JP2022116649A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】タッチパネルに表示される画面の切り替えに要する時間を短縮する。【解決手段】タッチパネルは、加工中画面５００に表示されている構成要素の画像が作業者によってタッチ（長押しあるいはダブルタッチ）されたことに応じて、この構成要素の単体動作画面あるいは設定変更画面を表示するように構成されている。したがって、作業者は、タッチパネルに表示されている画像をタッチするだけで、タッチパネルに表示される画面を、所望の画面に素早く切り替えることができる。したがって、作業性を向上することができる。【選択図】図２

Description

本発明は、加工装置に関する。

被加工物を加工する加工装置は、特許文献１～３に開示のように、タッチパネルを備え、作業者は、このタッチパネルを用いて加工条件の設定を行っている。タッチパネルには、たとえば、全体動作画面としてのイラスト表示画面が表示される。この画面では、装置を上から見た各構成要素の配置図が、イラストで表示される。また、そのイラストに、各構成要素の状態が表示される。さらに、構成要素間を移動する被加工物のイラストが、その構成要素のイラスト間を移動するように表示される。

たとえば、被加工物を回転させて洗浄するスピンナ洗浄部の動作状態には、被加工物を洗浄している洗浄状態、および、洗浄後の乾燥を実施している乾燥状態がある。スピンナ洗浄部をイラスト表示する際には、これらの動作状態がわかるように、スピンナ洗浄部のイラストおよび被加工物のイラストが表示される。

特開２０１７－０９１４４１号公報 特開２０１８－１７６３２０号公報 特開２０２０－１２３１６７号公報

また、たとえば、加工中にエラーが発生した際には、それを作業者に通知するために、エラーが発生した構成要素のイラストが赤色で表示される。これに応じて、作業者は、タッチパネルの画面を、全体動作画面から、赤色で表示された構成要素を単体で動作させるための単体動作画面に切り替える。そして、作業者は、この単体動作画面を用いて構成要素を単体で動作させることによって、この構成要素から被加工物を除去したり、エラーの要因を確認したりしている。

たとえば、タッチパネルの画面を、全体動作画面から、スピンナ洗浄部の単体動作画面に切り替える際には、作業者は、全体動作画面を抜け、単体動作が一覧表示されている単体動作一覧画面を開く。さらに、作業者は、単体動作一覧画面から、スピンナ洗浄部の単体動作画面を選択して、この画面をタッチパネルに表示させる。その後、作業者は、この画面を用いて、スピンナ洗浄部の単体動作を行う。

また、作業者は、タッチパネルの画面を、赤色で表示されている構成要素の動作設定を変更するための設定変更画面に切り替えて、この構成要素の設定を、エラーが発生しないように変更することもある。

たとえば、タッチパネルの画面を、全体動作画面あるいはスピンナ洗浄部の単体動作画面から、スピンナ洗浄部の設定変更画面に切り替える際には、作業者は、全体動作画面または単体動作画面を抜け、各構成要素の設定変更一覧画面を開く。さらに、作業者は、その設定変更一覧画面から、スピンナ洗浄部の設定変更画面を選択して、この画面をタッチパネルに表示させる。その後、作業者は、この画面を用いて、スピンナ洗浄部の設定変更を行う。

このように、たとえばエラーが発生した際に、作業者は、タッチパネルに表示される画面を切り替えて作業することがあり、画面の切り替えに時間を要している。

したがって、本発明の目的は、タッチパネルを備えた加工装置において、タッチパネルに表示される画面の切り替えに要する時間を短縮することにある。

本発明の加工装置（本加工装置）は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該被加工物を加工する加工機構と、タッチパネルと、を備え、被加工物を加工する加工装置であって、該タッチパネルは、該加工装置の複数の構成要素のそれぞれを示す画像を表示し、画像がタッチされたことに応じて、タッチされた該画像に対応する構成要素のみを動作させるための単体動作画面を表示する。

本加工装置では、該タッチパネルは、該単体動作画面を表示するための画像へのタッチとは異なる回数または異なる時間で画像がタッチされたことに応じて、タッチされた該画像に対応する構成要素の動作設定を変更するための設定変更画面を表示してもよい。

本加工装置では、タッチパネルは、タッチパネルに表示されている１つの構成要素の画像が作業者によってタッチされたことに応じて、この構成要素の単体動作画面を表示するように構成されている。したがって、作業者は、タッチパネルに表示されている画像をタッチするだけで、タッチパネルに表示される画面を、所望の画面に素早く切り替えることができる。したがって、作業性を向上することができる。

加工装置の構成を示す斜視図である。 タッチパネルに表示される加工中画面を示す説明図である。 タッチパネルに表示される単体動作画面を示す説明図である。 タッチパネルに表示される設定変更画面を示す説明図である。

図１に示す加工装置１は、研削機構３０を備え、チャックテーブル５上に保持されたウェーハ１００を、研削機構３０により研削する。
ウェーハ１００は、被加工物の一例であり、たとえば、円形の半導体ウェーハである。ウェーハ１００の表面１０１には、図示しないデバイスが形成されている。ウェーハ１００の表面１０１は、図１においては下方を向いており、保護テープ１０５が貼着されることによって保護されている。ウェーハ１００の裏面１０４は、研削処理が施される被加工面となる。

加工装置１は、第１の装置ベース１０と、第１の装置ベース１０の後方（＋Ｙ方向側）に配置された第２の装置ベース１１とを有している。第１の装置ベース１０上は、ウェーハ１００の搬出入等が行われる領域である搬出入領域４０１となっている。第２の装置ベース１１上は、加工領域４０２となっている。この加工領域４０２では、研削機構３０によって、チャックテーブル５に保持されたウェーハ１００が加工される。

第１の装置ベース１０の正面側（－Ｙ方向側）には、第１カセットステージ１６０および第２カセットステージ１６２が設けられている。第１カセットステージ１６０には、加工前のウェーハ１００が収容される第１カセット１６１が載置されている。第２カセットステージ１６２には、加工後のウェーハ１００が収容される第２カセット１６３が載置されている。

第１カセット１６１および第２カセット１６３は、内部に複数の棚を備えており、各棚に一枚ずつウェーハ１００が収容されている。すなわち、第１カセット１６１および第２カセット１６３は、複数のウェーハ１００を棚状に収容している。

第１カセット１６１および第２カセット１６３の開口（図示せず）は、＋Ｙ方向側を向いている。これらの開口の＋Ｙ方向側には、ロボット１５５が配設されている。ロボット１５５は、ウェーハ１００を吸引保持する保持面、および、保持面を指示する反転アームを備えている。ロボット１５５は、加工後のウェーハ１００を第２カセット１６３に搬入（収納）する。また、ロボット１５５は、第１カセット１６１から加工前のウェーハ１００を取り出して、仮置き機構１５２の仮置きテーブル１５４に載置する。

仮置き機構１５２は、第１カセット１６１から取り出されたウェーハ１００を仮置きするために用いられ、ロボット１５５に隣接する位置に設けられている。仮置き機構１５２は、仮置きテーブル１５４、および、位置合わせ部材１５３を有している。

位置合わせ部材１５３は、仮置きテーブル１５４を囲むように外側に配置される複数の位置合わせピンと、位置合わせピンを仮置きテーブル１５４の径方向に移動させるスライダとを備えている。位置合わせ部材１５３では、位置合わせピンが仮置きテーブル１５４の径方向に中央に向かって移動されることにより、複数の位置合わせピンを結ぶ円が縮径される。これにより、仮置きテーブル１５４に裏面１０４を上にして載置されたウェーハ１００が、所定の位置に位置合わせ（センタリング）される。

仮置き機構１５２に隣接する位置には、搬入機構１７０が設けられている。搬入機構１７０は、仮置き機構１５２に仮置きされたウェーハ１００を、チャックテーブル５に搬入する。搬入機構１７０は、ウェーハ１００の裏面１０４を吸引保持する吸引面を有する吸引パッド（搬送パッド）１７１を備えている。搬入機構１７０は、仮置きテーブル１５４に仮置きされたウェーハ１００を吸引パッド１７１によって吸引保持して、加工領域４０２内における仮置き機構１５２の近傍に位置しているチャックテーブル５へ搬送し、その保持面５０に載置する。

チャックテーブル５は、ウェーハ１００を保持する保持部材の一例であり、ウェーハ１００を吸引保持する保持面５０を備えている。保持面５０は、図示しない吸引源に連通されて、保護テープ１０５を介して、ウェーハ１００を吸引保持することが可能である。チャックテーブル５は、保持面５０によってウェーハ１００を吸引保持した状態で、保持面５０の中心を通りＺ軸方向に延在する中心軸を中心として、回転可能である。

本実施形態では、第２の装置ベース１１上に配設されたターンテーブル６の上面に、２つのチャックテーブル５が、ターンテーブル６の中心を中心とする円上に配設されている。ターンテーブル６の中心には、ターンテーブル６を自転させるための図示しない回転軸が配設されている。ターンテーブル６は、この回転軸によって、Ｚ軸方向に延びる軸心を中心に自転することができる。ターンテーブル６が自転することで、２つのチャックテーブル５が公転する。これにより、チャックテーブル５を、仮置き機構１５２の近傍、および、研削機構３０の下方に、位置付けることができる。

第２の装置ベース１１上の後方（＋Ｙ方向側）には、コラム１２が立設されている。コラム１２の前面には、ウェーハ１００を研削する研削機構３０、および、研削機構３０を研削送りする研削送り機構２０が配設されている。研削機構３０は、加工具を用いてウェーハ１００を加工する加工機構の一例である。

研削送り機構２０は、Ｚ軸方向に平行な一対のガイドレール２０１、このガイドレール２０１上をスライドする昇降テーブル２０３、ガイドレール２０１と平行なボールネジ２００、ボールネジ２００を回転駆動するモータ２０２、および、昇降テーブル２０３の前面（表面）に取り付けられたホルダ２０４を備えている。ホルダ２０４は、研削機構３０を保持している。

昇降テーブル２０３は、ガイドレール２０１にスライド可能に設置されている。図示しないナット部が、昇降テーブル２０３の後面側（裏面側）に固定されている。このナット部には、ボールネジ２００が螺合されている。モータ２０２は、ボールネジ２００の一端部に連結されている。

研削送り機構２０では、モータ２０２がボールネジ２００を回転させることにより、昇降テーブル２０３が、ガイドレール２０１に沿って、Ｚ軸方向に移動する。これにより、昇降テーブル２０３に取り付けられたホルダ２０４、および、ホルダ２０４に保持された研削機構３０も、昇降テーブル２０３とともにＺ軸方向に移動する。このようにして、研削送り機構２０は、研削機構３０をＺ軸方向に沿って研削送りする。

研削機構３０は、ホルダ２０４に固定されたスピンドルハウジング３０１、スピンドルハウジング３０１に回転可能に保持されたスピンドル３００、スピンドル３００を回転駆動するモータ３０２、スピンドル３００の下端に取り付けられたホイールマウント３０３、および、ホイールマウント３０３の下面に着脱可能に接続された研削ホイール３０４を備えている。

スピンドルハウジング３０１は、Ｚ軸方向に延びるようにホルダ２０４に保持されている。スピンドル３００は、チャックテーブル５の保持面５０と直交するようにＺ軸方向に延び、スピンドルハウジング３０１に回転可能に支持されている。

モータ３０２は、スピンドル３００の上端側に連結されている。このモータ３０２により、スピンドル３００は、Ｚ軸方向に延びる回転軸を中心として回転する。

ホイールマウント３０３は、円板状に形成されており、スピンドル３００の下端（先端）に固定されて、スピンドル３００の回転に応じて回転する。ホイールマウント３０３は、研削ホイール３０４を保持している。

研削ホイール３０４は、外径がホイールマウント３０３の外径と略同径を有するように形成されている。研削ホイール３０４は、アルミニウム合金等の金属材料から形成された円環状のホイール基台（環状基台）３０５を含む。ホイール基台３０５の下面には、全周にわたって、略直方体形状の複数の研削砥石３０６が、環状に配置および固定されている。研削砥石３０６は、スピンドル３００の回転により回転され、チャックテーブル５に保持されたウェーハ１００の裏面１０４を研削する。

スピンドル３００の内部には、Ｚ軸方向に延びる研削水流路が形成されており、この研削水流路に、図示しない研削水供給機構が連通している（ともに図示せず）。研削水供給機構からスピンドル３００に対して供給される研削水は、研削水流路の下端の開口から研削砥石３０６に向かって下方に噴出され、研削砥石３０６とウェーハ１００との接触部位に到達する。

研削機構３０の下方に配置されたチャックテーブル５に隣接する位置には、ハイトゲージ５１が配設されている。ハイトゲージ５１は、たとえば研削中に、ウェーハ１００の厚みを接触式または非接触式にて測定する。

研削後のウェーハ１００は、搬出機構１７２によって搬出される。搬出機構１７２は、チャックテーブル５に保持されたウェーハ１００を、スピンナ洗浄機構１５６に搬送する。

搬出機構１７２は、ウェーハ１００の裏面１０４を吸引保持する吸引面を有する吸引パッド（搬送パッド）１７３を備えている。搬出機構１７２は、チャックテーブル５に載置されている研削後のウェーハ１００の裏面１０４を、吸引パッド１７３によって吸引保持する。その後、搬出機構１７２は、ウェーハ１００をチャックテーブル５から搬出して、枚葉式のスピンナ洗浄機構１５６のスピンナテーブル１５７に搬送する。

スピンナ洗浄機構１５６は、ウェーハ１００を洗浄するスピンナ洗浄ユニットである。スピンナ洗浄機構１５６は、ウェーハ１００を保持するスピンナテーブル１５７、および、スピンナテーブル１５７に向けて洗浄水および乾燥エアを噴射するノズル１５８を備えている。

スピンナ洗浄機構１５６では、ウェーハ１００を保持したスピンナテーブル１５７が回転するとともに、ウェーハ１００の裏面１０４に向けて洗浄水が噴射されて、裏面１０４がスピンナ洗浄される。その後、ウェーハ１００に乾燥エアが吹き付けられて、ウェーハ１００が乾燥される。

スピンナ洗浄機構１５６によって洗浄されたウェーハ１００は、ロボット１５５により、第２カセットステージ１６２上の第２カセット１６３に搬入される。

また、加工装置１は、その内部に、加工装置１の制御のための制御部７０を有している。制御部７０は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、および、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７０は、各種の処理を実行し、加工装置１の各構成要素を統括制御する。

また、加工装置１は、第１の装置ベース１０および第２の装置ベース１１を覆う筐体１５を備えている。筐体１５の側面には、タッチパネル６０が設置されている。

タッチパネル６０には、加工装置１に関するデバイスデータ（加工条件）等の各種情報が表示される。また、タッチパネル６０は、デバイスデータ等の各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル６０は、情報を入力するための入力部材として機能するとともに、情報を表示するための表示部材としても機能する。

本実施形態では、作業者は、タッチパネル６０を用いて、加工装置１の構成要素を制御することができる。すなわち、作業者は、タッチパネル６０を用いて、ウェーハ１００の加工における加工装置１の各構成要素の状態を確認すること、１つの構成要素のみを動作させること、および、各構成要素の設定を変更することができる。

以下に、タッチパネル６０を用いた加工装置１の構成要素の制御について説明する。

加工装置１における加工動作中では、タッチパネル６０は、図２に示すような加工中画面５００を表示する。

加工中画面５００は、マシンモニタ画面５０１、レシピ表示画面５０２およびステータス表示画面５０３を含んでいる。

タッチパネル６０は、マシンモニタ画面５０１に、加工装置１の上述した複数の構成要素のそれぞれを示す画像として、各構成要素のイラストを表示する。図２に示す例では、マシンモニタ画面５０１には、上述した第１カセット１６１、第２カセット１６３、ロボット１５５、仮置き機構１５２、搬入機構１７０、ターンテーブル６、研削機構３０、搬出機構１７２およびスピンナ洗浄機構１５６のそれぞれを示すイラストが表示されている。また、図２には、チャックテーブル５を洗浄するための３つのチャックテーブル洗浄機構（ＣＴ洗浄機構）１８０のイラストも示されている。

さらに、これらのイラストには、各構成要素の名称および状態が示されている。図示の例では、各構成要素の状態として、準備ができていることを示す「ＲＥＡＤＹ」等が表示されている。

また、加工中画面５００のレシピ表示画面５０２には、加工装置１による加工の加工条件などを含む加工レシピが表示される。図２に示されている例では、レシピ表示画面５０２には、加工レシピとして、ウェーハ１００の径、加工前の厚さ（投入厚さ）、仕上げ厚さおよび研削量、研削機構３０に関する研削設定、ならびに、ハイトゲージ５１に関するゲージ設定などが示されている。

また、加工中画面５００のステータス表示画面５０３には、加工装置１における各構成要素のステータスが示されている。図２に示されている例では、スピンドル３００の回転数、研削砥石３０６の磨耗量および刃先の残量、ならびに、研削水の供給量などが示されている。

本実施形態では、タッチパネル６０は、加工中画面５００のマシンモニタ画面５０１に表示されているイラストの１つが作業者によってタッチされたことに応じて、タッチされたイラストに対応する構成要素のみを動作させるための単体動作画面を表示する。

たとえば、作業者は、加工装置１による加工中に、ロボット１５５の動作を確認したいと考えた場合、タッチパネル６０に表示されているマシンモニタ画面５０１におけるロボット１５５のイラストにタッチする。これに応じて、タッチパネル６０は、図３に示すように、ロボット１５５のみを動作させるための単体動作画面６００を表示する。
なお、本実施形態では、タッチパネル６０は、作業者によってイラストが長押しされた際に、タッチされたイラストに対応する構成要素の単体動作画面６００を表示するように構成されている。

図３に示されている例では、単体動作画面６００は、ユニットオペレーション画面６０１、および、ロボット制御画面６０２を含んでいる。

本実施形態では、ユニットオペレーション画面６０１は、図２に示したマシンモニタ画面５０１と同様に、第１カセット１６１、第２カセット１６３、ロボット１５５、仮置き機構１５２、搬入機構１７０、ターンテーブル６、チャックテーブル５、研削機構３０、搬出機構１７２、スピンナ洗浄機構１５６およびチャックテーブル洗浄機構１８０の各構成要素を示すイラスト、および、各構成要素の名称を示すボタンが表示されている。
この図に示す例では、図２に示したマシンモニタ画面５０１においてロボット１５５のイラストがタッチされているため、図３に示すユニットオペレーション画面６０１では、ロボット１５５の名称を示すボタンの表示形態（表示色など）が、他のボタンと異なっている。

また、ロボット制御画面６０２は、イラスト表示エリア６１１、設定値表示欄６１２、および、動作ボタン群６１３を含んでいる。

イラスト表示エリア６１１には、ロボット１５５、および、ロボット１５５の近傍に位置している仮置き機構１５２およびスピンナ洗浄機構１５６のイラストが表示される。
設定値表示欄６１２には、加工レシピにおけるロボット１５５に関する項目（ウェーハ１００のサイズ、および、ロボット１５５の保持面の吸引圧力（バキューム圧）など）が示されている。

動作ボタン群６１３は、ロボット１５５の動作を指示するためのボタンである動作ボタンとして、イニシャルボタン６２１、取出ボタン６２２、仮置きボタン６２３、回収ボタン６２４、収納ボタン６２５、バキュームボタン６２６、および、フローボタン６２７を含んでいる。

作業者が、これらのボタンの１つにタッチすることにより、ロボット１５５が、タッチされたボタンに応じた動作を実施する。

たとえば、イニシャルボタン６２１がタッチされた場合、ロボット１５５は、初期位置に戻る。取出ボタン６２２がタッチされた場合、ロボット１５５は、第１カセット１６１から加工前のウェーハ１００を取り出す。

仮置きボタン６２３がタッチされた場合、ロボット１５５は、取り出したウェーハ１００を仮置き機構１５２の仮置きテーブル１５４に載置する。回収ボタン６２４がタッチされた場合、ロボット１５５は、スピンナ洗浄機構１５６のスピンナテーブル１５７からウェーハ１００を回収する。

収納ボタン６２５がタッチされた場合、ロボット１５５は、回収したウェーハ１００を第２カセット１６３に搬入する。バキュームボタン６２６がタッチされた場合、ロボット１５５は、ロボット１５５の保持面によるウェーハ１００の吸引動作を開始する。フローボタン６２７がタッチされた場合、ロボット１５５は、保持面によるウェーハ１００の吸引動作を停止する。

このように、作業者は、単体動作画面６００のロボット制御画面６０２に示されている動作ボタンにタッチすることにより、ロボット１５５のみを動作させること、および、ロボット１５５に、所望の動作を実施させることができる。

また、本実施形態では、タッチパネル６０は、図２に示した加工中画面５００のマシンモニタ画面５０１に表示されている各構成要件を示すイラストが、図３に示した単体動作画面６００を表示するためのイラストへのタッチとは異なる回数または異なる時間でタッチされたことに応じて、タッチされたイラストに対応する構成要素の動作設定を変更するための設定変更画面を表示する。

たとえば、作業者は、加工装置１による加工中に、ロボット１５５の動作設定を変更したいと考えた場合、タッチパネル６０に表示されているマシンモニタ画面５０１におけるロボット１５５のイラストを、ダブルタッチする。これに応じて、タッチパネル６０は、図４に示すような、ロボット１５５の動作設定を変更するための設定変更画面７００を表示する。

図４に示す例では、設定変更画面７００は、パラメータ画面７０１およびロボット設定画面７０２を含んでいる。

パラメータ画面７０１は、図３に示した単体動作画面６００のユニットオペレーション画面６０１と同様に、第１カセット１６１、第２カセット１６３、ロボット１５５、仮置き機構１５２、搬入機構１７０、ターンテーブル６、研削機構３０、搬出機構１７２、スピンナ洗浄機構１５６およびチャックテーブル洗浄機構１８０の各構成要素を示すイラスト、および、各構成要素の名称を示すボタンが表示されている。
この図に示す例では、図２に示したマシンモニタ画面５０１においてロボット１５５のイラストがタッチされているため、図４に示すパラメータ画面７０１では、ロボット１５５の名称を示すボタンの表示形態（表示色など）が、他のボタンと異なっている。

また、ロボット設定画面７０２は、ロボット１５５の動作設定を変更（補正）するための補正欄である第１補正エリア７１１および第２補正エリア７１２を含んでいる。

第１補正エリア７１１は、ロボット１５５によるウェーハ１００の仮置き、回収、取出および収納に関する位置（Ｘ軸位置およびθ軸位置）を補正するための補正欄を含んでいる。

仮置き位置は、第１カセット１６１から取り出したウェーハ１００を仮置き機構１５２の仮置きテーブル１５４に載置する際の、仮置きテーブル１５４に対するロボット１５５の位置である。
回収位置は、スピンナ洗浄機構１５６のスピンナテーブル１５７からウェーハ１００を回収する際の、スピンナテーブル１５７に対するロボット１５５の位置である。
取出位置は、第１カセット１６１から加工前のウェーハ１００を取り出す際の、第１カセット１６１に対するロボット１５５の位置である。
収納位置は、スピンナ洗浄機構１５６から回収したウェーハ１００を第２カセット１６３に搬入する際の、第２カセット１６３に対するロボット１５５の位置である。

第２補正エリア７１２は、反転アーム水平位置補正欄、および、仮置きＺ軸進入位置補正欄を含んでいる。反転アーム水平位置補正欄は、ロボット１５５の反転アームにおける水平方向での原点位置および反転位置を補正するための補正欄である。
仮置きＺ軸進入位置補正欄は、ロボット１５５が仮置き機構１５２の仮置きテーブル１５４にウェーハ１００を載置するために、仮置きテーブル１５４の上方に進入する際の、ロボット１５５のＺ軸方向における進入位置（Ｚ軸位置）を補正するための補正欄である。

作業者は、補正したい位置に関する補正欄にタッチした後、図示しないテンキーを用いて数値を打ち込むことにより、当該補正欄に数値（補正値）を入力して、ロボット１５５の設定を変更することができる。

以上のように、本実施形態では、タッチパネル６０は、加工中画面５００に表示されている１つの構成要素のイラストが作業者によってタッチ（長押しあるいはダブルタッチ）されたことに応じて、この構成要素の単体動作画面６００あるいは設定変更画面７００を表示するように構成されている。したがって、作業者は、タッチパネル６０に表示されているイラストをタッチするだけで、タッチパネル６０に表示される画面を、所望の画面に素早く切り替えることができる。したがって、作業性を向上することができる。

なお、制御部７０は、加工中に、１つあるいは複数の構成要素にエラーが発生した際には、それを作業者に通知するために、タッチパネル６０における加工中画面５００にエラーメッセージを表示するとともに、そのマシンモニタ画面５０１におけるエラーが発生した構成要素のイラストを、たとえば赤色で表示してもよい。
この場合、作業者は、赤色で表示されているイラストにタッチすることによって、このイラストに対応した構成要素の単体動作画面あるいは設定変更画面をタッチパネル６０に表示させることができる。

また、本実施形態では、タッチパネル６０は、加工中画面５００のマシンモニタ画面５０１（図２参照）に表示されているイラストが作業者によって長押しされた際に、タッチされたイラストに対応する構成要素の単体動作画面６００（図３参照）を表示する一方、イラストがタブルタッチされた際に、タッチされたイラストに対応する構成要素の設定変更画面７００（図４参照）を表示するように構成されている。これに関し、単体動作画面６００および設定変更画面７００を表示させるためのイラストへのタッチの形態は、長押しおよびダブルタッチに限られず、作業者によって任意に設定されることが可能であってもよい。

すなわち、本実施形態では、単体動作画面６００を表示するためのイラストへのタッチと、設定変更画面７００を表示するためのイラストへのタッチとが、互いに異なる回数または異なる時間でのタッチであればよい。

また、本実施形態では、設定変更画面７００は、上述したパラメータ画面７０１およびロボット設定画面７０２を含んでいる。これに関し、設定変更画面７００は、各構成要素の動作時間、動作回数、および、この構成要素を使用するか否か、を変更可能な画面であってもよい。

また、本実施形態では、タッチパネル６０は、マシンモニタ画面５０１に、加工装置１の上述した複数の構成要素を示す画像として、イラストを表示している。これに関し、タッチパネル６０は、各構成要素を示す画像として、各構成要素の写真を表示してもよいし、各構成要素を示すサムネイルを表示してもよい。すなわち、タッチパネル６０は、各構成要素を示す画像として、各構成要素に対応していることを作業者が識別できるような表示物を表示すればよい。すなわち、各構成要素を示す画像は、各構成要素を抽象的あるいは具体的に示す表示物であればよい。

１：加工装置、７０：制御部、
５：チャックテーブル、５０：保持面、６：ターンテーブル、
１０：第１の装置ベース、１１：第２の装置ベース、
１２：コラム、１５：筐体、４０１：搬出入領域、４０２：加工領域、
２０：研削送り機構、３０：研削機構、５１：ハイトゲージ、
１５２：仮置き機構、１５３：位置合わせ部材、１５４：仮置きテーブル、
１５５：ロボット、
１５６：スピンナ洗浄機構、１５７：スピンナテーブル、１５８：ノズル、
１６０：第１カセットステージ、１６１：第１カセット、
１６２：第２カセットステージ、１６３：第２カセット、
１７０：搬入機構、１７１：吸引パッド、
１７２：搬出機構、１７３：吸引パッド、
１８０：チャックテーブル洗浄機構、
６０：タッチパネル、
５００：加工中画面、５０１：マシンモニタ画面、
５０２：レシピ表示画面、５０３：ステータス表示画面、
６００：単体動作画面、
６０１：ユニットオペレーション画面、６０２：ロボット制御画面、
６１１：イラスト表示エリア、６１２：設定値表示欄、
６１３：動作ボタン群、６２１：イニシャルボタン、６２２：取出ボタン、
６２３：仮置きボタン、６２４：回収ボタン、６２５：収納ボタン、
６２６：バキュームボタン、６２７：フローボタン、
７００：設定変更画面、７０１：パラメータ画面、
７０１：パラメータ画面、７０２：ロボット設定画面、
７１１：第１補正エリア、７１２：第２補正エリア、
１００：ウェーハ、１０１：表面、１０４：裏面、１０５：保護テープ

Claims (2)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該被加工物を加工する加工機構と、タッチパネルと、を備え、被加工物を加工する加工装置であって、
   該タッチパネルは、
   該加工装置の複数の構成要素のそれぞれを示す画像を表示し、
   画像がタッチされたことに応じて、タッチされた該画像に対応する構成要素のみを動作させるための単体動作画面を表示する、
   加工装置。
2. 該タッチパネルは、
   該単体動作画面を表示するための画像へのタッチとは異なる回数または異なる時間で画像がタッチされたことに応じて、タッチされた該画像に対応する構成要素の動作設定を変更するための設定変更画面を表示する、
   請求項１記載の加工装置。

Images