JP6580890B2 - 制御装置、制御システム、制御方法及び制御プログラム - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、制御装置、制御システム、制御方法及び制御プログラムに関する。

オペレータにより入力されたデータに基づいて、所定の作業を実行する製造装置がある。この様な製造装置においては、製造工程や製造条件等が変わった際に、製造装置の動作を変更するためにデータの再入力が必要となる。そのため、オペレータの負担は多大なものとなる。この場合、既存の製造装置の制御部に記憶されているソフトウェアを改変して製造工程や製造条件などの変更に対応することもできる。

しかしながら、既存の製造装置に記憶されているソフトウェアを改変するためには、製造装置の構造図や回路図、ソフトウェアのソースコードなどの情報が必要となる。また、製造ラインには、色々な種類の製造装置が導入されている。そのため、既存の製造装置に記憶されているソフトウェアを改変することは困難である。そこで、既存の製造装置に記憶されているソフトウェアを改変することなく、製造装置の動作を変更することができる技術の開発が望まれていた。

特開２００４−１１０４８９号公報

本発明の実施形態は、製造装置の製造効率を向上することができる制御装置、制御システム、制御方法及び制御プログラムを提供する。

本発明の実施形態によれば、通信部と、処理部と、を備えた制御装置が提供される。前記通信部は、電源部と、前記電源部を制御する制御部と、前記制御部と前記電源部とを電気的にＯＮ状態またはＯＦＦ状態にする第１のスイッチング機構とを有する製造装置の前記第１のスイッチング機構から送られた第１電気信号を受信するように構成される。前記処理部は、前記第１電気信号に対応する第２電気信号を出力するように構成される。前記通信部は、第２のスイッチング機構を有し、前記第２のスイッチング機構が、前記制御部と前記電源部との間において、前記第１のスイッチング機構と電気的に並列に接続するように構成され、前記第２電気信号によって前記第２のスイッチング機構が操作され、前記制御部は前記第２のスイッチング機構の操作を検出することで前記第１のスイッチング機構の操作に応じた制御を実行する。
また、本発明の他の実施形態によれば、入力操作する入力部と、前記入力部と第１の電気的な接続状態にあって、所定の制御を行う制御部とを有する製造装置の前記入力部から送られた第１電気信号を受信するように構成された通信部と、前記入力部と前記制御部との間において、前記第１の電気的な接続状態とは、電気的に並列に接続するように構成され、前記第１電気信号に対応する第２電気信号によって、前記制御部に前記入力部の入力操作に応じた制御を実行させる処理部と、を備えた制御装置が提供される。

本実施形態に係る制御システムを示す模式図である。 本実施形態に係る制御システムを示す模式図である。 本実施形態に係る制御装置の制御方法を示す図である。 本実施形態に係る制御装置の別の制御方法を示す図である。 本実施形態に係る制御方法の手順を示すフローチャートである。

以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

（本実施形態）
図１は、本実施形態に係る制御システムを示す模式図である。
図２は、本実施形態に係る制御システムを示す模式図である。
図１は、制御システム１のブロック図を示している。図２は、制御システム１の外観図を示している。
図１及び図２に表すように、制御システム１は、製造装置１０と、制御装置２０と、を備えている。製造装置１０及び制御装置２０は、有線又は無線によって電気的に接続している。
以下、製造装置１０について説明する。

製造装置１０には、制御部１１と、電源部１２と、入力部１３と、駆動部１４と、記憶部１５と、表示部１６と、が設けられている。製造装置１０は、例えば、工作機械等の加工装置やエッチング装置等の処理装置である。

制御部１１は、電源部１２、入力部１３、駆動部１４、記憶部１５及び表示部１６を制御する。例えば、制御部１１は、電源部１２が駆動部１４に電力を供給するように電源部１２を制御する。制御部１１は、表示部１６が記憶部１５内のデータを表示するように表示部１６を制御する。制御部１１は、オペレータの入力操作によってワークを加工するように駆動部１４を制御する。
電源部１２は、例えば、直流電源を用いた電源装置である。

入力部１３は、オペレータによって操作される入力機器である。例えば、入力部１３は、スイッチ１３ａ、タッチパネル１３ｂ、マウス１３ｃ、キーボード１３ｄ等を有する。入力部１３は、ボタンを有しても良い。例えば、入力部１３の入力操作によって、所定のコマンドが入力される。これにより、駆動部１４が駆動して製造ライン上でワークが加工される。

また、入力部１３と、他の機器との電気的接続には、種々の電気信号が用いられる。例えば、入力部１３がスイッチ１３ａである場合、電気信号は電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号である。例えば、入力部１３がタッチパネル１３ｂである場合、電気信号はシリアル通信信号である。例えば、入力部１３がマウス１３ｃである場合、電気信号はＵＳＢ（Universal Serial Bus）マウス制御信号である。例えば、入力部１３がキーボード１３ｄである場合、電気信号はＵＳＢキーボード制御信号である。例えば、このような電気信号は、入力部１３から制御装置２０の通信部２３（第１通信部２４）に第１電気信号として送られる。

駆動部１４は、例えば、制御モータを備えた駆動装置である。
記憶部１５は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＲＯＭ（Read Only Memory）等を含む。記憶部１５は、例えば、駆動部１４によって実行されるプログラム等を記憶する。

表示部１６は、例えば、ディスプレイ等の表示機器である。表示部１６は、例えば、製造装置１０の状態（製造装置１０内の圧力や温度）を表す表示灯１６ａやパトライト（登録商標）１６ｂを有しても良い。表示部１６は、入力部１３と一体的に設けられても良い。表示部１６と、他の機器との接続には、種々の電気信号が用いられる。例えば、表示部１６が表示灯１６ａやパトライト（登録商標）１６ｂである場合、電気信号は電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号である。このような電気信号は、制御装置２０の通信部２３（第１通信部２４）に第１電気信号として送ることもできる。
以下、制御装置２０について説明する。

制御装置２０には、処理部２１と、通信部２３と、が設けられている。処理部２１は、データ格納部２２を有している。通信部２３は、第１通信部２４と、第２通信部２５と、第３通信部２６と、を有している。制御装置２０は、例えば、製造装置１０の外部に設置された外部コントローラである。
例えば、制御装置２０は、製造装置１０から第１電気信号を受信し、第２電気信号を出力することで製造装置１０を制御する。また、制御装置２０は、製造装置１０から第１電気信号を受信し、第２電気信号を送信することで製造装置１０を制御する。

処理部２１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）である。処理部２１は、通信部２３の第１通信部２４に受信した第１電気信号に応じて、データ格納部２２に格納されたデータに基づいた第２電気信号を出力する。

第２電気信号は、例えば、製造プログラムに関するデータに基づいた電気信号である。製造プログラムに関するデータとは、製造装置１０が加工装置である場合、ワークの種類に応じた加工位置、加工順序や工具等の構成を設定するデータである。また、製造プログラムに関するデータは、ワークの加工条件であるレシピデータの設定値、生産枚数の設定値、各種履歴をクリアするデータである。また、製造プログラムに関するデータは、加工時の温度値や圧力値を設定するデータを含んでも良い。

第２電気信号は、第１電気信号に対応関係にあり、種々の第１電気信号に対応する第２電気信号が出力又は送信される。例えば、第２電気信号は、処理部２１によって出力される。また、第２電気信号は、通信部２３の第２通信部２５を介して製造装置１０の制御部１１に送られる。その後、制御部１１は、第２電気信号に基づいた制御を実行する。例えば、制御部１１は、製造プログラムに基づいて駆動部１４を制御し、ワークが加工される。

処理部２１は、通信部２３の第３通信部２６に受信した第３電気信号に応じて、データ格納部２２に格納されたデータに基づいた第２電気信号を出力しても良い。この場合、第３電気信号は、例えば、製造装置１０及び制御装置２０と異なる外部装置の入力機器によって送られる電気信号である。また、第３電気信号は、製造装置１０の動作指示に関するデータに基づいた電気信号でも良い。

第３電気信号は、第２電気信号に対応関係にあり、種々の第３電気信号に対応する第２電気信号が出力又は送信される。例えば、第２電気信号は、処理部２１によって出力される。また、第２電気信号は、通信部２３の第２通信部２５を介して製造装置１０の制御部１１に送られる。その後、製造装置１０の制御部１１が第２電気信号に基づいた制御を実行する。

データ格納部２２は、例えば、ＲＡＭ及びＲＯＭ等を含む。データ格納部２２は、例えば、処理部２１によって実行されるプログラム等を記憶する。データ格納部２２は、入力部１３からの第１電気信号と、製造プログラムに関するデータに基づいた第２電気信号と、の組み合わせを格納している。例えば、第１電気信号と第２電気信号は、テーブルによって対応付けされている。これにより、第１電気信号に対応した第２電気信号が出力又は送信される。

また、データ格納部２２は、外部装置からの第３電気信号と、製造プログラムに関するデータに基づいた第２電気信号と、の組み合わせを格納しても良い。例えば、第２電気信号と第３電気信号とは、テーブルによって対応付けされている。これにより、第３電気信号に対応した第２電気信号が出力又は送信される。

第１通信部２４は、製造装置１０の入力部１３に対するデータ等を送信及び受信する。例えば、第１通信部２４は、入力部１３から送られた第１電気信号を受信する。第１通信部２４は、電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号を入出力する機能、シリアル通信信号を検出する機能、及び、ＵＳＢ機器を接続する機能を有する。つまり、第１通信部２４は、上述したプロトコルに関する信号を受信する機能を有するので、第１通信部２４は、第１電気信号を受信することができる。

第２通信部２５は、製造装置１０の制御部１１に対するデータ等を送信及び受信する。例えば、第２通信部２５は、制御部１１に第２電気信号を送信する。第２通信部２５は、電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号を入出力する機能、シリアル通信信号を検出する機能、及び、ＵＳＢ機器を接続する機能を有する。つまり、第２通信部２５は、上述したプロトコルに関する信号を送信する機能を有するので、第２通信部２５は、第２電気信号を送信することができる。

第３通信部２６は、製造装置１０及び制御装置２０と異なる外部装置に対するデータ等を送信及び受信する。例えば、第３通信部２６は、外部装置から送られた第３電気信号を受信する。

通信部２３は、第１通信部２４と、第２通信部２５と、第３通信部２６と、を有するが、通信部２３が第１電気信号、第２電気信号及び第３電気信号を送信又は受信するように構成されても良い。また、外部装置から第３電気信号を受信しない場合、通信部２３に第３通信部２６を設けなくても良い。この場合、通信部２３と、製造装置１０の入力部１３及び制御部１１と、の間で、第１電気信号及び第２電気信号を伝送しても良い。
以下、制御装置２０が製造装置１０を制御する方法を説明する。

図３は、本実施形態に係る制御装置の制御方法を示す図である。
図３は、製造装置１０及び制御装置２０の構成要素の配置図を示している。また、入力部１３にスイッチ１３ａを用いた場合、制御装置２０が製造装置１０を制御する配置図が示されている。
最初に、製造装置１０の制御部１１の制御について説明する。

図３に表すように、製造装置１０には、制御部１１と、電源部１２と、の間にスイッチ１３ａが設けられている。位置点ａは、電源部１２のプラス側に接続されている。位置点ｂは、電源部１２のマイナス側に接続されている。

製造装置１０の制御部１１による制御では、スイッチ１３ａを押した場合、スイッチ１３ａの接点が閉じて位置点ａから位置点ｂに電流が流れる。そして、制御部１１内に設けられた電流検出部１７が制御部１１に流れる電流を検出して、制御部１１はスイッチ１３ａが押されたことを検出する。その後、制御部１１は、スイッチ１３ａの入力操作に基づいた制御を実行する。
続いて、制御装置２０による製造装置１０の制御について説明する。

第１通信部２４は、制御部１１とスイッチ１３ａとの間に設けられた配線パターンＰ１に電気信号ケーブルＣ１を介して接続されている。第１通信部２４は、スイッチ１３ａと電源部１２との間に設けられた配線パターンＰ２に電気信号ケーブルＣ２を介して接続されている。第１通信部２４内には電気信号ケーブルＣ１、Ｃ２に接続されたスイッチ２４ａが設けられている。スイッチ２４ａの構成は、スイッチ１３ａの構成と同じでも良い。

これにより、制御装置２０による製造装置１０の制御では、第１通信部２４がスイッチ１３ａから送られた第１電気信号を受信すると、処理部２１は、第１電気信号に応じて第２電気信号を出力する。この場合、第１電気信号は電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号である。第２電気信号は、スイッチ２４ａを押すことに関するデータに基づいた電気信号である。即ち、第２電気信号が第１通信部２４に送られてスイッチ２４ａが押される。

第２電気信号によって、第１通信部２４のスイッチ２４ａが押されてスイッチ２４ａの接点が閉じて位置点ａから位置点ｂに電流が流れる。そして、制御部１１内に設けられた電流検出部１７が制御部１１に流れる電流を検出する。その後、制御部１１は、スイッチ１３ａの入力操作に基づいた制御を実行する。即ち、制御部１１は、スイッチ２４ａによって流れる電流を検出することでスイッチ１３ａが押されたことを擬似的に検出し、スイッチ１３ａの入力操作に基づいた制御を実行する。

図４は、本実施形態に係る制御装置の別の制御方法を示す図である。
図４は、製造装置１０及び制御装置２０の構成要素の配置図を示している。また、入力部１３にタッチパネル１３ｂを用いた場合、制御装置２０が製造装置１０を制御する配置図が示されている。
最初に、製造装置１０の制御部１１の制御について説明する。

図４に表すように、製造装置１０には、制御部１１と、タッチパネル１３ｂと、が設けられている。電気信号ケーブルＣ３が制御部１１及びタッチパネル１３ｂを接続している。

製造装置１０の制御部１１による制御では、タッチパネル１３ｂをタッチ操作した場合、電気信号ケーブルＣ３を介してシリアル通信信号が制御部１１に送信される。その後、制御部１１は、タッチパネル１３ｂの入力操作に基づいた制御を実行する。

続いて、制御装置２０による製造装置１０の制御について説明する。
電気信号ケーブルＣ４がタッチパネル１３ｂ及び第１通信部２４を接続している。電気信号ケーブルＣ５が制御部１１及び第２通信部２５を接続している。

これにより、制御装置２０による製造装置１０の制御では、第１通信部２４がタッチパネル１３ｂから送られた第１電気信号を受信すると、処理部２１は、第１電気信号に応じて第２電気信号を第２通信部２５を介して送信する。この場合、第１電気信号はシリアル通信信号である。第２電気信号は、タッチパネル１３ｂにタッチ操作して入力されたシリアル通信データに基づいた電気信号である。第２電気信号は、タッチパネル１３ｂに押された座標データに基づいた電気信号でも良い。

その後、第２電気信号が第２通信部２５から制御部１１に送られ、制御部１１は、タッチパネル１３ｂの入力操作に基づいた制御を実行する。第２電気信号によってシリアル通信データが送られた場合、制御部１１は、シリアル通信データに基づいて制御を実行する。第２電気信号によって座標データが送られた場合、タッチパネル内の座標に表されたデータに基づいて制御を実行する。

タッチパネル１３ｂに替えてマウス１３ｃやキーボード１３ｄを入力部１３に用いても、同様の処理を行うことで制御装置２０は製造装置１０を制御することができる。なお、マウス１３ｃやキーボード１３ｄを入力部１３に用いた場合、第１電気信号は、ＵＳＢマウス制御信号やＵＳＢキーボード制御信号である。例えば、キーボード１３ｄを用いた場合、第２電気信号は、キーボード１３ｄによって入力された文字列のデータに基づいた電気信号である。

ここで、各種製品の製造ラインにおいて、オペレータが入力機器を直接操作することで加工装置等の製造装置が動作している。オペレータの入力操作は、同じ手順を繰り返し行う操作が多く、このような操作は形式化できる場合がある。このようなオペレータの入力操作を軽減させるために、既存の製造装置の制御部に記憶されているソフトウェアを改変する技術がある。しかしながら、既存の製造装置に記憶されているソフトウェアを改変するためには、製造装置の構造図や回路図、ソフトウェアのソースコードなどの情報が必要となる。

本実施形態の制御装置２０には、製造装置１０の入力部１３に電気的に接続され入力操作に関する第１電気信号を受信する通信部２３と、第１電気信号に基づいて製造装置１０の制御に関する第２電気信号を出力する処理部２１と、が設けられている。よって、製造装置１０の制御部１１を改変することなく製造装置１０の外部から製造装置１０を制御できる。これにより、オペレータの入力操作が自動化されオペレータの入力操作を軽減させることができる。オペレータの入力操作が軽減されるので製造ラインの製造効率が向上する。

本発明の実施形態によれば、製造装置の製造効率を向上することができる制御装置及び制御システムが提供される。

図５は、本実施形態に係る制御方法の手順を示すフローチャートである。ここでは、図２に示す制御システムの構成を参照して説明する。
図５は、制御装置２０によって製造装置１０が制御されるフローチャートを示している。図５に示す例では、製造装置１０は加工装置である。ワークが加工装置によって加工される場合、制御装置２０によって加工装置が制御される手順が示されている。
最初に、オペレータによって製造装置１０がワークを加工する手順の一例を以下に説明する。

はじめに、オペレータは、目視又は通信機器等によって製造装置１０が運転中でなく、使用可能であることを確認する。製造装置１０が使用可能である場合、製造装置１０の駆動部１４、例えば、ワーク投入部にワークをセットする。

次に、タッチパネル１３ｂを操作してワークの加工条件であるレシピデータの設定、生産枚数の設定、各種履歴のクリア等を行う。

次に、タッチパネル１３ｂの操作後、スイッチ１３ａを押すと製造装置１０の運転が開始する。なお、この例におけるスイッチ１３ａは、製造装置１０の運転を開始するスイッチである。

続いて、図５を参照して、制御装置２０を使用した場合の製造装置１０を制御する手順を以下に説明する。
はじめに、製造装置１０の使用状態を判断する（ステップＳ１１０）。製造装置１０の運転状態の判断について、制御装置２０の第１通信部２４が、表示部１６の電気信号（例えば、パトライト（登録商標）による電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号）、又は、ワーク投入部に設けられたワーク検出器の電気信号を受信する機能を有するように制御装置２０を構成し、受信した電気信号に基づいて処理部２１が製造装置１０が使用可能であるかどうかを判断する。

次に、製造装置１０が使用可能であれば、オペレータにワークを搬送する指示を送る（ステップＳ１２０）。ワークを自動で搬送する機器が製造装置１０に設けられている場合、搬送機器にワークを搬送する指示を送る。ワーク搬送の指示を受けて、オペレータ又は搬送機器がワークを製造装置１０まで搬送し、ワーク投入部にセットする。制御装置２０はワークの搬送作業が終わるまで動作はしない。例えば、制御装置２０は、製造装置１０の状態を監視する、若しくは、外部から動作指示を受けて動作することができる。

次に、ワークの加工条件であるレシピデータの設定、生産枚数の設定、各種履歴のクリア等を行うために、これらの操作に対応する電気信号の組み合わせをデータ格納部２２から読み出す（ステップＳ１３０）。例えば、処理部２１は、タッチパネル１３ｂからのシリアル通信信号に応じて、製造プログラムに関するデータに基づいた電気信号を読み出す。つまり、処理部２１は、第１電気信号に応じて第２電気信号を出力する。

次に、第２通信部２５から制御部１１に電気信号の組み合わせを送信して、制御部１１にレシピデータの設定や生産枚数の設定、各種履歴のクリアを実行させる（ステップＳ１４０）。例えば、第２電気信号が第２通信部２５から制御部１１に送られ、制御部１１は、タッチパネル１３ｂの入力操作に基づいた制御を実行する。

次に、スイッチ１３ａに対応する電気信号の組み合わせをデータ格納部２２から読み出す（ステップＳ１５０）。例えば、処理部２１は、スイッチ１３ａからの電圧のＯＮ／ＯＦＦ信号に応じて、製造プログラムに関するデータに基づいた電気信号を読み出す。つまり、処理部２１は、第１電気信号に応じて第２電気信号を出力する。

次に、処理部２１によって電気信号の組み合わせを出力する（ステップＳ１６０）。例えば、第２電気信号によって第１通信部２４のスイッチ２４ａが押され、制御部１１内に設けられた電流検出部１７が制御部１１に流れる電流を検出して、制御部１１はスイッチ１３ａが押されたことを擬似的に検出する。その後、制御部１１は、スイッチ１３ａの入力操作に基づいた制御を実行し、製造装置１０の運転が開始する。

本実施形態によれば、製造装置の製造効率を向上することができる制御方法を提供する。

前述した実施形態の機能を実現するように前述した実施形態の構成を動作させるプログラム（例えば、図５の処理を実行するプログラム）を記憶媒体に記憶させ、記憶媒体に記憶されたプログラムをコードとして読み出し、コンピュータにおいて実行する処理方法も上述の実施形態の範疇に含まれる。前述のコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体は、そのコンピュータプログラム自体も上述の実施形態に含まれる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１…制御システム、 １０…製造装置、 １１…制御部、 １２…電源部、 １３…入力部、 １３ａ、２４ａ…スイッチ、 １３ｂ…タッチパネル、 １３ｃ…マウス、 １３ｄ…キーボード、 １４…駆動部、 １５…記憶部、 １６…表示部、 １６ａ…表示灯、 １６ｂ…パトライト（登録商標）、 １７…電流検出部、 ２０…制御装置、 ２１…処理部、 ２２…データ格納部、 ２３…通信部、 ２４…第１通信部、 ２５…第２通信部、 ２６…第３通信部、 ａ、ｂ…位置点、 Ｃ１〜Ｃ５…電気信号ケーブル、 Ｐ１、Ｐ２…配線パターン

Claims (13)

1. 電源部と、前記電源部を制御する制御部と、前記制御部と前記電源部とを電気的にＯＮ状態またはＯＦＦ状態にする第１のスイッチング機構とを有する製造装置の前記第１のスイッチング機構から送られた第１電気信号を受信するように構成された通信部と、
   前記第１電気信号に対応する第２電気信号を出力するように構成された処理部と、
   を備え、
   前記通信部は、第２のスイッチング機構を有し、前記第２のスイッチング機構が、前記制御部と前記電源部との間において、前記第１のスイッチング機構と電気的に並列に接続するように構成され、前記第２電気信号によって前記第２のスイッチング機構が操作され、前記制御部は前記第２のスイッチング機構の操作を検出することで前記第１のスイッチング機構の操作に応じた制御を実行する制御装置。
2. 入力操作する入力部と、前記入力部と第１の電気的な接続状態にあって、所定の制御を行う制御部とを有する製造装置の前記入力部から送られた第１電気信号を受信するように構成された通信部と、
   前記入力部と前記制御部との間において、前記第１の電気的な接続状態とは、電気的に並列に接続するように構成され、前記第１電気信号に対応する第２電気信号によって、前記制御部に前記入力部の入力操作に応じた制御を実行させる処理部と、
   を備えた制御装置。
3. 前記第１電気信号と前記第２電気信号との組み合わせを格納するデータ格納部をさらに備えた請求項１又は２記載の制御装置。
4. 前記処理部は、前記通信部に前記第２電気信号を送信する請求項１〜３のいずれか１つに記載の制御装置。
5. 前記通信部は、前記製造装置に前記第２電気信号を送信する請求項４記載の制御装置。
6. 前記製造装置に設置可能である請求項１〜５のいずれか１つに記載の制御装置。
7. 請求項１記載の制御装置と、
   前記電源部と、前記制御部と、前記第１のスイッチング機構とを有する前記製造装置と、
   を備えた制御システム。
8. 請求項２記載の制御装置と、
   前記入力部と、前記制御部とを有する前記製造装置と、
   を備えた制御システム。
9. 前記通信部は、前記入力部から前記第１電気信号を受信する第１通信部と、前記制御部に前記第２電気信号を送信する第２通信部と、前記制御装置及び前記製造装置とは異なる装置から第３電気信号を受信する第３通信部と、を有する請求項８記載の制御システム。
10. 前記制御装置は、前記製造装置に設置可能である請求項７〜９のいずれか１つに記載の制御システム。
11. 請求項１又は２記載の制御装置に前記第１電気信号を受信させる工程と、
    前記処理部が前記第１電気信号に対応する前記第２電気信号を出力する工程と、
    を備えた制御方法。
12. 前記通信部が前記製造装置に前記第２電気信号を送信する工程をさらに備えた請求項１１記載の制御方法。
13. 請求項１又は２記載の制御装置において、
    コンピュータに、前記第１電気信号を受信すること、及び、前記第２電気信号を出力させること、を実行させる制御プログラム。

Images