KR20210000216A - 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치 - Google Patents

반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치로서, 공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스; 상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부; 및 상기 키보드 명령 입력부와 별도로 구비되며, 상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 장치 전환을 위한 장비 전환 명령 입력부를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
본 발명에서 제안하고 있는 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치에 따르면, 공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 장치 전환을 위한 장비 전환 명령 입력부를 포함하여 구성함으로써, 반도체 공정 장비에 조합 구성되는 둘 이상의 공정 단계별 장비들 간의 장치 전환이 원터치로 즉시 가능하고, 그에 따른 사용의 편의성 및 효율성이 더욱 향상될 수 있도록 할 수 있다.
또한, 본 발명의 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치에 따르면, 장비 전환 명령 입력부의 원터치 전환 버튼의 구현으로 장치 전환이 즉시 가능하도록 함으로써, 공정 단계별 장비들 간의 장치 전환의 번거로움이 최소화됨은 물론, 반도체 공정의 전산화 시 상위 호스트 정보 및 전산시스템에 바로 접속되어 작업시간을 단축할 수 있으며, 그에 따른 반도체 공정 장비의 용이한 전산화 관리가 가능하도록 할 수 있다.

Description

반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치{AN INTEGRATED INPUT DEVICE THAT CAN BE USED TO SWITCH BETWEEN A PLURALITY OF DEVICES IN A SEMICONDUCTOR PROCESS EQUIPMENT}
본 발명은 일체형 입력장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정 장비는 공정 단계별로 공정을 처리하는 다양한 공정 장비를 포함하고 있으며, 그 공정 단계별로 필요한 장비들이 단독 또는 조합으로 구성되어 있다.
이러한 반도체 공정 장비를 구성하는 관련된 장비의 일례로는, 다수개의 웨이퍼가 실장 되는 웨이퍼 운반 장치와, 다관절로 이루어진 로봇 팔이 장착되어 있어서 웨이퍼 운반 장치에 실장된 웨이퍼를 공급받아 웨이퍼 측정과 웨이퍼 클리닝 및 에칭 등의 반도체 작업공정을 수행하는 메인장비와, 웨이퍼 운반 장치가 정확한 위치에 안착될 수 있도록 다수개의 위치지정 블록이 형성된 판 형상의 베이스 부재를 구비한 보조 장비로 구성될 수 있다.
이때, 일반적인 반도체 공정 장비는 작업자 또는 자동설비에 의해 다수개의 웨이퍼가 실장된 웨이퍼 운반 장치가 이동되어 보조 장비에 안착되면, 도시치 않은 메인장비의 로봇 팔이 웨이퍼 운반 장치에 실장된 다수개의 웨이퍼를 순서대로 인출하여 웨이퍼 측정과 웨이퍼 클리닝 및 에칭 등의 반도체 작업공정을 수행하는 순서로 동작하였다.
그러나 종래의 둘 이상의 단계별 공정 장비들이 조합 구성되는 반도체 공정 장비의 경우, 각각의 단계별 공정 장비의 제어 및 전산 관리를 적용하기 위해서는 PC의 마우스 및 키보드를 이용하여 해당 전산시스템에 접속하여 전산시스템을 PC 화면에서 찾아야 하는 불편함이 따르는 문제가 있었으며, 키보드와 마우스의 보관의 어려움이 있는 문제점이 있었다. 대한민국 등록특허공보 제10-0780385호가 선행기술 문헌으로 개시되고 있다.
본 발명은 기존에 제안된 방법들의 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 장치 전환을 위한 장비 전환 명령 입력부를 포함하여 구성함으로써, 반도체 공정 장비에 조합 구성되는 둘 이상의 공정 단계별 장비들 간의 장치 전환이 원터치로 즉시 가능하고, 그에 따른 사용의 편의성 및 효율성이 더욱 향상될 수 있도록 하는, 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 장비 전환 명령 입력부의 원터치 전환 버튼의 구현으로 장치 전환이 즉시 가능하도록 함으로써, 공정 단계별 장비들 간의 장치 전환의 번거로움이 최소화됨은 물론, 반도체 공정의 전산화 시 상위 호스트 정보 및 전산시스템에 바로 접속되어 작업시간을 단축할 수 있으며, 그에 따른 반도체 공정 장비의 용이한 전산화 관리가 가능하도록 하는, 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치는,
반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치로서,
공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스;
상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부; 및
상기 키보드 명령 입력부와 별도로 구비되며, 상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 장치 전환을 위한 장비 전환 명령 입력부를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 장비 연결 인터페이스는,
상기 반도체 공정 장비에 조합으로 이루어지는 공정 단계별 장비들과 각각 연결 접속되기 위한 복수의 연결 포트가 입력장치 본체의 일면에 형성될 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 장비 연결 인터페이스는,
상기 반도체 공정 장비에 조합되는 공정 단계별 장비들과 상기 복수의 연결 포트를 매칭 하여 각각 연결 접속하기 위한 복수의 USB 연결 케이블 단자를 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 장비 전환 명령 입력부는,
상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 장치 전환을 위한 원터치 전환 버튼으로 구성될 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 장비 전환 명령 입력부는,
원터치 전환 버튼의 누름에 따라 생성되는 신호를 통해 상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들이 순차로 장치 전환될 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 일체형 입력장치는,
공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어지는 반도체 공정 장비의 전산화 단말장치 전용으로 구현될 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 일체형 입력장치는,
상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 반도체 공정 장비의 공정 단계별 장비들과 연결 접속되고, 반도체 공정 장비에 연결되는 상위 호스트의 전산시스템에 즉시 액세스되어 연동할 수 있다.
본 발명에서 제안하고 있는 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치에 따르면, 공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 장치 전환을 위한 장비 전환 명령 입력부를 포함하여 구성함으로써, 반도체 공정 장비에 조합 구성되는 둘 이상의 공정 단계별 장비들 간의 장치 전환이 원터치로 즉시 가능하고, 그에 따른 사용의 편의성 및 효율성이 더욱 향상될 수 있도록 할 수 있다.
또한, 본 발명의 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치에 따르면, 장비 전환 명령 입력부의 원터치 전환 버튼의 구현으로 장치 전환이 즉시 가능하도록 함으로써, 공정 단계별 장비들 간의 장치 전환의 번거로움이 최소화됨은 물론, 반도체 공정의 전산화 시 상위 호스트 정보 및 전산시스템에 바로 접속되어 작업시간을 단축할 수 있으며, 그에 따른 반도체 공정 장비의 용이한 전산화 관리가 가능하도록 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치와 반도체 공정 장비 간의 전체적인 구성을 기능 블록으로 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치의 구성을 기능 블록으로 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치의 장비 연결 인터페이스의 구성을 기능 블록으로 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치의 일례의 시제품 구성을 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치가 반도체 공정 장비에 일체화로 구성되는 일례의 구성을 도시한 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 연결 되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결 되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 간접적으로 연결 되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 포함 한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치와 반도체 공정 장비 간의 전체적인 구성을 기능 블록으로 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치의 구성을 기능 블록으로 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치의 장비 연결 인터페이스의 구성을 기능 블록으로 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치의 일례의 시제품 구성을 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치가 반도체 공정 장비에 일체화로 구성되는 일례의 구성을 도시한 도면이다. 도 1 내지 도 5에 각각 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치(100)는, 장비 연결 인터페이스(110), 키보드 명령 입력부(120), 및 장비 전환 명령 입력부(130)를 포함하여 구성될 수 있다.
장비 연결 인터페이스(110)는, 공정 단계별 장비(11)들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비(10)에 연결 접속되는 인터페이스의 구성이다. 이러한 장비 연결 인터페이스(110)는 도 3 및 도 4에 각각 도시된 바와 같이, 반도체 공정 장비(10)에 조합으로 이루어지는 공정 단계별 장비(11)들과 각각 연결 접속되기 위한 복수의 연결 포트(111)가 입력장치 본체(101)의 일면에 형성될 수 있다. 여기서, 장비 연결 인터페이스(110)는 반도체 공정 장비(10)에 조합되는 공정 단계별 장비(11)들과 복수의 연결 포트(111)를 매칭 하여 각각 연결 접속하기 위한 복수의 USB 연결 케이블 단자(112)를 포함할 수 있다.
또한, 장비 연결 인터페이스(110)는 반도체 공정 장비(10)에 조합되는 둘 이상의 공정 단계별 장비(11)에 각각 유선으로 연결 접속되고, 후술하게 될 장비 전환 명령 입력부(130)의 조작 선택에 따라 반도체 공정 장비(10)에 조합되는 공정 단계별 장비(11)의 장치 전환이 이루어지도록 할 수 있다. 이러한 장비 연결 인터페이스(110)의 복수의 연결 포트(111)는 복수의 USB 연결 케이블 단자(112)를 통해 공정 단계별 장비(11)들과 매칭되어 연결 접속되는 것으로 이해될 수 있다.
키보드 명령 입력부(120)는, 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들의 조작 제어를 위한 입력부의 구성이다. 이러한 키보드 명령 입력부(120)는 통상의 키보드 자판과 동일 또는 유사한 형태 및 기능을 갖도록 구성될 수 있다. 즉, 키보드 명령 입력부(120)는 한글 또는 영문의 문자키, 기능키, 방향키, 선택키 등을 포함하는 것으로 이해될 수 있다.
장비 전환 명령 입력부(130)는, 키보드 명령 입력부(120)와 별도로 구비되며, 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들의 장치 전환을 위한 입력부의 구성이다. 이러한 장비 전환 명령 입력부(130)는 도 4에 도시된 바와 같이, 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들의 장치 전환을 위한 원터치 전환 버튼(131)으로 구성될 수 있다.
또한, 장비 전환 명령 입력부(130)는 원터치 전환 버튼(131)의 누름에 따라 생성되는 신호를 통해 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들이 순차로 장치 전환되도록 처리할 수 있다. 이러한 장비 전환 명령 입력부(130)는 반도체 공정 장비(10)에 2개의 공정 단계별 장비(11)가 연결 접속된 경우, 사용자의 조작에 따른 원터치 전환 버튼(131)을 한 번 누르는 경우 현재 표시되는 공정 단계별 장비(11)에서 다른 공정 단계별 장비(11)로의 장치 전환이 가능하다. 또한, 반도체 공정 장비(10)에 둘 이상의 공정 단계별 장비(11)가 연결 접속된 경우, 사용자의 조작에 따른 원터치 전환 버튼(131)을 누를 때마다 복수의 공정 단계별 장비(11)의 장치 전환이 순차적으로 전환될 수 있도록 할 수 있다.
또한, 장비 연결 인터페이스(110)와 키보드 명령 입력부(120) 및 장비 전환 명령 입력부(130)로 구성되는 일체형 입력장치(100)는 공정 단계별 장비(11)들의 조합으로 이루어지는 반도체 공정 장비(10)의 전산화 단말장치 전용으로 구현될 수 있다.
또한, 장비 연결 인터페이스(110)와 키보드 명령 입력부(120) 및 장비 전환 명령 입력부(130)로 구성되는 일체형 입력장치(100)는 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 반도체 공정 장비(10)의 공정 단계별 장비(11)들과 연결 접속되고, 반도체 공정 장비(10)에 연결되는 상위 호스트의 전산시스템에 즉시 액세스되어 연동될 수 있다.
또한, 일체형 입력장치(100)는 도 4에 도시된 바와 같이, 입력장치 본체(101)의 일 측으로 금속 트랙볼 마우스(140)를 일체형으로 더 포함하여 구성할 수 있으며, 12개의 FUNCTION키에 12개의 특정 프로그램을 설정하여 반도체 공정 장비(10)의 액세스 및 특정 기능의 제어가 가능하도록 구현될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치의 일례의 시제품 구성을 일례로 나타내고 있다. 즉, 도 4는 일체형 입력장치(100)의 장비 연결 인터페이스(110)에 2개의 연결 포트(111)와 2개의 USB 연결 케이블 단자(112)의 구성 일례를 나타내고 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치가 반도체 공정 장비에 일체화로 구성되는 일례의 구성을 나타내고 있다. 즉, 도 5는 공정 단계별 장비(11)의 둘 이상의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비(10)에 본 발명의 일체형 입력장치(100)가 통합 적용되는 구성을 나타내고 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치는, 공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 장치 전환을 위한 장비 전환 명령 입력부를 포함하여 구성함으로써, 반도체 공정 장비에 조합 구성되는 둘 이상의 공정 단계별 장비들 간의 장치 전환이 원터치로 즉시 가능하고, 그에 따른 사용의 편의성 및 효율성이 더욱 향상될 수 있으며, 특히, 장비 전환 명령 입력부의 원터치 전환 버튼의 구현으로 장치 전환이 즉시 가능하도록 함으로써, 공정 단계별 장비들 간의 장치 전환의 번거로움이 최소화됨은 물론, 반도체 공정의 전산화 시 상위 호스트 정보 및 전산시스템에 바로 접속되어 작업시간을 단축할 수 있으며, 그에 따른 반도체 공정 장비의 용이한 전산화 관리가 가능하도록 할 수 있게 된다.
이상 설명한 본 발명은 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형이나 응용이 가능하며, 본 발명에 따른 기술적 사상의 범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 반도체 공정 장비
11: 공정 단계별 장비
100: 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 입력장치
101: 입력장치 본체
110: 장비 연결 인터페이스
111: 복수의 연결 포트
112: 복수의 USB 연결 케이블 단자
120: 키보드 명령 입력부
130: 장비 전환 명령 입력부
131: 원터치 전환 버튼
140: 금속 트랙볼 마우스

Claims (7)

  1. 반도체 공정 장비(10)에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치(100)로서,
    공정 단계별 장비(11)들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비(10)에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스(110);
    상기 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부(120); 및
    상기 키보드 명령 입력부(120)와 별도로 구비되며, 상기 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들의 장치 전환을 위한 장비 전환 명령 입력부(130)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 장비 연결 인터페이스(110)는,
    상기 반도체 공정 장비(10)에 조합으로 이루어지는 공정 단계별 장비(11)들과 각각 연결 접속되기 위한 복수의 연결 포트(111)가 입력장치 본체(101)의 일면에 형성되는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 장비 연결 인터페이스(110)는,
    상기 반도체 공정 장비(10)에 조합되는 공정 단계별 장비(11)들과 상기 복수의 연결 포트(111)를 매칭 하여 각각 연결 접속하기 위한 복수의 USB 연결 케이블 단자(112)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 장비 전환 명령 입력부(130)는,
    상기 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들의 장치 전환을 위한 원터치 전환 버튼(131)으로 구성되는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 장비 전환 명령 입력부(130)는,
    원터치 전환 버튼(131)의 누름에 따라 생성되는 신호를 통해 상기 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들이 순차로 장치 전환되는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 일체형 입력장치(100)는,
    공정 단계별 장비(11)들의 조합으로 이루어지는 반도체 공정 장비(10)의 전산화 단말장치 전용으로 구현되는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 일체형 입력장치(100)는,
    상기 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 반도체 공정 장비(10)의 공정 단계별 장비(11)들과 연결 접속되고, 반도체 공정 장비(10)에 연결되는 상위 호스트의 전산시스템에 즉시 액세스되어 연동하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 복수 개의 장비 사이에서 전환하여 사용될 수 있는 일체형 입력장치.
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JPH09319476A (ja) * 1996-05-29 1997-12-12 Kyushu Nippon Denki Software Kk 切り替え式複数台操作装置
KR20160119959A (ko) * 2015-04-07 2016-10-17 (주) 임픽스 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09319476A (ja) * 1996-05-29 1997-12-12 Kyushu Nippon Denki Software Kk 切り替え式複数台操作装置
KR20160119959A (ko) * 2015-04-07 2016-10-17 (주) 임픽스 반도체공정 장비의 전산화 단말장치용 일체형 입력장치

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