JP2024008013A - 装置 - Google Patents

Abstract

【課題】オペレータが任意の機構の動作確認を容易かつ効率的に実施可能とする。【解決手段】機構と、該機構を作動させる指令の入力に使用可能なタッチパネル付きディスプレイと、該機構及び該タッチパネル付きディスプレイを制御する制御ユニットと、を備える装置であって、該制御ユニットは、該タッチパネル付きディスプレイが使用されて該機構を作動させる指令が入力されると、作動遅延時間の選択画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示させ、該選択画面を表示する該タッチパネル付きディスプレイが使用されて該作動遅延時間が選択されると、該作動遅延時間の経過後に該指令に従って該機構を作動させる。【選択図】図２

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置等の機構を有する装置に関する。

電子機器等に組み込まれるデバイスチップの製造工場では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が様々な加工装置によって加工される。工場等には複数の加工装置が配置され、被加工物が各加工装置で順次加工される。このように、デバイスチップの製造工場には、多種多様な装置が配置され使用される。

工場等に置かれる装置は、例えば、被加工物を円環状の切削ブレードで切削する切削装置（例えば、特許文献１参照）、被加工物をレーザビームで加工するレーザ加工装置、被加工物を研磨パッドで研磨する研磨装置、被加工物を研削砥石で研削する研削装置である。また、工場等では、被加工物を洗浄する洗浄装置、被加工物に紫外線を照射する紫外線照射装置、及び被加工物を検査する検査装置等の装置も使用される場合がある。

各装置は、例えば、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、保持テーブル及び加工ユニットを相対的に加工送りする加工送りユニットと、を備える。各装置はこのように多種多様な機構を備え、各機構を適切に作動させることにより所定の目的を達成する。

さらに、各加工装置には、コンピュータ（マイクロコンピュータ、パーソナルコンピュータ）等で構成される制御ユニットが組み込まれており、制御ユニットが加工装置の各構成要素を制御する。制御ユニットは、各種の情報を記憶できるＨＤＤ、ＳＳＤ、またはフラッシュメモリ等で構成される記憶部を有する。記憶部には、制御ユニットを作動させるＯＳ、各構成要素に所定の動作をさせるためのプログラム、被加工物の種別や加工の目的により使い分けられる加工条件等のさまざまな情報が格納されている。

ここで、指令の入力等に使用される入力ユニットと、各種の情報を表示できる表示ユニットと、の機能を兼ねるタッチパネル付きディスプレイを備える装置が知られている（特許文献１参照）。装置では定期的にメンテナンス作業が実施されるが、この際に装置のオペレータはタッチパネル付きディスプレイを使用して各機構を作動させる指令を制御ユニットに入力する。そして、動作態様を確認しつつ各機構を調整する。

特開２００３－１５８０９４号公報

一般的に、タッチパネル付きディスプレイは、装置筐体の前面に配置される。そのため、オペレータがタッチパネル付きディスプレイを利用して所定の機構を操作して当該機構の動作態様を確認するとき、当該機構の設置位置により、オペレータが当該機構を視認できないことがある。この場合、タッチパネル付きディスプレイに指令を入力するオペレータと、当該機構を視認して動作確認をするオペレータと、の２名のオペレータが必要となり、効率が悪い。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、オペレータが任意の機構の動作確認を容易かつ効率的に実施できる装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、機構と、該機構を作動させる指令の入力に使用可能なタッチパネル付きディスプレイと、該機構及び該タッチパネル付きディスプレイを制御する制御ユニットと、を備える装置であって、該制御ユニットは、該タッチパネル付きディスプレイが使用されて該機構を作動させる指令が入力されると、作動遅延時間の選択画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示させ、該選択画面を表示する該タッチパネル付きディスプレイが使用されて該作動遅延時間が選択されると、該作動遅延時間の経過後に該指令に従って該機構を作動させることを特徴とする装置が提供される。

好ましくは、該制御ユニットは、該作動遅延時間が選択された後で該作動遅延時間の経過前に該タッチパネル付きディスプレイの操作を検知すると、該作動遅延時間が経過しても該機構を作動させない。

また、好ましくは、該選択画面を表示する該タッチパネル付きディスプレイにおける該作動遅延時間の選択方法は、スワイプ入力もしくはフリック入力である。

また、好ましくは、報知ユニットをさらに備え、該制御ユニットは、該作動遅延時間が選択された後に、該作動遅延時間の経過までの残り時間を該報知ユニットに報知させる。

さらに好ましくは、報知ユニットは、音または光により該残り時間を報知できる。

または、好ましくは、該制御ユニットは、該作動遅延時間が選択された後に、該作動遅延時間の経過までの残り時間を該タッチパネル付きディスプレイに表示させる。

本発明の一態様に係る機構を備える装置は、機構と、タッチパネル付きディスプレイと、制御ユニットと、を備える。制御ユニットは、機構を作動させる指令が入力されると、作動遅延時間の選択画面をタッチパネル付きディスプレイに表示させる。そして、作動遅延時間が選択されると、この作動遅延時間の経過後に指令に従って機構を作動させる。

この場合、装置を使用するオペレータは、この指令を入力した後、作動遅延時間の経過前の間にこの機構を視認できる位置に移動できる。そのため、指令に従って機構が作動するときに、オペレータは機構を視認して機構の動作を確認できる。特に、オペレータは、移動に要する時間を考慮して作動遅延時間の選択が可能であるため、動作確認の対象となる機構の位置に関わらず、容易に当該機構の動作確認が可能である。

したがって、本発明の一態様によると、オペレータが任意の機構の動作確認を容易かつ効率的に実施できる装置が提供される。

加工装置を模式的に示す斜視図である。 図２（Ａ）は、指令入力画面を表示するタッチパネル付きディスプレイを模式的に示す平面図であり、図２（Ｂ）は、作動遅延時間の選択画面を表示するタッチパネル付きディスプレイを模式的に示す平面図である。 図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図３（Ｃ）、及び図３（Ｄ）は、作動遅延時間の経過までの残り時間を表示するタッチパネル付きディスプレイを模式的に示す平面図である。 図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図４（Ｃ）、及び図４（Ｄ）は、作動遅延時間の経過までの残り時間を報知する警報ランプを模式的に示す側面図である。 図５（Ａ）は、ブザーが発する音の高さと、時間と、の関係の一例を示すグラフであり、図５（Ｂ）は、ブザーが発する音の高さと、時間と、の関係の他の一例を示すグラフである。

以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。本実施形態に係る装置は、機構と、タッチパネル付きディスプレイと、を備える。例えば、本実施形態に係る装置は、半導体ウェーハ等の基板を被加工物として、被加工物を加工する加工装置である。以下、本実施形態に係る装置が加工装置である場合を例に本実施形態について説明する。

図１は、本実施形態に係る装置の一例である加工装置２を模式的に示す斜視図である。被加工物は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（ガリウムナイトライド）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体等の材料から形成されるウェーハである。または、被加工物は、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる略円板状の基板等である。

被加工物の表面には、互いに交差する複数の分割予定ラインが設定される。分割予定ラインで区画された各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ(Large Scale Integration)等のデバイスが形成されている。被加工物を裏面側から研削して薄化し、研削面を研磨して平坦化し、分割予定ラインに沿って被加工物を分割すると、個々のデバイスチップを形成できる。ただし、被加工物はこれに限定されない。

加工装置２は、例えば、分割予定ラインに沿って被加工物を切削ブレードで切削して分割する切削装置である。または、分割予定ラインに沿って被加工物をレーザ加工して分割するレーザ加工装置である。また、加工装置２は、被加工物を研削する研削装置でもよく、被加工物を研磨する研磨装置でもよい。さらに、加工装置２はこれらに限定されず、他の加工装置でもよく、半導体ウェーハ以外の被加工物を加工してもよい。以下、加工装置２が切削装置である場合を例に説明する。

加工装置２は、各構成要素を支持する基台４と、基台４に支持された各構成要素を覆う筐体６と、備える。筐体６に覆われていない基台４の一角には、カセット支持台８が設けられている。カセット支持台８の上面には、複数の被加工物を収容するカセットが搭載される。

加工装置２の外面には、タッチパネル付きディスプレイ１０が設けられている。タッチパネル付きディスプレイ１０は、各種の情報及び操作画面を表示する。作業者は、表示画面を表示するタッチパネル付きディスプレイ１０の所定の位置をタッチすることで加工装置２に各種の指令を入力できる。すなわち、タッチパネル付きディスプレイ１０は、各種の指令の入力に使用される入力ユニット（入力インターフェース）として機能するとともに、各種の情報を表示する表示ユニットとしても機能する。

加工装置２の筐体６の内側は、加工室１２となっている。加工装置２は、加工室１２で被加工物を切削する。加工室１２には被加工物を吸引保持できるチャックテーブル１４が収容されている。チャックテーブル１４は、図示しない加工送りユニット（Ｘ軸移動機構）によって加工送り方向（Ｘ軸方向）に移動する。また、チャックテーブル１４はモータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。

なお、加工送りユニットは、チャックテーブル１４に代えて、または、チャックテーブル１４とともに、後述の加工ユニット１６を移動させてもよい。すなわち、加工送りユニットは、チャックテーブル１４及び加工ユニット１６を相対的に移動させる。

チャックテーブル１４の上面１４ａは、被加工物を吸引保持する保持面となっている。チャックテーブル１４の上面１４ａは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して概ね平行に形成されており、チャックテーブル１４の内部に設けられた吸引路（不図示）等を介してエジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。

加工室１２の内部には、チャックテーブル１４で保持された被加工物を加工（切削）する加工ユニット１６が収容されている。加工ユニット１６は、図示しない昇降ユニット（Ｚ軸移動機構）及び割り出し送りユニット（Ｙ軸移動機構）に支持されており、上下方向（Ｚ軸方向）及び割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に移動可能である。

加工ユニット１６は、チャックテーブル１４の上面１４ａに平行で該チャックテーブル１４の上方に配置されたスピンドルを有する。スピンドルは、Ｙ軸方向に沿って配設されている。加工ユニット１６は、スピンドルの基端に接続されたモータ等で構成される回転駆動源（不図示）と、スピンドルの先端に装着された加工具（切削ブレード）２０と、をさらに有する。

加工装置２で被加工物を切削する場合、まず、カセット支持台８に載せられたカセットから被加工物を搬出し、チャックテーブル１４の上面１４ａに被加工物を載せ、チャックテーブル１４で被加工物を吸引保持する。そして、チャックテーブル１４を回転させて、被加工物の分割予定ラインの向きを加工送り方向（Ｘ軸方向）に合わせる。また、加工ユニット１６の高さを調整し、加工具（切削ブレード）２０を高速で回転させる。

その後、チャックテーブル１４を加工送り方向に沿って移動させ、分割予定ラインに沿って加工具２０を被加工物に切り込ませ、被加工物を切削する。次に、加工ユニット１６を割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に沿って移動させ、他の分割予定ラインに沿って次々に被加工物を切削する。

そして被加工物の一つの方向に沿ったすべての分割予定ラインに沿って被加工物を切削した後、チャックテーブル１４を回転させ、他の方向に沿った分割予定ラインを同様に切削する。そして、被加工物に設定されたすべての分割予定ラインに沿って被加工物が切削されると、加工装置２における切削加工が終了する。

また、加工装置２は、加工された被加工物を洗浄する図示しない洗浄ユニットを備えてもよい。洗浄ユニットは、被加工物を回転可能に保持するスピンナテーブルと、スピンナテーブルに保持された被加工物に洗浄水を噴射する噴射ユニットと、を備える。加工された被加工物は、洗浄ユニットで洗浄され加工装置２から搬出される。

ここまで説明してきたように、加工装置２は、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構、Ｚ軸移動機構、チャックテーブル１４を回転させる回転駆動源、スピンドルを回転させる回転駆動源等の多数の機構を備える。ここで、機構とは、機械部品が互いに関連して動く仕組みであり、移動または回転等の動作を特定の機械部品にさせるものである。そして、各機構が予定された通りに作動することにより加工装置２が多数の被加工物を安定的に加工する。

さらに、加工装置２は、何らかの異常が発生したとき、または、オペレータに報知されるべき事態が発生したときに、警報等を発してオペレータに報知する報知ユニットを備える。例えば、加工装置２は、複数のランプを備える警報ランプ３２を報知ユニットとして備える。警報ランプ（積層信号灯）３２は、例えば、それぞれ緑、黄、赤、白、橙、青等の色の光をそれぞれ発することのできる複数のランプを備える。そして、警報ランプ３２は、特定の色のランプを点灯させることで各種の情報をオペレータに報知する。

また、加工装置２では、タッチパネル付きディスプレイ１０が警報情報等の情報を表示してもよい。すなわち、タッチパネル付きディスプレイ１０は報知ユニットとして機能してもよい。さらに、加工装置２は、音により警報情報等を報知できる報知ユニットとして、ブザーまたはスピーカー等の音発生ユニット１１を備えてもよい。なお、加工装置（装置）２が備える報知ユニットは、これに限定されない。

加工装置２は、各機構等の各構成要素を制御して被加工物の加工を遂行する制御ユニット２２を備える。制御ユニット２２は、各構成要素に接続されている。制御ユニット２２は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット２２の機能が実現される。

制御ユニット２２は、各種の情報を記憶できる記憶部２４を有する。記憶部２４には、制御ユニット２２を動作させるＯＳ、各構成要素に所定の動作をさせるためのプログラム、被加工物の種別や加工の目的により使い分けられる加工条件等のさまざまな情報が格納されている。

また、制御ユニット２２は、タッチパネル付きディスプレイ１０の表示を制御する表示制御部２６と、警報ランプ３２等の報知ユニットを制御する報知制御部２８と、各種の機構を制御する機構制御部３０と、を備える。制御ユニット２２は、所定の動作で加工装置２による被加工物の加工を進める。

加工装置２による被加工物の加工を繰り返すと、各種の消耗品の交換や、各種の機構の点検が必要となる。そのため、加工装置２では定期的にメンテナンス作業が実施されるが、この際に加工装置２のオペレータは、タッチパネル付きディスプレイ１０を使用して各機構を作動させる指令を制御ユニット２２に入力する。そして、各機構の動作態様を確認しつつ各機構を調整する。

一般的に、タッチパネル付きディスプレイ１０は、筐体６の前面に配置される。そのため、オペレータがタッチパネル付きディスプレイ１０を利用して所定の機構を操作して当該機構の動作態様を確認するとき、当該機構の設置位置によりオペレータが当該機構を視認できないことがある。特に、加工装置２の裏側からでなければ視認できない機構や加工室１２の内部の機構は、タッチパネル付きディスプレイ１０を操作するオペレータからは視認しにくい。

そのため、加工装置２のすべての機構の動作態様の確認には、タッチパネル付きディスプレイ１０に指令を入力するオペレータと、当該機構を視認して動作確認をするオペレータと、の２名のオペレータが必要となり、効率が悪い。

そこで、本実施形態に係る加工装置（装置）２では、タッチパネル付きディスプレイ１０で指令を入力するオペレータが任意の機構の動作確認を容易かつ効率的に実施できるようにした。以下、本実施形態に係る加工装置（装置）２における機構の動作確認に寄与する構成を中心に、加工装置２の説明を続ける。

本実施形態に係る加工装置２では、オペレータがタッチパネル付きディスプレイ１０で動作確認の対象となる機構を作動させる指令を制御ユニット２２に入力したとき、オペレータは機構が実際に作動するまでの作動遅延時間をさらに入力できる。そして、制御ユニット２２は、作動遅延時間の入力が完了してからの経過時間を計測し、この作動遅延時間が経過した後に指令に従って当該機構を作動させる。これにより、作動遅延時間が経過するまでの間に当該機構を視認できる位置までオペレータが移動できるようになる。

より詳細に説明する。図２（Ａ）は、タッチパネル付きディスプレイ１０に表示された操作画面３４の一例を模式的に示す平面図である。加工装置２のメンテナンス時等には、所定の機構が所定の動作を実施するか否かを確認するために、オペレータは、操作画面３４を通して所定の指令を制御ユニット２２に入力する。そのために、制御ユニット２２の表示制御部２６は、タッチパネル付きディスプレイ１０を制御して、操作画面３４を表示させる。

操作画面３４には、複数の操作ボタン（キー）３６が含まれる。各操作ボタン３６には、それぞれ、所定の機構に所定の動作をさせる指令が割り当てられている。いずれかの操作ボタン３６にオペレータが触れたことをタッチパネル付きディスプレイ１０のタッチパネルが検出した場合、制御ユニット２２は、指令が入力されたことを検知する。

そして、本実施形態に係る加工装置２の制御ユニット２２は、タッチパネル付きディスプレイ１０が使用されて動作確認の対象となる機構を作動させる指令が入力されると、作動遅延時間の選択画面をタッチパネル付きディスプレイ１０に表示させる。図２（Ｂ）は、作動遅延時間の選択画面３８の一例を表示するタッチパネル付きディスプレイ１０を模式的に示す平面図である。

作動遅延時間の入力方法について説明する。図２（Ｂ）には、タッチパネル付きディスプレイ１０に接触しているオペレータの指４０が模式的に示されている。オペレータが所望の指令に対応する操作ボタン３６をタッチし、そのまま接触を続けていると、作動遅延時間の選択画面３８がタッチパネル付きディスプレイ１０に表示される。作動遅延時間の選択画面３８は、例えば、図２（Ａ）に示した操作画面３４に遅延時間設定ボタン（キー）４２，４４が重ねられて表示された画面である。

選択画面３８に表示された遅延時間設定ボタン４２，４４は、それぞれ、作動遅延時間の候補となる複数の選択肢の一つに対応する。図２（Ｂ）に示す例では、遅延時間設定ボタン４２は作動遅延時間を１０秒間に設定する指令に対応し、遅延時間設定ボタン４４は作動遅延時間を５秒間に設定する指令に対応する。作動遅延時間の選択画面３８には、さらに他の遅延時間設定ボタンが表示されてもよく、入力可能な作動遅延時間は５秒間及び１０秒間に限定されない。

例えば、作動遅延時間の選択画面３８では、タッチパネル付きディスプレイ１０に指４０が接触している位置の周りに遅延時間設定ボタン４２，４４が配置される。そして、オペレータは、目的とする遅延時間設定ボタン４２，４４に向かって指４０をスライドさせる。この場合、タッチパネル付きディスプレイ１０における指４０の接触位置を監視する制御ユニット２２は、指４０のスライドする方向に基づいていずれの遅延時間設定ボタン４２，４４が選択されたか判定する。このような入力方法は、スワイプ入力と呼ばれる。

また、オペレータは、目的とする遅延時間設定ボタン４２，４４に向かって指４０を素早く払うように動かすことで作動遅延時間を選択してもよい。このような入力方法は、フリック入力と呼ばれる。この場合、遅延時間設定ボタン４２，４４はタッチパネル付きディスプレイ１０に表示されなくてもよい。指４０の払う方向に対してそれぞれ特定の作動遅延時間が割り当てられている場合、遅延時間設定ボタン４２，４４が表示されなくてもこの割り当てを知るオペレータは所望の作動遅延時間の選択が可能である。

作動遅延時間の選択方法について、スワイプ入力及びフリック入力を説明したが、作動遅延時間の選択方法はこれに限定されない。作動遅延時間は、タッチパネル付きディスプレイ１０をさらに他の方法により使用することで選択されてもよい。

なお、本実施形態に係る加工装置２では、タッチパネル付きディスプレイ１０を使用してオペレータがさらに他の方法で作動遅延時間を選択してもよい。例えば、操作画面３４において特定の操作ボタン３６にオペレータの指４０が所定の時間以上で接触すると、表示制御部２６はタッチパネル付きディスプレイ１０に作動遅延時間の入力に使用できるテンキーを含む作動遅延時間の選択画面（不図示）を表示させてもよい。

より詳細には、この選択画面には、入力された作動遅延時間を表示する表示欄と、経過時間の計測を開始して入力された作動遅延時間の経過後に所定の動作を所定の機構に実施させる実行ボタンと、が含まれるとよい。この場合、オペレータは、選択画面に表示されたテンキーを使用して任意の時間を入力し、実行ボタンをタッチすることで作動遅延時間の選択を完了する。

これらの方法により、選択画面３８を表示するタッチパネル付きディスプレイ１０が使用されて作動遅延時間が選択される。制御ユニット２２の記憶部２４は、オペレータにより選択された作動遅延時間を記憶する。そして、オペレータが作動遅延時間を選択した後、制御ユニット２２は経過時間を計測する。そして、記憶部２４に記憶された作動遅延時間の経過後に、制御ユニット２２は先に入力された指令に従って、所定の機構を作動させる。

この場合、タッチパネル付きディスプレイ１０を使用して所定の機構を作動させる指令を制御ユニット２２に入力した後、オペレータは当該機構の動作確認が可能な位置に移動できる。そのため、オペレータは独力でその機構の動作を直に確認でき、その動作態様を評価できる。すなわち、本実施形態に係る加工装置（装置）２では、オペレータが任意の機構の動作確認を容易かつ効率的に実施できる。

なお、本実施形態に係る加工装置２では、制御ユニット２２は、作動遅延時間が選択された後に、作動遅延時間の経過までの残り時間をタッチパネル付きディスプレイ１０に表示させてもよい。図３（Ａ）乃至図３（Ｄ）は、それぞれ、作動遅延時間の残り時間の表示画面４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄを表示するタッチパネル付きディスプレイ１０を模式的に示す平面図である。

例えば、時間の計測が開始されて作動遅延時間の残り時間が５秒間となったとき、表示制御部２６は、図３（Ａ）に示すように作動遅延時間の残り時間である５秒間を示す残時間表示４８ａを含む表示画面４６ａをタッチパネル付きディスプレイ１０に表示させる。この残時間表示４８ａを視認したオペレータは、作動遅延時間の残り時間が５秒間であることを察知できる。

また、作動遅延時間の残り時間が４秒間となったとき、表示制御部２６は、図３（Ｂ）に示すように作動遅延時間の残り時間である４秒間を示す残時間表示４８ｂを含む表示画面４６ｂをタッチパネル付きディスプレイ１０に表示させる。この残時間表示４８ｂを視認したオペレータは、作動遅延時間の残り時間が４秒間であることを察知する。また、カウントダウンが進行することにより、オペレータは制御ユニット２２が時間の計測を実施していることを察知できる。

こうして、時間が経過するとともにタッチパネル付きディスプレイ１０に表示される残時間表示が減少していく。そして、作動遅延時間の残り時間が１秒間となったとき、作動遅延時間の残り時間が１秒間であることを示す残時間表示４８ｃを含む表示画面４６ｃがタッチパネル付きディスプレイ１０に表示される。作動遅延時間の残り時間が１秒間であることを示す残時間表示４８ｃを視認するオペレータは、自身の移動が遅れたことを察知する可能性がある。

最終的に、作動遅延時間が経過したとき、制御ユニット２２の機構制御部３０は所定の機構に所定の動作をさせる。このとき、タッチパネル付きディスプレイ１０には、作動遅延時間の残り時間が０秒間となったことを示す残時間表示４８ｄを含む表示画面４６ｄが表示される。

通常は、この表示画面４６ｄがタッチパネル付きディスプレイ１０に表示されるときにオペレータは所定の機構に注目する。そのため、オペレータが表示画面４６ｄを視認することは予定されない。しかしながら、入力した指令が誤りであった等の何らかの理由でオペレータが表示画面４６ｄを視認することも考えられる。この場合、オペレータは作動遅延時間が経過して所定の機構が所定の動作をしたことを察知する。

なお、本実施形態に係る加工装置２では、制御ユニット２２は、他の方法により作動遅延時間の残り時間をオペレータに報知してもよい。すなわち、制御ユニット２２は、タッチパネル付きディスプレイ１０を使用せずに作動遅延時間の残り時間をオペレータに報知してもよい。

例えば、本実施形態に係る加工装置２では、制御ユニット２２は、作動遅延時間が選択された後に作動遅延時間の経過までの残り時間を報知ユニットに報知させてもよい。この場合、例えば、制御ユニット２２の報知制御部２８は、警報ランプ３２等の報知ユニットを制御してオペレータに残り時間を報知させる。

図４（Ａ）乃至図４（Ｄ）は、それぞれ、作動遅延時間の残り時間を報知する警報ランプ３２を模式的に示す側面図である。各図に示す警報ランプ３２は、４つのランプ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄを備える。そして、報知制御部２８は、警報ランプ３２を制御して各ランプ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄを順次点灯させることで作動遅延時間の残り時間をオペレータに報知する。各図では、点灯状態のランプ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄにハッチングが付されている。

例えば、制御ユニット２２の報知制御部２８は、作動遅延時間の残り時間が３秒間以上であるとき、図４（Ａ）に示す通り最下段のランプ５０ａを点灯させる。そして、作動遅延時間の残り時間が２秒間となったとき、図４（Ｂ）に示す通り下から２段目のランプ５０ｂを点灯させる。さらに、作動遅延時間の残り時間が１秒間となったとき、図４（Ｃ）に示す通り、下から３段目のランプ５０ｃを点灯させる。そのため、警報ランプ３２を視認するオペレータは、作動遅延時間の残り時間を察知できる。

そして、作動遅延時間が経過し残り時間が０秒間となったとき、機構制御部３０は所定の機構に所定の動作をさせるとともに、報知制御部２８は警報ランプ３２を制御して最上段のランプ５０ｄを点灯させる。これにより、制御ユニット２２は、作動遅延時間が経過したことをオペレータに報知する。このように、本実施形態に係る加工装置２では、報知ユニットとして機能する警報ランプ３２は、光により作動遅延時間の残り時間を報知できる。

さらに、実施形態に係る加工装置２では、制御ユニット２２の報知制御部２８は、作動遅延時間が選択された後に別の報知ユニットに作動遅延時間の経過までの残り時間を報知させてもよい。例えば、加工装置２が報知ユニットとしてブザーまたはスピーカー等の音発生ユニット１１を備える場合、報知制御部２８はこの音発生ユニット１１を使用して音により作動遅延時間の残り時間を報知できてもよい。

例えば、報知制御部２８は、ブザーに１秒毎に特定の音を発生させることで作動遅延時間の残り時間を報知する。図５（Ａ）は、作動遅延時間の残り時間と、ブザーが発する音の高さと、の関係の一例を表すグラフである。このグラフにおいて横軸は時間の経過を表し、縦軸はブザーが発する音の高さを表す。

例えば、制御ユニット２２の報知制御部２８は、作動遅延時間の残り時間が３秒間となったときに高さＰ_１の音を３回発生させ、残り時間が２秒間となったときに高さＰ_１の音を２回発生させ、残り時間が１秒間となったときに高さＰ_１の音を１回発生させる。そして、作動遅延時間が経過して残り時間が０秒間となったとき、高さＰ_１とは異なる高さＰ_２の音を比較的長い時間でブザーに発生させる。これにより、オペレータはブザーが発生させる音を聴くだけで作動遅延時間の残り時間を把握できる。

また、図５（Ｂ）は、作動遅延時間の残り時間と、ブザーが発する音の高さと、の関係の他の一例を表すグラフである。このグラフにおいても横軸は時間の経過を表し、縦軸はブザーが発する音の高さを表す。

例えば、制御ユニット２２の報知制御部２８は、作動遅延時間の残り時間が３秒間となったときに高さＰ_１の音を発生させ、残り時間が２秒間となったときに高さＰ_２の音を発生させ、残り時間が１秒間となったときに高さＰ_３の音を発生させる。そして、作動遅延時間が経過して残り時間が０秒間となったとき、高さＰ_４の音をブザーに発生させる。ここで、Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、及びＰ_４は、いずれも互いに異なる。これにより、オペレータはブザーが発生させる音を聴くだけで作動遅延時間の残り時間を把握できる。

さらに、加工装置２がスピーカーを備える場合、制御ユニット２２の報知制御部２８は、作動遅延時間の残り時間を予め録音された人の声、または、生成された機械音声等をスピーカーから発生させてスピーカーに残り時間の報知をさせてもよい。例えば、スピーカーに残り時間がゼロになるまでのカウントダウンをさせる。これにより、オペレータは極めて容易に作動遅延時間の残り時間を把握できる。

ところで、オペレータが制御ユニット２２に特定の機構を作動させる指令を入力し作動遅延時間を選択した後、作動遅延時間が経過するまでの間に、入力された指令の間違いにオペレータが気付くことがある。そこで、本実施形態に係る加工装置２では、作動遅延時間が経過するまでの間、オペレータによる指令の取り消しを受付可能としてもよい。

例えば、制御ユニット２２への指令の取り消し操作は、オペレータがタッチパネル付きディスプレイ１０を使用して実施する。そして、制御ユニット２２は、作動遅延時間が選択された後で作動遅延時間の経過前にタッチパネル付きディスプレイ１０の操作を検知すると、作動遅延時間が経過しても機構を作動させない。

例えば、作動遅延時間が選択された後の経過時間の計測時に、タッチパネル付きディスプレイ１０には操作停止ボタン（キー）が表示されてもよい。この場合、指令の取り消し操作を実行したいオペレータは、この操作停止ボタンをタッチすることで制御ユニット２２への指令の取り消し操作を実施する。

また、作動遅延時間が選択された後の経過時間の計測時に、タッチパネル付きディスプレイ１０には操作停止ボタンが表示されなくてもよい。例えば、経過時間の計測時にタッチパネル付きディスプレイ１０へのオペレータの接触が検知された場合、制御ユニット２２は指令の取り消し操作を検知してもよい。この場合、オペレータはタッチパネル付きディスプレイ１０に触れる位置を考えることなく容易かつ迅速に指令の取り消し操作を実施できる。

いずれの場合においても、制御ユニット２２は、指令の取り消し操作を検出した場合、作動遅延時間が選択された後の経過時間の計測を即座に中断してもよい。そして、指令の再入力が可能となるように、制御ユニット２２の表示制御部２６はタッチパネル付きディスプレイ１０に再び操作画面３４（図２（Ａ）参照）を表示させてもよい。

以上に説明する通り、本実施形態に係る加工装置（装置）２では、タッチパネル付きディスプレイ１０を使用してオペレータが所定の機構に所定の動作をさせる指令を入力すると、制御ユニット２２は作動遅延時間が経過してから当該機構を作動させる。そのため、この作動遅延時間が経過するまでの時間でオペレータは当該機構の動作態様を確認しやすい位置に移動できる。したがって、オペレータが任意の機構の動作確認を容易かつ効率的に実施できる。

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、タッチパネル付きディスプレイ１０を使用するオペレータから視認できない機構を作動遅延時間が経過した後に作動させる場合について主に説明した。換言すると、動作態様の確認が望まれる機構に注目しているオペレータがタッチパネル付きディスプレイ１０を操作できない場合を例に説明した。しかしながら、本発明の一態様はこれに限定されない。

本発明の一態様に係る加工装置（装置）２では、制御ユニット２２は、タッチパネル付きディスプレイ１０を使用するオペレータから視認できない機構のみならず、このオペレータが視認可能な機構をも作動遅延時間の経過後に作動させてもよい。オペレータが制御ユニット２２に入力した指令が特定の機構に微細な動作をさせる指令である場合、当該機構の動作確認に集中しなければオペレータが動作確認を適切に実施できないこともある。そこで、オペレータが視認可能な機構も作動遅延時間の経過後に作動してもよい。

また、上記実施形態では、タッチパネル付きディスプレイ１０に特定の機構を作動させる指令が入力されたとき、制御ユニット２２が作動遅延時間の選択を受け付ける場合について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。すなわち、制御ユニット２２は、機構を作動させる指令の入力を受けたとき、直ちに当該機構を作動させてもよい。

例えば、加工装置（装置）２のメンテナンス作業等に２名以上のオペレータが従事している場合、タッチパネル付きディスプレイ１０で指令を入力するオペレータと、指令により作動する機構の動作態様を確認するオペレータと、に役割分担ができる。この場合、作動遅延時間を選択が不要であるため、制御ユニット２２は作動遅延時間の選択を受け付けることなく即時に指令に従って機構を作動させてもよい。

すなわち、制御ユニット２２は作動遅延時間の選択の受付をしないフローで稼働してもよく、オペレータは制御ユニット２２にこのようなフローで稼働するように指令を入力できてもよい。換言すると、制御ユニット２２は、作動遅延時間の選択を受け付ける機能を停止可能でもよい。

または、図２（Ａ）に示す操作画面３４がタッチパネル付きディスプレイ１０に表示されているときに、オペレータが特定の操作ボタン（キー）３６を単にタッチしてすぐに指４０を離す場合に、作動遅延時間の選択が省略され機構が即時に作動してもよい。また、フリック入力やスワイプ入力がされたとき、制御ユニット２２は、作動遅延時間の選択として当該入力を受け付けてもよい。この場合、制御ユニット２２は、機構を即時に作動させる操作と、機構を作動遅延時間の経過後に作動させる操作と、の両方を受け付け可能となる。

そのため、指令の入力の後、作動遅延時間の経過後に機構を作動させたい場面と、即時に機構を作動させた場面と、が頻繁に切り替わる場合にも制御ユニット２２の操作が簡便である。

さらに、上記実施形態では、被加工物を加工する加工装置２を例に説明したが、本発明の一態様に係る装置はこれに限定されない。すなわち、本発明の一態様に係る装置は、被加工物を加工する加工装置でなくてもよい。

その他、上述した実施形態や変形例等にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ 加工装置
４ 基台
６ 筐体
８ カセット支持台
１０ タッチパネル付きディスプレイ
１１ 音発生ユニット
１２ 加工室
１４ チャックテーブル
１４ａ 上面
１６ 加工ユニット
２０ 加工具
２２ 制御ユニット
２４ 記憶部
２６ 表示制御部
２８ 報知制御部
３０ 機構制御部
３２ 警報ランプ
３４ 操作画面
３６ 操作ボタン
３８ 選択画面
４０ 指
４２，４４ 遅延時間設定ボタン
４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄ 表示画面
４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４８ｄ 残時間表示
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ ランプ

Claims (6)

1. 機構と、
   該機構を作動させる指令の入力に使用可能なタッチパネル付きディスプレイと、
   該機構及び該タッチパネル付きディスプレイを制御する制御ユニットと、を備える装置であって、
   該制御ユニットは、
   該タッチパネル付きディスプレイが使用されて該機構を作動させる指令が入力されると、作動遅延時間の選択画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示させ、
   該選択画面を表示する該タッチパネル付きディスプレイが使用されて該作動遅延時間が選択されると、該作動遅延時間の経過後に該指令に従って該機構を作動させることを特徴とする装置。
2. 該制御ユニットは、該作動遅延時間が選択された後で該作動遅延時間の経過前に該タッチパネル付きディスプレイの操作を検知すると、該作動遅延時間が経過しても該機構を作動させないことを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 該選択画面を表示する該タッチパネル付きディスプレイにおける該作動遅延時間の選択方法は、スワイプ入力もしくはフリック入力であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の装置。
4. 報知ユニットをさらに備え、
   該制御ユニットは、該作動遅延時間が選択された後に、該作動遅延時間の経過までの残り時間を該報知ユニットに報知させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の装置。
5. 該報知ユニットは、音または光により該残り時間を報知できることを特徴とする請求項４に記載の装置。
6. 該制御ユニットは、該作動遅延時間が選択された後に、該作動遅延時間の経過までの残り時間を該タッチパネル付きディスプレイに表示させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の装置。

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