JP2020149089A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加工装置に生じるエラーへの対処時間を短くする。【解決手段】作業者が、発生したエラーを解消するために実施した対処方法を、対処結果として研削装置１に入力する。入力された対処結果は、記憶部に記憶される。そして、その後に同様のエラーが発生したときに、このエラーに関する対処結果が、記憶部から読み出されて、表示部６３の対処結果表示部６３１に表示される。このため、作業者は、対処結果表示部６３１に表示された対処結果を参考に、エラーを解消するための対処方法を実施することができる。さらに、作業者は、新たな対処結果を入力することによって、表示される対処結果を更新することができる。これにより、本実施形態では、逐次的に更新される有用な対処結果を作業者に表示することができるので、作業者によるエラーへの対処時間を短くすることができる。【選択図】図３

Description

本発明は、加工装置に関する。

加工装置には、加工中にエラーが発生すると、エラーの発生を作業者に通知する機能を有すものがある。作業者は、装置マニュアル等に基づいて、通知されたエラーへの対処方法を取得し、それを実施する。また、対処方法を、加工装置のタッチパネルに表示する技術もある（特許文献１参照）。

特開２０１０−０４９４６６号公報

しかし、特許文献１の技術では、予め想定された対処方法しか表示されない。このため、表示された対処方法ではエラーを解消するために時間がかかる場合もある。

本発明の目的は、加工装置に生じるエラーへの対処時間を短くすることにある。

本発明の加工装置（本加工装置）は、タッチパネルと、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持される被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置であって、該タッチパネルは、エラーを表示するエラー表示部と、該エラー表示部に表示されたエラーに対処した結果である対処結果を入力するための入力部と、を含み、該入力部に入力された該対処結果を該エラーに関連づけて記憶するための記憶部と、該タッチパネルに設けられ、該記憶部に記憶されている発生したエラーに関した該対処結果を表示する表示部と、をさらに備え、該表示部に表示される該対処結果を用いて該エラーの対処時間の短縮を可能とする。

本加工装置は、該表示部に表示される該対処結果の選択回数を更新するカウンタと、該対処結果を、更新された選択回数の多い順に、該表示部に表示する制御部と、をさらに備えてもよい。

本加工装置では、作業者が、発生したエラーを解消するために実施した対処方法を、対処結果として、入力部を用いて本加工装置に入力することができる。入力された対処結果は、記憶部に記憶される。そして、その後に同様のエラーが発生したときに、このエラーに関する対処結果が、表示部に表示される。

このため、作業者は、表示部に表示された対処結果に基づいて、エラーを解消するための対処方法を実施することができる。
さらに、作業者は、新たな対処結果を入力することによって、表示される対処結果を更新することができる。これにより、本加工装置では、逐次的に更新される有用な対処結果を作業者に表示することができるので、作業者によるエラーへの対処時間を短くすることができる。

また、本加工装置では、対処結果の選択回数をカウントし、選択回数の多い順に、対処結果を表示部に表示することもできる。この場合、作業者は、エラーを解消するために、たとえば最も多く選択されているものから順に、対処結果を利用することが可能となる。すなわち、複数の対処結果が無作為に表示される構成に比して、作業者は、対処方法の優先順位を判断することが容易となる。このため、作業者によるエラーへの対処時間を、さらに短くすることができる。

研削装置の構成を示す斜視図である。 エラー表示画面の例を示す説明図である。 対処結果表示画面の例を示す説明図である。 対処結果入力画面の例を示す説明図である。 エラー履歴表示画面の例を示す説明図である。

図１に示す本実施形態にかかる研削装置１は、加工装置の一例に相当する。研削装置１は、被加工物の一例に相当するウェーハＷに対して、搬入処理、研削加工、洗浄処理および搬出処理を含む一連の作業を実施するように構成されている。

図１に示すように、ウェーハＷは、たとえば、円形の半導体ウェーハである。図１においては下方を向いているウェーハＷの表面Ｗａは、複数のデバイスを保持しており、図示しない保護テープが貼着されることによって保護されている。ウェーハＷの裏面Ｗｂは、研削加工が施される被加工面となる。

研削装置１は、略矩形の第１の装置ベース１１、第１の装置ベース１１の後方（＋Ｙ方向側）に連結された第２の装置ベース１２、上方に延びるコラム１３、ならびに、第１の装置ベース１１および第２の装置ベース１２を覆う筐体１４を備えている。

第１の装置ベース１１の正面側（−Ｙ方向側）には、第１のカセットステージ１５１および第２のカセットステージ１５２が設けられている。第１のカセットステージ１５１には、加工前のウェーハＷが収容される第１のカセット５１が載置されている。第２のカセットステージ１５２には、加工後のウェーハＷが収容される第２のカセット５２が載置されている。

第１のカセット５１および第２のカセット５２は、ウェーハＷを収容する複数の棚を内部に備えており、各棚に一枚ずつウェーハＷが収容されている。第１のカセット５１および第２のカセット５２は、互いに同様の構成を有している。

第１のカセット５１の開口（図示せず）は、＋Ｙ方向側を向いている。この開口の＋Ｙ方向側には、ロボット５５が配設されている。ロボット５５は、加工後のウェーハＷを第２のカセット５２に搬入する。また、ロボット５５は、第１のカセット５１から加工前のウェーハＷを搬出して、仮置き領域１５３ａに載置する。

仮置き領域１５３ａは、ロボット１５５に隣接する位置に設けられている。仮置き領域１５３ａには、位置合わせ手段１５３ｂが配設されている。位置合わせ手段１５３ｂは、仮置き領域１５３ａに載置されたウェーハＷを、縮径する位置合わせピンを用いて、所定の位置に位置合わせ（センタリング）する。

仮置き領域１５３ａに隣接する位置には、搬入機構４１が設けられている。搬入機構４１は、位置合わせされたウェーハＷを吸着保持し、搬入出領域Ａ内に位置付けられたチャックテーブル３０に搬送する。

チャックテーブル３０は、保持手段の一例に相当する。チャックテーブル３０は、第２の装置ベース１２上に配設された、平面視円形状のターンテーブル１７に備えられている。ターンテーブル１７は、ターンテーブル１７を二分するように設けられた仕切り板１８と、仕切り板１８の両側に１つずつ設けられたチャックテーブル３０とを有している。

ターンテーブル１７は、Ｚ軸方向に延びる回転軸を中心として回動することができる。ターンテーブル１７が回動することで、２つのチャックテーブル３０が公転する。これにより、各チャックテーブル３０は、搬入出領域Ａから研削領域Ｂへ、および、研削領域Ｂから搬入出領域Ａへ、それぞれ移動することができる。

チャックテーブル３０は、ターンテーブル１７上で、Ｚ軸方向に延びる回転軸を中心として回転（自転）可能となっている。また、チャックテーブル３０は、ウェーハＷを吸着する保持面３００を備えている。保持面３００は、図示しない吸引源に連通されており、ウェーハＷを吸着保持する。

第２の装置ベース１２上の後方（＋Ｙ方向側）には、コラム１３が立設されている。コラム１３の前面には、ウェーハＷを研削する研削手段７、および、研削手段７を研削送り方向であるＺ軸方向に移動させる研削送り手段２が設けられている。

研削送り手段２は、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール２１、このＺ軸ガイドレール２１上をスライドするＺ軸移動テーブル２３、Ｚ軸ガイドレール２１と平行なＺ軸ボールネジ２０、Ｚ軸サーボモータ２２、および、Ｚ軸移動テーブル２３の前面（表面）に取り付けられたホルダ２４を備えている。ホルダ２４は、研削手段７を保持している。

Ｚ軸移動テーブル２３は、Ｚ軸ガイドレール２１にスライド可能に設置されている。図示しないナット部が、Ｚ軸移動テーブル２３の後面側（裏面側）に固定されている。このナット部には、Ｚ軸ボールネジ２０が螺合されている。Ｚ軸サーボモータ２２は、Ｚ軸ボールネジ２０の一端部に連結されている。

研削送り手段２では、Ｚ軸サーボモータ２２がＺ軸ボールネジ２０を回転させることにより、Ｚ軸移動テーブル２３が、Ｚ軸ガイドレール２１に沿って、Ｚ軸方向に移動する。これにより、Ｚ軸移動テーブル２３に取り付けられたホルダ２４、および、ホルダ２４に保持された研削手段７も、Ｚ軸移動テーブル２３とともにＺ軸方向に移動する。

研削手段７は、加工手段の一例に相当する。研削手段７は、ホルダ２４に固定されたスピンドルハウジング７１、スピンドルハウジング７１に回転可能に保持されたスピンドル７０、スピンドル７０の上端に連結されたモータ７２、スピンドル７０の下端に取り付けられたホイールマウント７３、および、ホイールマウント７３に支持された研削ホイール７４を備えている。

スピンドルハウジング７１は、Ｚ軸方向に延びるようにホルダ２４に保持されている。スピンドル７０は、チャックテーブル３０の保持面３００と直交するようにＺ軸方向に延び、スピンドルハウジング７１に回転可能に支持されている。
スピンドル７０は、その上端に連結されたモータ７２の駆動力により、Ｚ軸方向に延びる回転軸を中心として回転する。

ホイールマウント７３は、円盤状に形成されており、スピンドル７０の下端（先端）に固定されている。ホイールマウント７３は、研削ホイール７４を支持する。

研削ホイール７４は、ホイールマウント７３と略同径を有するように形成されている。研削ホイール７４は、ステンレス等の金属材料から形成された円環状のホイール基台（環状基台）７４０を含む。ホイール基台７４０の下面には、全周にわたって、環状に配置された複数の研削砥石７４１が固定されている。研削砥石７４１は、チャックテーブル３０に保持されたウェーハＷを研削する。

研削後のウェーハＷは、搬出機構４２によって搬出される。搬出機構４２は、チャックテーブル３０に載置されている研削加工後のウェーハＷを吸着保持し、チャックテーブル３０から搬出して、枚葉式のスピンナ洗浄ユニット２６のスピンナテーブル２７に搬送する。

スピンナ洗浄ユニット２６は、図示しない吸引源に連通された保持面によってウェーハＷを吸着保持するスピンナテーブル２７、および、スピンナテーブル２７に向けて洗浄水および乾燥エアを噴射する各種ノズル（図示せず）を備えている。

スピンナ洗浄ユニット２６では、ウェーハＷを保持したスピンナテーブル２７が、第１の装置ベース１１内に降下される。そして、第１の装置ベース１１内で、ウェーハＷの裏面Ｗｂに向けて洗浄水が噴射されて、裏面Ｗｂがスピンナ洗浄される。その後、ウェーハＷに乾燥エアが吹き付けられて、ウェーハＷが乾燥される。
スピンナ洗浄ユニット２６によって洗浄されたウェーハＷは、ロボット５５により、第２のカセット５２に搬入される。

筐体１４の上面には、作業者に稼働状況を通知するための表示灯（シグナルタワー）６０が備えられている。

また、筐体１４における−Ｙ側の側面には、タッチパネル４０が設置されている。タッチパネル４０には、研削装置１の加工状況、および、研削装置１によるウェーハＷの加工に関する加工条件等の各種情報が表示される。また、タッチパネル４０は、加工条件等の各種情報を入力するためにも用いられる。このように、タッチパネル４０は、情報を入力するための入力手段として機能するとともに、入力された情報を表示するための表示手段としても機能する。

また、研削装置１は、筐体１４の内部に、制御部３、記憶部３１、およびカウンタ３３を備えている。制御部３は、上述した研削装置１の各構成要素を制御して、ウェーハＷに対して作業者の所望とする加工を実施する。

また、制御部３は、研削装置１の稼働中に何らかのエラーが発生した場合、タッチパネル４０を制御して、作業者に対し、エラーに関する表示を実施する。

すなわち、研削装置１にエラーが発生した場合、制御部３は、タッチパネル４０に、図２に示すようなエラー表示画面（エラー発生通知画面）を表示する。この図に示すように、エラー表示画面は、最新のエラーを表示するエラー表示部６１、および、ボタン群６５を含んでいる。

エラー表示部６１は、新たに発生したエラーである最新のエラーの情報、たとえば、エラーの名称、発生日時および内容を表示する。
ボタン群６５は、対処結果入力ボタン６５１、他装置の対処結果追加ボタン６５３、対処結果表示ボタン６５５、および、エラー履歴表示ボタン６５７を含んでおり、これらは、作業者によって操作される（押される）ことが可能である。

そして、作業者が、ボタン群６５の対処結果表示ボタン６５５を押すと、制御部３は、タッチパネル４０に、図３に示すような対処結果表示画面を表示する。この図に示すように、対処結果表示画面は、上述したエラー表示部６１およびボタン群６５に加えて、対処結果を示す表示部６３を含んでいる。

表示部６３は、エラー表示部６１に表示されている最新のエラーに関する対処結果を表示している。
なお、対処結果とは、研削装置１において発生した同様のエラーを解消するために、作業者によって以前に実施された対処方法である。対処結果は、たとえば、その対処方法を実施した作業者によって、対処方法を実施した後に入力される。

図３に示すように、表示部６３は、対処結果表示部６３１、自カウント値表示部６３３および他カウント値表示部６３５を備えている。
対処結果表示部６３１は、最新のエラーに関する対処結果をリスト表示する部分である。図３に示す例では、複数（図示の例では３つ）の対処結果Ｒ１，Ｒ２およびＲ３が、対処結果表示部６３１に示されている。

自カウント値表示部６３３は、研削装置１において、対処結果Ｒ１，Ｒ２およびＲ３が過去に実施（選択）された回数（自カウント値）を表示している。図３に示す例では、研削装置１において、過去に、対処結果Ｒ１，Ｒ２およびＲ３が、それぞれ、１０回、３回および１回、実施されている。
なお、図３に示すように、制御部３は、表示部６３の対処結果表示部６３１に、自カウント値の多いものから順に上側から配置されるように、対処結果Ｒ１，Ｒ２およびＲ３を表示する。

他カウント値表示部６３５は、研削装置１に隣接配置された同様の構成を有する研削装置（以下、他装置とも称する）において、対処結果Ｒ１，Ｒ２およびＲ３が過去に実施された回数（他カウント値）を表示している。
図３に示す例では、他装置において、過去に、対処結果Ｒ１，Ｒ２およびＲ３が、それぞれ、１回、２回および１回、実施されている。

なお、他カウント値表示部６３５は、たとえば、他装置の対処結果追加ボタン６５３が押された場合に、対処結果表示画面の表示部６３に表示される。すなわち、作業者によって他装置の対処結果追加ボタン６５３が押された場合、制御部３は、他装置にアクセスして、当該エラーに関する他装置の対処結果の選択回数を読み出して、他カウント値表示部６３５に表示する。
このために、たとえば、研削装置１と他装置とは、有線あるいは無線のネットワークを介して、互いに接続されている。

このような対処結果、および、各対処結果に応じた自カウント値は、エラーに関連づけられて、図１に示した記憶部３１に記憶されている。制御部３は、対処結果および自カウント値を記憶部３１から読み出して、対処結果表示画面における表示部６３に表示する。

また、図１に示したカウンタ３３は、各対処結果における選択された回数（自カウント値）をカウントする。
すなわち、本実施形態では、作業者は、エラーに対応するために、対処結果表示部６３１に表示されている対処結果Ｒ１，Ｒ２およびＲ３のいずれかを選択し、それに応じた対処方法を実施することができる。

そして、選択した対処結果に応じた対処方法によってエラーが解消された場合、作業者は、対処結果表示部６３１における選択した対処結果の表示部分をタッチする。これに応じて、カウンタ３３が、選択された対処結果に関する自カウント値を更新する（増やす）。
制御部３は、各対処結果を、更新された自カウント値に基づいた順に、表示部６３の対処結果表示部６３１にリスト表示する。

また、エラーの発生時、作業者は、図３に示す対処結果表示画面における対処結果表示部６３１に表示された対処結果Ｒ１〜Ｒ３を確認した後、これらのいずれかに応じた対処方法ではなく、他の新たな対処方法によってエラーを解消する場合もある。このような場合、作業者は、実施した新たな対処方法を、エラーに対処した結果である対処結果として、研削装置１に入力する。

すなわち、新たな対処方法を実施することによってエラーを解消した場合、作業者は、たとえば図３に示す対処結果表示画面におけるボタン群６５に含まれる、対処結果入力ボタン６５１を押す。これに応じて、制御部３は、図４に示すような対処結果入力画面をタッチパネル４０に表示する。

図４に示すように、対処結果入力画面は、対処結果表示画面等と同様のエラー表示部６１に加えて、入力ウインドウとしての入力部６７、キーボード６９、ＯＫボタンＢ１およびキャンセルボタンＢ２を含んでいる。

作業者は、対処結果表示画面の入力部６７に対し、たとえばキーボード６９を用いて、エラー表示部６１に表示されているエラーを解消するために実施した新たな対処方法を、新たな対処結果として入力することができる。作業者は、入力が完了した場合、ＯＫボタンＢ１を押す。これに応じて、制御部３は、入力された新たな対処結果を、エラー表示部６１に表示されているエラーに関連づけて、記憶部３１に記憶させる。その後、制御部３は、タッチパネル４０の表示を、たとえば、図３に示した対処結果表示画面に戻す。

また、制御部３は、次に同様のエラーが発生したときに、対処結果Ｒ１〜Ｒ３に加えて、入力部６７を用いて入力された新たな対処結果を、対処結果表示画面における表示部６３の対処結果表示部６３１に表示する。
なお、次に同様のエラーが発生したときに対処結果Ｒ１〜Ｒ３に表示されている内容に追記したい、または、誤字を修正したいというときには、対処結果表示画面の表示部６３に表示されている対処結果を選択すると、図４に示すような対処結果入力画面に移行し、入力部６７には表示部６３で選択した記憶部３１に記憶されている対処結果を編集可能な状態で表示させ、追記、修正を行えるようにしてもよい。

なお、作業者は、対処結果の入力をやめる場合には、キャンセルボタンＢ２を押す。これに応じて、制御部３は、タッチパネル４０に、たとえば対処結果表示画面を表示する。

また、作業者が、エラーの発生時に、研削装置１における最近に発生したエラーを知りたいと考える場合もある。この場合、作業者は、図２等に示したボタン群６５におけるエラー履歴表示ボタン６５７を押す。作業者によってエラー履歴表示ボタン６５７が押されると、制御部３は、図５に示すようなエラー履歴表示画面を表示する。

この図に示すように、エラー履歴表示画面は、エラー表示部６１およびボタン群６５に加えて、エラー履歴表示部６２を含んでいる。エラー履歴表示部６２には、図５に示す例では、新たなエラーの前に発生した３つのエラーＥ１，Ｅ２およびＥ３の情報（たとえば、エラーの名称および内容）が、その発生日時とともに表示される。

以上のように、本実施形態では、作業者が、発生したエラーを解消するために実施した対処方法を、対処結果として、入力部６７を用いて研削装置１に入力することができる。入力された対処結果は、記憶部３１に記憶される。そして、その後に同様のエラーが発生したときに、このエラーに関する対処結果が、記憶部３１から読み出されて、表示部６３の対処結果表示部６３１に表示される。

このため、作業者は、対処結果表示部６３１に表示された対処結果に基づいて、エラーを解消するための対処方法を実施することができる。
さらに、作業者は、新たな対処結果を入力することによって、表示される対処結果を更新することができる。これにより、本実施形態では、逐次的に更新される有用な対処結果を作業者に表示することができるので、作業者によるエラーへの対処時間を短くすることができる。

また、本実施形態では、表示部６３の自カウント値表示部６３３に、各対処結果が選択された回数である自カウント値が表示される。そして、カウンタ３３が、各対処結果における自カウント値をカウントし、これを更新する。さらに、制御部３が、対処結果を、更新された選択回数の多い順に、表示部６３の対処結果表示部６３１に表示する。

したがって、本実施形態では、作業者は、エラーを解消するために、たとえば最も多く選択されているものから順に、対処結果を利用することが可能となる。すなわち、本実施形態では、複数の対処結果が無作為に表示される構成に比して、作業者は、対処方法の優先順位を判断することが容易となる。このため、作業者によるエラーへの対処時間を、さらに短くすることができる。

また、本実施形態では、作業者は、他装置の対処結果追加ボタン６５３を用いることによって、他装置での対処結果の選択回数（他カウント値）を、表示部６３の他カウント値表示部６３５に表示させ、これを確認することができる。

これに関し、自カウント値として示される対処結果の選択回数に偏りのある場合、研削装置１の一部に問題が生じている可能性がある。たとえば、研削装置１の部材の一部に破損が生じている可能性、および／または、研削装置１の部材を駆動するためのソフトウェアの一部が破損している可能性もある。したがって、自カウント値に偏りがある場合、作業者は、他カウント値を確認することによって、研削装置１における問題の有無を検証することが可能となる。

また、作業者は、自カウント値の大きい対処結果の内容に基づいて、研削装置１における改善すべき点を把握することができるので、エラーの発生を抑制することもできる。
なお、改善すべき点とは、例えば、ウェーハを搬送する搬送手段が、チャックテーブルからウェーハを受け取る際にエラーが発生するときには、その受け取りするときの時間の設定を変更したり、チャックテーブルの保持面から噴出させるエアと水とを混合させた二流体の噴出量を調整したり、もしくは、その二流体をチャックテーブルに供給する配管経路を改善したりする。このように、改善とは、例えば、設定の変更や、装置の構造の変更である。

なお、本実施形態では、エラーの発生時に、図２に示したエラー表示画面がタッチパネル４０に表示される。これに関し、制御部３は、対処結果表示画面（図３参照）を介していずれかの対処結果が選択された場合、あるいは、対処結果入力画面（図４参照）を介して新たな対処結果が入力されてＯＫボタンＢ１が押された場合に、タッチパネル４０をエラー発生前の状態に戻し、研削装置１による加工を再開可能とするように構成されていることが好ましい。

この場合、作業者は、加工を再開するためには、いずれかの対処結果を選択するか、新たな対処結果を入力することとなる。これにより、本実施形態では、エラーの解消に用いられた対処方法にかかる対処結果を、適切に記録することができる。

また、本実施形態では、制御部３は、表示部６３の対処結果表示部６３１に、自カウント値の多いものが上側に配置されるように、各対処結果を表示している。これに代えて、制御部３は、対処結果表示部６３１に、自カウント値の多いものが下側に配置されるように、各対処結果を表示してもよい。すなわち、制御部３は、各対処結果を、選択回数の多い順に表示すればよい。

また、本実施形態では、エラーの発生時に、図２に示したエラー表示画面がタッチパネル４０に表示されている。これに代えて、制御部３は、エラーの発生時に、エラー表示部６１、表示部６３およびボタン群６５含む対処結果表示画面（図３）を、タッチパネル４０に表示してもよい。

また、本実施形態では、制御部３は、図３に示した対処結果表示画面における表示部６３の対処結果表示部６３１に、３つの対処結果Ｒ１，Ｒ２およびＲ３を示している。これに関し、制御部３は、対処結果表示部６３１に、最も自カウント数の多い１つの対処結果のみを示してもよいし、自カウント数の多い所定数の対処結果を表示してもよいし、全ての対処結果を表示してもよい。複数の対処結果を表示する場合、制御部３は、上記したように、自カウント数の多い順に、対処結果を表示することが好ましい。対処結果が多く、タッチパネル４０に収まらない場合には、制御部３は、表示部６３を、上下にスクロール可能なように表示してもよい。

また、本実施形態では、被加工物を加工する加工装置として、研削装置１を例示している。これに代えて、本実施形態にかかる加工装置は、たとえば、被加工物を切削加工する切削装置、被加工物をレーザー光によって加工するレーザー加工装置、被加工物をバイト切削するバイト切削装置、被加工物を洗浄および乾燥する洗浄装置、被加工物をチップに分割するためのエキスパンド装置、被加工物にテープを取り付けるテープマウンタ、あるいは、被加工物からテープを剥離する剥離装置等であってもよい。加工装置がどのような装置であっても、制御部３は、本実施形態に示したようにタッチパネル４０を用いて、エラー表示画面、対処結果表示画面および対処結果入力画面等を表示して、対処結果の選択あるいは入力を作業者に促すこと、および、対処結果の表示を実施することができる。

また、本実施形態では、あるエラーに関して、研削装置１では実施されたことのない対処結果が、他装置に記憶されている場合もある。この場合、制御部３は、他装置の対処結果追加ボタン６５３が押された場合、対処結果表示画面に、上記のような他装置の対処結果を、対処結果表示部６３１に追加表示してもよい。これにより、対処結果の選択肢を多くすることができる。

また、本実施形態では、他装置が、研削装置１に隣接配置された研削装置であるとしている。これに限らず、他装置は、研削装置１の制御部３によってアクセス可能であって、研削装置１と同様の構成を有するものであれば、どこに設置されているものでもよい。

また、本実施形態では、図４に示した対処結果入力画面において、ＯＫボタンＢ１あるいはキャンセルボタンＢ２が押された場合、制御部３は、タッチパネル４０に、図３に示した対処結果表示画面を表示している。これに限らず、ＯＫボタンＢ１あるいはキャンセルボタンＢ２が押された場合に、制御部３は、タッチパネル４０に、エラー表示画面（図２）等の別の画面を表示してもよい。また、対処結果入力画面に、ＯＫボタンＢ１およびキャンセルボタンＢ２に加えて、ボタン群６５を表示してもよい。この場合、制御部３は、どのボタンが押されたかにしたがって、タッチパネル４０の表示画面を変更する。

１：研削装置，７：研削手段，３０：チャックテーブル、
３：制御部，３１：記憶部，３３：カウンタ，
４０：タッチパネル，
６１：エラー表示部，６２：エラー履歴表示部，
６３：表示部，６３１：対処結果表示部，６３３：自カウント値表示部，
６３５：他カウント値表示部，
６７：入力部，６９：キーボード，
６５：ボタン群，６５１：対処結果入力ボタン，６５３：対処結果追加ボタン，
６５５：対処結果表示ボタン，６５７：エラー履歴表示ボタン，
Ｂ１：ＯＫボタン，Ｂ２：キャンセルボタン，
Ｒ１〜Ｒ３：対処結果，
Ｅ１〜Ｅ３：エラー，
Ｗ：ウェーハ，

Claims (2)

1. タッチパネルと、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持される被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置であって、
   該タッチパネルは、エラーを表示するエラー表示部と、該エラー表示部に表示されたエラーに対処した結果である対処結果を入力するための入力部と、を含み、
   該入力部に入力された該対処結果を該エラーに関連づけて記憶するための記憶部と、
   該タッチパネルに設けられ、該記憶部に記憶されている発生したエラーに関した該対処結果を表示する表示部と、をさらに備え、
   該表示部に表示される該対処結果を用いて該エラーの対処時間の短縮を可能とする、
   加工装置。
2. 該表示部に表示される該対処結果の選択回数を更新するカウンタと、
   該対処結果を、更新された選択回数の多い順に、該表示部に表示する制御部と、をさらに備える、
   請求項１に記載の加工装置。

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