 이동시킨다.
가공 이송 유닛(41)은, 유지 테이블(10) 및 회전 이동 유닛(44)을 가공 이송 방향인 X축 방향으로 이동시킴으로써, 절삭 유닛(20)과 유지 테이블(10)을 상대적으로 X축 방향을 따라 이동시키는 것이다. 인덱싱 이송 유닛(42)은, 절삭 유닛(20)을 인덱싱 이송 방향인 Y축 방향으로 이동시킴으로써, 절삭 유닛(20)과 유지 테이블(10)을 상대적으로 Y축 방향을 따라 이동시키는 것이다. 절입 이송 유닛(43)은, 절삭 유닛(20)을 절입 이송 방향인 Z축 방향으로 이동시킴으로써, 절삭 유닛(20)과 유지 테이블(10)을 상대적으로 Z축 방향을 따라서 이동시키는 것이다.
회전 이동 유닛(44)은, 가공 이송 유닛(41)에 지지되고, 유지 테이블(10)을 지지하여, 유지 테이블(10)과 함께 X축 방향으로 이동 가능하게 배치되어 있다. 회전 이동 유닛(44)은, 유지 테이블(10)을 축심 둘레로 회전시킴으로써, 절삭 유닛(20)과 유지 테이블(10)을 상대적으로 축심 둘레로 회전시키는 것이다.
가공 이송 유닛(41), 인덱싱 이송 유닛(42) 및 절입 이송 유닛(43)은, 축심 둘레로 회전 가능하게 설치된 주지의 볼 나사, 볼 나사를 축심 둘레로 회전시키는 주지의 모터 및 유지 테이블(10) 또는 절삭 유닛(20)을 X축 방향, Y축 방향 또는 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 주지의 가이드 레일을 구비한다. 또한, 회전 이동 유닛(44)은, 유지 테이블(10)을 축심 둘레로 회전시키는 모터를 구비한다.
유지 테이블(10)은, 원반 형상이며, 피가공물(200)을 유지하는 유지면(11)이 다공성 세라믹 등으로 형성되어 있다. 또한, 유지 테이블(10)은, 가공 이송 유닛(41)에 의해 절삭 유닛(20)의 하방의 가공 영역과, 절삭 유닛(20)의 하방으로부터 이격하여 피가공물(200)이 반입출되는 반입출 영역에 걸쳐 이동 가능하게 설치됨으로써, X축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 유지 테이블(10)은, 회전 이동 유닛(44)에 의해 Z축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전 가능하게 설치되어 있다.
유지 테이블(10)은, 유지면(11)이 도시하지 않은 흡인원과 접속되고, 유지면(11)이 흡인원으로부터 흡인됨으로써, 유지면(11)에 재치된 피가공물(200)을 흡인, 유지한다. 실시 형태 1에서는, 유지 테이블(10)은, 점착 테이프(209)를 통해 피가공물(200)의 이면(206) 측을 흡인, 유지한다. 또한, 유지 테이블(10)의 주위에는, 도 1에 도시되는 바와 같이, 환형 프레임(210)을 클램프하는 클램프부(12)가 복수 설치되어 있다.
절삭 유닛(20)은, 절삭 블레이드(21)가 스핀들(23)에 장착되고, 유지 테이블(10)에 유지된 피가공물(200)을 절삭하는 가공 유닛이다. 절삭 유닛(20)은, 각각, 유지 테이블(10)에 유지된 피가공물(200)에 대하여, 인덱싱 이송 유닛(42)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 또한, 절입 이송 유닛(43)에 의해 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.
절삭 유닛(20)은, 인덱싱 이송 유닛(42) 및 절입 이송 유닛(43) 등을 통해, 장치 본체(2)로부터 세워 설치한 도어형의 지지 프레임(3)에 설치되어 있다. 절삭 유닛(20)은, 인덱싱 이송 유닛(42) 및 절입 이송 유닛(43)에 의해, 유지 테이블(10)의 유지면(11)의 임의의 위치에 절삭 블레이드(21)를 위치 설정 가능하도록 되어 있다.
절삭 유닛(20)은, 절삭 블레이드(21)와, 인덱싱 이송 유닛(42) 및 절입 이송 유닛(43)에 의해 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치된 스핀들 하우징(22)과, 스핀들 하우징(22)에 축심 둘레로 회전 가능하게 설치되고 선단에 절삭 블레이드(21)가 장착되는 스핀들(23)과, 스핀들(23)을 축심 둘레로 회전하는 도시하지 않는 스핀들 모터 등을 구비한다.
절삭 블레이드(21)는, 대략 링 형상을 갖는 극박(極薄)의 절삭 지석이다. 절삭 블레이드(21)는, 스핀들(23)의 선단에 고정된다. 실시 형태 1에 있어서, 절삭 블레이드(21)는, 원환 형상의 원형 베이스와, 원형 베이스의 외주 가장자리에 배치되어 피가공물(200)을 절삭하는 원환 형상의 절삭 날을 구비하는 소위 허브 블레이드이다. 절삭 날은, 다이아몬드나 CBN(Cubic Boron Nitride) 등의 지립과, 금속이나 수지 등의 본드재(결합재)로 이루어지고 소정 두께로 형성되어 있다. 또한, 본 발명에서는, 절삭 블레이드(21)는, 절삭 날만으로 구성된 소위 와셔 블레이드라도 좋다.
또한, 절삭 유닛(20)의 절삭 블레이드(21) 및 스핀들(23)의 축심은, Y축 방향과 평행하게 설정되어 있다.
촬상 유닛(30)은, 절삭 유닛(20)과 일체적으로 이동하도록, 절삭 유닛(20)에 고정되어 있다. 촬상 유닛(30)은, 유지 테이블(10)에 유지된 절삭 전의 피가공물(200)의 분할해야 할 영역을 촬영하는 촬상 소자를 구비하고 있다. 촬상 소자는, 예를 들면, CCD(Charge-Coupled Device) 촬상 소자 또는 CMOS(Complementary MOS) 촬상 소자이다. 촬상 유닛(30)은, 유지 테이블(10)에 유지된 피가공물(200)을 촬영하여, 피가공물(200)과 절삭 블레이드(21)의 위치 맞춤을 행하는 얼라인먼트를 수행하기 위한 화상 등을 얻고, 얻은 화상을 제어 유닛(100)에 출력한다.
또한, 가공 장치(1)는, 유지 테이블(10)의 X축 방향의 위치를 검출하기 위한 도시하지 않는 X축 방향 위치 검출 유닛과, 절삭 유닛(20)의 Y축 방향의 위치를 검출하기 위한 도시하지 않는 Y축 방향 위치 검출 유닛과, 절삭 유닛(20)의 Z축 방향의 위치를 검출하기 위한 Z축 방향 위치 검출 유닛을 구비한다. X축 방향 위치 검출 유닛 및 Y축 방향 위치 검출 유닛은, X축 방향, 또는 Y축 방향과 평행한 리니어 스케일과, 판독 헤드에 의해 구성할 수 있다. Z축 방향 위치 검출 유닛은, 모터의 펄스로 절삭 유닛(20)의 Z축 방향의 위치를 검출한다. X축 방향 위치 검출 유닛, Y축 방향 위치 검출 유닛 및 Z축 방향 위치 검출 유닛은, 유지 테이블(10)의 X축 방향, 절삭 유닛(20)의 절삭 날의 하단의 Y축 방향 또는 Z축 방향의 위치를 제어 유닛(100)에 출력한다.
또한, 실시 형태 1에서는, 가공 장치(1)의 유지 테이블(10) 및 절삭 유닛(20)의 X축 방향의 위치, Y축 방향 및 Z축 방향의 위치는, 미리 정해진 도시하지 않는 기준 위치에 기초하여 정해진다. 실시 형태 1에서는, X축 방향의 위치, Y축 방향 및 Z축 방향의 위치는, 기준 위치로부터의 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향의 거리로 정해진다. 실시 형태 1에 있어서, 가공 장치(1)의 X축 방향과 Y축 방향으로부터 표시되는 XY 좌표(X축 방향의 위치를 나타내는 기준 위치로부터의 X축 방향의 거리와, Y축 방향의 위치를 나타내는 기준 위치로부터의 Y축 방향의 거리에 의해 표시되는 좌표)는, 유지 테이블(10)의 유지면(11)에 유지된 피가공물(200)의 임의의 위치를 나타내는 경우가 있다.
또한, 가공 장치(1)는, 절삭 가공 전후의 피가공물(200)을 복수 매 수용하는 카세트(50)가 재치되고, 카세트(50)를 Z축 방향으로 승강시키는 카세트 엘리베이터(60)와, 카세트(50)에 피가공물(200)을 출입시키는 것과 함께 피가공물(200)을 카세트(50)와 유지 테이블(10)의 사이에서 반송하는 도시하지 않는 반송 유닛을 구비한다.
제어 유닛(100)은, 가공 장치(1)의 각 구성 요소를 각각 제어하여, 피가공물(200)에 대한 가공 동작을 가공 장치(1)에 실시시키는 것이기도 하다. 또한, 제어 유닛(100)은, CPU(central processing unit)와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM(read only memory) 또는 RAM(random access memory)과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는 컴퓨터이다. 제어 유닛(100)의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하여, 가공 장치(1)를 제어하기 위한 제어 신호를, 입출력 인터페이스 장치를 통해 가공 장치(1)의 각 구성 요소에 출력한다.
또한, 제어 유닛(100)은, 촬상 유닛(30)과는 별체의 촬상 장치(70)가 접속된다. 촬상 장치(70)는, 가공 장치(1)의 임의의 위치에 설치된다. 촬상 장치(70)는, 가공 장치(1)의 임의의 위치를 촬영하는 촬상 소자를 구비하고 있다. 촬상 소자는, 예를 들면, CCD(Charge-Coupled Device) 촬상 소자 또는 CMOS(Complementary MOS) 촬상 소자이다. 촬상 장치(70)는, 가공 장치(1)의 임의의 위치의 동영상을 촬상하고, 촬상하여 취득한 동영상을 제어 유닛(100)에 출력한다.
특히, 촬상 장치(70)는, 가공 장치(1)의 트러블 개소, 메인터넌스 개소, 기능 추가 개소를 가공 장치(1)의 외측으로부터 중측의 동영상을 촬상하는 것이 바람직하다. 또한, 동영상이란, 1초간에 연속하여 취득된 예를 들어 30매의 정지 화상으로 이루어지는 영상이며, 1초간에 연속하여 예를 들어 30매의 정지 화상을 순서대로 표시함으로써, 가공 장치(1)의 임의의 위치가 움직이는 상태를 표시하는 것이다. 촬상 장치(70)는, 예를 들면, 주지의 USB(Universal Serial Bus) 카메라 또는 스테레오 카메라이다.
또한, 가공 장치(1)는, 제어 유닛(100)과 접속하고, 가공 동작의 상태나 화상 등의 각종 정보를 표시하는 액정 표시 장치 등에 의해 구성되는 표시 유닛(110)과, 오퍼레이터가 가공 조건 등을 등록할 때에 이용하는 입력 유닛(120)을 구비한다. 표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)의 연산 처리 장치 등에 의해 제어되어, 제어 유닛(100)의 기억 장치에 기억된 각종 정보 등을 표시한다. 표시 유닛(110)은, 예를 들어, 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display), 유기 EL 디스플레이(Organic Electro-Luminescence Display) 등의 표시 패널과, 표시 패널에 중첩된 터치 패널을 포함한다. 입력 유닛(120)은, 표시 유닛(110)에 설치된 터치 패널과, 키보드 등의 외부 입력 장치에 의해 구성된다.
제어 유닛(100)은, 동영상 입력부(101)와, 동영상 기억부(102)와, 동영상 재생부(103)와, 동영상 편집부(104)를 구비한다. 동영상 입력부(101)는, 제어 유닛(100)에 촬상 장치(70)가 접속되면, 촬상 장치(70)가 촬상하여 취득한 동영상을 입력한다. 동영상 입력부(101)는, 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상을 표시 유닛(110)에 표시시킨다.
동영상 기억부(102)는, 동영상 입력부(101)에 입력한 동영상을 기억한다. 동영상 재생부(103)는, 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상을 재생한다. 동영상 재생부(103)는, 재생하는 동영상을 표시 유닛(110)에 표시시킨다. 동영상 편집부(104)는, 동영상 기억부(102)가 기억한 동영상을 편집 가능하게 하는 것이다.
또한, 동영상 입력부(101), 동영상 재생부(103) 및 동영상 편집부(104)의 기능은, 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시함으로써 실현된다. 동영상 기억부(102)의 기능은, 상술한 기억 장치에 의해 실현된다.
다음에, 표시 유닛(110)에 표시되는 표시 화면을 도면에 기초하여 설명한다. 도 2는, 도 1에 도시되는 가공 장치의 표시 유닛에 표시되는 톱 메뉴의 표시 화면예를 도시하는 도면이다. 도 3은, 도 2에 도시되는 톱 메뉴의 "동영상 데이터"의 버튼 화상이 눌러졌을 때에 표시 유닛에 표시되는 동영상의 선택 화면의 표시 화면예를 도시하는 도면이다. 도 4는, 도 3에 도시되는 동영상의 선택 화면의 "녹화"의 버튼 화상이 눌러졌을 때에 표시 유닛에 표시되는 동영상 등을 도시하는 도면이다. 도 5는, 도 3에 도시되는 동영상의 선택 화면의 "재생" 및 "편집"의 버튼 화상이 눌러졌을 때에 표시 유닛에 표시되는 동영상 데이터의 선택 화면을 도시하는 도면이다. 도 6은, 도 3에 도시되는 동영상의 "재생"의 버튼 화상이 눌러지고, 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면의 동영상명이 "플랜지 청소"의 버튼 화상이 눌러졌을 때에 표시 유닛에 표시되는 표시 화면을 도시하는 도면이다. 도 7은, 도 3에 도시되는 동영상의 선택 화상의 "편집"의 버튼 화상이 눌러지고, 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면의 동영상명이 "플랜지 청소"의 버튼 화상이 눌러졌을 때에 표시 유닛에 표시되는 표시 화면을 도시하는 도면이다.
표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)에 의해 제어되어 도 2에 도시되는 톱 메뉴(130)가 표시된다. 톱 메뉴(130)는, 가공 장치(1)의 전원이 온이 된 후에 또한 가공 동작 등을 실시하기 전 등에 표시 유닛(110)에 표시되는 것이다. 도 2에 도시되는 톱 메뉴(130)의 중앙의 메인 에어리어(111)에는, "풀 오토메이션", "매뉴얼 오퍼레이션", "디바이스 데이터", "블레이드 메인터넌스", "오퍼레이터 메인터넌스", "머신 메인터넌스", "엔지니어링 메인터넌스", "동영상 데이터"의 각 모드의 버튼 화상(131, 132, 133, 134, 135, 136, 137, 138)이 선택 조작 가능하게 표시되고, 그 하부의 소프트웨어 키보드 에어리어(112)에는, "블레이드 셋업" 및 "디바이스 데이터" 등의 항목 키의 버튼 화상이 선택 조작 가능하게 표시되고, 입력 에어리어(113)에는, 어디에도 표시되지 않는다.
표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)이 도 2에 도시되는 톱 메뉴(130)의 "동영상 데이터"의 버튼 화상(138)의 누름을 접수하면, 제어 유닛(100)에 의해 제어되어, 도 3에 도시하는 바와 같이, 동영상의 선택 화면(140)이 표시된다. 이 동영상의 선택 화면(140)은, 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상을 기억(즉, 녹화)할지, 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상을 재생할지, 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상을 편집할지를 선택하는 화면이다.
동영상의 선택 화면(140)은, 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상을 기억(즉, 녹화)하는 것을 선택하기 위한 "녹화"의 버튼 화상(141)과, 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상을 재생하는 것을 선택하기 위한 "재생"의 버튼 화상(142)과, 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상을 편집하는 것을 선택하는 "편집"의 버튼 화상(143)을 메인 에어리어(111)에 선택 가능하게 표시한다. 또한, 동영상의 선택 화면(140)은, 톱 메뉴(130)로 되돌아가기 위한 "되돌아가기"의 버튼 화상(144)을 입력 에어리어(113)에 표시한다.
표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)의 동영상 입력부(101)가 도 3에 도시하는 동영상의 선택 화면(140)의 "녹화"의 버튼 화상(141)의 누름을 접수하면, 제어 유닛(100)의 동영상 입력부(101)에 의해 제어되고, 도 4에 도시하는 바와 같이, 메인 에어리어(111)에 촬상 장치(70)가 촬상하여 취득한 동영상(151)이 표시된다. 또한, 도 4에 도시되는 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상(151)을 메인 에어리어(111)에 표시한 표시 화면(150)은, 동영상(151)을 동영상 기억부(102)에 기억하기 위한 "녹화"의 버튼 화상(152)과, 동영상(151)의 녹화를 정지하기 위한 "정지"의 버튼 화상(153)과, 동영상 기억부(102)에 기억한 동영상에 "동영상명"을 연관시켜 동영상 기억부(102)에 기억하기 위한 "동영상명 입력"의 버튼 화상(154)을 입력 에어리어(113)에 표시한다. 또한, 도 4에 도시되는 표시 화면(150)은, 동영상의 선택 화면(140)으로 되돌아가기 위한 "되돌아가기"의 버튼 화상(155)을 입력 에어리어(113)에 표시한다.
이와 같이, 동영상 입력부(101)는, 도 3에 도시되는 동영상의 선택 화면(140)의 "녹화"의 버튼 화상(141)의 누름을 접수하면, 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상(151)을 표시 유닛(110)의 메인 에어리어(111)에 표시한다. 또한, 표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)이, 동영상의 선택 화면(140)의 입력 에어리어(113)의 "되돌아가기"의 버튼 화상(144)의 누름을 접수하면, 톱 메뉴(130)를 표시한다.
또한, 동영상 기억부(102)는, 제어 유닛(100)의 동영상 입력부(101)가 도 4에 도시되는 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상(151)을 메인 에어리어(111)에 표시한 표시 화면(150)의 입력 에어리어(113)의 "녹화"의 버튼 화상(152)의 누름을 접수하면, 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상(151)의 기억(즉, 녹화)을 개시하고, "정지"의 버튼 화상(153)의 누름을 접수하면, 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상(151)의 기억(즉, 녹화)을 정지한다. 동영상 기억부(102)는, 제어 유닛(100)의 동영상 입력부(101)가 "정지"의 버튼 화상(153)의 누름을 접수하여, 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상(151)의 기억(즉, 녹화)을 정지한 후, "동영상명 입력"의 버튼 화상(154)의 누름을 접수하면, 입력 유닛(120)으로부터 입력된 동영상명을 기억한 동영상(151)과 연관시켜 기억한다.
이렇게 하여, 동영상 기억부(102)는, 동영상 입력부(101)에 입력한 동영상(151)을 기억함과 함께, 입력 유닛(120)으로부터 입력된 동영상명을 동영상(151)과 연관시켜 기억한다. 또한, 표시 유닛(110)은, 동영상 입력부(101)가 도 4에 도시되는 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상(151)을 메인 에어리어(111)에 표시한 표시 화면(150)의 입력 에어리어(113)의 "되돌아가기"의 버튼 화상(155)의 누름을 접수하면, 동영상의 선택 화면(140)을 표시한다.
또한, 도 4에 도시되는 표시 화면(150)의 메인 에어리어(111)에 표시되는 동영상(151)은, 촬상 장치(70)로부터 입력한 동영상(151)을 실시간으로 표시하는 것을 나타내는 "LIVE"의 문자(156)를 포함하고 있다. 또한, 도 4에 도시되는 표시 화면(150)의 메인 에어리어(111)에 표시되는 동영상(151)은, 유지 테이블(10)을 교환하는 작업을 촬상 장치(70)가 촬상하여 취득된 동영상이다. 이 때문에, 도 4에 도시되는 표시 화면(150)의 메인 에어리어(111)에 표시되는 동영상(151)의 동영상 기억부(102)에 기억할 때에 연관되어진 동영상명은, 예를 들어, "유지 테이블 교환"이다. 또한, 본 발명에서는, 가공 장치(1)는, 동영상 기억부(102)가 기억하는 동영상(151)은, 경년 열화 등에 따르는 가공 장치(1)의 매뉴얼에는 없는 주의 환기를 촉구하는 동영상, 신규 기능의 설명 동영상, 트러블 발생 시의 모습을 나타내는 동영상, 또는, 검사나 조립 등의 작업을 나타내는 동영상인 것이 바람직하다.
표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)이 도 3에 도시되는 동영상의 선택 화면(140)의 "재생"의 버튼 화상(142)의 누름을 접수하면, 제어 유닛(100)에 의해 제어되어, 도 5에 도시되는 바와 같이, 동영상 데이터의 선택 화면(160)이 표시된다. 동영상 데이터의 선택 화면(160)은, 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상(151, 171)(도 4 및 도 6에 도시함)과 연관된 "동영상명"의 버튼 화상(161, 162)을 표시하는 화면이다.
또한, 도 5에 도시되는 예에서는, 동영상 데이터의 선택 화면(160)은, 동영상명이 "유지 테이블 교환"의 버튼 화상(161)과, 동영상명이 "플랜지 청소"의 버튼 화상(162)을 메인 에어리어(111)에 선택 가능하게 표시한다. 동영상명이 "유지 테이블 교환"의 버튼 화상(161)은, 동영상명이 "유지 테이블 교환"인 동영상(151)을 선택하는 것이고, 동영상명이 "유지 테이블 교환"인 동영상(151)과 연관되어 있다. 동영상명이 "플랜지 청소"의 버튼 화상(162)은, 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)(도 6에 도시함)을 선택하는 것이며, 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)과 연관되어 있다.
또한, 동영상명이 "유지 테이블 교환"인 동영상(151)은, 유지 테이블(10)을 교환하는 작업을 촬상 장치(70)가 촬상하여 취득한 동영상이다. 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)은, 절삭 유닛(20)의 스핀들(23)의 선단에 장착되어 절삭 블레이드(21)를 고정하기 위한 플랜지(24)(도 6에 도시함)의 절삭 블레이드(21)를 지지하는 단부면(25)을 청소하는 작업을 촬상 장치(70)가 촬상하여 취득한 동영상이다. 또한, 동영상 데이터의 선택 화면(160)은, 동영상의 선택 화면(140)으로 되돌아가기 위한 "되돌아가기"의 버튼 화상(163)을 입력 에어리어(113)에 표시한다.
표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)의 동영상 재생부(103)가 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 버튼 화상(161, 162) 중 어느 하나의 누름을 접수하면, 눌러진 버튼 화상(161, 162) 중 어느 하나와 연관된 동영상(151, 171)이 동영상 재생부(103)에 의해 재생되어, 메인 에어리어(111)에 표시된다. 예를 들어, 표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)의 동영상 재생부(103)가 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 동영상명이 "플랜지 청소"의 버튼 화상(162)의 누름을 접수하면, 제어 유닛(100)의 동영상 재생부(103)에 의해 제어되어, 도 6에 도시하는 바와 같이, 메인 에어리어(111)에 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)이 표시된다. 또한, 도 6에 도시되는 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)을 메인 에어리어(111)에 표시한 표시 화면(170)은, 동영상(171)을 재생하기 위한 "재생"의 버튼 화상(172)과, 동영상(171)의 재생을 정지하기 위한 "정지"의 버튼 화상(173)을 입력 에어리어(113)에 표시한다. 또한, 도 6에 도시되는 표시 화면(170)은, 동영상 데이터의 선택 화면(160)으로 되돌아가기 위한 "되돌아가기"의 버튼 화상(174)을 입력 에어리어(113)에 표시한다.
이와 같이, 동영상 재생부(103)는, 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 동영상명을 나타내는 버튼 화상(161, 162) 중 어느 하나의 누름을 접수하면, 눌러진 버튼 화상(161, 162) 중 어느 하나와 연관된 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상(151, 171)의 최초의 정지 화상을 표시 유닛(110)의 메인 에어리어(111)에 표시한다. 예를 들어, 동영상 재생부(103)는, 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 동영상명이 "플랜지 청소"의 버튼 화상(162)의 누름을 접수하면, 눌러진 버튼 화상(162)과 연관된 동영상 기억부(102)에 기억된 "플랜지 청소"의 동영상(171)의 최초의 정지 화상을 표시 유닛(110)의 메인 에어리어(111)에 표시한다. 또한, 표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)이, 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 입력 에어리어(113)의 "되돌아가기"의 버튼 화상(163)의 누름을 접수하면, 동영상의 선택 화면(140)을 표시한다.
또한, 동영상 재생부(103)는, 눌러진 버튼 화상(161, 162) 중 어느 하나와 연관된 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상(151, 171)의 최초의 정지 화상을 메인 에어리어(111)에 표시한 표시 화면(170)의 입력 에어리어(113)의 "재생"의 버튼 화상(172)의 눌림을 접수하면, 동영상(151, 171)의 재생을 개시하여 동영상(151, 171)을 메인 에어리어(111)에 표시한다. 동영상 재생부(103)는, 표시 화면(170)의 입력 에어리어(113)의 "정지"의 버튼 화상(173)의 누름을 접수하면, 동영상(151, 171)의 재생을 정지하고, 메인 에어리어(111)에 동영상(151, 171)의 "정지"의 버튼 화상(173)이 눌러졌을 때의 정지 화상을 표시한다.
예를 들어, 동영상 재생부(103)는, 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 "플랜지 청소"의 버튼 화상(162)의 누름을 접수하면, 동영상 기억부(102)에 기억된 "플랜지 청소"의 동영상(171)의 최초의 정지 화상을 메인 에어리어(111)에 표시하고, 표시 화면(170)의 입력 에어리어(113)의 "재생"의 버튼 화상(172)의 누름을 접수하면, 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)의 재생을 개시하여 동영상(171)을 메인 에어리어(111)에 표시한다. 동영상 재생부(103)는, 표시 화면(170)의 입력 에어리어(113)의 "정지"의 버튼 화상(173)의 누름을 접수하면, 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)의 재생을 정지하고, 메인 에어리어(111)에 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)의 "정지"의 버튼 화상(173)이 눌러졌을 때의 정지 화상을 표시한다.
표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)이 도 3에 도시되는 동영상의 선택 화면(140)의 "편집"의 버튼 화상(143)의 누름을 접수하면, 제어 유닛(100)에 의해 제어되어, 도 5에 도시되는 바와 같이, 동영상 데이터의 선택 화면(160)이 표시된다. 표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)의 동영상 편집부(104)가 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 버튼 화상(161, 162) 중 어느 하나의 누름을 접수하면, 눌러진 버튼 화상(161, 162) 중 어느 하나와 연관된 동영상(151, 171)이 동영상 편집부(104)에 의해 제어되어 메인 에어리어(111)에 표시된다.
예를 들어, 표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)의 동영상 편집부(104)가 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 동영상명이 "플랜지 청소"의 버튼 화상(162)의 누름을 접수하면, 제어 유닛(100)의 동영상 편집부(104)에 의해 제어되어, 도 7에 도시하는 바와 같이, 메인 에어리어(111)에 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)이 표시된다. 또한, 도 7에 도시되는 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)을 메인 에어리어(111)에 표시한 표시 화면(180)은, 동영상(171)을 재생하기 위한 "재생"의 버튼 화상(181)과, 동영상(171)의 재생을 정지하기 위한 "정지"의 버튼 화상(182)과, 동영상(171)을 역재생하기 위한 "역재생"의 버튼 화상(183)을 입력 에어리어(113)에 표시한다. 또한, 역재생이란, 동영상(171)을 이 동영상(171)의 최초의 정지 화상을 향해서 재생하는 것을 말한다.
또한, 도 7에 도시되는 표시 화면(180)은, 동영상(171)의 일부분을 삭제하기 위한 "부분 삭제"의 버튼 화상(184)과, 동영상(171)의 삭제하는 일부분의 시점을 설정하기 위한 "시점 설정"의 버튼 화상(185)과, 동영상(171)의 삭제하는 일부분의 종점을 설정하기 위한 "종점 설정"의 버튼 화상(186)과, 동영상(171)에 문자 등을 입력하기 위한 "문자 입력"의 버튼 화상(187)과, 동영상 데이터의 선택 화면(160)으로 되돌아가기 위한 "되돌아가기"의 버튼 화상(188)을 입력 에어리어(113)에 표시한다.
이와 같이, 동영상 편집부(104)는, 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 동영상명을 나타내는 버튼 화상(161, 162) 중 어느 하나의 누름을 접수하면, 눌러진 버튼 화상(161, 162) 중 어느 하나와 연관된 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상(151, 171)의 최초의 정지 화상을 표시 유닛(110)의 메인 에어리어(111)에 표시한다. 예를 들어, 동영상 재생부(103)는, 도 5에 도시되는 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 동영상명이 "플랜지 청소"의 버튼 화상(162)의 누름을 접수하면, 눌러진 버튼 화상(162)과 연관된 동영상 기억부(102)에 기억된 "플랜지 청소"의 동영상(171)의 최초의 정지 화상을 표시 유닛(110)의 메인 에어리어(111)에 표시한다.
또한, 동영상 편집부(104)는, 눌러진 버튼 화상(161, 162) 중 어느 하나와 연관된 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상(151, 171)의 최초의 정지 화상을 메인 에어리어(111)에 표시한 표시 화면(180)의 입력 에어리어(113)의 "재생"의 버튼 화상(181)의 눌림을 접수하면, 동영상(151, 171)의 재생을 개시하여 동영상(151, 171)을 메인 에어리어(111)에 표시한다. 동영상 편집부(104)는, 표시 화면(180)의 입력 에어리어(113)의 "정지"의 버튼 화상(182)의 누름을 접수하면, 동영상(151, 171)의 재생을 정지하고 메인 에어리어(111)에 동영상(151, 171)의 "정지"의 버튼 화상(182)이 눌러졌을 때의 정지 화상을 표시한다. 동영상 편집부(104)는, 표시 화면(180)의 입력 에어리어(113)의 "역재생"의 버튼 화상(183)의 누름을 접수하면, 동영상(151, 171)을 역재생하여, 역재생한 동영상(151, 171)을 메인 에어리어(111)에 표시한다.
예를 들어, 동영상 편집부(104)는, 동영상 데이터의 선택 화면(160)의 "플랜지 청소"의 버튼 화상(162)의 누름을 접수하면, 동영상 기억부(102)에 기억된 "플랜지 청소"의 동영상(171)의 최초의 정지 화상을 메인 에어리어(111)에 표시한다. 동영상 편집부(104)는, 표시 화면(180)의 입력 에어리어(113)의 "재생"의 버튼 화상(181)의 누름을 접수하면, 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)의 재생을 개시하여 동영상(171)을 메인 에어리어(111)에 표시한다. 동영상 편집부(104)는, 표시 화면(180)의 입력 에어리어(113)의 "정지"의 버튼 화상(182)의 누름을 접수하면, 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)의 재생을 정지하고, 메인 에어리어(111)에 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)의 "정지"의 버튼 화상(182)의 누름을 접수했을 때의 정지 화상을 표시한다. 동영상 편집부(104)는, 표시 화면(180)의 입력 에어리어(113)의 "역재생"의 버튼 화상(183)의 누름을 접수하면, 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)을 역재생하여, 역재생한 동영상명이 "플랜지 청소"인 동영상(171)을 메인 에어리어(111)에 표시한다.
또한, 동영상 편집부(104)는, 메인 에어리어(111)에 동영상(151, 171) 또는 동영상(151, 171)의 정지 화상을 표시한 상태에서, "부분 삭제"의 버튼 화상(184)의 누름과, "시점 설정"의 버튼 화상(185)과 "종점 설정"의 버튼 화상(186)의 누름을 순서대로 접수하면, "시점 설정"의 버튼 화상(185)이 눌러졌을 때에 메인 에어리어(111)에 표시하고 있던 동영상(151, 171)의 정지 화상과, "종점 설정"의 버튼 화상(186)이 눌러졌을 때에 메인 에어리어(111)에 표시하고 있던 동영상(151, 171)의 정지 화상의 사이를 삭제한다. 동영상 편집부(104)는, 메인 에리어(111)에 동영상(151, 171) 또는 동영상(151, 171)의 정지 화상을 표시한 상태에서, "문자 입력"의 버튼 화상(187)의 누름을 접수하면, 동영상(151, 171)의 소정의 위치에 입력 유닛(120)으로부터 입력된 문자 등을 삽입하고, 문자 등을 삽입한 동영상(151, 171)을 동영상 기억부(102)에 보존한다.
또한, 실시 형태 1에서는, 동영상 편집부(104)는, 동영상(151, 171)의 편집으로서, 동영상(151, 171)의 일부분을 삭제하는 "부분 삭제"와, 동영상(151, 171)의 소정의 위치에 문자를 삽입하는 "문자 입력"을 실시하고 있지만, 본 발명에서는, 이들에 한하지 않고, 다른 동영상이나 정지 화상의 삽입 등의 동영상(151, 171)을 편집하는 동작이라면 어떠한 동작을 실시하여도 좋다. 또한, 본 발명에서는, 동영상 편집부(104)는, 메인 에어리어(111)에 동영상(151, 171)을 표시한 상태에서, 메인 에어리어(111)를 오퍼레이터가 조작하여 원하는 손으로 쓴 문자나 도형을 동영상(151, 171)에 삽입하더라도 좋다.
이렇게 하여, 동영상 편집부(104)는, 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상(151, 171)을 편집 가능하게 한다. 또한, 표시 유닛(110)은, 제어 유닛(100)의 동영상 편집부(104)가 도 7에 도시하는 표시 화면(180)의 입력 에어리어(113)의 "되돌아가기"의 버튼 화상(188)의 누름을 접수하면, 동영상 데이터의 선택 화면(160)을 표시한다. 이와 같이, 가공 장치(1)의 표시 유닛(110)은, 촬상 장치(70)가 촬상하여 취득한 동영상(151, 171)의 라이브 표시가 가능하고, 제어 유닛(100)이 촬상 장치(70)가 촬상하여 취득한 동영상(151, 171)의 녹화, 재생이 가능하다.
상술한 구성의 가공 장치(1)는, 제어 유닛(100)에 가공 조건이 설정되고, 피가공물(200)을 수용한 카세트(50)가 카세트 엘리베이터(60)에 설치되며, 제어 유닛(100)이 가공 동작의 개시 지시를 접수하면, 가공 동작을 개시한다.
가공 동작을 개시하면, 가공 장치(1)는, 제어 유닛(100)이 반송 유닛을 제어하여 카세트(50)로부터 피가공물(200)을 1매 취출하고, 점착 테이프(209)를 통해 반입출 영역의 유지 테이블(10)의 유지면(11)에 재치한다. 가공 동작에서는, 가공 장치(1)는, 점착 테이프(209)를 통해 피가공물(200)을 유지면(11)에 흡인 유지하고, 클램프부(12)로 환형 프레임(210)을 클램프한다.
가공 장치(1)는, 제어 유닛(100)이 스핀들(23)을 축심 둘레로 회전하고, 제어 유닛(100)이 이동 유닛(40)을 제어하여 유지 테이블(10)을 촬상 유닛(30)의 하방까지 이동하며, 촬상 유닛(30)에 의해 유지 테이블(10)에 흡인 유지한 피가공물(200)을 촬상하여, 얼라인먼트를 수행한다. 가공 동작에서는, 가공 장치(1)는, 제어 유닛(100)이 가공 조건에 기초하여 이동 유닛(40) 등을 제어하여, 절삭 블레이드(21)와 피가공물(200)을 분할 예정 라인(203)을 따라 상대적으로 이동시키면서 피가공물(200)의 분할 예정 라인(203)에 절삭 블레이드(21)를 점착 테이프(209)에 도달할 때까지 절입시켜 절삭 가공한다.
가공 장치(1)는, 가공 조건에 따라, 피가공물(200)의 분할 예정 라인(203)을 절삭하여, 피가공물(200)을 개개의 디바이스(204)로 분할한다. 가공 장치(1)는, 피가공물(200)의 모든 분할 예정 라인(203)을 절삭하면, 유지 테이블(10)을 가공 영역으로부터 반입출 영역을 향해 이동시킨다.
가공 장치(1)는, 반입출 영역에 있어서 유지 테이블(10)의 이동을 정지하고, 유지 테이블(10)의 피가공물(200)의 흡인 유지를 정지하고, 클램프부(12)의 클램프를 해제한다. 가공 장치(1)는, 제어 유닛(100)이 반송 유닛을 제어하여, 절삭 가공 후의 피가공물(200)을 유지 테이블(10)로부터 카세트(50) 내에 반입한다. 가공 장치(1)는, 카세트(50) 내의 모든 피가공물(200)을 절삭 가공하면, 가공 동작을 종료한다.
이상 설명한 실시 형태 1과 관련되는 가공 장치(1)는, 제어 유닛(100)이 촬상 장치(70)가 촬상하여 취득한 동영상(151, 171)을 표시 유닛(110)에 표시시키는 동영상 입력부(101)와, 동영상 입력부(101)에 입력한 동영상(151, 171)을 기억하는 동영상 기억부(102)와, 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상(151, 171)을 재생하여 표시 유닛(110)에 표시시키는 동영상 재생부(103)를 구비한다.
이 때문에, 가공 장치(1)는, 새로운 기능을 추가했을 때에, 메인터넌스 방법이나 트러블 대처 방법을 촬상 장치(70)가 촬상한 동영상(151, 171)을 표시 유닛(110)에서 확인하면서 동영상 기억부(102)에 기억할 수 있기 때문에, 적절한 메인터넌스 방법이나 트러블 대처 방법 등의 동영상을 동영상 기억부(102)에 기억할 수 있다. 또한, 가공 장치(1)는, 동영상 기억부(102)에 기억된 동영상을 확인함으로써, 문자나 음성에 의한 정보 공유에서는 곤란했던 메인터넌스 방법이나 트러블 대처 방법의 가공 장치(1)의 미세한 동작 등을 오퍼레이터가 용이하게 파악하는 것이 가능해진다.
따라서, 가공 장치(1)는, 정밀도가 높은 정보 공유가 가능해진다고 하는 효과를 발휘한다.
특히, 가공 장치(1)는, 추가 기능을 요구할 때나 트러블 시 등의 동작을 동영상으로 공유할 수 있기 때문에, 가공 장치(1)의 사용자의 요망이나 곤란함도 다른 사람에게 전해지기 쉬워, 보다 좋은 제안이나 문제 해결에 도움이 될 수 있다. 또한, 가공 장치(1)는, 가공 장치(1)의 조립 중의 검사나 작업 시의 동영상을 기억해 둠으로써, 트러블이 발생했을 때의 원인 규명 등에 도움이 될 수 있다. 또한, 가공 장치(1)는, 개발 중인 기능의 동작을 촬상하고, 그 기능을 모르는 다른 사람이 트러블 대응이나 기능 추가할 때에 동영상을 보고 상상하기 쉬워진다고 하는 효과도 발휘한다.
또한, 가공 장치(1)는, 촬상 장치(70)에 의해 임의의 위치의 동영상이 촬상되기 때문에, 자유도가 높다. 또한, 가공 장치(1)는, 촬상 장치(70)가 스테레오 카메라인 경우에는, 단안(單眼)의 카메라보다 넓은 시야에서 이해하기 쉬운 동영상을 얻을 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다. 실시 형태 1에서는, 가공 장치(1)는, 절삭 장치이지만, 본 발명에서는, 절삭 장치에 한정되지 않고, 예를 들어, 피가공물(200)을 연삭 가공하는 가공 유닛인 연삭 유닛을 구비하는 연삭 장치, 피가공물(200)을 연마 가공하는 가공 유닛인 연마 유닛을 구비하는 연삭 장치, 피가공물(200)을 레이저 가공하는 가공 유닛인 레이저 조사 유닛을 구비하는 레이저 가공 장치 등의 여러 가지 가공 장치라도 된다. 또한, 본 발명에서는, 피가공물(200)은, 웨이퍼에 한정되지 않고, 각종 패키지 기판, 세라믹스 기판, 유리 기판 등의 판형의 것이라도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, "동영상 데이터"의 버튼 화상(138)이 톱 메뉴(130)의 메인 에어리어(111)에 표시되어 있는 예를 기재하고 있지만, 본 발명에서는, 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, "풀 오토메이션"의 버튼 화상(131)이나 "매뉴얼 오퍼레이션"의 버튼 화상(132) 등이 선택된 상태에 있어서도, "동영상 데이터"의 버튼 화상(138)이 선택 조작 가능해지도록, 메인 에어리어(111)와는 다른 에어리어(예를 들어, 입력 에어리어(113)나 소프트웨어 키보드 에어리어(112) 등)에 표시되어 있어도 된다.
또한, 본 발명에서는, 제어 유닛(100)이 오퍼레이터의 ID(identification)를 확인하고, 동영상(151, 171)의 표시 대상자나 편집 권한을 ID, 즉 오퍼레이터마다 설정해도 좋다. 또한, 재생, 편집되는 동영상(151, 171)은, 문자나 음성, 정지 화상, 도형, 촬상 일시 등의 각종의 정보를 포함해도 된다.
또한, 가공 장치(1)는, 오퍼레이터의 ID(identification)를 촬상 장치로 촬상하고, 화상 인식으로 ID를 해석하거나, 오퍼레이터를 촬상 장치로 촬상하여 얼굴 인증함으로써, 예를 들어, 숙련자에게는 숙련자용, 초심자에게는 초심자용과 같이, 오퍼레이터에 따라 표시시키는 화면을 변경하여도 좋다.
또한, 가공 장치(1)는, 바코드 리더 등이 설치되어, 카세트(50)의 ID 등을 판독하여, 대응하는 레시피 데이터를 설정하는 운용이 있다. 이 때문에, 본 발명에서는, 가공 장치(1)는, 부설된 촬상 장치에서 지정한 타이밍에 카세트(50)의 ID를 판독하여, 대응하는 레시피 데이터를 자동 설정 가능하게 하여도 좋다. 바코드는 1차원, QR 코드(등록상표) 등 복수의 종류가 있지만 운용이 변경되어도 동일한 촬상 장치로 대응 가능해진다. 또한, 가공 장치(1)는, 부설된 촬상 장치로 환형 프레임(210)의 ID를 판독하는 경우도 동일 촬상 장치의 추가로 대응 가능하여, 운용마다 바코드를 준비할 필요가 없다.
또한, 본 발명에서는, 촬상 장치(70)가 촬상한 동영상(151, 171)을 항상 기억하면 동영상(151, 171)의 파일 사이즈가 커지므로, 촬상 장치(70)의 촬상 시야 내에서의 어떠한 움직임, 또는, 가공 장치(1)에서의 어떠한 동작(예를 들면, 미리 지정해 둔 화면으로의 천이나, 오퍼레이터에 의한 화면 동작 등)을 트리거로 하여 녹화를 시작하고, 녹화를 정지해도 좋다.
예를 들어, 가공 장치(1)는, 제1 안으로서, 제어 유닛(100)에 접속한 촬상 장치(70)를 반송 유닛 등에 설치하여 기록하고, 가공 동작의 개시, 종료를 트리거로 하여 촬상 장치(70)의 촬상을 개시, 종료해도 좋다. 이 경우, 가공 장치(1)는, 문제 발생 시를 동영상으로 해석하여 대책 가능해진다.
예를 들어, 가공 장치(1)는, 제2 안으로서, 각 유닛(41, 42, 43, 44)의 이동 속도를 검출하는 센서, 및 피가공물(200)의 낙하를 검출하는 센서의 검출 결과를 트리거로 하여 촬상 장치(70)의 촬상을 개시, 종료해도 좋다. 이 경우, 가공 장치(1)는, 동작 지연이 일정 시간 이상이 되면 알람 발생으로 가공 동작을 자동 정지할 수 있다.
또한, 가공 장치(1)는, 제3 안으로서, 커프 체크 에러나 블레이드 교환 등 조작 미스가 생각되는 조작에서는, 화면을 지정하고, 그 화면의 표시를 트리거로 하여 촬상 장치(70)의 촬상을 개시, 종료해도 좋다. 이 경우, 가공 장치(1)는, 촬상 전후의 화상의 차이를 판정하여 알람을 발생시킬 수 있다. 구체적으로는, 절삭 블레이드(21)의 장착을 잊어버리거나, 교환 지그를 가공 장치(1) 내에 놓아둔 채로 하여 피가공물(200)이나 가공 장치(1)를 파손시키는 문제 등을 회피할 수 있다.
또한, 가공 장치(1)는, 제4 안으로서, 장치 본체(2)를 덮는 커버의 개폐를 트리거로 하여 촬상 장치(70)의 촬상을 개시, 종료하여도 좋다. 이 경우, 가공 장치(1)는, 촬상 전후의 화상의 차이를 판정하여 알람을 발생시킬 수 있다. 구체적으로는, 가공 장치(1)는, 피가공물(200)의 낙하, 반송 유닛의 진공 이상 등으로 장치 커버를 열고, 피가공물(200)을 취출하여 양산을 재개하는 오퍼레이션이 있지만, 피가공물(200)을 가공 장치 내에 남긴 상태로 재개하고, 그 결과 피가공물(200)을 파손하는 문제가 있어, 촬상 전후의 화상의 차이를 판정함으로써, 피가공물(200)을 취출하는 것을 잊는 것을 방지할 수 있다.
또한, 가공 장치(1)는, 제5 안으로서, 오퍼레이터가 보이는 위치, 가공 장치 내가 보이는 위치에 복수의 촬상 장치(70)를 설치하고, 터치 패널의 특정한 표시 유닛(110)의 화면 조작(예를 들어, 절삭 블레이드(21)의 교환 화면, 에러 리커버리 화면 등의 지정한 화면)으로 천이한 것을 트리거로 촬상 장치(70)의 촬상을 개시, 종료하여도 좋다. 이 경우, 가공 장치(1)는, 오퍼레이터의 미스가 발생한 경우에, 누가 조작을 했는지, 또한 발생 시의 상황 등을 기록할 수 있다. 또한, 이 경우에서 촬상한 동영상을, 상기 예시한 제1 안, 제2 안, 제3 안 및 제4 안의 동영상의 선두에 자동으로 편집하여 1개의 동영상으로 통합함으로써, "누가 무엇을 했는지"를 기록하는 것이 가능해진다.
1 가공 장치
10 유지 테이블
20 절삭 유닛(가공 유닛)
100 제어 유닛
101 동영상 입력부
102 동영상 기억부
103 동영상 재생부
104 동영상 편집부
110 표시 유닛
151,171 동영상
200 피가공물

Claims (2)

  1. 피가공물을 가공하는 가공 장치로서,
    상기 피가공물을 유지하는 유지 테이블과,
    상기 유지 테이블에 유지된 피가공물에 가공을 실시하는 가공 유닛과,
    각종의 정보를 표시하는 표시 유닛과,
    각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛을 구비하고,
    상기 제어 유닛은,
    촬상 장치가 촬상하여 취득한 동영상을 입력하는 동영상 입력부와,
    상기 동영상 입력부에 입력한 동영상을 기억하는 동영상 기억부와,
    상기 동영상 기억부에 기억된 동영상을 재생하는 동영상 재생부를 포함하고,
    상기 동영상 입력부는, 상기 촬상 장치로부터 입력한 동영상을 상기 표시 유닛에 표시시키고, 상기 동영상 재생부는, 재생하는 동영상을 상기 표시 유닛에 표시시키는 것을 특징으로 하는, 가공 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어 유닛은,
    상기 동영상 기억부에 기억된 동영상을 편집 가능하게 하는 동영상 편집부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 가공 장치.
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