JP2022073032A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】一時的に変更した加工条件の設定を元に戻すことができる加工装置を提供する。【解決手段】加工装置１は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニット２０と、加工装置１に関する情報を表示する表示部３１と、加工装置１に関する情報を入力する入力部３２と、該加工ユニットを加工条件データに基づいて制御する制御ユニット４０と、を有する。制御ユニット４０は、開始ボタンと終了ボタンと該加工条件データ５１０とを表示部３１に表示させる表示制御部４１と、開始ボタンが選択されてから終了ボタンが選択されるまでの間、入力部３２から入力された値に加工条件データ５１０の設定値を変更する変更部４２と、開始ボタンが選択されてから終了ボタンが選択されるまでの間に、変更された加工条件データ５１０の設定値を、開始ボタンが選択される前の設定値に復元する復元部４３と、を有する。【選択図】図４

Description

本発明は、加工装置に関する。

加工装置は、メンテナンスやテスト加工を行う場合、一時的に装置の加工条件を変更したり、測定器を使用しないようにしたり、フルオートメーションで利用する各種ユニットの機能をＯＮ／ＯＦＦにして確認したい機能のみを利用したりする。例えば、特許文献１には、加工装置において、カテゴリーごとに設定項目が１画面内に表示され、全設定項目をリスト化したアイテムリストの中から操作者が選択した設定項目を任意の画面領域に追加配置して表示させる技術が開示されている。

特開２０１６－２６１４号公報

従来の加工装置は、各種の機能変更を行う場合、複数の画面で行うことが多く、メンテナンスや運行が終わった後に、変更した全ての設定を元に戻すことを忘れてしまう恐れがある。このため、加工装置は、設定が元に戻されない場合に、異なる設定で加工を行うという問題が発生する。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、一時的に変更した加工条件の設定を元に戻すことができる加工装置を提供することにある。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、加工装置に関する情報を表示する表示部と、加工装置に関する情報を入力する入力部と、該加工ユニットを加工条件データに基づいて制御する制御ユニットと、を有する加工装置であって、該制御ユニットは、開始ボタンと終了ボタンと該加工条件データとを該表示部に表示させる表示制御部と、該開始ボタンが選択されてから該終了ボタンが選択されるまでの間、該入力部から入力された値に該加工条件データの設定値を変更する変更部と、該開始ボタンが選択されてから該終了ボタンが選択されるまでの間に、変更された該加工条件データの設定値を、該開始ボタンが選択される前の設定値に復元する復元部と、を有する。

前記加工装置において、該表示制御部は、該開始ボタンが選択されてから該終了ボタンが選択されるまでの間に、変更された該加工条件データの該設定値を示す変更データを該表示部に表示させ、該復元部は、該変更データで選択された該設定値を、該開始ボタンが選択される前の設定値に復元してもよい。

本願発明の加工装置は、一時的に変更した加工条件の設定を元に戻すことができるという効果を奏する。

図１は、実施形態に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、実施形態に係る加工装置の傾き調整ユニットの構成例を示す部分拡大図である。 図３は、図２に示す傾き調整ユニットの高さ調整ユニットの配置例を説明するための模式図である。 図４は、実施形態に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。 図５は、実施形態に係る加工装置における画面の遷移の一例を説明するための図である。 図６は、実施形態に係る加工装置の加工条件の変更の一例を説明するための図である。 図７は、実施形態に係る加工装置の調整後の表示例を説明するための図である。 図８は、実施形態に係る加工装置が表示する復元画面の一例を説明するための図である。 図９は、実施形態に係る加工装置の加工条件の変更・復元に関する処理手順の一例を示すフローチャートである。

以下、本発明に係る実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。以下の各実施形態において、同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。

以下に説明する実施形態において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面は、水平面と平行である。ＸＹ平面と直交するＺ軸方向は、鉛直方向である。

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る加工装置の傾き調整ユニットの構成例を示す部分拡大図である。図３は、図２に示す傾き調整ユニットの高さ調整ユニットの配置例を説明するための模式図である。

実施形態に係る加工装置１は、図１に示すように、被加工物２００（ワーク）の裏面におけるデバイス領域に対応する領域を研削してデバイス領域の厚さを所定厚さに形成するとともに、被加工物２００の裏面における外周余剰領域を残存させてリング状の補強部を形成するためのものである。

図１において、加工装置１が研削加工する加工対象である被加工物２００は、例えば、母材２０１を有して構成される。母材２０１は、例えば、例えば円板状のシリコンであり、円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどのウエーハある。いずれかの面に格子状に形成される複数の分割予定ラインによって区画された領域にデバイスが形成されていてもよい。被加工物２００は、一方の面に粘着テープ２０５が貼着されている。

加工装置１は、例えば、ハウジング２と、第１の加工手段３と、第２の加工手段４と、ターンテーブル５上に設置された例えば３つの保持テーブル６と、カセット７，８と、位置合わせ手段９と、搬入手段１０と、搬出手段１１と、洗浄手段１２と、搬出入手段１３と、制御ユニット４０と、を備えている。

ターンテーブル５は、ハウジング２の上面に設けられた円盤状のものであり、水平面内で回転可能に設けられ、適宜タイミングで回転駆動される。このターンテーブル５上には、例えば３つの保持テーブル６が、例えば１２０度の位相角で等間隔に配設されている。これら保持テーブル６は、上面に真空チャックを備えたチャックテーブル構造のものであり、平坦に形成された保持面に載置された被加工物２００を真空吸着して保持する。これら保持テーブル６は、研削加工時には、図示しない回転駆動機構によって保持面に垂直な回転軸φ０を中心として水平面内で回転駆動される。このような保持テーブル６は、ターンテーブル５の回転によって、搬入搬出位置１０１、第１の加工手段３に対向する粗研削位置１０２、第２の加工手段４に対向する仕上げ研削位置１０３との間で相対移動される。

第１の加工手段３は、粗研削位置Ｂに位置する保持テーブル６の保持面に対向する第１の研削面を有する第１の研削砥石３－１と、この第１の研削砥石３－１を第１の研削面に対して垂直な垂直軸を第１の回転軸φ１として回転可能に支持する第１のスピンドル部３－２と、この第１のスピンドル部３－２を第１の回転軸φ１の軸心方向に進退可能に支持する第１のスライド部３－３とを有する。ここで、第１の研削砥石としては、砥粒の大きさが粗い粗研削用のものが用いられている。すなわち、第１のスピンドル部３－２の下端に着脱自在に装着された第１の研削面を有する第１の研削砥石３－１をモータ３－４によって第１の回転軸φ１を中心として回転させながら、粗研削位置１０２に位置する保持テーブル６の保持面に保持された被加工物２００の上面に第１のスライド部３－３によって押圧接触させることで、被加工物２００の上面に対して後述するように所定の粗研削加工を施すためのものである。

第２の加工手段４は、仕上げ研削位置Ｃに位置する保持テーブル６の保持面に対向する第２の研削面を有する第２の研削砥石４－１と、この第２の研削砥石４－１を第２の研削面に対して垂直な垂直軸を第２の回転軸φ２として回転可能に支持する第２のスピンドル部４－２と、この第２のスピンドル部４－２を第２の回転軸φ２の軸心方向に進退可能に支持する第２のスライド部４－３とを有する。ここで、第２の研削砥石としては、砥粒の大きさが細かい仕上げ研削用のものが用いられている。すなわち、第２のスピンドル部４－２の下端に着脱自在に装着された第２の研削面を有する第２の研削砥石４－１をモータ４－４によって第２の回転軸φ２を中心として回転させながら、仕上げ研削位置Ｃに位置する保持テーブル６の保持面に保持された被加工物２００の上面に第２のスライド部４－３によって押圧接触させることで、被加工物２００の上面に対して後述するように所定の仕上げ研削加工を施すためのものである。このような第２の加工手段４は、図示しないが、上記の第１の加工手段３と同様に、第２の回転軸φ２を回転軸φ０に対して傾けて設定する機構を有する。

また、第１の加工手段３，第２の加工手段４の第１のスライド部３－３，第２のスライド部４－３は、それぞれ昇降送り手段１５，１６により昇降送り可能に設けられ、第１の研削砥石３－１，第２の研削砥石４－１を保持テーブル６上の被加工物２００の上面に対して研削送り可能に構成されている。これらの昇降送り手段１５，１６は、ハウジング２の上面に設けられた可動ブロック１７，１８に搭載されている。可動ブロック１７，１８は、第１の研削砥石３－１，第２の研削砥石４－１が粗研削位置１０２や仕上げ研削位置１０３に位置する保持テーブル６に対してターンテーブル５の半径方向に進退移動するように、図示しない移動機構によってハウジング２に対して可動的に設けられている。

カセット７，８は、複数のスロットを有する被加工物２００用の収容器である。一方のカセット７は、研削加工前の被加工物２００を収容し、他方のカセット８は、研削加工後の被加工物２００を収容する。なお、被加工物２００としては、特に限定されないが、例えばシリコンウエーハやＧａＡｓ等の半導体ウエーハ、セラミック、ガラス、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）系の無機材料基板、板状金属や樹脂の延性材料、さらには、ミクロンオーダーからサブミクロンオーダーの面内平坦度（ＴＴＶ：Total Thickness Variation：被加工物２００の被研削面を基準面として厚み方向に測定した高さの被加工物２００の全面における最大値と最小値の差）が要求される各種加工材料が挙げられる。

また、位置合わせ手段９は、カセット７から取り出された被加工物２００が仮置きされて、その中心位置合わせを行うためのテーブルである。搬入手段１０は、吸着パッドを有して水平面内で回転駆動される搬入アームからなり、位置合わせ手段９で位置合わせされた研削加工前の被加工物２００を吸着保持して搬入搬出位置１０１に位置する保持テーブル６上に搬入する。搬出手段１１は、吸着パッドを有して水平面内で回転駆動される搬入アームからなり、搬入搬出位置１０１に位置する保持テーブル６上に保持された研削加工後の被加工物２００を吸着保持して洗浄手段１２に搬出する。また、搬出入手段１３は、例えば、Ｕ字型ハンドを備えるロボットピックであり、Ｕ字型ハンドによって被加工物２００を吸着保持して搬入する。具体的には、搬出入手段１３は、研削加工前の被加工物２００をカセット７から位置合わせ手段９へ搬出するとともに、研削加工後の被加工物２００を洗浄手段１２からカセット８へ搬入する。洗浄手段１２は、研削加工後の被加工物２００を洗浄し、研削された加工面に付着している研削屑等のコンタミネーションを除去する。

加工装置１は、図２に示す傾き調整ユニット４００をさらに備える。傾き調整ユニット４００は、３つの保持テーブル６ごとに設けられている。傾き調整ユニット４００は、例えば、保持テーブル６の回転軸６１２と、上記の第１，第２の加工手段３，４の回転軸との傾きを相対的に調整する。傾き調整ユニット４００は、制御ユニット４０と電気的に接続されており、制御ユニット４０によって制御される。なお、本実施形態では、加工装置１は、３つの傾き調整ユニット４００を備える場合について説明するが、これに限定されない。例えば、加工装置１は、第１の加工手段３及び第２の加工手段４の各々に対応するように、２つの傾き調整ユニット４００を備える構成としてもよい。

傾き調整ユニット４００は、保持テーブル６の回転軸６１２と、第１の加工手段３の回転軸との傾きを相対的に調整するものである。傾き調整ユニット４００は、保持テーブル６に取り付けられて、保持テーブル６の回転軸６１２の向きを調整（変更）する。傾き調整ユニット４００は、支持台４１０と、高さ微調ユニット４２０とを備える。支持台４１０は、図示しない軸受を介して保持テーブル６を回転軸６１２回りに回転自在に支持する円筒状に形成された支持筒部４１１と、支持筒部４１１の下端から拡径したフランジ部４１２とを備える。傾き調整ユニット４００は、フランジ部４１２の傾きを調整することにより、回転軸６１２の傾きを調整する。

高さ微調ユニット４２０は、フランジ部４１２の径方向に間隔をあけて２つ以上設けられている。本実施形態では、傾き調整ユニット４００は、図３に示すように、フランジ部４１２の下面に径方向に間隔をあけて３つの高さ微調ユニット４２０を設けている。

図２に戻り、高さ微調ユニット４２０は、ターンテーブル５に固定された筒部４２１と、筒部４２１を貫通するシャフト４２２と、シャフト４２２の下端に連結された駆動部４２３と、シャフト４２２の上端においてフランジ部４１２に固定された固定部４２４とを備える。駆動部４２３は、シャフト４２２を回転させるモータ４２５と、シャフト４２２の回転速度を弱めるとともにターンテーブル５に固定された減速機４２６とを備える。

固定部４２４は、シャフト４２２の上端部に形成された図示しない雄ねじが螺合する。高さ微調ユニット４２０は、モータ４２５が減速機４２６を介してシャフト４２２を軸心回りに回転することで、フランジ部４１２に固定された固定部４２４の高さを変更し、回転軸１１２の傾き１２０を調整する。

図１に戻り、制御ユニット４０は、マイクロコンピュータからなり、被加工物２００に対して所望の研削加工を施すために加工装置１の各部の動作を制御するためのものである。制御ユニット４０の構成例については、後述する。

制御ユニット４０は、被加工物２００の加工条件に対応するように、第１，第２の加工手段３，４を調整する。制御ユニット４０は、ターンテーブル５を回転させることで、被加工物２００を粗研削位置と仕上げ研削位置に順次移送させる。制御ユニット４０は、移送された各研削位置で、第１，第２の加工手段３，４によって被加工物２００を研削する。制御ユニット４０は、ターンテーブル５を回転させることで、研削した被加工物２００を搬入搬出位置１０１に移送させる。

制御ユニット４０は、搬入搬出位置１０１に位置付けられた保持テーブル６上に搬入された被加工物２００を、被加工物２００の加工面が露出するように、保持テーブル６に保持させる。制御ユニット４０は、ターンテーブル５を回転させて、被加工物２００を保持した保持テーブル６を、搬入搬出位置１０１から粗研削位置１０２に移動させた後、粗研削位置１０２に位置付けられた保持テーブル６に保持された被加工物２００を加工面側から第１の加工手段３に粗研削加工させる。

制御ユニット４０は、ターンテーブル５を回転させて、粗研削加工された被加工物２００を保持した保持テーブル６を、粗研削位置１０２から仕上げ研削位置１０３に移動させた後、仕上げ研削位置１０３に位置付けられた保持テーブル６に保持された被加工物２００を加工面側から第２の加工手段４に仕上げ研削加工させる。制御ユニット４０は。ターンテーブル５を回転させることで、仕上げ研削位置１０３に位置付けられた保持テーブル６の被加工物２００を搬入搬出位置に移動させる。制御ユニット４０は、加工された被加工物２００をカセット８に収容させる。

本実施形態では、加工装置１は、３つの保持テーブル６を用いて被加工物２００を研削（加工）する場合について説明するが、これに限定されない。例えば、加工装置１は、１つまたは４つ以上の保持テーブル６で被加工物２００を研削するように構成してもよい。

（加工装置の機能構成）
図４は、実施形態に係る加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。加工装置１は、図４に示すように、保持テーブル６と、加工ユニット２０と、タッチパネル３０と、制御ユニット４０と、を備える。制御ユニット４０は、加工ユニット２０及びタッチパネル３０と電気的に接続されている。

加工ユニット２０は、保持テーブル６に保持された被加工物２００を加工する。加工ユニット２０は、例えば、上記の第１の加工手段３、第２の加工手段４及び傾き調整ユニット４００を有する。加工ユニット２０は、制御ユニット４０の制御により、保持テーブル６に保持された被加工物２００を、第１の加工手段３の第１の研削砥石３－１及び第２の加工手段４の第２の研削砥石４－１によって研削（加工）する。

なお、加工装置１が備える加工ユニット２０は、研削加工する研削ユニットに限定されない。加工ユニット２０は、例えば、切削加工する切削ユニット、研磨パッド等で被加工物２００を研磨加工する研磨ユニットや、被加工物２００にレーザービームを照射してレーザー加工するレーザー加工ユニットなどでもよい。

タッチパネル３０は、加工装置１のハウジング２において見やすくて操作しやすい箇所に配設される。タッチパネル３０は、制御ユニット４０による制御の下、加工処理に必要な各種情報を表示するとともに、加工処理に必要な入力操作等をオペレータから受け付ける。

タッチパネル３０は、図４に示すように、加工装置１に関する各種情報を表示する表示部３１と、加工条件の設定入力など、加工装置１に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける入力部３２と、を有する。表示部３１は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示デバイスを有する。入力部３２は、例えば、表示デバイスの表示面における物体の接触位置や座標を指定するタッチスクリーンを有する。

本実施形態では、タッチパネル３０は、情報を出力する出力部の一例である場合について説明するが、これに限定されない。例えば、出力部は、スピーカー、通信装置等の電子機器で実現してもよい。

加工装置１は、記憶部５０をさらに備える。記憶部５０は、制御ユニット４０により実行される各種処理等の機能を実現するプログラムや、かかるプログラムによる処理に用いられるデータなどを記憶する。記憶部５０は、制御ユニット４０と電気的に接続されている。記憶部５０は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）や半導体メモリ等により実現できる。記憶部５０は、制御ユニット４０が備えるプロセッサが制御プログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用されてもよい。

なお、本実施形態では、加工装置１が記憶部５０を備える場合について説明するが、これに限定されない。例えば、記憶部５０は、加工装置１の外部のコンピュータ及び電子機器、他の加工装置等の加工装置１がアクセス可能な記憶装置とすることができる。

記憶部５０は、例えば、加工条件データ５１０、変更データ５２０等の各種データを記憶できる。加工条件データ５１０は、様々な被加工物２００の加工条件、マシン設定等を示すデータを含む。加工条件データ５１０は、例えば、複数の設定項目、該設定項目に対応した設定値等の被加工物２００のデータを含む。変更データ５２０は、開始操作から終了操作を受け付けるまでの間に、変更された該加工条件データ５１０の該設定値を示すデータを含む。変更データ５２０は、例えば、変更された設定項目、変更前の設定値、変更後の設定値等のデータを含む。

例えば、加工装置１が研削装置である場合、加工条件データ５１０は、被加工物２００の研削条件（加工条件）に適した設定項目と設定値とを含む。例えば、加工条件データ５１０は、複数の画面（カテゴリー）ごとに、複数の設定項目及び設定値を割り当てることができる。例えば、第１の画面は、カセット処理段数、ワーク厚み、テープ厚さ、仕上げ厚み等の第１の加工条件に関する設定項目及び設定値が割り当てられる。例えば、第２の画面は、使用する回転軸、研削水、使用するターンテーブル６等の第２の加工条件に関する設定項目及び設定値が割り当てられる。このように、加工条件データ５１０は、被加工物２００に関する複数の加工条件に分類した設定項目及び設定値を含む。

制御ユニット４０は、加工装置１を駆動する各機構を制御する。制御ユニット４０は、加工装置１の各部を制御し、加工装置１による加工処理を実現する。制御ユニット４０は、例えば加工条件データ５１０の加工条件に従って、保持テーブル６や加工ユニット２０を含む加工装置１の各部を制御し、被加工物２００の加工処理を実現する。

制御ユニット４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置と、入出力インターフェース装置とを備える。制御ユニット４０は、かかる装置を用いて、加工装置１が実施する一連の加工工程に従い、上述した各構成要素を制御するための制御プログラムなどを実行可能なコンピュータである。

制御ユニット４０は、例えば、メンテナンス時やテスト加工時等に、タッチパネル３０の入力部３２を介してオペレータにより変更された加工条件に従って、加工装置１の動作全般を制御できる。制御ユニット４０は、加工条件をタッチパネル３０に表示させ、該加工条件の操作ボタンに対する操作に応じて、加工条件を変更する機能を有する。

制御ユニット４０は、表示制御部４１と、変更部４２と、復元部４３との機能部を備える。制御ユニット４０は、加工装置１の内部に記憶されたプログラムを実行することにより、各機能部を実現する。

表示制御部４１は、加工装置１の各種工程に応じた操作画面を、タッチパネル３０の表示部３１に表示させる。表示制御部４１は、例えば、加工装置１のメンテナンス時、テスト加工時等に、開始ボタンと終了ボタンとを有する画面を表示部３１に表示させる。開始ボタンは、例えば、加工装置１のメンテナンス、テスト加工等の開始をオペレータに選択させるボタンである。終了ボタンは、例えば、開始ボタンで開始したメンテナンスの終了をオペレータに選択させるボタンである。表示制御部４１は、開始ボタンが操作されると、加工条件データ５１０を有する画面を表示部３１に表示させる。表示制御部４１は、開始ボタンが選択されてから終了ボタンが選択されるまでの間に、変更された加工条件データ５１０の設定値を識別可能な変更データ５２０を表示部３１に表示させる。

変更部４２は、開始ボタンが選択されてから終了ボタンが選択されるまでの間、入力部３２から入力された値に加工条件データ５１０の設定値を変更する。変更部４２は、入力部３２を介して、加工条件データ５１０の設定項目と変更した値を取得し、該変更した値となるように、加工条件データ５１０の該当する設定項目の設定値を変更する。変更部４２は、加工条件の変更内容を示す変更データ５２０を作成し、該変更データ５２０を加工条件データ５１０に紐付けて記憶部５０に記憶する。変更部４２は、例えば、変更された設定項目と、変更される前の設定値と、変更された後の設定値とを含む変更データ５２０を作成する。本実施形態では、変更部４２は、作成した複数の変更データ５２０を加工条件データ５１０に紐付けるが、複数の変更データ５２０同士を紐づけてもよい。

復元部４３は、開始ボタンが選択されてから終了ボタンが選択されるまでの間に、変更された加工条件データ５１０の設定値を、開始ボタンが選択される前の設定値に復元する。復元部４３は、変更データ５２０で選択された設定値を、開始ボタンが選択される前の設定値に復元する。フルオートメーション（フルオート）前の調整作業として設定値を変更することが多い場合、復元部４３は、例えば、加工装置１のフルオートメーション時に復元しなければならない設定項目のみを復元するように構成してもよい。例えば、フルオートメーション時に復元変更しなければならない設定項目を識別可能なデータを加工条件データ５１０に含め、復元部４３は、該データに基づいて設定項目の設定値を復元すればよい。

制御ユニット４０は、開始ボタンが選択されてから終了ボタンが選択されるまでの間、変更された該加工条件データ５１０に基づいて加工ユニット２０を制御する機能を提供できる。制御ユニット４０は、変更された加工条件で被加工物２００を加工することで、加工ユニット２０のメンテナンス、テスト加工等の効率を向上させることができる。

以上、本実施形態に係る加工装置１の構成例について説明した。なお、図４を用いて説明した上記の構成はあくまで一例であり、本実施形態に係る加工装置１の構成は係る例に限定されない。本実施形態に係る加工装置１の機能構成は、仕様や運用に応じて柔軟に変形可能である。

（加工装置の表示例）
次に、実施形態に係る加工装置１が実行する画面遷移の一例を説明する。図５は、実施形態に係る加工装置１における画面の遷移の一例を説明するための図である。

図５に示す場面１００１では、加工装置１は、制御ユニット４０がプログラムを実行することにより、トップ画面データに基づくトップ画面６００を、タッチパネル３０の表示部３１に表示させている。トップ画面６００は、ＨＴＭＬ（Hyper Text Markup Language）形式のデータに含まれるＨＴＭＬタグに基づいてタッチパネル３０に表示された画面（オブジェクト）である。

トップ画面６００は、例えば、加工装置１の各種処理を指示するための複数のボタン６１０と、メンテナンスを開始するための開始ボタン６２０と、メンテナンスを終了するための終了ボタン６３０と、を有する。図５に示す一例では、トップ画面６００の複数のボタン６１０は、「マニュアルオペレーション」、「フルオート」、「ティーチ」、「メジャー」、「ホイール交換」、「マシンデータ」及び「加工条件」を指示するボタンを有している。

オペレータは、加工装置１のメンテナンスを開始するために、メンテナンスの開始ボタン６２０を選択している。本実施形態では、ボタンを選択するとは、ボタンに対してタッチ、タップ等の操作をオペレータ等が行うことを含む。加工装置１は、入力部３２を介して、開始ボタン６２０の選択を検出すると、メンテナンスの開始ボタン６２０が選択されたことを記憶部５０に記憶する。例えば、加工装置１は、開始ボタン６２０を選択した日時を識別可能なログ情報を記憶部５０に記憶する。加工装置１は、開始ボタン６２０の選択に応じて、メンテナンスが可能な状態になる。

場面１００２では、オペレータは、加工装置１の加工条件をメンテナンス用に変更するために、「加工条件」のボタン６１０を選択している。加工装置１は、入力部３２を介して、「加工条件」のボタン６１０の選択を検出すると、該当する加工対象の加工条件データ５１０を記憶部５０から取得する。加工装置１は、加工条件データ５１０に基づく加工条件の複数の画面を表示部３１に順次表示させる。

本実施形態では、説明を簡単化するため、加工装置１がＴＴＶ調整の加工条件に対応した２つの画面を、表示部３１に順次表示させる場合について説明するが、表示する画面の数はこれに限定されず、加工条件の数に応じて変化する。

図６は、実施形態に係る加工装置１の加工条件の変更の一例を説明するための図である。図６に示す場面１００３では、加工装置１は、「第１の加工条件」に対応した画面７００－１を表示部３１に表示させている。画面７００－１は、「カセット処理段数」、「ワーク厚み」、「テープ厚さ」及び「仕上げ厚み」の４つの加工条件に対応した入力欄７１０と、入力キー部７２０と、遷移ボタン７３０と、条件遷移ボタン７４０－１と、を有する。「カセット処理段数」の入力欄７１０は、例えば、カセット７の段数が変更前の２５段からメンテナンス作業に適した１段に変更されているため、「１」が設定されている。「ワーク厚み」、「テープ厚さ」及び「仕上げ厚み」の入力欄７１０は、変更されていないため、設定値である「８５０」、「１３０」及び「７５０」がそれぞれ設定されている。入力キー部７２０は、数値、文字等を入力させるための各種キーを有している。遷移ボタン７３０は、トップ画面への遷移を指示するためのボタンとなっている。条件遷移ボタン７４０－１は、第１の加工条件から第２の加工条件への遷移を指示するためのボタンとなっている。

加工装置１は、変更された入力欄７１０と変更されていない入力欄７１０とが異なる表示態様となるように、画面７００－１を表示部３１に表示させている。加工装置１は、「カセット処理段数」の入力欄７１０が２５段から１段に変更されたことと、他の入力欄７１０が変更されていないことを示す変更データ５２０を記憶部５０に記憶する。そして、加工装置１は、例えば、条件遷移ボタン７４０－１の選択を検出すると、「第２の加工条件」に対応した画面７００－２を表示部３１に表示させる。

図６に示す画面１００４では、加工装置１は、「第２の加工条件」に対応した画面７００－２を表示部３１に表示させている。画面７００－２は、複数の入力欄７１０と、入力キー部７２０と、遷移ボタン７３０と、条件遷移ボタン７４０－２と、を有する。複数の入力欄７１０は、例えば、Ｚ１軸、Ｚ１軸厚み測定器、Ｚ２軸、Ｚ２軸厚み測定器、研削水（外部ノズル）、研削水（内部ノズル）、保持テーブル６－１、保持テーブル６－２及び保持テーブル６－３の９つの加工条件に対応している。Ｚ１軸は、粗研削位置１０２で粗研削を行う第１の加工手段３のＺ方向の軸である。Ｚ２軸は、仕上げ研削位置１０３で仕上げ研削を行う第２の加工手段４のＺ方向の軸である。条件遷移ボタン７４０－２は、第２の加工条件から第１の加工条件への遷移を指示するためのボタンとなっている。

ＴＴＶ調整では、仕上げ研削が必要であるので、加工装置１は、Ｚ１軸を使用せず、Ｚ２軸のみを使用すればよい。このため、オペレータは、Ｚ１軸及びＺ１軸厚み測定器の入力欄７１０を、「Ｕｓｅ」から「Ｐａｓｓ」へ設定値を変更している。また、ＴＴＶ調整は、保持テーブル６ごとに行うが、オペレータは、メンテナンスで保持テーブル６－１のＴＴＶ調整のみを行うため、使用しない保持テーブル６－２及び保持テーブル６－３を、「Ｖａｌｉｄ」から「Ｉｎｖａｌｉｄ」へ設定値を変更している。

加工装置１は、変更されたＺ１軸、Ｚ１軸厚み測定器、保持テーブル６－２及び保持テーブル６－３の入力欄７１０と、変更されていない他の入力欄７１０とが異なる表示態様となるように、画面７００－２を表示部３１に表示させている。加工装置１は、Ｚ１軸、Ｚ１軸厚み測定器、保持テーブル６－２及び保持テーブル６－３の入力欄７１０が変更されたことと、他の入力欄７１０が変更されていないことを示す情報を示す変更データ５２０を、加工条件データ５１０に紐付けて記憶部５０に記憶する。加工装置１は、変更データ５２０に基づいて、加工条件データ５１０の該当する加工条件を変更する。そして、加工装置１は、例えば、所定の操作、遷移ボタン７３０の操作等を検出すると、加工条件の表示を終了し、トップ画面６００を表示部３１に表示させる。また、加工装置１は、例えば、条件遷移ボタン７４０－２の選択を検出すると、「第１の加工条件」に対応した画面７００－１を表示部３１に表示させる。

加工装置１は、メンテナンスを行う場合、変更された加工条件データ５１０の加工条件で実際に研削を行い、厚み分布を測定器で測定する。この測定は、保持テーブル６－１の傾き調整ユニット４００のそれぞれの微調整軸をどれくらい昇降させるかを求めた後に行う作業である。

図７は、実施形態に係る加工装置１の調整後の表示例を説明するための図である。図７に示す場面１００５では、加工装置１は、上述したトップ画面６００を表示部３１に表示させている。オペレータは、保持テーブル６－１で実際に研削を行った被加工物２００の厚み分布の測定結果に基づいて、保持テーブル６－１の調整軸をどれくらい昇降させるかを求めた後に、トップ画面６００の「マシンデータ」のボタン６１０を選択している。マシンデータは、例えば、加工装置１の固有の加工条件を示すデータである。マシンデータは、実際の測定結果に基づいて設定値が変更される。

場面１００６では、加工装置１は、入力部３２を介して、「マシンデータ」のボタン６１０に対する選択を検出し、マシンデータに対応した画面８００を表示部３１に表示させている。マシンデータは、加工装置１の固有の加工条件であり、加工条件データ５１０に含めることができる。画面８００は、保持テーブル６－１，保持テーブル６－２，保持テーブル６－３ごとに、微調整軸のＬｅｆｔ及びＲｉｇｈｔに対応した入力欄８１０を有する。画面８００は、上述した入力キー部７２０及び遷移ボタン７３０をさらに有する。オペレータは、測定結果に基づいて、微調整軸の左を固定軸に比べて０．１μｍ高く、右を固定軸に比べて０．２μｍ高くなるように、保持テーブル６－１に対応する入力欄８１０を変更している。

加工装置１は、変更された保持テーブル６－１の入力欄８１０と、変更されていない保持テーブル６－２，保持テーブル６－３の他の入力欄８１０とが異なる表示態様となるように、画面８００を表示部３１に表示させている。加工装置１は、保持テーブル６－１が変更されたことと、保持テーブル６－２，保持テーブル６－３が変更されていないことを示す変更データ５２０を、加工条件データ５１０に紐付けて記憶部５０に記憶する。加工装置１は、変更データ５２０に基づいて、加工条件データ５１０の該当する加工条件を変更する。そして、加工装置１は、例えば、所定の操作、遷移ボタン７３０の選択等を検出すると、画面８００の表示を終了し、トップ画面６００を表示部３１に表示させる。

場面１００７では、オペレータは、メンテナンスを終了するために、トップ画面６００の終了ボタン６３０を選択している。加工装置１は、入力部３２を介して、終了ボタン６３０の選択を検出すると、トップ画面６００の表示を終了し、メンテナンス時データを復元するための復元画面を表示部３１に表示させる。加工装置１は、開始ボタン６２０が選択されてから終了ボタン６３０が選択されるまでの間に、記憶部５０に記憶した変更データ５２０に基づいて、復元画面を表示するための復元画面データを作成し、復元画面データに基づく復元画面を表示部３１に表示させる。

図８は、実施形態に係る加工装置１が表示する復元画面の一例を説明するための図である。図８に示す復元画面９００は、変更データ一覧９１０と、復元を指示する復元ボタン９２０と、を有する。変更データ一覧９１０は、例えば、メンテナンス時の変更データ５２０の一覧を表示する。変更データ一覧９１０は、例えば、チェックボックス９１１と、分類９１２と、項目９１３と、変更内容９１４と、を有する。

図８に示す一例では、変更データ一覧９１０は、カセット７の処理段数が「２５」から「１」に変更されたことを示す変更データ５２０の復元を行うため、チェックボックス９１１がチェックされた状態になっている。変更データ一覧９１０は、保持テーブル６－２が「Ｖａｌｉｄ」から「Ｉｎｖａｌｉｄ」に変更されたことを示す加工条件の復元を行うため、チェックボックス９１１がチェックされた状態になっている。変更データ一覧９１０は、保持テーブル６－３が「Ｖａｌｉｄ」から「Ｉｎｖａｌｉｄ」に変更されたことを示す加工条件の復元を行うため、チェックボックス９１１がチェックされた状態になっている。変更データ一覧９１０は、第１の加工手段３のＺ１軸が「Ｕｓｅ」から「Ｐａｓｓ」に変更されたことを示す加工条件の復元を行うため、チェックボックス９１１がチェックされた状態になっている。変更データ一覧９１０は、第１の加工手段３のＺ１軸の厚み測定器が「Ｕｓｅ」から「Ｐａｓｓ」に変更されたことを示す加工条件の復元を行うため、チェックボックス９１１がチェックされた状態になっている。

また、変更データ一覧９１０は、保持テーブル６－１の微調整軸のＬｅｆｔが「０．００μｍ」から「０．１０μｍ」に変更されたことを示す加工条件を復元対象としないため、チェックボックス９１１がチェックされていない状態になっている。変更データ一覧９１０は、保持テーブル６－１の微調整軸のＲｉｇｈｔが「０．００μｍ」から「０．２０μｍ」に変更されたことを示す加工条件を復元対象としないため、チェックボックス９１１がチェックされていない状態になっている。すなわち、復元画面９００は、加工装置１のフルオートメーション時に変更しなければならない加工条件のみを復元し、メンテナンスで調整した微調整軸の値を復元しないことを、オペレータに確認するための画面になっている。なお、復元画面９００は、保持テーブル６－１の微調整軸の復元を希望する場合、それらのチェックボックス９１１をチェックすることで、変更した加工条件を復元対象とすることができる。

本実施形態では、加工装置１は、チェックボックス９１１がチェックされた変更データ５２０と、チェックボックス９１１がチェックされていない変更データ５２０との表示態様が異なるように、変更データ一覧９１０を復元画面９００に表示させている。これにより、加工装置１は、復元対象の加工条件と復元対象ではない加工条件とを容易に確認させることができるので、変更した加工条件を確実に復元させることができる。さらに、加工装置１は、装置固有の加工条件を復元しないので、加工精度を向上させることができる。

オペレータは、復元画面９００の変更データ一覧９１０を確認し、加工条件の復元を了承すると、復元ボタン９２０を選択する。加工装置１は、入力部３２を介して、復元ボタン９２０の選択を検出すると、復元画面９００のチェックボックス９１１がチェックされた変更内容を復元する。例えば、加工装置１は、変更した加工条件データ５１０の加工条件を、変更データに基づいて開始ボタン６２０が選択される前の設定値に復元する。

以上のように、加工装置１は、開始ボタン６２０が選択されてから終了ボタン６３０が選択されるまでの間、入力部３２から入力された値に加工条件データ５１０の設定値を変更することができる。加工装置１は、開始ボタン６２０が選択されてから終了ボタン６３０が選択されるまでの間に、変更された加工条件データ５１０の設定値を、開始ボタン６２０が選択される前の設定値に復元することができる。これにより、加工装置１は、終了ボタン６３０の選択に応じて、一時的に変更した加工条件の設定値を元に戻すことができる。その結果、加工装置１は、メンテナンス時、テスト加工時等に一時的に変更した設定値を復元することができるので、変更した加工条件を戻さずに加工することを防止することができる。さらに、加工装置１は、変更した加工条件を元に戻さないことがなくなるので、加工条件を復元しないことによる生産性の低下を防止することができる。

また、加工装置１は、開始ボタン６２０が選択されてから終了ボタン６３０が選択されるまでの間に、変更された加工条件データ５１０の設定値を示す変更データ５２０を表示部３１に表示させることができる。加工装置１は、変更データ５２０で選択された設定値を、開始ボタン６２０が選択される前の設定値に復元することができる。これにより、加工装置１は、メンテナンス時、テスト加工時等の終了時に、変更した加工条件の一覧を選択可能に表示することで、復元させたい加工条件をオペレータに選択させることができる。その結果、加工装置１は、復元しなければならない加工条件を復元できかつ変更すべき加工条件を復元しないので、メンテナンス、テスト加工等で得られた適切な加工条件で被加工物２００を加工することができる。

（加工装置の制御の一例）
次に、実施形態に係る加工装置１が実行する制御の一例について説明する。図９は、実施形態に係る加工装置１の加工条件の変更・復元に関する処理手順の一例を示すフローチャートである。図９に示す処理手順は、加工装置１の制御ユニット４０がプログラムを実行することによって実現される。図９に示す処理手順は、加工装置１の制御ユニット４０によって適宜実行される。

図９に示すように、制御ユニット４０は、トップ画面６００を表示部３１に表示させる（ステップ２１０１）。例えば、制御ユニット４０は、トップ画面データに基づくトップ画面６００を表示部３１に表示するように、タッチパネル３０を制御する。これにより、表示部３１は、上述したトップ画面６００を表示する。制御ユニット４０は、ステップ２１０１の処理が終了すると、処理をステップ２１０２に進める。

制御ユニット４０は、開始ボタン６２０が選択されたか否かを判定する（ステップ２１０２）。例えば、制御ユニット４０は、入力部３２を介して、開始ボタン６２０に対する選択のジェスチャを検出した場合に、開始ボタン６２０が選択されたと判定する。制御ユニット４０は、開始ボタン６２０が選択されていないと判定した場合（ステップ２１０２でＮｏ）、処理を後述するステップ２１１１に進める。また、制御ユニット４０は、開始ボタン６２０が選択されたと判定した場合（ステップ２１０２でＹｅｓ）、処理をステップ２１０３に進める。

制御ユニット４０は、該当する加工条件データ５１０を取得する（ステップ２１０３）。例えば、制御ユニット４０は、加工装置１のメンテナンス、テスト加工、加工対象等に対応した加工条件データ５１０を記憶部５０、管理サーバ等から取得する。制御ユニット４０は、ステップ２１０３の処理が終了すると、処理をステップ２１０４に進める。

制御ユニット４０は、取得した加工条件データ５１０に基づく変更処理を実行する（ステップ２１０４）。変更処理は、加工条件データ５１０の加工条件を表示部３１に表示させて、変更条件をオペレータに変更させるための処理である。変更処理は、例えば、加工条件データ５１０が示す加工条件の画面７００－１，画面７００－２等を表示部３１に順次表示させる処理、指示された加工条件の設定値を変更する処理、マシンデータに対応した画面８００を表示部３１に表示させる処理、加工条件の変更内容を示す変更データ５２０を作成し、加工条件データ５１０に紐付けて記憶部５０に記憶する処理、加工条件データ５１０の変更が終了した場合に、加工条件の画面からトップ画面６００へ表示を遷移させる処理等を含む。制御ユニット４０は、変更処理が終了し、トップ画面６００が表示部３１に表示されると、処理をステップ２１０５に進める。

制御ユニット４０は、終了ボタン６３０が選択されたか否かを判定する（ステップ２１０５）。例えば、制御ユニット４０は、入力部３２を介して、終了ボタン６３０に対する選択のジェスチャを検出した場合に、終了ボタン６３０が選択されたと判定する。制御ユニット４０は、終了ボタン６３０が選択されていないと判定した場合（ステップ２１０５でＮｏ）、この判定処理を繰り返すことで、終了ボタン６３０が選択されるのを待つ。また、制御ユニット４０は、終了ボタン６３０が選択されたと判定した場合（ステップ２１０５でＹｅｓ）、処理をステップ２１０６に進める。

制御ユニット４０は、開始操作から終了操作までの変更データ５２０を識別可能な復元画面９００を表示部３１に表示させる（ステップ２１０６）。開始操作は、開始ボタン６２０を選択する操作を含む。終了操作は、終了ボタン６３０を選択する操作を含む。例えば、制御ユニット４０は、開始ボタン６２０が選択されてから終了ボタン６３０が選択されるまでの間の変更データ５２０に基づいて、復元画面９００を表示するための復元画面データを作成する。例えば、制御ユニット４０は、記憶部５０が複数の変更データ５２０を記憶している場合、複数の変更データ５２０の変更データ一覧９１０を含む復元画面データを作成する。制御ユニット４０は、復元画面データに基づく復元画面９００を表示部３１に表示するように、タッチパネル３０を制御する。これにより、表示部３１は、上述した変更データ一覧９１０と復元ボタン９２０とを有する復元画面９００を表示する。制御ユニット４０は、ステップ２１０６の処理が終了すると、処理をステップ２１０７に進める。

制御ユニット４０は、加工条件を復元するか否かを判定する（ステップ２１０７）。例えば、制御ユニット４０は、入力部３２を介して、復元ボタン９２０の選択を検出した場合に、加工条件を復元すると判定する。例えば、制御ユニット４０は、入力部３２を介して、遷移ボタン７３０の選択を検出した場合または終了指示を検出した場合、加工条件を復元しないと判定する。制御ユニット４０は、加工条件を復元しないと判定した場合（ステップ２１０７でＮｏ）、処理を後述するステップ２１０９に進める。また、制御ユニット４０は、加工条件を復元すると判定した場合（ステップ２１０７でＹｅｓ）、処理をステップ２１０８に進める。

制御ユニット４０は、復元画面９００で選択された変更データ５２０に基づいて、加工条件データ５１０の設定値を復元する（ステップ２１０８）。例えば、制御ユニット４０は、選択された変更データ５２０に対応する加工条件データ５１０の加工条件を特定し、該変更データ５２０の変更内容９１４に基づいて、該加工条件の設定値を、開始ボタン６２０が選択される前の設定値に復元する。復元画面９００の変更データ一覧９１０が複数の変更データ５２０を示している場合、制御ユニット４０は、復元が指示されている複数の変更データ５２０に基づいて加工条件の設定値を復元する。制御ユニット４０は、ステップ２１０８の処理が終了すると、処理をステップ２１０９に進める。

制御ユニット４０は、記憶部５０に記憶している変更データ５２０を削除する（ステップ２１０９）。例えば、制御ユニット４０は、開始ボタン６２０が選択されてから終了ボタン６３０が選択されるまでの間に、記憶部５０に記憶した変更データ５２０を削除する。制御ユニット４０は、ステップ２１０９の処理が終了すると、処理をステップ２１１０に進める。

制御ユニット４０は、復元画面９００からトップ画面６００へ表示を遷移させる（ステップ２１１０）。例えば、制御ユニット４０は、復元画面９００からトップ画面６００へ表示部３１の表示を切り替えるように、タッチパネル３０を制御する。これにより、表示部３１は、復元画面９００の表示を終了し、トップ画面６００を表示する。制御ユニット４０は、ステップ２１１０の処理が終了すると、処理をステップ２１１１に進める。

制御ユニット４０は、終了するか否かを判定する（ステップ２１１１）。例えば、制御ユニット４０は、処理手順の終了指示を受け付けた場合、他の画面への遷移の指示を受け付けた場合等に、終了すると判定する。制御ユニット４０は、終了しないと判定した場合（ステップ２１１１でＮｏ）、処理を既に説明したステップ２１０２に戻し、処理を継続する。また、制御ユニット４０は、終了すると判定した場合（ステップ２１１１でＹｅｓ）、処理をステップ２１１２に進める。

制御ユニット４０は、トップ画面６００の表示を終了させる（ステップ２１１２）。例えば、制御ユニット４０は、表示部３１が表示しているトップ画面６００を他の画面に遷移させるように、あるいは、表示部３１の表示を終了するように、タッチパネル３０を制御することで、トップ画面６００の表示を終了させる。制御ユニット４０は、ステップ２１１２の処理が終了すると、図８に示す処理手順を終了させる。

［変形例］
上記の実施形態では、加工装置１は、復元画面９００を表示部３１に表示し、オペレータに復元の許可を得た後に、加工条件を復元させる場合について説明したが、これに限定されない。例えば、加工装置１は、復元画面９００を表示せずに、終了ボタン６３０の選択に応じて加工条件を直ちに復元するように構成してもよい。

［その他の実施形態］
なお、本発明に係る加工装置１は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。たとえば、加工装置１は、切削装置以外の研削装置やレーザー加工装置であってもよい。

また、上記の実施形態において説明した加工装置１の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、加工装置１の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。例えば、加工装置１は、表示制御部４１、変更部４２及び復元部４３が機能的に統合されたり、組み合わせたりしてもよい。

１ 加工装置
３ 第１の加工手段
４ 第２の加工手段
６ 保持テーブル
２０ 加工ユニット
３０ タッチパネル
３１ 表示部
３２ 入力部
４０ 制御ユニット
４１ 表示制御部
４２ 変更部
４３ 復元部
５０ 記憶部
２００ 被加工物
４００ 傾き調整ユニット
５１０ 加工条件データ
５２０ 変更データ
６００ トップ画面
６２０ 開始ボタン
６３０ 終了ボタン
９００ 復元画面
９１０ 変更データ一覧

Claims (2)

1. 被加工物を保持する保持テーブルと、
   該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
   加工装置に関する情報を表示する表示部と、
   加工装置に関する情報を入力する入力部と、
   該加工ユニットを加工条件データに基づいて制御する制御ユニットと、
   を有する加工装置であって、
   該制御ユニットは、
   開始ボタンと終了ボタンと該加工条件データとを該表示部に表示させる表示制御部と、
   該開始ボタンが選択されてから該終了ボタンが選択されるまでの間、該入力部から入力された値に該加工条件データの設定値を変更する変更部と、
   該開始ボタンが選択されてから該終了ボタンが選択されるまでの間に、変更された該加工条件データの設定値を、該開始ボタンが選択される前の設定値に復元する復元部と、
   を有することを特徴とする加工装置。
2. 該表示制御部は、該開始ボタンが選択されてから該終了ボタンが選択されるまでの間に、変更された該加工条件データの該設定値を示す変更データを該表示部に表示させ、
   該復元部は、該変更データで選択された該設定値を、該開始ボタンが選択される前の設定値に復元することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。

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