JP2016055365A - 加工装置及び表示システム - Google Patents

Abstract

【課題】トラブルや不具合に対して迅速に対応可能な加工装置を提供する。【解決手段】制御手段（２２）は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を記憶する記憶部（２２ａ）と、各手段又は加工の状態を監視するとともに、記憶部に記憶された各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報に基づいて各手段のトラブル又は加工の不具合を検出する監視部（２２ｂ）と、監視部で検出した各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を表示手段（２０）に表示させる表示制御部（２２ｃ）と、を備え、記憶部には、各手段のトラブル又は加工の不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コード（５４）が記憶されており、表示制御部は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報とともに識別コードを表示手段に表示させる構成とした。【選択図】図２

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置、及び表示システムに関する。

半導体ウェーハや樹脂基板、光デバイスウェーハ等の被加工物は、切削装置や研削装置、レーザー加工装置等の加工装置で加工される。これらの加工装置は、各部の状態をセンシングするセンサや、オペレータの指示を入力するユーザインタフェース等を備えており、各種センサで得られるセンシング情報や、ユーザインタフェースからの指示情報等に基づいて自動で制御される。

上述のような加工装置で被加工物を加工する際には、加工によって被加工物に発生する不具合が問題となる。そこで、近年では、加工による不具合を適切に検出できるように、被加工物の状態を監視するカメラ（光学センサ）を備えた加工装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−６６２３３号公報

ところで、上述した加工装置で各部のトラブルや加工の不具合が検出された場合、オペレータは、加工装置の取扱説明書を参酌してトラブルや不具合に対応する。しかしながら、取扱説明書に記載された情報の量は膨大であり、発生したトラブルや不具合に関する情報を短時間で探し出すのは困難である。そのため、トラブルや不具合への対応に長時間を要してしまうことがあった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、トラブルや不具合に対する迅速な対応を可能にした加工装置、及び表示システムを提供することである。

本発明によれば、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、該保持手段と該加工手段とを相対的に移動する移動手段と、該保持手段、該加工手段、及び該移動手段を含む各手段のトラブル又は加工の不具合を表示する表示手段と、制御手段と、を少なくとも含む加工装置であって、該制御手段は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を記憶する記憶部と、各手段又は加工の状態を監視するとともに、該記憶部に記憶された各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報に基づいて各手段のトラブル又は加工の不具合を検出する監視部と、該監視部で検出した各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を該表示手段に表示させる表示制御部と、を備え、該記憶部には、各手段のトラブル又は加工の不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コードが記憶されており、該表示制御部は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報とともに該識別コードを該表示手段に表示させることを特徴とする加工装置が提供される。

また、本発明によれば、カメラ及び表示画面を備えた端末装置と、ネットワークを介して該端末装置が接続されるサーバとを備え、該サーバには、前記加工装置の該記憶部に記憶された該識別コードに対応する該対処方法を含む情報が記憶されており、該表示手段に表示された該識別コードを該カメラで撮像し、該端末装置で取得した該識別コードを該サーバに通知することで、該サーバに記憶されている該対処方法を含む情報が該端末装置の該表示画面に表示されることを特徴とする表示システムが提供される。

本発明に係る加工装置では、記憶部に、加工装置を構成する各手段のトラブル又は加工の不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コードが記憶されており、表示制御部は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報とともに識別コードを表示手段に表示させるので、オペレータは、この識別コードを利用して、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報を迅速に取得できる。

また、本発明に係る表示システムでは、加工装置の表示手段に表示された識別コードを端末装置のカメラで撮像し、取得した識別コードをサーバに通知することで、サーバに記憶されている対処方法を含む情報を端末装置の表示画面に表示させるので、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報を迅速に表示できる。

このように、本発明によれば、トラブルや不具合に対する迅速な対応を可能にした加工装置、及び表示システムを提供できる。

加工装置（切削装置）の構成例を模式的に示す図である。 加工装置（切削装置）の構成例を模式的に示すブロック図である。 表示システムの構成例を模式的に示す図である。 図４（Ａ）は、加工装置のモニタに表示される情報の例を模式的に示す図であり、図４（Ｂ）は、端末装置の画面に表示される情報の例を模式的に示す図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る加工装置（切削装置）の構成例を模式的に示す図であり、図２は、加工装置の構成例を模式的に示すブロック図である。なお、本発明の加工装置は、切削装置に限定されず、レーザー加工装置、研削装置、研磨装置、ウォータージェット加工装置等でも良い。

図１に示すように、加工装置（切削装置）２は、各構造を支持する基台４を備えている。基台４の上方には、基台４を覆うカバー６が設けられている。カバー６の内側には、空間が形成されており、切削ブレードを含む切削ユニット（加工手段）８が収容されている。切削ユニット８は、切削ユニット移動機構（移動手段）１０（図２）によって前後方向（Ｙ軸方向、割り出し送り方向）に移動する。

切削ユニット８の下方には、被加工物１１を吸引保持するチャックテーブル（保持手段）１２が設けられている。チャックテーブル１２は、チャックテーブル移動機構（移動手段）１４（図２）によって左右方向（Ｘ軸方向、加工送り方向）に移動し、回転機構（不図示）によって鉛直軸（Ｚ軸）の周りに回転する。

基台４の角部には、カセットエレベーター１６が設けられている。カセットエレベーター１６の上面には、複数の被加工物１１を収容可能なカセット１８が載置される。被加工物１１は、例えば、シリコン、サファイア、樹脂等の材料で形成された円形の板状物である。カセットエレベーター１６は、昇降可能に構成されており、この被加工物１１を搬出、搬入できるように、カセット１８の位置を高さ方向（Ｚ軸方向）において調整する。

カバー６の前面６ａには、ユーザインタフェースとなるタッチパネル式のモニタ（表示手段）２０が設けられている。このモニタ２０は、加工装置２の各部を制御する制御装置（制御手段）２２と接続されている。

制御装置２２は、モニタ２０を通じて設定される加工の条件等に基づいて、切削ユニット８、切削ユニット移動機構１０、チャックテーブル１２、チャックテーブル移動機構１４等の動作を制御する。

図２に示すように、制御装置２２は、各種の情報を記憶する記憶部２２ａを含む。記憶部２２ａには、切削ユニット８、切削ユニット移動機構１０、チャックテーブル１２、チャックテーブル移動機構１４等で発生する可能性のあるトラブルに関する情報、及び被加工物１１の加工の際に生じる可能性のある不具合に関する情報が記憶されている。

また、制御装置２２は、切削ユニット８、切削ユニット移動機構１０、チャックテーブル１２、チャックテーブル移動機構１４等の状態を監視する監視部２２ｂを含む。この監視部２２ｂには、被加工物１１の加工の状態等を検出するセンサ２４が接続されており、監視部２２ｂは、上述した各構造の状態とともに被加工物１１の加工の状態を監視する。

また、監視部２２ｂは、記憶部２２ａに記憶されているトラブルに関する情報又は不具合に関する情報と、監視によって得られる情報とを比較して、各構造で発生するトラブル、及び加工の際に生じる不具合を検出する。

トラブル又は不具合が検出されると、監視部２２ｂは、制御装置２２内の表示制御部２２ｃにその旨を通知し、表示制御部２２ｃは、トラブル又は不具合の発生を示す情報をモニタ２０に表示させる。

従来の加工装置では、トラブルや不具合の発生がモニタに表示されると、オペレータは、加工装置の取扱説明書を参酌することでトラブルや不具合に対応していた。しかしながら、取扱説明書に記載された情報の量は膨大であり、発生したトラブルや不具合に関する情報を短時間で探し出すのは困難である。

そこで、本実施形態の加工装置２では、トラブル又は不具合に関する情報を効率的に取得できるような構成を採用している。具体的には、制御装置２２の記憶部２２ａに、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コードを記憶させている。識別コードは、例えば、一次元コード（バーコード等）、又は二次元コード（ＱＲコード（登録商標）等）である。

監視部２２ｂからトラブル又は不具合の発生が通知されると、表示制御部２２ｃは、トラブル又は不具合の発生を示す情報とともに、このトラブル又は不具合に対応する識別コードをモニタ２０に表示させる。

オペレータは、例えば、モニタ２０に表示された識別コードを端末装置のカメラで撮像し、取得した識別コードを用いてトラブル又は不具合への対処方法を含む情報を呼び出す。呼び出された情報は、端末装置の画面（表示画面）に表示される。

識別コードに基づき呼び出されるトラブル又は不具合への対処方法を含む情報は、端末装置に記憶されていても良いし、ネットワーク上のサーバに記憶されていても良い。図３は、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報をサーバに記憶させた表示システムの構成例を模式的に示す図である。

図３に示すように、本実施形態の表示システム３２は、携帯型の端末装置３４を備えている。この端末装置３４の背面側には、モニタ２０に表示される識別コードを撮像するカメラ３６が配置されている。一方、端末装置３４の正面側には、各種の情報を表示する画面（表示画面）３８（図４（Ｂ）参照）が設けられている。

端末装置３４は、ネットワーク４０を介してサーバ４２に接続される。ネットワーク４０は、例えば、インターネット等のＷＡＮ（Wide Area Network）である。ただし、本発明のネットワークはこれに限定されず、企業等の内部に構築されたＬＡＮ（Local Area Network）等でも良い。

サーバ４２には、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報が記憶されている。この対処方法を含む情報は、上述した識別コードに関連付けられている。次に、この表示システム３２を用いてトラブル又は不具合への対処方法を含む情報を端末装置３４の画面３８に表示させる方法について説明する。

図４（Ａ）は、加工装置２のモニタ２０に表示される情報の例を模式的に示す図である。トラブル又は不具合が検出されると、加工装置２のモニタ２０には、図４（Ａ）に示すように、トラブル又は不具合の発生を示す情報５２とともに、このトラブル又は不具合に対応する識別コード５４が表示される。なお、図４（Ａ）では、２つの識別コード５４がモニタ２０に表示されている。

次に、オペレータは、モニタ２０に表示された識別コード５４を端末装置３４のカメラ３６で撮像する。そして、端末装置３４で取得した識別コード５４を、ネットワーク４０を介してサーバ４２に通知する。

サーバ４２は、端末装置３４から識別コード５４を通知されると、この識別コード５４に関連付けられた対処方法を含む情報を端末装置３４に送信する。そして、端末装置３４は、サーバ４２から送信された対処方法を含む情報を画面３８に表示させる。

図４（Ｂ）は、端末装置３４の画面３８に表示される情報の例を模式的に示す図である。図４（Ｂ）に示すように、画面３８には、対処方法を説明する文字情報５６と、対処方法を説明する画像情報５８とが表示される。なお、画像情報５８には、写真等の静止画と映像等の動画とが含まれる。オペレータは、画面３８に表示された文字情報５６及び画像情報５８を参酌することで、トラブルや不具合に対して迅速に対応できる。

以上のように、本実施形態に係る加工装置（切削装置）２では、記憶部２２ａに、加工装置２を構成する各構造（各手段）のトラブル又は加工の不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コード５４が記憶されており、表示制御部２２ｃは、トラブル又は不具合の発生を示す情報５２（各構造のトラブル又は加工の不具合に関する情報）とともに識別コード５４をモニタ（表示手段）２０に表示させるので、オペレータは、この識別コード５４を利用して、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報を迅速に取得できる。

また、本実施形態に係る表示システム３２では、加工装置２のモニタ２０に表示された識別コード５４を端末装置３４のカメラ３６で撮像し、取得した識別コード５４をサーバ４２に通知することで、サーバ４２に記憶されている対処方法を含む情報を端末装置の画面（表示画面）３８に表示させるので、オペレータは、トラブル又は不具合への対処方法を含む情報を迅速に取得できる。

よって、本実施形態に係る加工装置２及び表示システム３２によれば、トラブルや不具合に対する迅速な対応が可能である。なお、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ 加工装置（切削装置）
４ 基台
６ カバー
８ 切削ユニット（加工手段）
１０ 切削ユニット移動機構（移動手段）
１２ チャックテーブル（保持手段）
１４ チャックテーブル移動機構（移動手段）
１６ カセットエレベーター
１８ カセット
２０ モニタ（表示手段）
２２ 制御装置（制御手段）
２２ａ 記憶部
２２ｂ 監視部
２２ｃ 表示制御部
２４ センサ
３２ 表示システム
３４ 端末装置
３６ カメラ
３８ 画面（表示画面）
４０ ネットワーク
４２ サーバ
５２ トラブル又は不具合の発生を示す情報
５４ 識別コード
５６ 対処方法を説明する文字情報
５８ 対処方法を説明する画像情報
１１ 被加工物

Claims (2)

1. 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、該保持手段と該加工手段とを相対的に移動する移動手段と、該保持手段、該加工手段、及び該移動手段を含む各手段のトラブル又は加工の不具合を表示する表示手段と、制御手段と、を少なくとも含む加工装置であって、
   該制御手段は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を記憶する記憶部と、各手段又は加工の状態を監視するとともに、該記憶部に記憶された各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報に基づいて各手段のトラブル又は加工の不具合を検出する監視部と、該監視部で検出した各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報を該表示手段に表示させる表示制御部と、を備え、
   該記憶部には、各手段のトラブル又は加工の不具合への対処方法を含む情報に関連付けられた識別コードが記憶されており、
   該表示制御部は、各手段のトラブル又は加工の不具合に関する情報とともに該識別コードを該表示手段に表示させることを特徴とする加工装置。
2. カメラ及び表示画面を備えた端末装置と、ネットワークを介して該端末装置が接続されるサーバとを備え、
   該サーバには、請求項１に記載された加工装置の該記憶部に記憶された該識別コードに対応する該対処方法を含む情報が記憶されており、
   該表示手段に表示された該識別コードを該カメラで撮像し、該端末装置で取得した該識別コードを該サーバに通知することで、該サーバに記憶されている該対処方法を含む情報が該端末装置の該表示画面に表示されることを特徴とする表示システム。