JP2024039133A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】何も手に持っていないオペレータによる指令の入力のみを有効とする入力方法を実施可能とする。【解決手段】加工装置であって、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、操作画面を表示し、指令の入力に使用されるタッチパネル付きディスプレイと、タッチ操作制御部と、を備え、該タッチ操作制御部が入力を受けている間のみ該タッチパネル付きディスプレイを利用して入力された指令を有効とする入力方法を実施できる。好ましくは、該タッチ操作制御部は、該タッチパネル付きディスプレイの表示であり、該入力方法では、該タッチパネル付きディスプレイに表示された該タッチ操作制御部にオペレータの指が接触されているときに限り、該タッチパネル付きディスプレイに表示された入力表示への接触により入力された指令が有効とされる。【選択図】図２

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置であって、オペレータによる指令の入力を受け付ける加工装置に関する。

電子機器等に組み込まれるデバイスチップの製造工場では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が様々な加工装置によって加工される。工場等には複数の加工装置が配置され、被加工物が各加工装置で順次加工される。このように、デバイスチップの製造工場には、多種多様な装置が配置され使用される。

工場等に置かれる装置は、例えば、被加工物を円環状の切削ブレードで切削する切削装置（例えば、特許文献１参照）、被加工物をレーザビームで加工するレーザ加工装置、被加工物を研磨パッドで研磨する研磨装置、被加工物を研削砥石で研削する研削装置である。

各加工装置は、例えば、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、保持テーブル及び加工ユニットを相対的に加工送りする加工送りユニットと、を備える。各加工装置は多種多様な機構を備え、各機構を適切に作動させることにより所定の目的を達成する。

さらに、各加工装置には、コンピュータ（マイクロコンピュータ、パーソナルコンピュータ）等で構成される制御ユニットが組み込まれており、制御ユニットが加工装置の各構成要素を制御する。

制御ユニットは、各情報を記憶できるＨＤＤ（Hard Disk Drive）、ＳＳＤ(Solid State Drive)、またはフラッシュメモリ等で構成される記憶部を有する。記憶部には、制御ユニットを作動させるＯＳ(Operating System)、各構成要素に所定の動作をさせるためのプログラム、被加工物の種別や加工の目的により使い分けられる加工条件等のさまざまな情報が格納されている。

指令の入力等に使用される入力ユニットと、各種の情報を表示できる表示ユニットと、の機能を兼ねるタッチパネル付きディスプレイを備える加工装置が知られている（特許文献２参照）。オペレータ（作業者）は、タッチパネル付きディスプレイを使用して、新たな加工条件を入力したり、加工条件に基づいた被加工物の加工を指示したり、加工装置の各構成要素を作動させる指示を入力したりする。

特開２００３－１５８０９４号公報 特開２０２２－５３８３６号公報

オペレータは、複数の被加工物が収容されたカセット、被加工物、各種の道具等の荷物を一方の手で持ちながら、他方の手でタッチパネル付きディスプレイを使用することがある。この場合、操作にオペレータが意識を集中させるため、持っていた荷物を落下させたり、周囲の他のオペレータや装置等に荷物を衝突させたりすることがある。また、荷物に気を取られたことに起因する誤入力が生じ易い。そのため、タッチパネル付きディスプレイを使用するオペレータに対して、両手に何も持っていないことが求められる。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、何も手に持っていないオペレータによる指令の入力のみを有効とする入力方法を実施できる加工装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、操作画面を表示し、指令の入力に使用されるタッチパネル付きディスプレイと、タッチ操作制御部と、を備え、該タッチ操作制御部が入力を受けている間のみ該タッチパネル付きディスプレイを利用して入力された指令を有効とする入力方法を実施できることを特徴とする加工装置が提供される。

好ましくは、該タッチ操作制御部は、該タッチパネル付きディスプレイの表示であり、該入力方法では、該タッチパネル付きディスプレイに表示された該タッチ操作制御部にオペレータの指が接触されているときに限り、該タッチパネル付きディスプレイに表示された入力表示への接触により入力された指令が有効とされる。

より好ましくは、該入力表示は、該タッチパネル付きディスプレイ上において該指から１８ｃｍ以上離れている。

または、好ましくは、該タッチ操作制御部を外装上に具備する。

より好ましくは、該タッチ操作制御部は、該タッチパネル付きディスプレイから１８ｃｍ以上１００ｃｍ以下の距離で離れている。

本発明の一態様に係る加工装置は、タッチパネル付きディスプレイと、タッチ操作制御部と、を備える。そして、この加工装置は、タッチ操作制御部が接触される等して入力を受けている間のみタッチパネル付きディスプレイを利用して入力された指令を有効とする入力方法を実施可能である。

この入力方法においては、加工装置を操作するオペレータは、一方の手でタッチ操作制御部に接触し、もう一方の手によりタッチパネル付きディスプレイで指令を入力することになる。そのため、一方または両方の手にカセット等の荷物を持つオペレータは、タッチパネル付きディスプレイで指令を入力しようとするとき、この荷物を一度降ろすことになる。そのため、タッチパネル付きディスプレイを利用した操作の間に荷物を落下させることや、荷物に気を取られたことに起因する指令の誤入力等が防止される。

したがって、本発明の一態様によると、何も手に持っていないオペレータによる指令の入力のみを有効とする入力方法を実施できる加工装置が提供される。

加工装置及びカセットを模式的に示す斜視図である。 タッチ操作制御部を含む操作画面を表示するタッチパネル付きディスプレイを模式的に示す平面図である。 警告を表示するタッチパネル付きディスプレイを模式的に示す平面図である。 タッチパネル付きディスプレイに表示されたタッチ操作制御ボタンを模式的に示す平面図である。 加工装置の入力動作のフローを示すフローチャートである。

以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。本実施形態に係る加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、指令の入力に使用されるタッチパネル付きディスプレイと、を備える。図１は、本実施形態に係る加工装置２の一例を模式的に示す斜視図である。

図１には、被加工物１を含むフレームユニット７を模式的に示す斜視図が含まれている。被加工物１は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（ガリウムナイトライド）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体等の材料から形成されるウェーハである。または、被加工物１は、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる略円板状の基板等である。

被加工物１の表面には、互いに交差する複数の分割予定ラインが設定される。分割予定ラインで区画された各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ(Large Scale Integration)等のデバイスが形成されている。被加工物１を裏面側から研削して薄化し、研削面を研磨して平坦化し、分割予定ラインに沿って被加工物１を分割すると、個々のデバイスチップを形成できる。ただし、被加工物１はこれに限定されない。

加工装置２は、例えば、分割予定ラインに沿って被加工物１を切削ブレードで切削して分割する切削装置である。または、分割予定ラインに沿って被加工物１をレーザ加工して分割するレーザ加工装置である。また、加工装置２は、被加工物１を研削する研削装置でもよく、被加工物１を研磨する研磨装置でもよい。さらに、加工装置２はこれらに限定されず、他の加工装置でもよく、半導体ウェーハ以外の被加工物１を加工してもよい。以下、加工装置２が切削装置である場合を例に説明する。

加工装置２は、各構成要素を支持する基台４と、基台４に支持された各構成要素を覆う外装６と、備える。外装６に覆われていない基台４の一角には、カセット支持台８が設けられている。カセット支持台８の上面には、複数の被加工物１を収容するカセット９が搭載される。なお、基台４と外装６の境界は必ずしも明確ではなく、基台４の側面が外装６の一部として扱われてもよい。外装６上に後述のタッチ操作制御ボタン１８が設けられることは、基台４の側面にタッチ操作制御ボタン１８が設けられることと同義である。

カセット９に収容される被加工物１の裏面側には被加工物１よりも径の大きなダイシングテープと呼ばれる粘着テープ３が貼り付けられ、粘着テープ３の外周部には金属製のリングフレーム５が貼られる。すなわち、被加工物１と、粘着テープ３と、リングフレーム５と、が一体化されてフレームユニット７が形成され、カセット９に収容される。そして、複数のフレームユニット７を収容するカセット９がカセット支持台８に載せられることにより、被加工物１が加工装置２に搬入される。

加工装置２の外面には、タッチパネル付きディスプレイ１０が設けられている。タッチパネル付きディスプレイ１０は、各種の情報及び操作画面を表示する。オペレータ（作業者）は、操作画面を表示するタッチパネル付きディスプレイ１０の所定の位置をタッチすることで加工装置２に各種の指令を入力できる。すなわち、タッチパネル付きディスプレイ１０は、各種の指令の入力に使用される入力ユニット（入力インターフェース）として機能するとともに、各種の情報を表示する表示ユニットとしても機能する。

加工装置２の外装６の内側は、加工室１２となっている。加工装置２は、加工室１２で被加工物１を加工（切削）する。加工室１２には被加工物１を吸引保持できる保持テーブル（チャックテーブル）１４が収容されている。保持テーブル１４は、図示しない加工送りユニット（Ｘ軸移動機構）によって加工送り方向（Ｘ軸方向）に移動する。また、保持テーブル１４はモータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。

なお、加工送りユニットは、保持テーブル１４に代えて、または、保持テーブル１４とともに、後述の加工ユニット１６を移動させてもよい。すなわち、加工送りユニットは、保持テーブル１４及び加工ユニット１６を相対的に移動させる。

保持テーブル１４の上面は、被加工物１を吸引保持する保持面となっている。保持テーブル１４の上面は、水平面に概ね平行に形成されており、保持テーブル１４の内部に設けられた吸引路（不図示）等を介してエジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。

加工室１２の内部には、保持テーブル１４で保持された被加工物１を加工（切削）する加工ユニット（切削ユニット）１６が収容されている。加工ユニット１６は、図示しない昇降ユニット（Ｚ軸移動機構）及び割り出し送りユニット（Ｙ軸移動機構）に支持されており、上下方向（Ｚ軸方向）及び割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に移動可能である。

加工ユニット１６は、保持テーブル１４の上面に平行で該保持テーブル１４の上方に配置されたスピンドルを有する。スピンドルは、Ｙ軸方向に沿って配設されている。加工ユニット１６は、スピンドルの基端に接続されたモータ等で構成される回転駆動源（不図示）と、スピンドルの先端に装着された加工具（切削ブレード）と、をさらに有する。

加工装置２で被加工物１を切削する場合、まず、カセット支持台８に載せられたカセットから被加工物１を搬出し、保持テーブル１４の上面に被加工物１を載せ、保持テーブル１４で被加工物１を吸引保持する。そして、保持テーブル１４を回転させて、被加工物１の分割予定ラインの向きを加工送り方向（Ｘ軸方向）に合わせる。また、加工ユニット１６の高さを調整し、加工具（切削ブレード）を高速で回転させる。

その後、保持テーブル１４を加工送り方向に沿って移動させ、分割予定ラインに沿って加工具を被加工物１に切り込ませ、被加工物１を切削する。次に、加工ユニット１６を割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に沿って移動させ、他の分割予定ラインに沿って次々に被加工物を切削する。

そして被加工物１の一つの方向に沿ったすべての分割予定ラインに沿って被加工物１を切削した後、保持テーブル１４を回転させ、他の方向に沿った分割予定ラインを同様に切削する。そして、被加工物１に設定されたすべての分割予定ラインに沿って被加工物１が切削されると、加工装置２における加工が終了する。また、加工装置２は、加工された被加工物１を洗浄する図示しない洗浄ユニットを備えてもよい。加工された被加工物１は、洗浄ユニットで洗浄されカセット９に収容され加工装置２から搬出される。

ここまで説明してきたように、加工装置２は、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構、Ｚ軸移動機構、保持テーブル１４を回転させる回転駆動源、スピンドルを回転させる回転駆動源等の多数の機構を備える。ここで、各機構が所定の加工条件に従って作動することにより加工装置２が多数の被加工物１を安定的に加工する。

さらに、加工装置２は、何らかの異常が発生したとき、または、オペレータに報知されるべき事態が発生したときに、警報等を発してオペレータに報知する報知ユニットを備える。例えば、加工装置２は、複数のランプを備える警報ランプ２０を報知ユニットとして備える。そして、警報ランプ２０は、特定の色のランプを点灯させることで各種の情報をオペレータに報知する。

また、加工装置２では、タッチパネル付きディスプレイ１０が警報等の情報を表示してもよい。すなわち、タッチパネル付きディスプレイ１０は報知ユニットとして機能してもよい。さらに、加工装置２は、音により警報情報等を報知できる報知ユニットとして、ブザーまたはスピーカー等の音発生ユニット２０ａを備えてもよい。なお、加工装置２が備える報知ユニットは、これに限定されない。

加工装置２は、各機構等の各構成要素を制御して被加工物１の加工を遂行する制御ユニット２２を備える。制御ユニット２２は、各構成要素に接続されている。制御ユニット２２は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、ＨＤＤ、ＳＳＤ、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット２２の機能が実現される。

制御ユニット２２は、各種の情報を記憶する。すなわち、制御ユニット２２は、各種の情報を記憶できる記憶部を有する。記憶部には、制御ユニット２２を動作させるＯＳ、各構成要素に所定の動作をさせるためのプログラム、被加工物１の種別や加工の目的により使い分けられる加工条件等のさまざまな情報が格納されている。

また、制御ユニット２２は、タッチパネル付きディスプレイ１０を制御する。すなわち、制御ユニット２２は、タッチパネル付きディスプレイ１０に表示させる画面を制御する表示制御部（不図示）と、タッチパネル付きディスプレイ１０を利用した指令の入力を検出する入力検出部２２ａと、を備える。

また、制御ユニット２２は、警報ランプ２０等の報知ユニットを制御する。すなわち、制御ユニット２２は、報知ユニットを制御する警告部２２ｃを備える。また、制御ユニット２２は、所定の動作で加工装置２による被加工物１の加工を進める。すなわち、制御ユニット２２は、各種の機構を制御する機構制御部（不図示）を備える。

加工装置２における被加工物１の加工を開始する際には、加工装置２を操作するオペレータは、複数の被加工物１が収容されたカセット９をカセット支持台８に載置し、タッチパネル付きディスプレイ１０を利用して加工開始に関する指令を制御ユニット２２に入力する。また、オペレータは、タッチパネル付きディスプレイ１０をユーザインタフェースとして使用して各種の指令を制御ユニット２２に入力する。

図２は、タッチパネル付きディスプレイ１０に表示された操作画面２４の一例を模式的に示す平面図である。操作画面２４には、複数の操作ボタン（入力表示）２８が含まれる。各操作ボタン２８には、それぞれ、所定の機構に所定の動作をさせる指令や、各機構の動作条件または動作内容を選択して登録する指令等が割り当てられている。

タッチパネル付きディスプレイ１０に表示された操作画面２４に配置された各種の操作ボタン２８のうち、目的に合った操作ボタン２８をオペレータが指１１でタッチする。いずれかの操作ボタン２８等にオペレータが触れたことをタッチパネル付きディスプレイ１０のタッチパネルが検出した場合、制御ユニット２２の入力検出部２２ａは、指令が入力されたことを検知する。

例えば、オペレータは、制御ユニット２２の記憶部に登録された複数の加工条件からカセット９に収容された被加工物１の加工に適した加工条件を選択することで特定の加工条件を制御ユニット２２に入力する。そして、オペレータは、カセット９に収容された複数の被加工物１の加工を開始する指令を制御ユニット２２に入力し、加工装置２に加工を開始させる。

また、加工装置２による被加工物１の加工を繰り返すと、各種の消耗品の交換や、各種の機構の点検が必要となる。そのため、加工装置２では定期的にメンテナンス作業が実施されるが、この際に加工装置２のオペレータは、タッチパネル付きディスプレイ１０を使用して各機構を作動させる指令を制御ユニット２２に入力する。そして、各機構の動作態様を確認しつつ各機構を調整する。

ここで、オペレータは、複数の被加工物１が収容されたカセット９や、被加工物１、各種の道具等の荷物を一方の手で持ちながら、他方の手でタッチパネル付きディスプレイ１０を使用することがある。この場合、操作にオペレータが意識を集中させるため、持っていた荷物を落下させたり、周囲の他のオペレータや装置等に荷物を衝突させたりすることがある。また、荷物に気を取られたことに起因する指令の誤入力が生じる場合がある。

タッチパネル付きディスプレイ１０を利用するオペレータが指令の入力に使用しない手に荷物を持っていると、このように、無視できない損害が生じることがある。そのため、タッチパネル付きディスプレイ１０を使用するオペレータに対して、両手に何も持っていないことが求められる。

そこで、本実施形態に係る加工装置２では、オペレータがどちらの手にも荷物を持っていないときに限り、タッチパネル付きディスプレイ１０を利用した指令の入力を有効とする入力方法を可能とした。以下、当該入力方法に関連する構成を中心に、本実施形態に係る加工装置２の説明を続ける。

本実施形態に係る加工装置２は、タッチ操作制御部を備える。加工装置２の制御ユニット２２は、このタッチ操作制御部が入力を受けている間のみタッチパネル付きディスプレイ１０を利用して入力された指令を有効とする入力方法を実施できる。このタッチ操作制御部とは、例えば、加工装置２の外装６上に設けられたボタン、または、タッチパネル付きディスプレイ１０の表示である。

まず、タッチ操作制御部がタッチパネル付きディスプレイ１０の表示である場合について説明する。図２には、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）２６を含む操作画面２４が模式的に示されている。この入力方法においては、タッチ操作制御ボタン２６が入力を受けているとき、すなわち、オペレータが一方の手の指１３でタッチ操作制御ボタン２６をタッチしているときのみ、操作画面２４に表示された他の操作ボタン２８による指令の入力が有効とされる。

別の角度から説明する。この入力方法においては、タッチパネル付きディスプレイ１０を利用して制御ユニット２２に指令を入力するオペレータは、一方の手の指１３でタッチ操作制御ボタン２６をタッチする。オペレータは、この状態で他方の手の指１１で入力したい指令に関係する操作ボタン２８をタッチする。操作ボタン２８による指令の入力は、タッチ操作制御ボタン２６がタッチされているときだけ有効となる。

さらに別の角度から説明する。この入力方法においては、制御ユニット２２は、入力検出部２２ａがタッチパネル付きディスプレイ１０を利用した指令の入力を検出したとき、当該指令の入力が有効であるか否かを判定する。制御ユニット２２は、タッチパネル付きディスプレイ１０を利用した指令の入力が入力検出部２２ａにより検出されたとき、当該指令の入力が有効であるか否かを判定する判定部２２ｂを備える。

判定部２２ｂは、入力検出部２２ａが指令の入力を検出したとき、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）２６が入力を受けているか否かを検出する。そして、判定部２２ｂは、タッチ操作制御ボタン２６が入力を受けている場合、入力検出部２２ａが検出した指令の入力を有効とする。そして、制御ユニット２２は、有効とされた指令に基づいて所定の処理を実施する。

その一方で、判定部２２ｂは、タッチ操作制御ボタン２６が入力を受けていない場合、入力検出部２２ａが検出した指令の入力を有効とはしない。この場合、制御ユニット２２の警告部２２ｃは、当該指令の入力が有効ではないことを示す警告を報知ユニットに発報させ、警告をオペレータに報知してもよい。例えば、警告部２２ｃは、タッチパネル付きディスプレイ１０を報知ユニットとして制御し、タッチパネル付きディスプレイ１０に警告を表示させる。

図３は、指令の入力が有効ではないことを示す警告３０を表示するタッチパネル付きディスプレイ１０を模式的に示す平面図である。警告３０には、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）２６をタッチ（入力）しながら操作することをオペレータに促す注意文が含まれるとよい。また、このときにタッチされるべきタッチ操作制御ボタン２６が強調される処理が実施されてもよい。例えば、タッチ操作制御ボタン２６が目立つ色に一時的に変色したり、点滅したりするとよい。

ただし、制御ユニット２２の警告部２２ｃがオペレータに向けて警告を報知するために使用する報知ユニットは、タッチパネル付きディスプレイ１０に限定されない。例えば、警告部２２ｃは、音発生ユニット２０ａ（図１参照）を制御して特定の警報音を発生させることによりオペレータに警告を報知してもよい。また、例えば、警告部２２ｃは、警報ランプ２０を制御して警告を示す特定の色のランプを点灯させることによりオペレータに警告を報知してもよい。

ここで、当該入力方法における制御ユニット２２の動作フローについて図５を用いて説明する。図５は、制御ユニット２２の動作フローを示すフローチャートである。当該入力方法では、制御ユニット２２の入力検出部２２ａは、オペレータによるタッチパネル付きディスプレイ１０を利用した指令の入力を検出する（Ｓ１０）。このとき、制御ユニット２２の判定部２２ｂは、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）２６が入力を受けているか否かを判定する（Ｓ２０）。

そして、判定部２２ｂは、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）２６が入力を受けている場合、タッチパネル付きディスプレイ１０を利用して入力された指令を有効とし（Ｓ３０）、制御ユニット２２は入力された指令に基づいて所定の処理を実施する。

その一方で、判定部２２ｂは、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）２６が入力を受けていない場合、タッチパネル付きディスプレイ１０を利用して入力された指令を有効とはしない。この場合、制御ユニット２２の警告部２２ｃは、報知ユニットを制御して、所定の警告をオペレータに発することが好ましい（Ｓ４０）。

ここまで説明した入力方法では、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）２６にオペレータの指１３が接触しているときに限り、タッチパネル付きディスプレイ１０に表示された入力表示（操作ボタン２８）への接触により入力された指令が有効とされる。このような入力方法が実施されているときに本実施形態に係る加工装置２では、オペレータは一方の手でタッチ操作制御部を押下し、もう一方の手によりタッチパネル付きディスプレイ１０で指令を入力することになる。

したがって、手に荷物を持つオペレータは、タッチパネル付きディスプレイ１０で指令を入力しようとするときにこの荷物を一度降ろすことになる。そのため、タッチパネル付きディスプレイ１０を利用した操作の間に荷物を落下させることや、荷物に気を取られたことに起因する指令の誤入力等が防止される。

ただし、本実施形態に係る加工装置２では、常にこの入力方法で指令の入力を受け付ける必要はなく、状況に応じて別の入力方法による指令の入力が可能であってもよい。例えば、加工装置２のメンテナンス作業では、いくつもの指令が次々に入力される場面がある。このときに、オペレータがすべての指令の入力に両手を使用しなければならないのでは作業効率が低くなる。

そこで、本実施形態に係る加工装置２では入力方法の切り替えが可能でもよく、オペレータがタッチパネル付きディスプレイ１０を利用した指令の入力を片手のみで実施する入力方法が可能でもよい。これにより、本実施形態に係る加工装置２を使用するオペレータは、各場面における作業効率が極度に低下しないように、各場面に適した入力方法を柔軟に選択できる。

なお、本実施形態に係る加工装置２において、オペレータが、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）２６の押下（入力）と、指令の入力に関係する操作ボタン（入力表示）２８のタッチと、の両方を同時に片手のみで実施することも考えられる。例えば、オペレータが一方の手の親指でタッチ操作制御ボタン２６をタッチしつつ、同じ手の小指で操作ボタン２８をタッチすることも考えられる。この場合、オペレータが片手のみで指令の入力を完了できてしまうため、他方の手に荷物を持つことが可能である。

そこで、本実施形態に係る加工装置２は、タッチ操作制御ボタン２６のタッチと、指令の入力に関係する操作ボタン２８のタッチと、をオペレータが片手で同時には実施できないように構成されてもよい。次に、タッチ操作制御ボタン２６と、操作ボタン２８と、をオペレータが片手で同時にタッチできないようにする構成について説明する。

例えば、タッチ操作制御ボタン２６と、操作ボタン２８と、がタッチパネル付きディスプレイ１０において広げた手の幅を超える距離で離れていれば、タッチ操作制御ボタン２６と、操作ボタン２８と、の両方を片手でタッチすることが物理的に不可能となる。ここで、広げた手の幅とは、手を広げたときの親指先端と小指先端の距離のことを指す。

ただし、タッチ操作制御ボタン２６と、操作ボタン２８と、の距離は、必ずしも手を限界まで広げたときの手の幅を超える必要はない。この距離が手を限界まで広げたときの手の幅を超えていない場合においても、この距離が十分に大きければ、タッチ操作制御ボタン２６と、操作ボタン２８と、を片手で同時にタッチすることにオペレータが心理的な抵抗を感じる。そのため、片手操作を抑制する十分な効果が生じ得る。

具体的には、加工装置２では、タッチパネル付きディスプレイ１０上においてタッチ操作制御ボタン２６をタッチするオペレータの指１３から１８ｃｍ以上離れた操作ボタン（入力表示）２８がタッチされることによる指令の入力を有効とするとよい。

逆に言えば、オペレータがタッチ操作制御ボタン２６を指１３でタッチしているとき、タッチパネル付きディスプレイ１０において指１３から１８ｃｍ以内の領域がタッチされた場合に、このタッチによる指令の入力が有効とされないことが好ましい。この指令の入力を有効としない領域は、入力無効領域と呼ぶこともできる。

ただし、タッチパネル付きディスプレイ１０上において入力無効領域に存在する操作ボタン２８は、指令の入力に使用できなくなることが考えられる。すなわち、タッチ操作制御ボタン２６が押下されていないときタッチパネル付きディスプレイ１０上のすべての操作ボタン２８は有効とはならず、タッチ操作制御ボタン２６が押下されていても入力無効領域に存在する操作ボタン２８は有効とはならない。

そこで、タッチパネル付きディスプレイ１０上において指令の入力に使用できない操作ボタン２８が生じないように、２つ以上の数でタッチ操作制御ボタン２６が操作画面２４に配置されてもよい。図４は、２つのタッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）２６ａ，２６ｂが配された操作画面２４が写るタッチパネル付きディスプレイ１０を模式的に示す平面図である。

図４には、第１のタッチ操作制御ボタン２６ａと、第１のタッチ操作制御ボタン２６ａの周囲に設定される第１の入力無効領域３２ａの外縁と、が模式的に示されている。さらに、図４には、第２のタッチ操作制御ボタン２６ｂと、第２のタッチ操作制御ボタン２６ｂの周囲に設定される第２の入力無効領域３２ｂの外縁と、が模式的に示されている。

オペレータが一方の手の指で第１のタッチ操作制御ボタン２６ａに接触している間、もう一方の手の指で第２の入力無効領域３２ｂに表示された操作ボタン２８をタッチする場合、当該操作ボタン２８に割り当てられた指令の入力は有効となる。また、オペレータが一方の手の指で第２のタッチ操作制御ボタン２６ｂに接触している間、もう一方の手の指で第１の入力無効領域３２ａに表示された操作ボタン２８をタッチする場合、当該操作ボタン２８に割り当てられた指令の入力は有効となる。これにより、いずれかの入力無効領域３２ａ，３２ｂに配設された操作ボタン２８についても、当該操作ボタン２８の指令の入力を有効にする方法が確立される。

なお、操作画面２４に２以上のタッチ操作制御ボタン２６を配設すると、操作画面２４に表示される操作ボタン２８や情報が少なくなる。また、一つのタッチ操作制御ボタン２６でも操作画面２４に配置できない場合も考えられる。そこで、本実施形態に係る加工装置２では、操作画面２４にタッチ操作制御ボタン２６が配置されなくてもよい。

例えば、タッチ操作制御ボタン２６の代わりに操作画面２４に存在する余白をタッチ操作制御部として利用する。この場合、オペレータは、指令の入力のためにタッチしようとする操作ボタン２８から所定の距離以上に離れた位置の余白を一方の手の指に接触させる。その上で、もう一方の手の指で目的の操作ボタン２８にタッチする。

制御ユニット２２では、入力検出部２２ａがタッチパネル付きディスプレイ１０において操作ボタン２８がタッチされたことを検出したとき、判定部２２ｂは操作ボタン２８から所定の距離以上に離れた位置の余白において指が接触しているか否かを検出する。そして、所定の距離以上に離れた位置の余白に指が接触していた場合、操作ボタン２８を利用した指令の入力を有効とする。

なお、操作ボタン２８を利用した指令の入力を有効にするためにオペレータの指が接触しているべき余白までの距離は、最短で１８ｃｍに設定されることが好ましい。または、この距離は、オペレータの手が限界まで開いているときの手の幅（親指の先端から小指の先端までの距離）とされてもよい。ただし、この距離はこれらに限定されない。

このように、操作画面２４の余白がタッチ操作制御部として機能すると、操作画面２４にタッチ操作制御ボタン２６を配置する必要がない。そのため、タッチパネル付きディスプレイ１０における操作画面２４に対して大きなデザイン変更を加えることなく、既存の加工装置２から本実施形態に係る加工装置２を比較的容易に製造できる。

ここまで、タッチ操作制御部がタッチパネル付きディスプレイ１０に表示された操作画面２４に含まれる表示である場合について説明した。すなわち、タッチ操作制御部がタッチ操作制御ボタン２６である場合について説明した。しかしながら、タッチ操作制御部の態様はこれに限定されない。

すなわち、加工装置２はタッチ操作制御部を外装６上に具備してもよく、タッチ操作制御部は加工装置２の外装６に設けられた物理的なボタンでもよい。この場合、タッチ操作制御部は制御ユニット２２に接続される。図１には、加工装置２の外装６にタッチ操作制御部として設けられたタッチ操作制御ボタン１８が模式的に示されている。タッチ操作制御ボタン１８は、上述の操作画面２４に含まれるタッチ操作制御ボタン２６と同様に機能する。

加工装置２で実施される入力方法の一つにおいて、オペレータは、タッチパネル付きディスプレイ１０を利用した指令の入力の際に予めタッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）１８を押下しておく。加工装置２では、タッチ操作制御ボタン１８が入力を受けている間のみタッチパネル付きディスプレイ１０を利用して入力された指令を有効とする。

ここで、タッチ操作制御ボタン１８及びタッチパネル付きディスプレイ１０の距離が近すぎると、オペレータがタッチ操作制御ボタン１８及びタッチパネル付きディスプレイ１０に片手で同時に接触できてしまう。これでは、オペレータがもう一方の手に荷物を持っていてもタッチパネル付きディスプレイ１０を利用して指令を入力でき、この指令の入力が有効に制御ユニット２２に受け付けられてしまう。

そこで、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）１８は、タッチパネル付きディスプレイ１０から所定の距離以上に離れていることが好ましい。この所定の距離とは、オペレータがタッチ操作制御ボタン１８及びタッチパネル付きディスプレイ１０に容易に片手で同時に接触できない距離である。例えば、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）１８は、タッチパネル付きディスプレイ１０から１８ｃｍ以上離れていることが好ましい。

しかしながら、タッチ操作制御ボタン１８がタッチパネル付きディスプレイ１０からあまりに離れた位置に設けられていると、オペレータが何も荷物を持っておらず両手を使う場合においても、オペレータが両者に同時に接触できない。そこで、タッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）１８は、タッチパネル付きディスプレイ１０から所定の距離以上に離れていないことが好ましい。この所定の距離とは、タッチ操作制御ボタン１８及びタッチパネル付きディスプレイ１０に容易に両手で同時に接触できる距離である。

例えば、オペレータが両腕を限界まで広げた時の左手先端と右手先端の距離だけタッチ操作制御ボタン１８がタッチパネル付きディスプレイ１０から離れている場合でも、オペレータは両者に同時に接触が可能である。しかしながらこの場合、一方の手でタッチ操作制御ボタン１８を押下しつつ、タッチパネル付きディスプレイ１０に表示された目的の操作ボタン２８をオペレータが視認して特定の操作ボタン２８をもう一方の手でタッチすることは困難である。

そこで、タッチ操作制御ボタン１８は、タッチパネル付きディスプレイ１０から１００ｃｍ以下の距離で離れていることが好ましい。この場合、オペレータは、一方の手でタッチ操作制御ボタン１８を押下しつつ、操作画面２４を視認して目的の操作ボタン２８を識別してもう一方の手でこの操作ボタン２８をタッチできる。

小括すると、加工装置２がタッチ操作制御ボタン（タッチ操作制御部）１８を外装６上に具備する場合、タッチ操作制御ボタン１８は、タッチパネル付きディスプレイ１０から１８ｃｍ以上１００ｃｍ以下の距離で離れていることが好ましい。しかしながら、両者の距離はこれに限定されない。

ただし、ここまで説明したタッチ操作制御ボタン１８及びタッチパネル付きディスプレイ１０の距離は、水平方向における距離であることが好ましい。例えば、タッチパネル付きディスプレイ１０の上方に１００ｃｍ離れた位置にタッチ操作制御ボタン１８が設けられると、ここまで説明してきた入力方法を加工装置２で実施することが困難となる。

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、加工装置２の外装６上にタッチ操作制御部としてタッチ操作制御ボタン１８が設けられる場合について説明したが本発明の一態様はこれに限定されない。すなわち、タッチ操作制御部は、ボタン以外の態様で加工装置２の外装６上に設けられてもよい。

タッチ操作制御部は、例えば、レバー、つまみ、プルスイッチ、光センサー、赤外線センサー、カメラユニット、タッチパネル等の態様で加工装置２の外装６上に設けられてもよい。オペレータの一方の手やその指を感知して入力を受けられる態様において、タッチ操作制御部の構成は適宜選択される。

その他、上述した実施形態や変形例等にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１ 被加工物
３ 粘着テープ
５ リングフレーム
７ フレームユニット
９ カセット
１１，１３ 指
２ 加工装置
４ 基台
６ 外装
８ カセット支持台
１０ タッチパネル付きディスプレイ
１２ 加工室
１４ 保持テーブル
１６ 加工ユニット
１８ タッチ操作制御ボタン
２０ 警報ランプ
２０ａ 音発生ユニット
２２ 制御ユニット
２２ａ 入力検出部
２２ｂ 判定部
２２ｃ 警告部
２４ 操作画面
２６，２６ａ，２６ｂ タッチ操作制御ボタン
２８ 操作ボタン
３０ 警告
３２ａ，３２ｂ 入力無効領域

Claims (5)

1. 被加工物を保持する保持テーブルと、
   該保持テーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
   操作画面を表示し、指令の入力に使用されるタッチパネル付きディスプレイと、
   タッチ操作制御部と、を備え、
   該タッチ操作制御部が入力を受けている間のみ該タッチパネル付きディスプレイを利用して入力された指令を有効とする入力方法を実施できることを特徴とする加工装置。
2. 該タッチ操作制御部は、該タッチパネル付きディスプレイの表示であり、
   該入力方法では、該タッチパネル付きディスプレイに表示された該タッチ操作制御部にオペレータの指が接触されているときに限り、該タッチパネル付きディスプレイに表示された入力表示への接触により入力された指令が有効とされることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
3. 該入力表示は、該タッチパネル付きディスプレイ上において該指から１８ｃｍ以上離れていることを特徴とする請求項２に記載の加工装置。
4. 該タッチ操作制御部を外装上に具備することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
5. 該タッチ操作制御部は、該タッチパネル付きディスプレイから１８ｃｍ以上１００ｃｍ以下の距離で離れていることを特徴とする請求項４に記載の加工装置。

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