JP2014024150A

JP2014024150A - 加工装置及び加工装置の取扱説明書

Info

Publication number: JP2014024150A
Application number: JP2012165770A
Authority: JP
Inventors: Kohei Matsumoto; 航平松本
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-07-26
Filing date: 2012-07-26
Publication date: 2014-02-06
Also published as: CN103567814A

Abstract

【課題】作業者の加工装置の取扱いの習熟度によらず、加工装置への操作指令の入力を容易に可能とするための技術を提供する。
【解決手段】被加工物に加工を施す加工装置であって、被加工物を保持する保持手段と、保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段を操作する操作指令を入力する入力手段と、入力手段で操作指令を入力する複数の入力画面をそれぞれ表示する表示手段と、識別コードを読取って識別コードに対応した入力画面を表示手段に表示させる読取手段と、を備えた加工装置が提供される。
【選択図】図３

Description

本発明は、操作指令を入力する入力手段を備えた加工装置に関し、より詳しくは、加工装置への操作指令の入力を容易に可能とするための技術に関する。

従来、例えば、半導体製造工程や電子部品製造工程で用いられる加工装置として、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の各種の加工装置が知られている。

そして、加工装置で被加工物に加工を施すためには、加工装置に加工条件を入力することに加え、加工装置側の各種設定を行う必要がある。このような各種設定は、タッチパネル式の表示モニタで行われる構成が知られており、この表示モニタに関連する技術について開示する文献も存在する（例えば、特許文献１参照。）。

特開２０１２−０００７０１号公報

特に半導体製造工程や電子部品製造工程で使用される切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、バイト切削装置、洗浄装置、テープマウント装置、分割装置等々、各種の加工装置では、加工を開始する前に加工工具の取り付けや原点出し等、多くの作業が必要とされるものであり、この作業を実施するための各種設定作業も必要となる。

ここで、ある特定の設定作業を特許文献１に開示されるような表示モニタで実行する場合には、作業者は、当該特定の設定作業を行うための入力画面を表示させた上で、操作指令を入力する必要がある。

しかしながら、作業者の習熟度が低い場合などでは、表示モニタにおいて入力画面に辿り着くことが困難となり、操作指令の入力がままならないという状況が生じる恐れがある。例えば、トップメニュー画面の状態から、複数回のボタン操作によって複数回画面を切り替えるなどして、ようやく所望の入力画面に辿り着くような構成では、操作指令を開始するまでに時間を要してしまい、また、一度ボタン操作を誤ってしまうと最初からやり直さなければならないことにもなる。

近年では、加工装置の機能の拡充とともに作業の種類や手順も増加、複雑化してきており、操作指令入力画面も多岐に渡って存在しているため、特に、加工装置の取扱いの習熟度が低い作業者では、都度適切な入力画面に辿り着くまでに非常に時間を要するといった課題があった。

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者の加工装置の取扱いの習熟度によらず、加工装置への操作指令の入力を容易に可能とするための技術を提供することである。

請求項１に記載の発明によると、被加工物に加工を施す加工装置であって、被加工物を保持する保持手段と、保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段を操作する操作指令を入力する入力手段と、入力手段で操作指令を入力する複数の入力画面をそれぞれ表示する表示手段と、識別コードを読取って識別コードに対応した入力画面を表示手段に表示させる読取手段と、を備えた加工装置が提供される。

また、請求項２に記載の発明によると、請求項１に記載の加工装置の取扱説明書であって、複数の作業項目を記載した目次を有し、目次には、前記読取手段で読取られることで作業項目に対応し前記入力手段で操作指令を入力する入力画面を前記表示手段に表示させる識別コードが表示される、加工装置の取扱説明書が提供される。

本発明の加工装置では、識別コードコードを読取って識別コードに対応した入力画面を表示手段に表示させる読取手段を備える構成とするため、加工装置の取扱いの習熟度が低い作業者であっても、識別コードを読取手段で読取ることによって、瞬時に適切な入力画面に辿り着くことができ、必要な操作指令の入力のための時間を短縮することが可能となる。また、この時間短縮によって作業者の負担が軽減され、必要な操作指令の入力に関する労力を低減することができる。

本発明の実施に適した加工装置（切削装置）の斜視図である。制御装置の構成について示すブロック図である。（Ａ）は読取装置による取扱説明書の識別コードの読取りについて説明する図である。（Ｂ）は読取装置の構成例について示す斜視図である。取扱説明書の例について示す図である。制御装置で実行する機能について説明する機能ブロック図である。入力画面データベースの概念について説明する機能ブロック図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。加工装置の一例として、半導体ウェーハの切削装置２の外観斜視図が図１に示されている。切削装置２は、切削ブレードを有する切削ユニット１０等の加工手段がハウジング８内に収容された加工装置本体４と、加工装置本体４のハウジング８に装着された表示モニタ６などを有して構成される。

切削ユニット１０に隣接してチャックテーブル１２がＸ軸方向に移動可能に配設されている。１４は内部にウェーハ２２を複数収容可能なカセット２４を載置するカセット載置台（エレベータ）であり、上下方向に移動可能に構成されている。なお、加工時にウェーハ２２を保持する保持手段としては、チャックテーブル１２のようにテーブルで構成する他、エッジクランプ（端を挟持する形態）による保持手段が使用されることも考えられる。

５０は取扱説明書５２（マニュアル）に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４を読取るための読取装置である。作業者は、この読取装置５０で取扱説明書５２の識別コード５４を読取ることで、詳しくは後述するように、必要な設定作業に応じた入力画面を瞬時に表示させることができる。

図２の概略図に示されるように、切削装置２には、切削装置２を自動制御するための制御装置３０が設けられている。制御装置３０はマイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ（中央処理装置）３１と、制御プログラムや各種データベース等を格納するＲＯＭ（リードオンリーメモリ）３２と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３３と、入出力インターフェース３４とを備えて構成される。

ＲＯＭ３２には、切削ユニット１０などを自動制御するための制御プログラムや、制御プログラムによって読み出されることが想定される各種データベースが記憶される。

ＲＡＭ３３は、制御プログラムや各種データの読み込みや、オペレータにより入力される加工条件の一時的な記憶などを行う。

入出力インターフェース３４には、加工条件や装置を操作する操作指令を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能する表示モニタ６（図１参照）が接続されている。なお、二つの表示モニタを備えるなどによって、入力手段と表示手段をそれぞれ個別に設ける構成としてもよい。

入出力インターフェース３４には、取扱説明書５２に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４（図４参照）を読取るための読取装置５０が接続されている。

入出力インターフェース３４には、切削ユニット１０を回転させるモータや、チャックテーブル１２を移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に則って駆動されるようになっている。

図３（Ａ）（Ｂ）、及び図４に示すように、読取装置５０は、取扱説明書５２に記録された識別コード５４を読取るべく構成されている。本実施形態では、読取装置５０は、切削装置２の壁面に着脱自在に設けられるとともに、切削装置２側と接続コード５１を介して接続されることで、作業者が手で掴んで自由に動かすことが可能なハンディタイプにて構成されている。読取装置５０には、識別コード５４を認識するための読取部５０ａが形成されており、当該読取部５０ａを識別コード５４にかざすことによって、非接触により識別コード５４が認識されるように構成されている。

以上の形態によれば、必要なときだけ切削装置２から読取装置５０を取り外して識別コード５４の認識を行うことができ、読取装置５０の設置箇所に困ることがない。また、非接触による認識可能な構成とすることによれば、取扱説明書５２をかざすだけで容易に識別コード５４を認識させることができ、作業性に優れた構成が実現できる。なお、読取装置５０の具体的な構成については特に限定されるものではなく、ハンディタイプの他にも固定型とすることなども考えられる。

図４に示すように、本実施形態では、メーカーから提供される取扱説明書５２に識別コード５４が表示されることとしている。この取扱説明書５２では、目次７０の頁において、作業項目５６ａ〜５６ｃがページ番号とともに表示されており、各作業項目５６ａ〜５６ｃに関連付けられた識別コード５４ａ〜５４ｃが各作業項目５６ａ〜５６ｃの隣に表示されている。

識別コード５４ａ〜５４ｃには、この作業項目５６ａ〜５６ｃに対応する入力画面を特定するためのデータが含まれ、詳しくは後述するように、識別コードの読取によって表示モニタには作業項目（識別コード）に対応する入力画面が表示される。

また、本実施形態では、取扱説明書５２の作業項目５６ａを説明する頁において、当該作業項目５６ａを設定する際に表示される入力画面５７Ａが表示されるとともに、説明文５８Ａが付記されおり、取扱説明書５２を見るだけで入力画面５７Ａと説明文５８Ａを確認できることとしている。

なお、識別コード５４は、例えば、本実施形態のようにバーコード（二次元バーコードでもよい）の形態で取扱説明書５２の表面に表示されて視認可能とするほか、磁気によって取扱説明書５２内に視認不能に格納されるものであってもよい。また、識別コード５４は取扱説明書５２に直接記憶されることとするほか、シールなどによって取扱説明書５２に貼付されるものであってもよい。

また、上述した読取装置５０と取扱説明書５２の実施形態とするほかにも、作業者によって識別コード５４（例えば番号、記号などの文字列）を読取装置５０に入力する形態なども考えられる。つまり、読取装置５０においては、識別コード５４に格納される情報が認識できるものであればよく、その認識させる形態についても特に限定されるものではない。

また、作業項目５６ａ〜５６ｃとしては、例えば、カット余裕幅の設定作業、ブレード交換作業、デバイスデータ選定作業、などが考えられる。

図５は、本発明において特徴的な機能について説明する機能ブロック図である。この図５では、読取装置５０と、制御装置３０と、表示モニタ６が示されている。

そして、この図５に示すように、制御装置３０においては、図２に示すＣＰＵ３１、ＲＯＭ３２、ＲＡＭ３４により、入力画面データベース３６と、識別コード判定部３７と、入力画面読出部３８として機能する各種機能部が構成される。

入力画面データベース３６には、図６に示すように、複数の入力画面が格納されている。また、図６では画面の階層の概念を説明するために樹形図の態様で表現しており、トップメニュー画面５７ａ（入力画面）での操作指令に応じて表示される入力画面５７ｂ〜５７ｅが、トップメニュー画面５７ａの配下に関連付けられることを表現している。また、実際の表示モニタ６が操作される場合には、トップメニュー画面５７ａから操作を進めることによって、その配下にある入力画面へと移動できることを表現している。

また、入力画面データベース３６に格納される各入力画面には、取扱説明書５２に表示される各識別コード５４と一対一で対応するキー（Ｋｅｙ）が情報として格納されており、入力画面データベース３６には、識別コード５４と、キーと、入力画面をリスト化したデータテーブルが格納されている。

識別コード判定部３７は、読取装置５０にて読取られた識別コード５４を元に、当該識別コード５４と一対一で対応するキーを入力画面データベース３６内のデータテーブルから検索し、さらに、当該キーに対応する入力画面を選択する。

入力画面読出部３８は、識別コード判定部３７によって選択された入力画面を入力画面データベース３６から読み出すとともに、表示モニタ６へと表示する。

以上の構成により、例えば、図４に示す取扱説明書５２において、作業項目５６ａについての設定が必要な状況で識別コード５４ａが読取られると、図５において識別コード判定部３７は、当該識別コード５４ａに対応するキーを入力画面データベース３６内のデータテーブルから検索し、さらに、当該キーに対応する入力画面５７Ａを選択する。

そして、入力画面読出部３８は、識別コード判定部３７によって選択された入力画面５７Ａを入力画面データベース３６から読み出すとともに、表示モニタ６へと表示する。

これにより、図６の樹形図に表現されるように、通常の操作ではトップメニュー画面５７ａから始まって、画面操作を繰り返すことによってようやく入力画面５７Ａに辿り着くところを、識別コード５４の読取りによって瞬時に入力画面５７Ａを表示させることが可能となる。

具体的な例として、例えば、カット余裕幅を設定する場合に、通常の操作では、トップメニュー画面（第一階層）⇒オペレータメンテナンス画面（第二階層）⇒機能データメンテナンス画面（第三階層）⇒動作データメンテナンス画面（第四階層）といったように、第四階層に至るまで操作が必要となり、都度、ボタンの選定作業が要求されるなど、煩雑でストレスを感じさせてしまうことが懸念されるものとなる。

これに対し、本実施形態によれば、読取装置５０によって識別コード５４を読取るだけで瞬時に第四階層に至る（ジャンプする）ことが可能となるため、作業者の作業負担を大幅に軽減することができる。加えて、習熟度の低い作業者に対する教育の手間を省くことができるといった副次的な効果も期待できる。

以上のようにして、本発明を実施することができる。即ち、被加工物としてのウェーハ２２に加工を施す切削装置（加工装置）２であって、ウェーハ２２被加工物を保持するチャックテーブル（保持手段）１２と、チャックテーブル１２で保持されたウェーハ２２に加工を施す切削ユニット（加工手段）１０と、切削ユニット１０を操作する操作指令を入力する表示モニタ（入力手段）６と、表示モニタ６で操作指令を入力する複数の入力画面をそれぞれ表示する表示モニタ（表示手段）６と、識別コード５４を読取って識別コード５４に対応した入力画面を表示モニタ６に表示させる読取装置（読取手段）と、を備えた切削装置２とする。

これにより、加工装置の取扱いの習熟度が低い作業者であっても、識別コードを読取装置で読取ることによって、瞬時に適切な入力画面に辿り着くことができ、必要な操作指令の入力のための時間を短縮することが可能となる。また、この時間短縮によって作業者の負担が軽減され、必要な操作指令の入力に関する労力を低減することができる。

また、図４に示すように、本実施形態では、複数の作業項目５６ａ〜５６ｃを記載した目次７０を有し、目次７０には、読取装置５０で読取られることで作業項目５６ａ〜５６ｃに対応し表示モニタ６で操作指令を入力する入力画面を表示モニタ６に表示させる識別コード５４ａ〜５４ｃが表示される、加工装置の取扱説明書が構成される。

この構成によれば、目次７０に一覧で表示される作業項目５６ａ〜５６ｃの中から所望の作業項目を容易に選ぶことができ、さらに、選んだ作業項目に対応する識別コード５４を容易に取得することができるため、識別コード５４を探す手間を省くことが可能となり、作業者にとって扱いやすい構成を実現できる。

また、運用の一形態として、例えば、作業者側で作業順に識別コード５４（バーコード）を特定の順番に並べて保有しておくことで、設定もれや、作業順の再確認作業などの作業効率悪化といったことを防止することが可能となる。

なお、以上の実施形態では、加工装置として切削装置２を用いて説明したが、このほか、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、洗浄装置、など、各種の加工装置において本発明を実施することは可能である。

２切削装置
６表示モニタ
８ハウジング
３０制御装置
３４入出力インターフェース
３６入力画面データベース
３７識別コード判定部
３８入力画面読出部
５０読取装置
５０ａ読取部
５１接続コード
５２取扱説明書
５４識別コード
５４ａ識別コード
５６ａ作業項目
５７Ａ入力画面
５７ａトップメニュー画面
５８説明文
７０目次

Claims

被加工物に加工を施す加工装置であって、
該被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、
該加工手段を操作する操作指令を入力する入力手段と、
該入力手段で操作指令を入力する複数の入力画面をそれぞれ表示する表示手段と、
識別コードを読取って該識別コードに対応した入力画面を該表示手段に表示させる読取手段と、
を備えた加工装置。
請求項１に記載の加工装置の取扱説明書であって、
複数の作業項目を記載した目次を有し、
該目次には、前記読取手段で読取られることで作業項目に対応し前記入力手段で操作指令を入力する入力画面を前記表示手段に表示させる識別コードが表示される、
加工装置の取扱説明書。