JP7368204B2 - ドレス方法、及び、ドレスユニット - Google Patents

Description

本発明は、対向式切削装置において第一切削ブレードと第二切削ブレードをドレスするドレス方法、及びドレスユニットに関する。

従来、例えば特許文献１に開示されるように、２つの切削ブレードを同一直線上において対向させる対向式切削装置が知られている。

特許文献１では、第一ブレードをＶ溝ブレード、第二ブレードを切削ブレードとし、まず先に第一ブレードを半導体ウェーハのストリートに位置付け、保持テーブルをＸ軸方向に移動させて、半導体ウェーハの表面のＸ軸方向にＶ溝を形成し、次いで、Ｖ溝が形成された位置に第二ブレードを位置付けるとともに、Ｖ溝の切削を行うことで、表面がテーパー状に面取りされたチップを形成することが開示されている。

特開２００４－１５８８２２号公報

ステップカットを実施するために用いられる各ブレードは、砥石やボンドの種類が異なるため、ドレス工程（ドレッシング工程）により真円出しや目立てを行う際には、各ブレードに対応する互いに異なるドレスボードを準備し、各ブレードについて順次ドレス工程が実施されるものであった。

しかしながら、各ブレードについて順次ドレス工程を実施すると、ドレス工程が完了するまでに長時間を要し、また、順次ドレスボードを配置する必要があるなど作業性も悪く、改善が望まれていた。

本発明は以上の問題に鑑み、異なる二種類のブレードについて同時にドレス工程を実施することを可能とする新規な技術を提案するものである。

本発明の一態様によれば、
第一切削ブレードを有した第一切削ユニットと、該第一切削ブレードに対面する第二切削ブレードを有した第二切削ユニットと、を有した対向式切削機構と、
該対向式切削機構で切削する被加工物を保持する保持テーブルと、
該対向式切削機構に対して該保持テーブルを加工送りする加工送り機構と、
を備えた切削装置において該第一切削ブレードと該第二切削ブレードをドレスするドレス方法であって、
環状フレームの開口を覆うように貼着されたテープ上に該第一切削ブレードをドレスする第一ドレスボードが貼着されるとともに、該第二切削ブレードをドレスする第二ドレスボードが該第一ドレスボードに隣接して貼着されたドレスユニットを準備する準備ステップと、
該ドレスユニットの該第一ドレスボードが該第一切削ユニットに対応するとともに該第二ドレスボードが該第二切削ユニットに対応するよう該ドレスユニットを該保持テーブルで保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該第一切削ブレードと該第二切削ブレードをそれぞれ該第一ドレスボードと該第二ドレスボードに切り込ませつつ該保持テーブルを加工送りすることで該第一切削ブレードと該第二切削ブレードとをそれぞれドレスするドレスステップと、を備えた、ドレス方法とする。

また、本発明の一態様によれば、
第一切削ブレードを有した第一切削ユニットと、該第一切削ブレードに対面する第二切削ブレードを有した第二切削ユニットと、を有した対向式切削機構と、該対向式切削機構で切削する被加工物を保持する保持テーブルと、該対向式切削機構に対して該保持テーブルを加工送りする加工送り機構と、を備えた切削装置において該第一切削ブレードと該第二切削ブレードをドレスするためのドレスユニットであって、
環状フレームと、
該環状フレームの開口を覆うように貼着されたテープと、
該テープ上に貼着された該第一切削ブレードをドレスするための第一ドレスボードと、
該第一ドレスボードに隣接して該テープ上に貼着され、該第二切削ブレードをドレスするための第二ドレスボードと、を備えたドレスユニットとする。

また、本発明の一態様によれば、
該環状フレームには、該環状フレームの向きを特定するための基準が設けられ、
該基準に対する第一の相対位置に該第一ドレスボードが配置され、
該基準に対する第二の相対位置に該第二ドレスボードが配置される、こととする。

また、本発明の一態様によれば、
該第一切削ユニットと該第二切削ユニットが接触しない状態で互いに最も近接させた時の該第一切削ブレードと該第二切削ブレードの間の距離をブレード間最小距離とし、
該第一ドレスボードと該第二ドレスボードは、該テープ上で該ブレード間最小距離以上離れて貼着されている、こととする。

本発明の構成によれば、異なる二種類のブレードについて同時にドレス工程を実施することが可能となり、ドレス工程に要する時間が短縮され切削装置のダウンタイムを削減することができ、また、各ドレスボードを順次配置する手間がなく、作業性の向上が図られる。

本発明の一実施形態に係る切削装置の一側の外観斜視図である。 本発明の一実施形態に係る切削装置の他側の外観斜視図である。 ブレード間最小距離について説明する図である。 （Ａ）ドレスユニットの構成等について説明する図である。（Ｂ）別実施形態のドレスユニットの構成等について説明する図である。 （Ａ）はドレスステップについて説明する図である。（Ｂ）はブレード間最小距離を離して２つのドレスボードが配置される様子について説明する図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１，図２は本発明の一実施形態に係る切削装置２の外観斜視図である。

図１及び図２に示すように、切削装置２の機構部は、複数のパネルを組み合わせて形成された外装カバー４内に収容されている。

切削装置２は、被加工物を保持する保持テーブル６を有する。保持テーブル６は、その下方に設けられる図示せぬ回転駆動機構により、Ｚ軸を中心とするθ方向に回転可能に設けられる。また、保持テーブル６は、その下方に設けられる図示せぬ加工送り機構により、加工送り方向となるＸ軸方向に移動可能に構成される。保持テーブル６の周囲には、ウェーハユニット３０の環状フレーム３６を挟持するクランプ機構７が設けられている。

切削装置２は、第一切削ユニット１０と第二切削ユニット２０をＹ軸方向に対向して配置されることで、対向式切削機構を有する構成としている。このような対向式切削機構を有する切削装置２は、デュアルダイサーとも称される。第一切削ユニット１０及び第二切削ユニット２０は、Ｙ軸方向に移動可能であるとともに、Ｚ軸方向にも移動可能に設けられる。

切削装置２は、内部に複数枚のウェーハ３２を収容したカセット５７を載置するカセット載置台５６を有する。カセット載置台５６は、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に構成されている。

切削装置２は、カセット５７に収容されたウェーハユニット３０を保持テーブル６に搬送するための搬送装置４２を有する。

ウェーハユニット３０は、被加工物であるウェーハ３２と、ウェーハ３２が貼着されるテープ３４と、ウェーハ３２を取り囲むようにテープ３４に貼着される環状フレーム３６と、を有して構成される。

切削装置２は、切削加工が終了したウェーハ３２を洗浄するための洗浄装置４６を有する。

切削装置２は、切削装置２の稼動状況を表示する表示ランプ５８を有する。表示ランプ５８、切削装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。

切削装置２は、タッチパネル式の表示モニタ６０を有する。表示モニタ６０を通じてオペレータは装置の操作指令を入力できるとともに、装置の稼働状況が表示モニタ６０上に表示される。

図３に示すように、第一切削ユニット１０と第二切削ユニット２０は対向して配置され、それぞれ回転駆動される第一切削ブレード１２、第二切削ブレード２２によってウェーハ３２に対する切削加工が行なわれる。

図３に示すように、切削加工においては、まず、第一切削ブレード１２によりウェーハ３２に所定の深さの溝が形成され、次いで、第一切削ブレードよりも薄い第二切削ブレード２２により溝の底を貫通させるフルカットを行うことで、ダイシング（個片化）がされる。

このような切削加工は、ステップ加工と言われるものであり、図３に示すように、第一切削ユニット１０と第二切削ユニット２０は適宜Ｙ軸方向に移動され、第一切削ブレード１２及び第二切削ブレード２２が順次分割予定ラインに位置付けられる。

図３は、第一切削ブレード１２と第二切削ブレード２２が最も近づいた状態について示すものである。第一切削ブレード１２と第二切削ブレード２２は、それぞれ、ブレードカバー１１，２１に囲まれるように構成されている。

ブレードカバー１１，２１の間には、設計上最も近づけた状態で、互いに接触しないようにするための隙間が確保されるように構成される。さらに、この隙間に加え、第一切削ユニット１０と第二切削ユニット２０のＹ軸方向の位置付け精度を踏まえた余裕代を設定することで、ブレードカバー１１，２１同士の接触が確実に防止されるように構成される。

そして、このような隙間及び余裕代を確保した上で、第一切削ブレード１２と第二切削ブレード２２が最も近づいたときの両者間の距離が、ブレード間最小距離Ｗと定義される。

図３に示すように、第一切削ブレード１２と第二切削ブレード２２は、それぞれ、ブレードカバー１１，２１に囲まれるように構成されている。ブレードカバー１１，２１は、第一切削ブレード１２と第二切削ブレード２２の上部を覆うとともに、冷却用の切削水を供給する機能を備えるものである。

次に切削ブレードの目立てや真円出しのためのドレス（ドレッシング）に関する内容について説明する。図４（Ａ）は、本発明の一実施形態に係るドレスユニット７０について示す図である。

図４（Ａ）に示すように、ドレスユニット７０は、環状フレーム７８と、環状フレーム７８の開口を覆うように貼着されるテープ７６と、テープ７６に貼着される第一ドレスボード７１、第二ドレスボード７２と、を有して構成される。

図４（Ａ）に示すドレスユニット７０は、図１，２に示されるウェーハユニット３０と同様に、カセット５７に収容されることで、保持テーブル６に自動で搬送されることができる。ドレスユニット７０の環状フレーム７８は、ウェーハユニット３０の環状フレーム３６と同一の構成とすることができる。

図４（Ａ）に示すように、第一ドレスボード７１は、第一切削ブレード１２をドレスするために最適な素材により製作され、かつ、ドレスに最適な硬度となるように製作された板状の部材である。

図４（Ａ）に示すように、第二ドレスボード７２は、第二切削ブレード２２をドレスするために最適な素材により製作され、また、ドレスに最適な硬度となるように製作された板状の部材である。

図４（Ａ）に示すように、各ドレスボード７１，７２は、加工送り方向であるＸ軸方向を長辺とする長方形状にて構成されている。なお、図４（Ａ）の構成では、詳しくは後述するようにブレード間最小距離Ｗの間隔を開けてドレスボード７１，７２を配置するものであるが、図４（Ｂ）のドレスユニット７０Ａに示すように、間隔を開けずにドレスボード７１，７２を配置する構成としてもよい。

そして、図５（Ａ）に示すように、各切削ブレード１２，２２を各ドレスボード７１，７２に切り込ませる高さに位置付けるとともに、保持テーブル６をＸ軸方向（図４（Ａ））に移動させることで、ドレスが行われる。

ここで、各切削ブレード１２，２２の切込み深さや回転数は、各切削ブレード１２，２２ごとに個別に設定することができ、２つの切削ブレード１２，２２について同時にドレスを行いつつも、各切削ブレード１２，２２にとって最適な条件でドレスを行うことができる。

図５（Ａ）に示すように、各切削ブレード１２，２２において、Ｙ軸方向の一位置における切込みが終えたら、各切削ブレード１２，２２を上昇させ、各ドレスボード７１，７２において使用されていない箇所（切込みがされていないエリア）に移動して、再度各切削ブレード１２，２２を下降させることで、未使用箇所を利用したドレスが行われる。このようにして、各切削ブレード１２，２２について複数回のドレスを実施することができる。

図４（Ａ）に示すように、第一ドレスボード７１を第一切削ブレード１２に対応させ、第二ドレスボード７２を第二切削ブレード２２に対応させるために、環状フレーム７８に対する各ドレスボード７１，７２の相対位置が予め規定されている。

図４（Ａ）に示すように、本実施例では、環状フレーム７８に設けられる切欠部７５が、環状フレーム７８の向きを特定する基準７７として機能するように利用されるものとしており、当該基準７７に対する第一の相対位置に第一ドレスボード７１が配置され、当該基準７７に対する第二の相対位置に第二ドレスボード７２が配置されるように設計される。

図４（Ａ）に示すように、ドレスユニット７０は、環状フレーム７８に設けられる切欠部７５を基準として向きが特定されるものであり、切欠部７５の向きを所定の向きに揃えてカセット５７（図１）に収容することで、ドレスユニット７０が保持テーブル６に対し、常に所定の方向で保持されるようになっている。

なお、基準７７に対する各ドレスボード７１，７２の相対位置が誤って逆に配置されている場合や、カセット５７（図１）に誤った方向にドレスユニット７０が収容された場合を想定し、ドレス前に各ドレスボード７１，７２の配置が正しいことを自動で確認することしてもよい。例えば、各ドレスボード７１，７２において、識別情報となり得る着色やマークを付与しておき、当該識別情報をカメラで認識し、各ドレスボード７１，７２の配置が逆になっていないかを確認するものである。

以上のように構成することで、図４（Ａ）に示すように、ドレスユニット７０が保持テーブル６に保持されると、第一ドレスボード７１が第一切削ブレード１２に対応する位置に配置され、第二ドレスボード７２が第二切削ブレード２２に対応する位置に配置される。

なお、図４（Ａ）に示す構成において、環状フレーム７８に設けられる切欠部７５を環状フレーム７８の向きを特定する基準７７として利用する他、環状フレーム７８に貼付するシールや、ケガキなどにより、環状フレーム７８に基準を構成することとしてもよい。

図５（Ａ）に示すように、ドレスを行う際には、例えば、各切削ブレード１２，２２を離れた位置から近づける方向に移動させ、図５（Ｂ）に示すように、第一切削ブレード１２と第二切削ブレード２２の間の距離が最も小さくなるブレード間最小距離Ｗに到達させるようにしてもよい。逆に、ブレード間最小距離Ｗの位置から各切削ブレード１２，２２を互いに遠ざける方向に移動させることとしてもよい。

この場合、ブレード間最小距離Ｗについては、各ドレスボード７１，７２を配置する必要がなく、各ドレスボード７１，７２の体積を少なく抑えることができ、コスト削減を図ることが可能となる。

以上のようにして本発明を実施することができる。
即ち、図１乃至図５に示すように、
第一切削ブレード１１を有した第一切削ユニット１０と、第一切削ブレード１１に対面する第二切削ブレード２１を有した第二切削ユニット２０と、を有した対向式切削機構と、
対向式切削機構で切削する被加工物を保持する保持テーブル６と、
対向式切削機構に対して保持テーブル６を加工送りする加工送り機構と、
を備えた切削装置２において第一切削ブレード１１と第二切削ブレード２１をドレスするドレス方法であって、
環状フレーム７８の開口を覆うように貼着されたテープ７６上に第一切削ブレード１１をドレスする第一ドレスボード７１が貼着されるとともに、第二切削ブレード２１をドレスする第二ドレスボード７２が第一ドレスボード７１に隣接して貼着されたドレスユニット７０を準備する準備ステップと、
ドレスユニット７０の第一ドレスボード７１が第一切削ユニット１０に対応するとともに第二ドレスボード７２が第二切削ユニット２０に対応するようドレスユニット７０を保持テーブル６で保持する保持ステップと、
保持ステップを実施した後、第一切削ブレード１１と第二切削ブレード２１をそれぞれ第一ドレスボード７１と第二ドレスボード７２に切り込ませつつ保持テーブル６を加工送りすることで第一切削ブレード１１と第二切削ブレード２１とをそれぞれドレスするドレスステップと、を備えた、ドレス方法とするものである。

これにより、異なる二種類のブレードについて同時にドレス工程を実施することが可能となり、ドレス工程に要する時間が短縮され切削装置のダウンタイムを削減することができ、また、各ドレスボードを順次配置する手間がなく、作業性の向上が図られる。

また、図１乃至図５に示すように、
第一切削ブレード１１を有した第一切削ユニット１０と、第一切削ブレード１１に対面する第二切削ブレード２１を有した第二切削ユニット２０と、を有した対向式切削機構と、対向式切削機構で切削する被加工物を保持する保持テーブル６と、対向式切削機構に対して保持テーブル６を加工送りする加工送り機構と、を備えた切削装置２において第一切削ブレード１１と第二切削ブレード２１をドレスするためのドレスユニット７０であって、
環状フレーム７８と、
環状フレーム７８の開口を覆うように貼着されたテープ７６と、
テープ７６上に貼着された第一切削ブレード１１をドレスするための第一ドレスボード７１と、
第一ドレスボード７１に隣接してテープ７６上に貼着され、第二切削ブレード２１をドレスするための第二ドレスボード７２と、を備えたドレスユニット７０とするものである。

このように構成するドレスユニット７０を用いることにより、異なる二種類のブレードについて同時にドレス工程を実施することが可能となり、ドレス工程に要する時間が短縮され切削装置のダウンタイムを削減することができ、また、各ドレスボードを順次配置する手間がなく、作業性の向上が図られる。

また、図４（Ａ）に示すように、
環状フレーム７８には、環状フレーム７８の向きを特定するための基準７７が設けられ、
基準７７に対する第一の相対位置に第一ドレスボード７１が配置され、
基準７７に対する第二の相対位置に第二ドレスボード７２が配置される、こととするものである。

これにより、各ドレスボード７１，７２の配置が逆になることがなく、第一ドレスボード７１を第一切削ブレード１２に対応する位置に配置させ、第二ドレスボード７２を第二切削ブレード２２に対応する位置に配置させることが可能となる。

また、図４（Ａ）及び図５（Ａ）（Ｂ）に示すように、
第一切削ユニット１０と第二切削ユニット２０が接触しない状態で互いに最も近接させた時の第一切削ブレード１１と第二切削ブレード２１の間の距離をブレード間最小距離Ｗとし、
第一ドレスボード７１と第二ドレスボード７２は、テープ７６上でブレード間最小距離Ｗ以上離れて貼着されている、こととするものである。

ブレード間最小距離Ｗについては、各ドレスボード７１，７２を配置する必要がなく、各ドレスボード７１，７２の体積を少なく抑えることができ、コスト削減を図ることが可能となる。

２ 切削装置
６ 保持テーブル
１０ 第一切削ユニット
１１ ブレードカバー
１２ 第一切削ブレード
２０ 第二切削ユニット
２１ ブレードカバー
２２ 第二切削ブレード
３０ ウェーハユニット
３２ ウェーハ
３４ テープ
３６ 環状フレーム
５７ カセット
７０ ドレスユニット
７１ 第一ドレスボード
７５ 切欠部
７６ テープ
７７ 基準
７８ 環状フレーム
Ｗ ブレード間最小距離

Claims (2)

1. 第一切削ブレードを有した第一切削ユニットと、該第一切削ブレードに対面する第二切削ブレードを有した第二切削ユニットと、を有した対向式切削機構と、
   該対向式切削機構で切削する被加工物を保持する保持テーブルと、
   該対向式切削機構に対して該保持テーブルを加工送りする加工送り機構と、
   を備えた切削装置において該第一切削ブレードと該第二切削ブレードをドレスするドレス方法であって、
   環状フレームの開口を覆うように貼着されたテープ上に該第一切削ブレードをドレスする第一ドレスボードが貼着されるとともに、該第二切削ブレードをドレスする第二ドレスボードが該第一ドレスボードに隣接して貼着されたドレスユニットを準備する準備ステップと、
   該ドレスユニットの該第一ドレスボードが該第一切削ユニットに対応するとともに該第二ドレスボードが該第二切削ユニットに対応するよう該ドレスユニットを該保持テーブルで保持する保持ステップと、
   該保持ステップを実施した後、該第一切削ブレードと該第二切削ブレードをそれぞれ該第一ドレスボードと該第二ドレスボードに切り込ませつつ該保持テーブルを加工送りすることで該第一切削ブレードと該第二切削ブレードとをそれぞれドレスするドレスステップと、を備え、
   該環状フレームには、該環状フレームの向きを特定するための基準が設けられ、
   該基準に対する第一の相対位置に該第一ドレスボードが配置され、
   該基準に対する第二の相対位置に該第二ドレスボードが配置され、
   該第一切削ユニットと該第二切削ユニットが接触しない状態で互いに最も近接させた時の該第一切削ブレードと該第二切削ブレードの間の距離をブレード間最小距離とし、
   該第一ドレスボードと該第二ドレスボードは、該テープ上で該ブレード間最小距離以上離れて貼着されている、ドレス方法。
2. 第一切削ブレードを有した第一切削ユニットと、該第一切削ブレードに対面する第二切削ブレードを有した第二切削ユニットと、を有した対向式切削機構と、該対向式切削機構で切削する被加工物を保持する保持テーブルと、該対向式切削機構に対して該保持テーブルを加工送りする加工送り機構と、を備えた切削装置において該第一切削ブレードと該第二切削ブレードをドレスするためのドレスユニットであって、
   環状フレームと、
   該環状フレームの開口を覆うように貼着されたテープと、
   該テープ上に貼着された該第一切削ブレードをドレスするための第一ドレスボードと、
   該第一ドレスボードに隣接して該テープ上に貼着され、該第二切削ブレードをドレスするための第二ドレスボードと、を備え、
   該環状フレームには、該環状フレームの向きを特定するための基準が設けられ、
   該基準に対する第一の相対位置に該第一ドレスボードが配置され、
   該基準に対する第二の相対位置に該第二ドレスボードが配置され、
   該第一切削ユニットと該第二切削ユニットが接触しない状態で互いに最も近接させた時の該第一切削ブレードと該第二切削ブレードの間の距離をブレード間最小距離とし、
   該第一ドレスボードと該第二ドレスボードは、該テープ上で該ブレード間最小距離以上離れて貼着されている、
   ドレスユニット。