JP2022106382A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】作動状況の分析作業を簡略化することが可能な加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を加工する加工装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルによって保持された被加工物を加工する加工ユニットと、加工装置によって実行された作業の履歴を示す作業履歴情報と、加工装置の作動状況を示す作動状況情報と、を時系列でログ情報として記憶する記憶部と、記憶部に記憶された作動状況情報を時系列で表すグラフを生成する処理部と、処理部によって生成されたグラフと、グラフ内の選択された領域に対応する作業履歴情報とを表示する表示部と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、被加工物を加工する加工装置に関する。

デバイスチップの製造工程では、格子状に配列された複数のストリート（分割予定ライン）によって区画された複数の領域にそれぞれデバイスが形成されたウェーハが用いられる。このウェーハをストリートに沿って分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが得られる。デバイスチップは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。

ウェーハの分割には、環状の切削ブレードで被加工物を切削する切削装置や、被加工物にレーザー加工を施すレーザー加工装置等が用いられる。また、近年では、電子機器の小型化に伴い、デバイスチップに薄型化が求められている。そこで、ウェーハの分割前にウェーハを薄化する加工が実施されることがある。ウェーハの薄化には、研削砥石を含む研削ホイールで被加工物を研削する研削装置や、円盤状の研磨パッドで被加工物を研磨する研磨装置等が用いられる。

上記のような各種の加工装置を用いて被加工物を加工する際、何らかの原因で加工装置の作動に異常が生じると、被加工物の取り扱い（搬送、保持、加工、洗浄等）が正しく行われず、被加工物に損傷、加工不良、異物の付着等の不具合が生じることがある。そして、被加工物の不具合が発見された際には、原因究明のため、被加工物の加工中における加工装置の作動状況を事後的に確認して分析する点検作業が実施される。

例えば特許文献１には、加工装置によって実行された作業の履歴（作業履歴情報）を記憶可能で、且つ、記憶された作業履歴情報を外部のサーバ（加工装置のメーカーのサーバ）に送信可能な切削装置が開示されている。この切削装置を用いると、加工装置のメーカーの技術者は、サーバにアクセスすることによって切削装置の作業履歴情報を簡単に確認できる。これにより、メーカーは加工装置の作動を迅速に点検でき、切削装置のユーザーを適切にフォローできる。

特開２０１４－１８９０４号公報

上記のように、加工装置から外部のサーバに加工装置の作業履歴情報が送信されると、実際に加工装置を操作していない加工装置のメーカーの技術者等も作業履歴情報を確認でき、加工装置のユーザーとメーカー間における情報共有が容易になる。しかしながら、作業履歴情報には被加工物の加工に関するユーザー独自の情報が含まれているため、作業履歴情報は秘密情報としてユーザーによって慎重に管理されることも多い。この場合には、秘密漏洩の防止を徹底するため、加工装置に記憶されている情報は外部に送信されず、ユーザーは自力で作業履歴情報を抽出、分析して加工装置の作動状況をチェックする。

しかしながら、加工装置の通常使用（加工装置による被加工物の加工）を担当するオペレーターは、加工装置に記憶されている情報の抽出や分析には精通していないことが多い。そのため、オペレーターが加工装置の作業履歴情報を確認するためには、専門の技術者への依頼が必要になり、手間と時間がかかる。また、作業履歴情報を詳細に分析するためには、加工装置から作業履歴情報を抽出した後、パーソナルコンピュータ等を用いて様々なデータ処理（データの整理、グラフの作成等）を行う必要があり、分析作業の効率が悪いという問題がある。

本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、作動状況の分析作業を簡略化することが可能な加工装置の提供を目的とする。

本発明の一態様によれば、被加工物を加工する加工装置であって、該被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルによって保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該加工装置によって実行された作業の履歴を示す作業履歴情報と、該加工装置の作動状況を示す作動状況情報と、を時系列でログ情報として記憶する記憶部と、該記憶部に記憶された該作動状況情報を時系列で表すグラフを生成する処理部と、該処理部によって生成された該グラフと、該グラフ内の選択された領域に対応する該作業履歴情報とを表示する表示部と、を備える加工装置が提供される。

なお、好ましくは、該記憶部は、複数の監視項目ごとに該作動状況情報を記憶し、該処理部は、複数の該監視項目ごとに該グラフを生成する。また、好ましくは、該加工装置は、該加工装置の内部を撮像するカメラを備え、該記憶部は、該カメラによって取得された画像を時系列で該ログ情報として記憶し、該表示部は、該グラフ内の選択された領域に対応する該画像を表示する。また、好ましくは、該表示部はタッチパネルであり、該グラフ内の領域は、スワイプ操作によって選択可能である。

本発明の一態様に係る加工装置では、作動状況情報を時系列で表すグラフが表示部に表示される。また、グラフ内の領域が選択されると、選択された領域に対応する作業履歴情報が表示部に表示される。そのため、オペレーターは、特別な操作を行うことなく作動状況情報の推移をグラフで確認できるとともに、作動状況情報の変化と加工装置によって実行された作業との関係を容易に確認、分析できる。これにより、加工装置から作業履歴情報を抽出する作業や、抽出された作業履歴情報に様々なデータ処理を施す作業が不要となり、加工装置の作動状況の分析が極めて容易になる。

加工装置を示す斜視図である。 図２（Ａ）は加工ユニットを示す斜視図であり、図２（Ｂ）はブレードカバーが装着された加工ユニットを示す斜視図である。 制御部を示すブロック図である。 図４（Ａ）は操作画面を表示する表示部を示す正面図であり、図４（Ｂ）は作動状況表示キーが選択された状態の表示部を示す正面図であり、図４（Ｃ）はグラフが選択された状態の表示部を示す正面図である。 図５（Ａ）は拡大グラフが選択された状態の表示部を示す正面図であり、図５（Ｂ）は表示部の作業履歴情報表示欄及び画像表示欄が表示された領域を示す正面図である。 図６（Ａ）はバーが時間経過の逆方向に移動する表示部を示す正面図であり、図６（Ｂ）はバーが時間経過の順方向に移動する表示部を示す正面図である。

以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る加工装置の構成例について説明する。図１は、加工装置２を示す斜視図である。加工装置２は、環状の切削ブレードによって被加工物を加工する切削装置である。なお、図１において、Ｘ軸方向（加工送り方向、第１水平方向、前後方向）とＹ軸方向（割り出し送り方向、第２水平方向、左右方向）とは、互いに垂直な方向である。また、Ｚ軸方向（鉛直方向、上下方向、高さ方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と垂直な方向である。

加工装置２は、加工装置２を構成する各構成要素を支持又は収容する直方体状の基台４を備える。基台４の前端側の角部には、基台４の上面側で開口する矩形状の開口４ａが設けられている。開口４ａの内側には、昇降機構（不図示）によって昇降するカセット支持台６が設けられている。カセット支持台６の上面上には、加工装置２による加工の対象となる複数の被加工物１１を収容可能なカセット８が配置される。なお、図１ではカセット８の輪郭を二点鎖線で示している。

例えば被加工物１１は、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハであり、互いに概ね平行な表面及び裏面を備える。被加工物１１は、互いに交差するように格子状に配列された複数のストリート（分割予定ライン）によって、複数の矩形状の領域に区画されている。また、被加工物１１の表面側のストリートによって区画された複数の領域にはそれぞれ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイス等のデバイスが形成されている。

被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも直径が大きい円形のテープ（ダイシングテープ）１３が貼付される。テープ１３は、フィルム状の基材と、基材上の粘着層（糊層）とを含む。例えば、基材はポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート等の樹脂でなり、粘着層はエポキシ系、アクリル系、又はゴム系の接着剤でなる。また、粘着層には、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型の樹脂を用いてもよい。

テープ１３の外周部は、金属等でなる環状のフレーム１５に貼付される。フレーム１５は、中央部に被加工物１１よりも直径が大きい円形の開口を備え、被加工物１１はフレーム１５の開口の内側に配置される。テープ１３の中央部を被加工物１１に貼付し、テープ１３の外周部をフレーム１５に貼付すると、被加工物１１がテープ１３を介してフレーム１５によって支持される。

被加工物１１は、フレーム１５によって支持された状態でカセット８に収容され、加工装置２によって加工される。例えば、加工装置２によって被加工物１１をストリートに沿って切削して分割することにより、デバイスをそれぞれ含む複数のデバイスチップが製造される。

ただし、被加工物１１の種類、材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば被加工物１１は、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ、ＳｉＣ等）、ガラス、サファイア、セラミックス、樹脂、金属等でなるウェーハ（基板）であってもよい。また、被加工物１１は、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded Package）基板等のパッケージ基板であってもよい。

開口４ａの側方には、基台４の上面側で開口し長手方向がＸ軸方向に沿う矩形状の開口４ｂが設けられている。開口４ｂの内側には、ボールねじ式の移動機構（移動ユニット）１０が設けられている。移動機構１０には、被加工物１１を保持するチャックテーブル（保持テーブル）１２が連結されている。なお、移動機構１０は、チャックテーブル１２の周囲を覆うテーブルカバー１４を備える。また、テーブルカバー１４の前方及び後方には、Ｘ軸方向に沿って伸縮可能な蛇腹状の防塵防滴カバー１６が、移動機構１０の構成要素を覆うように設けられている。

チャックテーブル１２の上面は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と概ね平行な平坦面であり、被加工物１１を保持する保持面１２ａを構成している。保持面１２ａは、チャックテーブル１２の内部に形成された流路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。

移動機構１０は、チャックテーブル１２をテーブルカバー１４とともにＸ軸方向に沿って移動させる。また、チャックテーブル１２にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、この回転駆動源はチャックテーブル１２をＺ軸方向と概ね平行な回転軸の周りで回転させる。さらに、チャックテーブル１２の周囲には、被加工物１１を支持しているフレーム１５を把持して固定する複数のクランプ１８が設けられている。

開口４ａ，４ｂの近傍には、被加工物１１をカセット８とチャックテーブル１２との間で搬送する搬送機構（不図示）が設けられている。被加工物１１は、搬送機構によってカセット８から引き出され、チャックテーブル１２に搬送される。そして、被加工物１１は、テープ１３を介してチャックテーブル１２の保持面１２ａ上に配置される。また、フレーム１５が複数のクランプ１８によって固定される。この状態で、保持面１２ａに吸引源の吸引力（負圧）を作用させると、被加工物１１がテープ１３を介してチャックテーブル１２によって吸引保持される。

チャックテーブル１２の上方には、被加工物１１を切削する一対の加工ユニット（切削ユニット）２０ａ，２０ｂが設けられている。加工ユニット２０ａ，２０ｂは、チャックテーブル１２によって保持された被加工物１１を環状の切削ブレード８０で切削する。

図２（Ａ）は、加工ユニット２０ａを示す斜視図である。加工ユニット２０ａは、中空の円柱状に形成されたハウジング７０を備える。ハウジング７０には、Ｙ軸方向に沿って配置された円柱状のスピンドル（回転軸）７２が収容されている。スピンドル７２の先端部（一端側）は、ハウジング７０から露出している。また、スピンドル７２の基端部（他端側）には、スピンドル７２を回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。

スピンドル７２の先端部には、切削ブレード８０を支持するマウント７４が固定されている。マウント７４は、円盤状のフランジ部７６と、フランジ部７６の表面７６ａの中央部から突出する円柱状の支持軸（ボス部）７８とを備える。フランジ部７６の外周部の表面７６ａ側には、表面７６ａから突出する環状の凸部７６ｂが、フランジ部７６の外周縁に沿って設けられている。凸部７６ｂの先端面は、表面７６ａと概ね平行に形成されている。また、支持軸７８の外周面には、ねじ部７８ａが形成されている。

マウント７４には、被加工物１１を切削する環状の切削ブレード８０が装着される。切削ブレード８０は、アルミニウム合金等の金属でなる環状の基台８２と、基台８２の外縁部に沿って形成された環状の切り刃８４とを備える。基台８２の中央部には、基台８２を厚さ方向に貫通する円柱状の開口８２ａが設けられている。また、開口８２ａの周囲には、基台８２の厚さ方向に突出する環状の把持部８２ｂが形成されている。例えば、オペレーターは把持部８２ｂを持って切削ブレード８０をマウント７４に装着する。

切り刃８４は、基台８２の外周縁から基台８２の半径方向外側に向かって突出するように形成される。例えば切り刃８４は、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素（ｃＢＮ：cubic Boron Nitride）等でなる砥粒を、ニッケルめっき層等の結合材で固定することにより形成される。なお、砥粒の材質、砥粒の粒径、結合材の材質等に制限はなく、被加工物１１の材質や加工内容に応じて適宜選択される。

支持軸７８のねじ部７８ａには、切削ブレード８０を固定するための環状の固定ナット８６が締結される。固定ナット８６の中央部には、固定ナット８６を厚さ方向に貫通する円柱状の開口８６ａが設けられている。また、開口８６ａの内部で露出する固定ナット８６の内周面には、支持軸７８のねじ部７８ａに対応するねじ溝が形成されている。

切削ブレード８０は、基台８２の開口８２ａに支持軸７８が挿入されるように、マウント７４に装着される。この状態で、固定ナット８６を支持軸７８のねじ部７８ａに螺合して締め付けると、切削ブレード８０がフランジ部７６の凸部７６ｂの先端面と固定ナット８６とによって挟持され、スピンドル７２の先端部（マウント７４）に固定される。そして、切削ブレード８０は、回転駆動源（モータ等）からスピンドル７２及びマウント７４を介して伝達される動力により、Ｙ軸方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。

図２（Ｂ）は、ブレードカバー８８が装着された加工ユニット２０ａを示す斜視図である。加工ユニット２０ａに固定された切削ブレード８０は、ハウジング７０に装着されたブレードカバー８８に覆われる。ブレードカバー８８は、純水等の液体（加工液）が供給されるチューブ（不図示）に接続される一対の接続部９０と、接続部９０に接続され切削ブレード８０の下端部を挟むように配置される一対のノズル９２とを備える。一対のノズル９２にはそれぞれ、切削ブレード８０に向かって開口する供給口（不図示）が形成されている。

チューブから接続部９０に加工液が供給されると、一対のノズル９２の供給口から切削ブレード８０の表面及び裏面に向かって加工液が供給される。この加工液によって、被加工物１１及び切削ブレード８０が冷却されるとともに、加工によって生じた屑（加工屑）が洗い流される。

切削ブレード８０を回転させつつ、チャックテーブル１２（図１参照）によって保持された被加工物１１に切り込ませることにより、被加工物１１が切削される。なお、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）には加工ユニット２０ａを示しているが、加工ユニット２０ｂも加工ユニット２０ａと同様に構成できる。

図１に示すように、基台４の上面上には、加工ユニット２０ａ，２０ｂを支持する門型の支持構造２２が、開口４ｂを跨ぐように配置されている。支持構造２２の前面側の両側端部には、加工ユニット２０ａをＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させる移動機構（移動ユニット）２４ａと、加工ユニット２０ｂをＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させる移動機構（移動ユニット）２４ｂとが設けられている。移動機構２４ａ，２４ｂは、支持構造２２の前面側にＹ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール２６に装着されている。

移動機構２４ａは、平板状の移動プレート２８ａを備える。移動プレート２８ａは、一対のガイドレール２６にスライド可能に装着されている。移動プレート２８ａの裏面側（後面側）にはナット（不図示）が設けられており、このナットには、ガイドレール２６と概ね平行に配置されたボールねじ３０ａが螺合されている。また、ボールねじ３０ａの端部には、ボールねじ３０ａを回転させるパルスモータ（不図示）が連結されている。パルスモータによってボールねじ３０ａを回転させると、移動プレート２８ａがガイドレール２６に沿ってＹ軸方向に移動する。

移動プレート２８ａの表面（前面）側には、一対のガイドレール３４ａがＺ軸方向に沿って固定されている。一対のガイドレール３４ａには、平板状の移動プレート３６ａがスライド可能に装着されている。移動プレート３６ａの裏面側（後面側）にはナット（不図示）が設けられており、このナットには、ガイドレール３４ａと概ね平行に配置されたボールねじ３８ａが螺合されている。また、ボールねじ３８ａの端部には、ボールねじ３８ａを回転させるパルスモータ４０ａが連結されている。パルスモータ４０ａによってボールねじ３８ａを回転させると、移動プレート３６ａがガイドレール３４ａに沿ってＺ軸方向に移動する。

移動機構２４ｂは、平板状の移動プレート２８ｂを備える。移動プレート２８ｂは、一対のガイドレール２６にスライド可能に装着されている。移動プレート２８ｂの裏面側（後面側）にはナット（不図示）が設けられており、このナットには、ガイドレール２６と概ね平行に配置されたボールねじ３０ｂが螺合されている。また、ボールねじ３０ｂの端部には、ボールねじ３０ｂを回転させるパルスモータ３２が連結されている。パルスモータ３２によってボールねじ３０ｂを回転させると、移動プレート２８ｂがガイドレール２６に沿ってＹ軸方向に移動する。

移動プレート２８ｂの表面（前面）側には、一対のガイドレール３４ｂがＺ軸方向に沿って固定されている。一対のガイドレール３４ｂには、平板状の移動プレート３６ｂがスライド可能に装着されている。移動プレート３６ｂの裏面側（後面側）にはナット（不図示）が設けられており、このナットには、ガイドレール３４ｂと概ね平行に配置されたボールねじ３８ｂが螺合されている。また、ボールねじ３８ｂの端部には、ボールねじ３８ｂを回転させるパルスモータ４０ｂが連結されている。パルスモータ４０ｂによってボールねじ３８ｂを回転させると、移動プレート３６ｂがガイドレール３４ｂに沿ってＺ軸方向に移動する。

加工ユニット２０ａは移動プレート３６ａの下部に固定され、加工ユニット２０ｂは移動プレート３６ｂの下部に固定されている。また、加工ユニット２０ａに隣接する位置には、チャックテーブル１２によって保持された被加工物１１等を撮像するカメラ（撮像ユニット）４２が設けられている。

例えばカメラ４２として、可視光を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える可視光カメラや、赤外線を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える赤外線カメラが用いられる。カメラ４２によって取得された画像は、チャックテーブル１２によって保持された被加工物１１と加工ユニット２０ａ，２０ｂとの位置合わせ等に用いられる。

開口４ｂの開口４ａとは反対側の側方には、基台４の上面側で開口する円形の開口４ｃが設けられている。開口４ｃの内側には、被加工物１１を洗浄する洗浄ユニット４４が設けられている。洗浄ユニット４４は、被加工物１１を保持して回転するスピンナテーブル４６と、洗浄用の流体を供給するノズル４８とを備える。

スピンナテーブル４６の上面は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と概ね平行な平坦面であり、被加工物１１を保持する保持面４６ａを構成している。保持面４６ａは、スピンナテーブル４６の内部に形成された流路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。また、スピンナテーブル４６には、スピンナテーブル４６をＺ軸方向と概ね平行な回転軸の周りで回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。

スピンナテーブル４６の上方には、ノズル４８が配置されている。スピンナテーブル４６によって被加工物１１を保持した状態で、スピンナテーブル４６を回転させつつノズル４８から洗浄用の流体を供給することにより、被加工物１１が洗浄される。なお、洗浄用の流体の成分に制限はない。例えば、純水等の液体や、液体（純水等）と気体（エアー等）とが混合された混合流体が、洗浄用の流体としてノズル４８から供給される。

開口４ｂ，４ｃの近傍には、被加工物１１をチャックテーブル１２とスピンナテーブル４６との間で搬送する搬送機構（不図示）が設けられている。被加工物１１は、加工ユニット２０ａ，２０ｂによって加工された後、搬送機構によってチャックテーブル１２からスピンナテーブル４６に搬送され、洗浄される。

基台４の上側には、基台４上に搭載された構成要素を覆うカバー５０が設けられている。図１では、カバー５０の輪郭を二点鎖線で示している。そして、カバー５０の側部には、加工装置２に関する各種の情報を表示する表示部（表示ユニット、表示装置）５２が設けられている。

表示部５２としては、各種のディスプレイを用いることができる。例えば、表示部５２としてタッチパネルが用いられる。この場合、加工装置２のオペレーターは、表示部５２に表示された情報を確認するとともに、表示部５２のタッチ操作によって加工装置２に情報を入力する。すなわち、表示部５２は加工装置２に各種の情報を入力するための入力部（入力ユニット、入力装置）としても機能し、ユーザーインターフェースとして用いられる。ただし、入力部は、表示部５２とは別途独立に設けられたマウス、キーボード等であってもよい。

カバー５０の上面側には、オペレーターに情報を報知する報知部（報知ユニット、報知装置）５４が設けられている。例えば、報知部５４は表示灯（警告灯）であり、加工装置２で異常が発生した際に点灯又は点滅してオペレーターにエラーを報知する。また、報知部５４はスピーカーであってもよい。この場合、報知部５４は、加工装置２で異常が発生した際にエラーを報知する音（警告音）や音声（警告メッセージ）を発する。

また、加工装置２は、加工装置２の内部の所定の領域を撮像するカメラ（撮像ユニット）５６を備える。具体的には、カメラ５６は、監視対象に設定された加工装置２の所定の構成要素を撮像して監視する監視カメラであり、例えばカメラ４２と同様に構成される。なお、カメラ５６は、監視対象を連続的に撮像して動画を取得してもよいし、監視対象を所定の時間間隔で撮像して複数の静止画を取得してもよい。

例えばカメラ５６は、図１に示すようにチャックテーブル１２の上方に設置され、チャックテーブル１２を撮像して監視する。ただし、カメラ５６は、チャックテーブル１２以外の構成要素（例えば、加工ユニット２０ａ，２０ｂ、スピンナテーブル４６等）を撮像して監視してもよい。また、加工装置２には、それぞれ異なる構成要素を監視する複数のカメラ５６が設けられていてもよい。

また、加工装置２は、加工装置２を構成する各構成要素（カセット支持台６、移動機構１０、チャックテーブル１２、クランプ１８、加工ユニット２０ａ，２０ｂ、移動機構２４ａ，２４ｂ、カメラ４２、洗浄ユニット４４、表示部５２、報知部５４、カメラ５６等）を制御する制御部（制御ユニット、制御装置）５８を備える。制御部５８は、加工装置２の構成要素にそれぞれ制御信号を出力することにより、各構成要素の作動を制御し、加工装置２を稼働させる。

例えば制御部５８は、コンピュータによって構成される。具体的には、制御部５８は、加工装置２の稼働に必要な演算を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサと、加工装置２の稼働に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等のメモリを含む。

加工装置２には、加工装置２で使用される気体を供給する気体供給ユニット６０ａ，６０ｂと、加工装置２で使用される液体を供給する液体供給ユニット６０ｃとが接続されている。気体供給ユニット６０ａは、加工装置２に接続された流路６２ａと、流路６２ａを介して加工装置２に気体を供給する気体供給源６４ａとを備える。また、気体供給ユニット６０ｂは、加工装置２に接続された流路６２ｂと、流路６２ｂを介して加工装置２に気体を供給する気体供給源６４ｂとを備える。さらに、液体供給ユニット６０ｃは、加工装置２に接続された流路６２ｃと、流路６２ｃを介して加工装置２に液体を供給する液体供給源６４ｃとを備える。

流路６２ａ，６２ｂ，６２ｃは、内部を流体が流動可能な配管、チューブ等によって構成される。また、気体供給源６４ａ、気体供給源６４ｂ、液体供給源６４ｃは、加工装置２の外部に設けられた工場設備であり、それぞれ流路６２ａ，６２ｂ，６２ｃに接続される。

気体供給源６４ａは、加工装置２で使用される主要な気体を供給する。例えば、気体供給源６４ａから流路６２ａを介して加工装置２に供給されたエアー（メインエアー）が、チャックテーブル１２の保持面１２ａ及びスピンナテーブル４６の保持面４６ａに吸引力を作用させる真空エジェクタで用いられる。

気体供給源６４ｂは、加工装置２で使用され、気体供給源６４ａから供給される気体よりもミスト（水分）及びダスト（パーティクル）の含有量が小さい気体を供給する。例えば、気体供給源６４ｂから流路６２ｂを介して加工装置２に供給されたエアー（クリーンエアー）が、洗浄ユニット４４のノズル４８から供給される洗浄用の流体の成分として用いられる。また、クリーンエアーは、洗浄ユニット４４によって洗浄された後の被加工物１１を乾燥させるために被加工物１１に吹き付けられる乾燥用のエアーとして用いることもできる。

液体供給源６４ｃは、加工装置２で使用される液体を供給する。例えば、液体供給源６４ｃから流路６２ｃを介して加工装置２に供給された純水が、加工ユニット２０ａ，２０ｂのノズル９２（図２（Ｂ）参照）から切削ブレード８０に供給される加工液や、洗浄ユニット４４のノズル４８から供給される洗浄用の流体として用いられる。

加工装置２によって被加工物１１を加工する際には、カセット８に収容された被加工物１１が搬送機構（不図示）によって１枚ずつチャックテーブル１２に搬送される。そして、チャックテーブル１２によって吸引保持された被加工物１１が、加工ユニット２０ａ，２０ｂによって加工される。具体的には、加工ユニット２０ａに装着された切削ブレード８０、又は、加工ユニット２０ｂに装着された切削ブレード８０を回転させ、被加工物１１に切り込ませることにより、被加工物１１が切削される。

加工後の被加工物１１は、搬送機構（不図示）によって洗浄ユニット４４に搬送され、スピンナテーブル４６によって吸引保持される。そして、ノズル４８から供給される洗浄用の流体によって、被加工物１１が洗浄される。その後、被加工物１１は搬送機構(不図示)によって搬送され、再度カセット８に収容される。

本実施形態においては、加工装置２の稼働中、加工装置２の作動状況が監視される。具体的には、加工装置２の作動状況を示す情報（作動状況情報）が、加工装置２の構成要素に備えられたセンサ等によって逐次的に取得され、表示部５２に表示される。これにより、オペレーターは加工装置２が正常に作動しているか否かを常時確認できる。

加工装置２の稼働は、制御部５８によって制御される。図３は、制御部５８を示すブロック図である。図３には、制御部５８の機能的な構成をブロックで表している。制御部５８は、外部から入力された情報（信号、データ等）を処理するとともに、各種の情報（信号、データ等）を外部に出力する処理部１００と、処理部１００による処理に用いられる情報（データ、プログラム等）を記憶する記憶部１２０とを備える。

処理部１００は、加工装置２の構成要素の作動を制御する作動制御部１０２を含む。作動制御部１０２は、制御部５８の外部や記憶部１２０から入力された情報に基づいて、加工装置２の構成要素を制御するための制御信号を生成する。作動制御部１０２から構成要素に制御信号が入力されることにより、各構成要素が連動して作動し、加工装置２による被加工物１１の加工が自動で行われる。

作動制御部１０２は、表示部５２に表示される情報を制御する表示制御部１０２ａを含む。表示制御部１０２ａは、表示部５２に所定の情報を表示させるための制御信号を生成し、表示部５２に出力する。表示制御部１０２ａから表示部５２に制御信号が入力されると、表示部５２は制御信号に基づいて所定の情報（文字、図形等）を表示する。

また、処理部１００は、加工装置２の作動状況を示す情報（作動状況情報）が入力される作動状況情報入力部１０４を含む。作動状況情報入力部１０４は、作動状況情報を取得する作動状況情報取得部１１２に接続されている。

作動状況情報取得部１１２は、加工装置２の構成要素や加工装置２の接続されたユニット（機構）等に相当し、作動状況情報、すなわち、加工装置２が正常に稼働しているか否かの判断に利用可能な情報を取得する。例えば、図１に示すチャックテーブル１２、加工ユニット２０ａ，２０ｂ、スピンナテーブル４６、気体供給ユニット６０ａ、気体供給ユニット６０ｂ、液体供給ユニット６０ｃ等が、作動状況情報取得部１１２として機能する。そして、作動状況情報取得部１１２によって取得された作動状況情報が、作動状況情報入力部１０４に入力される。

具体的には、チャックテーブル１２は、保持面１２ａに接続された流路（不図示）の圧力を測定するセンサ（圧力計）を備える。そして、圧力計によって測定されたチャックテーブル１２の流路の圧力が、作動状況情報として作動状況情報入力部１０４に入力される。また、スピンナテーブル４６は、保持面４６ａに接続された流路（不図示）の圧力を測定するセンサ（圧力計）を備える。そして、圧力計によって測定されたスピンナテーブル４６の流路の圧力が、作動状況情報として作動状況情報入力部１０４に入力される。

チャックテーブル１２の流路の圧力（バキューム圧力）は、チャックテーブル１２の吸引力に相当する。また、スピンナテーブル４６の流路の圧力（バキューム圧力）は、スピンナテーブル４６の吸引力に相当する。チャックテーブル１２及びスピンナテーブル４６のバキューム圧力を常時測定することにより、被加工物１１がチャックテーブル１２及びスピンナテーブル４６によって適切に保持されているか否かを監視できる。

また、加工ユニット２０ａ，２０ｂは、スピンドル７２（図２（Ａ）参照）に連結されたモータ（回転駆動源）の回転数及び電流値を測定するセンサを備える。そして、センサによって測定されたモータの回転数及び電流値が、作動状況情報として作動状況情報入力部１０４に入力される。モータの回転数を常時測定することにより、被加工物１１の加工時に切削ブレード８０の回転数が所定の数値範囲内に維持されているか否かを監視できる。また、モータの電流値を常時測定することにより、被加工物１１の加工時に切削ブレード８０にかかる負荷が許容範囲内であるか否かを監視できる。

なお、加工ユニット２０ａ，２０ｂのブレードカバー８８（図２（Ｂ）参照）の内部や、加工ユニット２０ａ，２０ｂの下側には、切削ブレード８０の先端位置を検出する光センサが設けられていてもよい。そして、光センサの受光量が、作動状況情報として作動状況情報入力部１０４に入力されてもよい。この場合、光センサの受光量が常時測定され、光センサが正常に作動しているか否かが監視される。

また、気体供給ユニット６０ａ、気体供給ユニット６０ｂ、液体供給ユニット６０ｃはそれぞれ、流路６２ａ，６２ｂ，６２ｃの圧力を測定するセンサ（圧力計）を備える。そして、圧力計によって測定された流路６２ａ，６２ｂ，６２ｃの流路の圧力が、作動状況情報として作動状況情報入力部１０４に入力される。流路６２ａ，６２ｂ，６２ｃの圧力を常時測定することにより、加工装置２に気体及び液体が適切な流量で供給されているか否かを監視できる。

また、処理部１００は、カメラ５６によって取得された画像が入力される画像入力部１０６を含む。前述の通り、カメラ５６は、監視対象に設定された加工装置２の所定の構成要素を常時撮像して監視する。そして、カメラ５６によって取得された動画又は静止画が、画像入力部１０６に逐次的に入力される。

また、処理部１００は、時間を計測する計時部１０８を含む。例えば計時部１０８は、現在の日付及び時刻を計測する。なお、計時部１０８は、所定の基準時（加工装置２の稼働開始時、加工装置２による被加工物１１の加工開始時等）からの時間を計測してもよい。計時部１０８によって計測された時間は、作動制御部１０２、作動状況情報入力部１０４、画像入力部１０６に出力される。

記憶部１２０は、加工装置２の作動に関する情報（ログ情報）を記憶するログ情報記憶部１２２を含む。ログ情報記憶部１２２は、加工装置２によって実行された作業の履歴を示す情報（作業履歴情報）を記憶する作業履歴情報記憶部１２４と、加工装置２の作動状況を示す情報（作動状況情報）を記録する作動状況情報記憶部１２６と、カメラ５６によって取得された画像を記憶する画像記憶部１２８とを含む。

作業履歴情報記憶部１２４には、加工装置２によって実施された作業の内容が、該作業の実施時刻とともに蓄積される。また、作動状況情報記憶部１２６には、作動状況情報取得部１１２によって取得された作動状況情報が、該作動状況情報の取得時刻とともに蓄積される。さらに、画像記憶部１２８には、カメラ５６によって取得された画像が、該画像の取得時刻とともに蓄積される。

また、処理部１００は、作動状況情報記憶部１２６に記憶された作動状況情報を時系列で表すグラフを生成するグラフ生成部１１０を含む。例えばグラフ生成部１１０は、作動状況情報が取得された時刻を横軸で示し、作動状況情報の値（チャックテーブル１２のバキューム圧力、スピンナテーブル４６のバキューム圧力、スピンドル７２に連結されたモータの回転数及び電流値、光センサの受光量、流路６２ａ，６２ｂ，６２ｃの圧力等）を縦軸で示すグラフを生成する。

次に、図３に示すブロック図を参照しつつ、加工装置２の具体的な作動例を説明する。なお、以下では、表示部５２がタッチパネルであり、オペレーターが表示部５２のタッチ操作によって加工装置２に情報を入力可能である場合について説明する。また、以下では代表例として、作動状況情報取得部１１２がバキューム圧力を測定可能なチャックテーブル１２（図１参照）であり、カメラ５６によってチャックテーブル１２が撮像、監視される場合について説明する。

加工装置２が稼働すると、表示部５２に操作画面が表示される。具体的には、表示制御部１０２ａが表示部５２に制御信号を出力し、オペレーターが加工装置２を操作するための画面（操作画面）を表示部５２に表示させる。

図４（Ａ）は、操作画面１３０を表示する表示部５２を示す正面図である。操作画面１３０は、その上部に所定の情報を表示する表示欄１３２を含む。例えば表示欄１３２には、加工装置２に関する情報、被加工物１１に関する情報、加工条件に関する情報、オペレーターに対する指示等が文字で表示される。ただし、表示欄１３２に表示される情報に制限はない。

また、操作画面１３０は、加工装置２に所定の処理を実行させるための複数の処理キー１３４を含む。複数の処理キー１３４はそれぞれ、加工装置２の主要な処理に対応して表示される。例えば、加工条件を指定して加工を実行するための処理キー、被加工物１１の情報（被加工物１１のサイズ、形状、材質、ストリートの間隔等）を入力するための処理キー、メンテナンス条件を指定して加工装置２のメンテナンスを実行するための処理キー等が、処理キー１３４として表示される。なお、図４（Ａ）では操作画面１３０に８個の処理キー１３４が含まれている例を示しているが、処理キー１３４の数に制限はない。

さらに、操作画面１３０は、表示部５２に加工装置２の作動状況を表示させるための作動状況表示キー１３６を含む。具体的には、作動状況表示キー１３６は、作動状況情報記憶部１２６に記憶されている作動状況情報を表示部５２に表示させるための処理キーである。

オペレーターは、表示部５２の処理キー１３４又は作動状況表示キー１３６が表示されている領域をタップすることにより、所望の処理キー１３４又は作動状況表示キー１３６を選択できる。なお、表示欄１３２、処理キー１３４、作動状況表示キー１３６の大きさ、形状、配置等に制限はない。すなわち、操作画面１３０は、加工装置２の種類やオペレーターの便宜等を考慮して適宜デザインされる。

オペレーターが表示部５２を操作すると、加工装置２は、選択された処理キー１３４又は作動状況表示キー１３６に対応する処理を実行する。具体的には、表示部５２は、オペレーターによって処理キー１３４又は作動状況表示キー１３６が選択された旨を示す信号（選択信号）を制御部５８に出力する。そして、制御部５８は、選択信号に基づいて制御信号を生成し、選択された処理が実行されるように加工装置２の各構成要素の作動を制御する。

加工装置２の稼働中は、加工装置２によって実行されるべき作業に対応する制御信号が、作動制御部１０２から加工装置２の各構成要素に逐次出力される。これにより、加工装置２の構成要素が作動し、所定の作業が所定の順序で実行される。例えば、加工装置２による被加工物１１の加工が実施される際には、加工装置２の構成要素が連動して作動し、被加工物１１の搬送、加工、洗浄等が逐次実行される。

また、加工装置２によって実行された作業の内容を示す情報（作業履歴情報）が、作業履歴情報記憶部１２４に逐次記憶される。具体的には、作動制御部１０２は、所定の作業に対応する制御信号を加工装置２の構成要素に出力するとともに、該作業の内容を示す情報と、計時部１０８から入力された時刻とを作業履歴情報記憶部１２４に記憶する。これにより、加工装置２によって実行された作業の内容に対応する作業履歴情報と、該作業が実行された時刻とが、互いに紐づけられた状態で作業履歴情報記憶部１２４に蓄積される。

また、加工装置２の稼働中は、作動状況情報取得部１１２によって作動状況情報が常時取得され、作動状況情報入力部１０４に入力される。例えば、チャックテーブル１２（図１参照）のバキューム圧が監視項目に設定されている場合、チャックテーブル１２は、保持面１２ａ（図１参照）に接続された流路の圧力（バキューム圧力）をセンサ（圧力計）によって常時測定し、測定されたバキューム圧力を作動状況情報として作動状況情報入力部１０４に逐次出力する。

そして、作動状況情報入力部１０４は、作動状況情報取得部１１２から入力された作動状況情報と、計時部１０８から入力された時刻とを、作動状況情報記憶部１２６に記憶する。これにより、作動状況情報取得部１１２によって取得された作動状況情報と、該作動状況情報が取得された時刻とが、互いに紐づけられた状態で作動状況情報記憶部１２６に蓄積される。

さらに、加工装置２の稼働中は、カメラ５６によって加工装置２の内部の所定の領域が常時撮像され、取得された画像が画像入力部１０６に入力される。例えば、カメラ５６はチャックテーブル１２の保持面１２ａ側を常時撮像し、チャックテーブル１２の画像を画像入力部１０６に逐次出力する。

そして、画像入力部１０６は、カメラ５６から入力された画像と、計時部１０８から入力された時刻とを、画像記憶部１２８に記憶する。これにより、カメラ５６によって取得された画像と、該画像が取得された時刻とが、互いに紐づけられた状態で画像記憶部１２８に蓄積される。

上記のように、加工装置２の稼働中は、作業履歴情報と、作動状況情報と、カメラ５６によって取得された画像とが、ログ情報として時系列でログ情報記憶部１２２に記憶される。

なお、複数の監視項目が設定されている場合には、複数の監視項目ごとに作動状況情報及び画像が取得され、作動状況情報記憶部１２６及び画像記憶部１２８に記憶される。例えば、チャックテーブル１２（図１参照）とスピンナテーブル４６（図１参照）とが監視項目として設定されている場合には、チャックテーブル１２のバキューム圧力とスピンナテーブル４６のバキューム圧力とが作動状況情報記憶部１２６に記憶される。また、チャックテーブル１２を監視するカメラ５６とスピンナテーブル４６を監視するカメラ５６とが個別に設けられ、チャックテーブル１２の画像とスピンナテーブル４６の画像とが画像記憶部１２８に記憶される。

図４（Ｂ）は、作動状況表示キー１３６が選択された状態の表示部５２を示す正面図である。加工装置２の稼働中、オペレーターが表示部５２の作動状況表示キー１３６が表示された領域をタップすると、作動状況表示キー１３６が選択される。そして、表示部５２は、作動状況表示キー１３６が選択された旨を示す信号（表示キー選択信号）を制御部５８に出力する。

制御部５８に表示キー選択信号が入力されると、処理部１００は記憶部１２０のログ情報記憶部１２２にアクセスし、作動状況情報記憶部１２６から作動状況情報を読み出す。そして、作動状況情報は、作動状況情報の取得時刻とともにグラフ生成部１１０に入力される。

グラフ生成部１１０は、作動状況情報記憶部１２６から読み出された作動状況情報を時系列で表すグラフを生成する。例えば、作動状況情報記憶部１２６にチャックテーブル１２（図１参照）のバキューム圧力が蓄積されている場合には、グラフ生成部１１０は、バキューム圧力が測定された時刻を横軸で示し、バキューム圧力を縦軸で示すグラフを生成する。

グラフ生成部１１０によって生成されたグラフは、作動制御部１０２に入力される。そして、表示制御部１０２ａは、表示部５２に制御信号を出力し、生成されたグラフを表示部５２に表示させる。例えば、図４（Ｂ）に示すように、作動状況表示キー１３６が選択されると、作動状況情報を表示する表示欄（作動状況情報表示欄）１３８が操作画面１３０の右側に表示される。そして、表示欄１３８に、作動状況情報の時間推移を示すグラフ１４０が表示される。

なお、複数の監視項目が設定されている場合には、複数の監視項目ごとにグラフ１４０が生成され、図４（Ｂ）に示すように複数のグラフ１４０が表示欄１３８に表示される。例えば、チャックテーブル１２（図１参照）とスピンナテーブル４６（図１参照）とが監視項目として設定されている場合には、チャックテーブル１２のバキューム圧力を時系列で表すグラフ１４０と、スピンナテーブル４６のバキューム圧力を時系列で表すグラフ１４０とがグラフ生成部１１０によって生成され、表示欄１３８に表示される。

図４（Ｃ）は、グラフ１４０が選択された状態の表示部５２を示す正面図である。オペレーターが表示部５２のグラフ１４０が表示された領域をタップすると、グラフ１４０が選択される。そして、表示部５２は、グラフ１４０が選択された旨を示す信号（グラフ選択信号）を制御部５８に出力する。

制御部５８にグラフ選択信号が入力されると、表示制御部１０２ａは表示部５２に制御信号を出力し、選択されたグラフ１４０を表示部５２に拡大表示させる。具体的には、図４（Ｃ）に示すように、グラフ１４０を拡大表示する表示欄（拡大表示欄）１４２が操作画面１３０に表示される。そして、表示欄１４２に、選択されたグラフ１４０の拡大図に相当する拡大グラフ１４４が表示される。

なお、拡大グラフ１４４が表示される領域は、グラフ１４０が表示される領域よりも大きい。そのため、拡大グラフ１４４の横軸の数値範囲をグラフ１４０の横軸の数値範囲より広く設定しても、オペレーターは作動状況情報の時間推移を明確に認識できる。例えば、作動状況情報の取得を開始してから現在に至るまでの全期間における作動状況情報の時間推移を示す拡大グラフ１４４が、表示欄１４２に表示される。これにより、オペレーターは加工装置２が稼働している全期間において作動状況情報に異常がないか否かを瞬時に確認できる。

なお、拡大グラフ１４４のスケール（縦軸及び横軸の数値範囲）は、オペレーターが表示部５２を操作することによって変更できる。例えば制御部５８は、ピンチアウト操作及びピンチイン操作が行われた際に、表示欄１４２に表示されている拡大グラフ１４４のスケールを変更する。具体的には、表示部５２の拡大グラフ１４４が表示されている領域に２本の指が触れた状態を維持したまま、２本の指を互いに離し（ピンチアウト）又は近づける（ピンチイン）ことにより、拡大グラフ１４４のスケールが変更される。

図５（Ａ）は、拡大グラフ１４４が選択された状態の表示部５２を示す正面図である。オペレーターが、表示部５２の拡大グラフ１４４が表示された領域をタッチすると、拡大グラフ１４４内の領域が選択される。そして、表示部５２は、オペレーターによって選択された領域に対応する拡大グラフ１４４の横軸の値（選択時刻）を示す情報（選択時刻情報）を制御部５８に出力する。

制御部５８に選択時刻情報が入力されると、表示制御部１０２ａは表示部５２に制御信号を出力し、選択時刻を示すバー１４６を表示させる。バー１４６は、拡大グラフ１４４内の選択（タッチ）された領域を通り、且つ、拡大グラフ１４４の横軸と垂直な直線状の目印である。バー１４６が表示させることにより、オペレーターは自身が選択している拡大グラフ１４４内の領域の位置を明確に認識することができる。なお、バー１４６の表示は、オペレーターが表示部５２に触れている間継続される。

また、処理部１００は、記憶部１２０の作業履歴情報記憶部１２４にアクセスし、作業履歴情報記憶部１２４に蓄積されている作業履歴情報を読み出す。そして、処理部１００は、作業履歴情報に紐づけられている時刻を参照し、選択時刻において加工装置２によって実行されていた作業を示す作業履歴情報を特定する。

さらに、処理部１００は、記憶部１２０の画像記憶部１２８にアクセスし、画像記憶部１２８に蓄積されている画像を読み出す。そして、処理部１００は、画像に紐づけられている時刻を参照し、選択時刻に取得された画像を特定する。なお、選択時刻に取得された画像が存在しない場合は、選択時刻の直前又は直後に取得された画像が特定される。

そして、表示制御部１０２ａは、表示部５２に制御信号を出力し、作業履歴情報を表示する表示欄（作業履歴情報表示欄）１４８と、画像を表示する表示欄（画像表示欄）１５２とを表示部５２に表示させる。図５（Ｂ）は、表示部５２の表示欄１４８及び表示欄１５２が表示された領域を示す正面図である。

表示欄１４８には、作業履歴情報記憶部１２４に蓄積されている作業履歴情報が時系列で表示される。具体的には、表示欄１４８には、加工装置２によって実行された作業の内容を表示する複数の表示欄（作業内容表示欄）１５０が表示される。例えば、表示欄１５０には、作業の内容（被加工物１１の搬送、保持、加工、洗浄等）を文字で示す作業内容情報１５０ａと、作業内容情報１５０ａが示す作業が実行された日付及び時刻を数字で示す作業時刻情報１５０ｂとが表示される。そして、複数の表示欄１５０は、実行されたタイミングが新しい作業ほど下側に表示されるように、表示欄１４８の上下方向に沿って配列される。

また、表示制御部１０２ａは、複数の表示欄１５０のうち、オペレーターによって選択された時刻（選択時刻）において加工装置２によって実行されていた作業を表示する表示欄１５０（表示欄１５０Ａ）を、強調して表示する。すなわち、表示欄１４２に表示されているバー１４６が示す時刻において実行されていた作業を表示する表示欄１５０Ａが、強調表示される。これにより、オペレーターは、自身が選択している時刻において実施されていた作業の内容を瞬時に把握できる。

なお、表示欄１５０Ａの強調方法に制限はない。例えば、表示欄１５０Ａの枠線を他の表示欄１５０の枠線より太く表示してもよいし、表示欄１５０Ａを拡大又は点滅させてもよい。また、表示欄１５０Ａを他の表示欄１５０とは異なる色で表示してもよい。また、表示欄１５０Ａに表示される作業内容情報１５０ａ及び作業時刻情報１５０ｂを示す文字を、他の表示欄１５０に表示される作業内容情報１５０ａ及び作業時刻情報１５０ｂを示す文字と異なる色で表示してもよい。

一方、表示欄１５２には、画像記憶部１２８に蓄積されている画像が表示される。具体的には、表示欄１５２には、拡大グラフ１４４（図５（Ａ）参照）によって作業履歴情報が表されている加工装置２の構成要素の画像が表示される。例えば、拡大グラフ１４４がチャックテーブル１２（図１参照）のバキューム圧力を表している場合、チャックテーブル１２の画像１５４が表示欄１５２に表示される。図５（Ｂ）には一例として、チャックテーブル１２が被加工物１１を保持している様子を表す画像１５４を模式的に示している。

表示欄１５２に表示される画像１５４としては、オペレーターによって選択された時刻（選択時刻）において取得された画像１５４や、選択時刻の直前又は直後に取得された画像１５４が選択される。すなわち、表示欄１４２に表示されているバー１４６が示す時刻（又はその前後）において取得された画像１５４が表示される。これにより、オペレーターは、自身が選択している時刻における監視対象の状態を視覚的に確認できる。

上記の通り、オペレーターは、作動状況表示キー１３６を選択することによって作動状況情報の時間推移を示すグラフ１４０を確認することができ（図４（Ｂ）参照）、また、任意のグラフ１４０を選択することによって拡大グラフ１４４を確認することができる（図４（Ｃ）参照）。さらに、オペレーターは、拡大グラフ１４４内の領域を選択することにより、拡大グラフ１４４に示される任意の時刻における、加工装置２の作業内容と監視対象の外観とを確認することができる（図５（Ａ）及び図５（Ｂ）参照）。

なお、拡大グラフ１４４内の領域は、スワイプ操作によって選択可能であってもよい。この場合には、まず、拡大グラフ１４４内の任意の領域にオペレーターの指が触れると、選択された領域と重なる位置にバー１４６が表示される（図５（Ａ）参照）。そして、拡大グラフ１４４内の領域に指が触れた状態を維持したまま、指を左右方向にスライドさせると、指の動きに連動してバー１４６が左右方向に移動する。これにより、拡大グラフ１４４の選択領域を連続的に変化させることができる。

図６（Ａ）はバー１４６が時間経過の逆方向に移動する表示部５２を示す正面図であり、図６（Ｂ）はバー１４６が時間経過の順方向に移動する表示部５２を示す正面図である。スワイプ操作によってバー１４６の位置を連続的に移動させると、表示欄１４８に強調表示される表示欄１５０Ａと、表示欄１５２に表示される画像１５４とが、バー１４６の位置に連動して連続的に変化する。

そのため、オペレーターは、スワイプ操作を行いつつ表示欄１４８及び表示欄１５２を確認することにより、加工装置２によって実行される作業が切り替わったタイミングや加工装置２の構成要素の外観が変化したタイミングを容易に特定できる。また、加工装置２の作業内容の切り替わりや構成要素の外観の変化を、作動状況情報の推移と関連付けて連続的に観察することができる。

以上の通り、本実施形態に係る加工装置２では、作動状況情報を時系列で表すグラフ（拡大グラフ１４４）が表示部５２に表示される。また、グラフ内の領域が選択されると、選択された領域に対応する作業履歴情報が表示部５２に表示される。そのため、オペレーターは、特別な操作を行うことなく作動状況情報の推移をグラフで確認できるとともに、作動状況情報の変化と加工装置２によって実行された作業との関係を容易に確認、分析できる。これにより、加工装置２から作業履歴情報を抽出する作業や、抽出された作業履歴情報に様々なデータ処理を施す作業が不要となり、加工装置２の作動状況の分析が極めて容易になる。

例えば、グラフで表された作動状況情報がある時刻において異常値を示している場合、グラフ内の異常値を示している領域を選択することにより、該時刻における作業履歴情報を表示部５２に表示させることができる。これにより、異常の発生時において加工装置２が実行していた作業が速やかに把握され、異常の原因を特定する作業が簡略化される。

さらに、本実施形態に係る加工装置２では、グラフ内の領域が選択された際に、選択された領域に対応する画像１５４を表示させることもできる。これにより、作動状況情報が異常値を示している時刻において、加工装置２の構成要素がどのような状態であったかを視覚的に確認することが可能となり、異常の原因がより特定されやすくなる。

なお、本実施形態では、加工装置２が加工ユニット（切削ユニット）２０ａ，２０ｂで被加工物１１を切削する切削装置である例について説明したが、加工装置２の種類に制限はない。例えば加工装置２は、被加工物１１を研削する加工ユニット（研削ユニット）を備える研削装置や、被加工物１１を研磨する加工ユニット（研磨ユニット）を備える研磨装置であってもよい。

研削装置の研削ユニットはスピンドルを備えており、スピンドルの先端部には複数の研削砥石が固定された環状の研削ホイールが装着される。そして、研削ユニットは研削ホイールを回転させながら研削砥石を被加工物１１に接触させることにより、被加工物１１を研削する。また、研磨装置の研磨ユニットはスピンドルを備えており、スピンドルの先端部には円盤状の研磨パッドが装着される。そして、研磨ユニットは研磨パッドを回転させながら被加工物１１に接触させることにより、被加工物１１を研磨する。

また、加工装置２は、レーザービームの照射によって被加工物１１を加工する加工ユニット（レーザー照射ユニット）を備えるレーザー加工装置であってもよい。レーザー照射ユニットは、所定の波長のレーザーを発振するレーザー発振器と、レーザー発振器から発振されたレーザーを集光させる集光器とを備える。レーザー照射ユニットから被加工物１１にレーザービームを照射することにより、被加工物１１が加工される。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１１ 被加工物
１３ テープ（ダイシングテープ）
１５ フレーム
２ 加工装置
４ 基台
４ａ，４ｂ，４ｃ 開口
６ カセット支持台
８ カセット
１０ 移動機構（移動ユニット）
１２ チャックテーブル（保持テーブル）
１２ａ 保持面
１４ テーブルカバー
１６ 防塵防滴カバー
１８ クランプ
２０ａ，２０ｂ 加工ユニット（切削ユニット）
２２ 支持構造
２４ａ，２４ｂ 移動機構（移動ユニット）
２６ ガイドレール
２８ａ，２８ｂ 移動プレート
３０ａ，３０ｂ ボールねじ
３２ パルスモータ
３４ａ，３４ｂ ガイドレール
３６ａ，３６ｂ 移動プレート
３８ａ，３８ｂ ボールねじ
４０ａ，４０ｂ パルスモータ
４２ カメラ（撮像ユニット）
４４ 洗浄ユニット
４６ スピンナテーブル
４６ａ 保持面
４８ ノズル
５０ カバー
５２ 表示部（表示ユニット、表示装置）
５４ 報知部（報知ユニット、報知装置）
５６ カメラ（撮像ユニット）
５８ 制御部（制御ユニット、制御装置）
６０ａ 気体供給ユニット
６０ｂ 気体供給ユニット
６０ｃ 液体供給ユニット
６２ａ，６２ｂ，６２ｃ 流路
６４ａ 気体供給源
６４ｂ 気体供給源
６４ｃ 液体供給源
７０ ハウジング
７２ スピンドル（回転軸）
７４ マウント
７６ フランジ部
７６ａ 表面
７６ｂ 凸部
７８ 支持軸（ボス部）
７８ａ ねじ部
８０ 切削ブレード
８２ 基台
８２ａ 開口
８２ｂ 把持部
８４ 切り刃
８６ 固定ナット
８６ａ 開口
８８ ブレードカバー
９０ 接続部
９２ ノズル
１００ 処理部
１０２ 作動制御部
１０２ａ 表示制御部
１０４ 作動状況情報入力部
１０６ 画像入力部
１０８ 計時部
１１０ グラフ生成部
１１２ 作動状況情報取得部
１２０ 記憶部
１２２ ログ情報記憶部
１２４ 作業履歴情報記憶部
１２６ 作動状況情報記憶部
１２８ 画像記憶部
１３０ 操作画面
１３２ 表示欄
１３４ 処理キー
１３６ 作動状況表示キー
１３８ 表示欄（作動状況情報表示欄）
１４０ グラフ
１４２ 表示欄（拡大表示欄）
１４４ 拡大グラフ
１４６ バー
１４８ 表示欄（作業履歴情報表示欄）
１５０，１５０Ａ 表示欄（作業内容表示欄）
１５０ａ 作業内容情報
１５０ｂ 作業時刻情報
１５２ 表示欄（画像表示欄）
１５４ 画像

Claims (4)

1. 被加工物を加工する加工装置であって、
   該被加工物を保持するチャックテーブルと、
   該チャックテーブルによって保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
   該加工装置によって実行された作業の履歴を示す作業履歴情報と、該加工装置の作動状況を示す作動状況情報と、を時系列でログ情報として記憶する記憶部と、
   該記憶部に記憶された該作動状況情報を時系列で表すグラフを生成する処理部と、
   該処理部によって生成された該グラフと、該グラフ内の選択された領域に対応する該作業履歴情報とを表示する表示部と、を備えることを特徴とする加工装置。
2. 該記憶部は、複数の監視項目ごとに該作動状況情報を記憶し、
   該処理部は、複数の該監視項目ごとに該グラフを生成することを特徴とする請求項１記載の加工装置。
3. 該加工装置の内部を撮像するカメラを備え、
   該記憶部は、該カメラによって取得された画像を時系列で該ログ情報として記憶し、
   該表示部は、該グラフ内の選択された領域に対応する該画像を表示することを特徴とする請求項１又は２記載の加工装置。
4. 該表示部はタッチパネルであり、
   該グラフ内の領域は、スワイプ操作によって選択可能であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の加工装置。

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