JP2017140657A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第一実施形態に係る研削装置の斜視図である。図2は、第一実施形態に係る研削装置の研削手段と被加工物とチャックテーブルとを説明する側面図である。図3は、第一実施形態に係る研削装置の研削条件の設定画面の一例を示す説明図である。図4は、第一実施形態に係る研削装置の研削条件の表示画面の一例を示す図である。
図5を参照しながら、本実施形態について説明する。図5は、第二実施形態に係る研削装置の研削条件の表示画面の一例を示す図である。
16 チャックテーブル
16a 保持面
17 研削ユニット(研削手段)
171 研削送り手段
173 研削砥石
20 厚さ測定手段
100 タッチパネル
101 設定画面
102 表示画面
110 制御手段
111 条件設定手段
W 被加工物
Claims (2)
- 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持した該被加工物を研削砥石で研削する研削手段と、該保持面と近接・離間する方向に該研削手段を研削送りさせる研削送り手段と、を備える研削装置であって、
研削送りされ移動する該研削砥石の該保持面からの位置と、該位置に至るまでの研削送り速度と、を研削条件として設定する条件設定手段と、
該設定された研削条件を表示する表示画面と、を備え、
該表示画面は、
該条件設定手段に数値で登録された該研削条件に基づいて、時間経過を軸にして該研削砥石の該位値の変化を示すグラフを表示することを特徴とする研削装置。 - 該表示画面はタッチパネルであり、
該グラフは折れ線グラフであり、
オペレータの手指又はペンを該折れ線グラフの折れ線に接触させつつ移動して該折れ線を修正することで、該条件設定手段に設定される該研削条件を変更できることを特徴とする請求項1に記載の研削装置。
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