JP2014008589A

JP2014008589A - 加工装置

Info

Publication number: JP2014008589A
Application number: JP2012148394A
Authority: JP
Inventors: Tomoaki Endo; 智章遠藤; Satoshi Ogawara; 聡大河原; Atsushi Sato; 佐藤　　淳; Shungo Yoshii; 俊悟吉井; Naoki Omiya; 直樹大宮; Seiji Nemoto; 清治根本; Shuhei Takeda; 周平竹田
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-07-02
Filing date: 2012-07-02
Publication date: 2014-01-20

Abstract

【課題】加工装置の表示モニタの表示内容について、作業者の使用言語とは異なる言語種別で表示されることに起因する誤操作防止が可能であり、かつ、容易に言語種別の変更を可能とする技術を提供する。
【解決手段】入力手段で入力された動作条件に基づいて加工手段の動作を制御する制御手段と、少なくとも入力手段で入力された動作条件を表示する表示手段と、入力手段を操作する作業者を特定する識別コードを読取る読取手段と、を備え、制御手段は、表示手段への表示内容を言語種別ごとに複数格納した言語データベースと、読取手段で読取った識別コードをもとに作業者の使用言語に対応する表示内容を言語データベースから選定することで、表示モニタに表示する言語種別を設定する言語設定部と、を有する、加工装置とする。
【選択図】図５

Description

本発明は、表示手段を備えた加工装置に関する。

従来、例えば、半導体ウェーハの加工を行うための加工装置として、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の各種の加工装置が知られている。

これらの加工装置においては、加工ユニットの動作条件や動作状況を表示する表示モニタを備える構成が一般的であり、表示モニタを備える加工装置について開示する文献も存在する（例えば、特許文献１参照。）。

さらに、近年では、タッチパネル式の表示モニタを備え、入力手段と表示手段を兼用した装置も知られている（例えば、特許文献２参照。）。

特開２００９−１９４３２６号公報特開２０１２−０００７０１号公報

上述の加工装置については、特定の決まった作業者（オペレータ）によってのみ操作されるのではなく、複数の異なる作業者によって操作されることが想定される。例えば、シフト勤務体制などにおいて、ある時間帯は作業者Ａが、ある時間帯は作業者Ｂが加工装置を操作するといったことである。

このような複数の異なる作業者によって加工装置が使用される場合に、作業者Ａの使用言語が日本語、作業者Ｂの使用言語が英語、といったように、使用言語が作業者によって異なる場合も想定される。

このような場合に、作業者の使用言語に応じた言語種別によって表示モニタに情報が表示されないと、作業者は充分に理解できない言語で表示された情報に基づいて判断することが強いられてしまう。

このようなことがあると、例えば、表示モニタ上の適切な箇所に適切な情報を入力できずに加工装置が誤って動作され、加工装置や被加工物が破損する不具合が生じることが懸念される。

また、上記の対策として、例えば、加工装置に言語切り替え操作用のボタンを設け、当該ボタンの操作によって表示モニタ上の言語種別を変更可能に構成することも考えられる。

しかしながら、言語種別を変更しようにも、作業者が理解できない言語で表示されている状態では、言語の切り替え操作用のボタンがどれであるかを判断することさえ難しいことになる。

さらに、作業者に対して、言語が理解できない状況のもとで都度表示モニタの言語種別の変更作業を強いることになるため、非常に手間がかかる装置構成となってしまう。

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、加工装置の表示モニタの表示内容について、作業者の使用言語とは異なる言語種別で表示されることに起因する誤操作防止が可能であり、かつ、容易に言語種別の変更を可能とする技術を提供することである。

請求項１に記載の発明によると、加工装置であって、被加工物を保持する保持手段と、保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段の動作条件を入力する入力手段と、入力手段で入力された動作条件に基づいて加工手段の動作を制御する制御手段と、少なくとも入力手段で入力された動作条件を表示する表示手段と、入力手段を操作する作業者を特定する識別コードを読取る読取手段と、を備え、制御手段は、表示手段への表示内容を言語種別ごとに複数格納した言語データベースと、読取手段で読取った識別コードをもとに作業者の使用言語に対応する表示内容を言語データベースから選定することで、表示モニタに表示する言語種別を設定する言語設定部と、を有する、加工装置が提供される。

本発明によると、作業者の使用言語種別と表示モニタに表示される言語種別の不一致が原因となり、作業者の表示内容の理解不足に起因した加工装置の誤操作を防止することが可能となる。

より具体的には、作業者を特定する識別コードに記録された作業者の使用言語を読取る読取手段と、表示手段への表示内容を言語種別ごとに複数格納した言語データベースと、読取手段で読取った識別コードをもとに作業者の使用言語に対応する表示内容を言語データベースから選定することで、表示モニタに表示する言語種別を設定する言語設定部とを備える構成とするため、作業者の使用言語に対応するように、表示する言語種別を容易に切り替えることが可能となる。

本発明の実施に適した加工装置（切削装置）の斜視図である。制御装置の構成について示すブロック図である。読取装置とＩＤカードの構成について示す斜視図である。言語の設定に関して説明する機能ブロック図である。（Ａ）は作業者が日本語を理解する場合について説明する図である。（Ｂ）は作業者が英語を理解する場合について説明する図である。（Ｃ）は作業者が中国語を理解する場合について説明する図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。加工装置の一例として、半導体ウェーハの切削装置２の外観斜視図が図１に示されている。切削装置２は、切削ブレードを有する切削ユニット１０等の加工手段がハウジング８内に収容された加工装置本体４と、加工装置本体４のハウジング８に装着された表示モニタ６などを有して構成される。

切削ユニット１０に隣接してチャックテーブル１２がＸ軸方向に移動可能に配設されている。１４は内部にウェーハ２２を複数収容可能なカセット２４を載置するカセット載置台（エレベータ）であり、上下方向に移動可能に構成されている。なお、加工時にウェーハ２４を保持する保持手段としては、チャックテーブル１２のようにテーブルで構成する他、エッジクランプ（端を挟持する形態）による保持手段が使用されることも考えられる。

５０は作業者が携帯する物品であるＩＤカード５２に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４を読取るための読取装置である。作業者は、この読取装置５０にＩＤカード５２をかざした上で、切削装置２の操作を行うことが想定されている。

図２の概略図に示されるように、切削装置２には、切削装置２を自動制御するための制御装置３０が設けられている。制御装置３０は、例えば、マイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ（中央処理装置）３１と、制御プログラムや各種データベース等を格納するＲＯＭ（リードオンリーメモリ）３２と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３３と、入出力インターフェース３４とを備えて構成される。

ＲＯＭ３２には、切削ユニット１０などを自動制御するための制御プログラムや、制御プログラムによって読み出されることが想定される各種データベースが記憶される。

ＲＡＭ３３は、制御プログラムや各種データの読み込みや、オペレータにより入力される加工条件の一時的な記憶などを行う。

入出力インターフェース３４には、加工条件を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能する表示モニタ６（図１参照）が接続されている。

入出力インターフェース３４には、作業者が携帯する物品であるＩＤカード５２に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４（図３参照）を読取るための読取装置５０が接続されている。

入出力インターフェース３４には、切削ユニット１０を回転させるモータや、チャックテーブル１２を移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に則って駆動されるようになっている。

図３に示すように、読取装置５０は、ＩＤカード５２に記録された識別コード５４を読取るべく構成されている。本実施形態では、読取装置５０は、挿入溝５１を有する略コ字状に構成されており、この挿入溝５１内にＩＤカード５２を差し込むことにより、非接触により識別コード５４が認識されるように構成されている。

このような形態によれば、一般的に作業者の顔写真５３などの属性情報が記憶され、この作業者が常時携帯することが想定されるＩＤカード５２に識別コード５４を付加するだけで実施が可能であり、例えば、別のカードなどを携帯させる必要が無くなる。また、非接触による認識可能な構成とすることによれば、ＩＤカード５２をかざすだけで容易に識別コード５４を認識させることができ、作業性に優れた構成が実現できる。

識別コード５４には、このＩＤカード５２を所有する作業者の使用言語（作業者が理解可能な言語）を特定するためのデータが含まれ、詳しくは後述するように、識別コード５４の読取によって表示モニタ６に表示する言語種別の設定が行われる。

なお、識別コード５４は、例えば、本実施形態のように二次元バーコードの形態でＩＤカード５２の表面に表示されて視認可能とするほか、磁気によってＩＤカード５２内に視認不能に格納されるものであってもよい。また、識別コード５４はＩＤカード５２に直接記憶されることとするほか、シールなどによってＩＤカード５２に貼付されるものであってもよい。

さらに、上述した読取装置５０とＩＤカード５２の実施形態とするほかにも、磁気カードを溝に通過させるカードリーダーの形態や、凹凸形状により識別コード５４を認識させる形態なども考えられる。加えて、作業者によって識別コード５４（例えば番号、記号などの文字列）を読取装置５０に入力する形態なども考えられる。つまり、読取装置５０においては、識別コード５４に格納される情報が認識できるものであればよく、その認識させる形態についても特に限定されるものではない。

図４は、本発明において特徴的な機能について説明する機能ブロック図である。この図４では、読取装置５０と、制御装置３０と、表示モニタ６が示されている。

言語データベース３６には、表示モニタ６への表示内容（画面に表示される内容を構成するためのデータ）が言語種別ごとに格納されており、例えば、日本語による表示内容、中国語による表示内容、英語による表示内容、といった各種の表示内容が格納されている。

言語データベース３６は、必要に応じて表示内容のアップデートが可能であることが好ましい。また、言語種別の追加も適宜可能な構成にすることが好ましい。

そして、言語設定部３８では、読取装置５０によって読取られた識別コード５４に基づき、当該識別コード５４に対応する言語種別に対応する表示内容を言語データベース３６から選定することで、表示モニタ６に表示する言語種別を設定する。

なお、識別コード５４に作業者の使用言語を特定する情報が記録されることで、言語設定部３８において識別コード５４から直接使用言語（言語種別）を選定可能とする構成とするほか、識別コード５４に使用言語の情報を記録せず、識別コード５４に含まれる他の情報（例えば、作業者のＩＤ情報）を取得し、当該情報と使用言語を対応したテーブルを参照することで、使用言語が特定されるものであってもよい。

図５（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、本発明の特徴である表示モニタ６の表示言語の設定について説明する概略図であり、例えば、図５（Ａ）に示すように、日本語を理解して使用する作業者Ａにおいては、ＩＤカード５２を読取装置５０にかざすだけで、表示モニタ６には、日本語での表示がなされることが示されている。

同様に、図５（Ｂ）に示すように、英語を理解して使用する作業者Ｂにおいては、ＩＤカード５２を読取装置５０にかざすだけで、表示モニタ６には、英語での表示がなされることが示されている。

同様に、図５（Ｃ）に示すように、中国語を理解して使用する作業者Ｃにおいては、ＩＤカード５２を読取装置５０にかざすだけで、表示モニタ６には、中国語での表示がなされることが示されている。

以上のようにして、本発明を実施することができる。即ち、ウェーハ（被加工物）２２を保持するチャックテーブル（保持手段）１２と、チャックテーブル１２で保持されたウェーハ２２に加工を施す切削ユニット（加工手段）１０と、切削ユニット１０の動作条件を入力する表示モニタ（入力手段）６と、表示モニタ６で入力された動作条件に基づいて切削ユニット１０の動作を制御する制御装置（制御手段）３０と、少なくとも表示モニタ６で入力された動作条件を表示する表示モニタ６と、表示モニタ６を操作する作業者を特定する識別コード５４を読取る読取装置（読取手段）５０と、を備え、制御装置３０は、表示モニタ６への表示内容を言語種別ごとに複数格納した言語データベース３６と、読取装置５０で読取った識別コードをもとに作業者の使用言語に対応する表示内容を言語データベースから選定することで、表示モニタ６に表示する言語種別を設定する言語設定部と、を有する、加工装置とする。

そして、以上の構成によれば、作業者の使用言語種別と表示モニタに表示される言語種別の不一致が原因となり、作業者の表示内容の理解不足に起因した加工装置の誤操作を防止することが可能となる。

さらに、作業者の使用言語に対応するように、表示する言語種別を容易に切り替えることが可能となり、操作性に優れた装置構成が実現できる。

なお、以上の実施形態では、加工装置として切削装置２を用いて説明したが、このほか、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、洗浄装置、など、各種の加工装置において本発明を実施することは可能である。

２切削装置
６表示モニタ
１０切削ユニット
１２チャックテーブル
２２ウェーハ
２４カセット
３０制御装置
３４入出力インターフェース
３６言語データベース
３８言語設定部
５０読取装置
５１挿入溝
５２カード
５３顔写真
５４識別コード

Claims

加工装置であって、
被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、
該加工手段の動作条件を入力する入力手段と、
該入力手段で入力された動作条件に基づいて該加工手段の動作を制御する制御手段と、
少なくとも該入力手段で入力された動作条件を表示する表示手段と、
該入力手段を操作する作業者を特定する識別コードを読取る読取手段と、
を備え、
該制御手段は、
該表示手段への表示内容を言語種別ごとに複数格納した言語データベースと、
該読取手段で読取った該識別コードをもとに該作業者の使用言語に対応する該表示内容を該言語データベースから選定することで、該表示モニタに表示する言語種別を設定する言語設定部と、
を有する、加工装置。