KR20160119959A - 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치 - Google Patents
반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20160119959A KR20160119959A KR1020150048793A KR20150048793A KR20160119959A KR 20160119959 A KR20160119959 A KR 20160119959A KR 1020150048793 A KR1020150048793 A KR 1020150048793A KR 20150048793 A KR20150048793 A KR 20150048793A KR 20160119959 A KR20160119959 A KR 20160119959A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- input device
- present
- computerized
- terminal device
- integrated
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/02—Input arrangements using manually operated switches, e.g. using keyboards or dials
- G06F3/0202—Constructional details or processes of manufacture of the input device
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/02—Input arrangements using manually operated switches, e.g. using keyboards or dials
- G06F3/0202—Constructional details or processes of manufacture of the input device
- G06F3/021—Arrangements integrating additional peripherals in a keyboard, e.g. card or barcode reader, optical scanner
- G06F3/0213—Arrangements providing an integrated pointing device in a keyboard, e.g. trackball, mini-joystick
Abstract
본 발명은 반도제 공정 장비의 용이한 전산화 관리를 도모할 수 있는 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 단축키를 이용하여 상위 호스트의 전산시스템에 즉시 액세스 및 화면전환 가능하고, 트랙볼 마우스 일체형으로 별도의 마우스 수납공간 필요없으며, 오류발생시 화면캡처 할 수 있는 화면캡처 전용 단축키가 구성되고, 단축키별로 12개의 프로그램을 구성하여 FUNCTION키를 이용하여 액세스 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치가 제공된다.
Description
본 발명은 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도제 공정 장비의 용이한 전산화 관리를 도모할 수 있는 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치에 관한 것이다.
일반적인 반도체공정장비는 다양한 공정 장비를 포함하고 있는데, 그 공정 단계별 필요한 장비들이 단독 또는 조합되어 구성되어 있다.
이러한 반도체공정장비를 구성하는 관련 장비의 일 예로는, 다수개의 웨이퍼가 실장되는 웨이퍼 운반장치와, 다관절로 이루어진 로봇 팔이 장착되어 있어서 웨이퍼 운반장치에 실장된 웨이퍼를 공급받아 웨이퍼 측정, 웨이퍼 클리닝 및 에칭 등의 반도체 작업공정을 수행하는 메인장비와, 상기 웨이퍼 운반장치가 정확한 위치에 안착 될 수 있도록 다수개의 위치지정 블록이 형성된 판 형상의 베이스 부재를 구비한 보조장비로 구성되어 있다.
이때, 일반적인 반도체공정장비는 작업자 또는 자동설비에 의해 다수개의 웨이퍼가 실장 된 웨이퍼 운반장치가 이동되어 상기 보조장비에 안착 되면, 도시치 않은 메인장비의 로봇 팔이 상기 웨이퍼운반장치에 실장 된 다수개의 웨이퍼를 순서대로 인출하여 웨이퍼 측정, 웨이퍼 클리닝 및 에칭 등의 반도체 작업공정을 수행하는 순서로 동작하였다.
그러나 반도체 공정의 전산 관리를 적용하려면 PC의 마우스 및 키보드를 이용하여 해당 전산 시스템에 접속하여 전산 시스템을 PC화면에서 찾아야 하는 불편함이 있었으며, 키보드와 마우스의 보관의 어려움이 있는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 반도제 공정 장비의 용이한 전산화 관리를 도모할 수 있는 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 반도제 공정의 전산화 관리를 위한 마우스 일체형 제품으로서 단축키를 이용하여 해당 전산시스템에 바로 연결이 가능한 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 본 발명의 목적들 및 다른 특징들을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따르면, 단축키를 이용하여 상위 호스트의 전산시스템에 즉시 액세스 및 화면전환 가능하고, 트랙볼 마우스 일체형으로 별도의 마우스 수납공간 필요없으며, 오류발생시 화면캡처 할 수 있는 화면캡처 전용 단축키가 구성되고, 단축키별로 12개의 프로그램을 구성하여 FUNCTION키를 이용하여 액세스 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치가 제공된다.
본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치는, 반도제 공정 장비의 용이한 전산화 관리를 도모할 수 있으며, 반도제 공정의 전산화 관리를 위한 마우스 일체형 제품으로서 단축키를 이용하여 해당 전산시스템에 바로 연결이 가능한 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치의 시작품를 도시한 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치가 통합 전산화 장비에 일체화되어 구성되는 예시를 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치를 구성하는 핫키(hot key)에 의한 실행 화면의 일 예를 도시한 설명도이다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치가 통합 전산화 장비에 일체화되어 구성되는 예시를 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치를 구성하는 핫키(hot key)에 의한 실행 화면의 일 예를 도시한 설명도이다.
본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다.
본 발명의 상세한 설명에 앞서, 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 명세서에 기재된 "...부", "...유닛", "...모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치를 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치의 시작품를 도시한 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치가 통합 전산화 장비에 일체화되어 구성되는 예시를 도시한 구성도이며, 도 3은 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치를 구성하는 핫키(hot key)에 의한 실행 화면의 일 예를 도시한 설명도이다.
본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치는, 반도체 공정의 전산화 관리를 위하여 상위 호스트의 전산시스템 및 작업자가 자주 사용하는 프로그램에 단축키를 이용하여 바로 연결이 되도록 하며, 마우스 일체형으로 별도의 마우스 수납공간이 필요없는 일체형 키보드를 제공하기 위한 것으로, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 단축키를 이용하여 상위 호스트의 전산시스템에 즉시 액세스 및 화면전환 가능하고, 트랙볼 마우스 일체형으로 별도의 마우스 수납공간 필요없으며, 오류발생시 화면캡처 할 수 있는 화면캡처 전용 단축키가 구성되고, 단축키별로 12개의 프로그램을 구성하여 FUNCTION키를 이용하여 액세스 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치는, 반도제 공정 장비의 용이한 전산화 관리를 도모할 수 있으며, 반도제 공정의 전산화 관리를 위한 마우스 일체형 제품으로서 단축키를 이용하여 해당 전산시스템에 바로 연결이 가능한 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치는, 반도체 공정의 전산화시 상위 호스트 정보 및 전산시스템에 바로 접속하여 작업시간을 단축할 수 있으며, 마우스 일체형으로 수납공간에 제약없이 적용이 가능하여 생산능률을 크게 증대시킬 수 있는 이점이 있다.
본 명세서에서 설명되는 실시 예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
Claims (1)
- 단축키를 이용하여 상위 호스트의 전산시스템에 즉시 액세스 및 화면전환 가능하고, 트랙볼 마우스 일체형으로 별도의 마우스 수납공간 필요없으며, 오류발생시 화면캡처 할 수 있는 화면캡처 전용 단축키가 구성되고, 단축키별로 12개의 프로그램을 구성하여 FUNCTION키를 이용하여 액세스 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는
반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150048793A KR20160119959A (ko) | 2015-04-07 | 2015-04-07 | 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150048793A KR20160119959A (ko) | 2015-04-07 | 2015-04-07 | 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20160119959A true KR20160119959A (ko) | 2016-10-17 |
Family
ID=57250388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020150048793A KR20160119959A (ko) | 2015-04-07 | 2015-04-07 | 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20160119959A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210000216A (ko) * | 2019-06-24 | 2021-01-04 | 이상호 | 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치 |
| KR20210000223A (ko) * | 2019-06-24 | 2021-01-04 | 이상호 | 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100780383B1 (ko) | 2006-07-26 | 2007-11-29 | 이규옥 | 반도체공정장비 원격제어시스템 및 그 방법 |
-
2015
- 2015-04-07 KR KR1020150048793A patent/KR20160119959A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100780383B1 (ko) | 2006-07-26 | 2007-11-29 | 이규옥 | 반도체공정장비 원격제어시스템 및 그 방법 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210000216A (ko) * | 2019-06-24 | 2021-01-04 | 이상호 | 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치 |
| KR20210000223A (ko) * | 2019-06-24 | 2021-01-04 | 이상호 | 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101897638B1 (ko) | 반도체 소자의 전기적 특성 자동 측정용 고정밀 테스트 장치 | |
| TW202143381A (zh) | 用於提供末端執行器的設備、系統及方法 | |
| CN110223936A (zh) | 加工装置的控制方法 | |
| US10185493B2 (en) | Processing system | |
| CN104647143A (zh) | 一种数控机床自动计算工件对称中心坐标的方法 | |
| US8136084B2 (en) | Arranging through silicon vias in IC layout | |
| KR20160119959A (ko) | 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치 | |
| US10048844B2 (en) | Operating method for inspecting equipment | |
| CN104634244A (zh) | 三自由度并联机构运动平台位姿检测装置及其检测方法 | |
| US20130124135A1 (en) | Computing device and method for automatically replacing probes for coordinate measuring machines | |
| KR102557190B1 (ko) | 설계를 사용한 사전 층 결함 사이트 검토 | |
| JP6787612B2 (ja) | 第１物体を第２物体に対して位置決めする装置及び方法 | |
| JP6108806B2 (ja) | 加工装置 | |
| JP6004761B2 (ja) | ダイシング方法 | |
| US20190051546A1 (en) | Efem robot auto teaching methodology | |
| Holubek et al. | The methods for increasing of the efficiency in the intelligent assembly cell | |
| KR101979338B1 (ko) | 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치 | |
| US20190049934A1 (en) | Control system | |
| JP2018190899A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2015075347A (ja) | アライメント方法 | |
| KR102269175B1 (ko) | 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치 | |
| JP2010245437A (ja) | 半導体検査装置、及びウェハ検査方法 | |
| US20190351560A1 (en) | Method and apparatus for selecting initial point for industrial robot commissioning | |
| TW202038035A (zh) | 加工裝置 | |
| TWI830921B (zh) | 加工裝置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |