JP6827380B2

JP6827380B2 - 検査装置およびメンテナンスのガイダンス方法

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Inventors: 真徳上田
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Description

本発明は、検査装置およびメンテナンスのガイダンス方法に関する。

半導体デバイスの製造プロセスにおいては、半導体ウエハ（以下単にウエハと記す）における全てのプロセスが終了した段階で、ウエハに形成されている複数の半導体デバイス（以下単にデバイスと記す）の電気的検査が行われている。このような検査を行う検査装置としては、ウエハを吸着保持するステージ（チャックトップ）に対向して、ウエハに形成された半導体デバイスに接触させるプローブ針を有するプローブカードを配置し、プローブカードへステージ上のウエハを押圧させることにより、プローブカードの各コンタクトプローブをデバイスの電極と接触させて電気的特性を検査するものが知られている（例えば特許文献１）。

一方、近時、多数の半導体ウエハに対して、高速で検査を行うことが求められており、複数の検査ユニットと、複数のウエハを収納する収納容器と、収納容器から各検査ユニットにウエハを搬送する搬送装置とを備えた検査装置が提案されている（例えば特許文献２）。

このような検査装置は、ウエハを吸着するステージ、ウエハの位置合わせを行うアライナー、ステージ上にウエハを搬送する搬送装置等を有し、構造が複雑であるため、定期的なメンテナンスが必要である。

このように装置構造が複雑であるため、定期的なメンテナンスにおけるメンテナンス項目は膨大であり、メンテナンスを行う場合には、数百ページまたは数千ページにわたる膨大なマニュアルに記載された手順や写真、イラストを参照しながら、装置の操作画面により、あるいは実際の作業者の作業により、メンテナンス操作を行っている。

一つのメンテナンス項目を実施する場合、複数の操作を順番に行うが、その中には操作画面による操作と、作業者による作業が混在している。操作画面はメンテナンスを考慮しておらず、ステージ、アライナー、ローダといった構成要素ごとに、必要な操作項目を表示しているため、メンテナンスの操作を操作画面により行う場合、その操作を行う画面および操作ボタンに行きつくまで時間がかかる。また、作業者が実際に行う作業の場合には、マニュアルに記載された写真等により、操作対象の場所を参照し、メンテナンスエリアに回り、多数の配管、バルブ、ケーブル、その他の部品等が複雑に配置されている装置内部から目的の操作対象を探して作業をしなければならず、多大の時間を要する。また、操作画面による操作の場合も、実物を見ながら行う必要があり、マニュアルの写真から操作対象を特定したり、実際に目的の操作対象を探すのに時間がかかる。

装置のメンテナンスを行うための技術としては、特許文献３に提案されたものがある。この技術は、メンテナンス対象となる構成要素に情報コードを配設し、メンテナンス時に操作端末によりメンテナンス対象の情報コードを読み取ることによりインターネットからメンテナンス情報を引き出して表示画面に表示し、マニュアルからメンテナンス情報を探す手間を省略するものである。

特開２００４−１４０２４１号公報特開２０１３−２５４８１２号公報特開２０１５−９７０４８号公報

しかしながら、上記特許文献３の技術では、メンテナンスの負担を軽減する効果はあるものの、メンテナンスの操作を操作画面により行う時間や、作業者が実際に作業を行う場合に、目的の操作対象を探す時間を短縮することはできない。

したがって、本発明は、装置メンテナンス時間を短縮することができる技術を提供することを課題とする。

上記課題を解決するため、本発明の第１の観点は、ウエハを検査する検査装置であって、ウエハ検査用のテスタが組み込まれた検査ユニットが水平方向に沿って複数配列されて検査ユニット列を形成し、この検査ユニット列が上下方向に多段に配置されている検査部と、前記各検査ユニットにウエハを搬送する搬送機構と、当該検査装置の情報が表示され、所定の操作に用いられる操作画面、および前記操作画面の操作を行う操作部を有するユーザーインターフェイスと、を備え、前記ユーザーインターフェイスは、前記操作画面が装置のメンテナンスを行うためのメンテナンスモードを有し、前記メンテナンスモードでは、前記操作画面に、記憶部にメンテナンス操作が記憶された複数のメンテナンス項目のうち、所定のメンテナンス項目に対応するメンテナンス画面が表示され、前記メンテナンス画面は、前記記憶部の情報に基づき、該メンテナンス項目のメンテナンスの内容が手順ごとの画面として表示され、該手順ごとの画面には、手順の説明およびメンテナンス箇所を示す画像が表示され、前記メンテナンス画面は、当該検査装置の全体像が把握できる基準位置からメンテナンス箇所までの画像を連続して表示するように操作可能であることを特徴とする検査装置を提供する。

上記第１の観点において、前記画像は、前記メンテナンス箇所の実写画像または３Ｄ−ＣＡＤ画像であることが好ましい。また、前記画像は、メンテナンス操作が表示されるものであってもよい。

前記画像は、前記メンテナンス箇所に特定のマークを付したもの、または前記メンテナンス箇所が点滅表示するものとなるように操作可能であってよく、また、ズームアップもしくはズームダウン、回転、または視点変更されるように操作可能であってもよい。

前記手順ごとの画面は、手順の順に順次表示されるものであってよい。この場合に、前記ユーザーインターフェイスにおける前記メンテナンスの手順の操作は、操作画面上で操作可能な操作と、作業者が作業する操作とを有し、前記操作画面上で操作可能な操作は、実行ボタンを操作することにより実行され、当該手順が終了した際に、次の手順の画面が表示され、前記作業者が作業する操作の場合は、当該手順が終了した際に更新ボタンを操作することにより、次の手順の画面が表示されるようにすることができる。

前記手順ごとの画面は、任意の手順の画面を選択して表示すること、および逆手順で表示することが可能であってもよい。

前記操作画面は、タッチパネルディスプレイであり、前記操作部は、前記操作画面上のボタンを操作することにより前記操作画面の操作を行うようにすることができる。

前記手順ごとの画面には、メンテナンスマニュアルの該手順に関連した説明が表示可能であってもよい。

本発明の第２の観点は、ウエハ検査用のテスタが組み込まれた検査ユニットが水平方向に沿って複数配列されて検査ユニット列を形成し、この検査ユニット列が上下方向に多段に配置されている検査部と、前記各検査ユニットにウエハを搬送する搬送機構と、を有する検査装置の操作に用いられる操作画面により、前記検査装置のメンテナンスのガイダンスを行うメンテナンスのガイダンス方法であって、前記操作画面に、記憶部にメンテナンス操作が記憶された複数のメンテナンス項目のうち、所定のメンテナンス項目に対応するメンテナンス画面を、前記記憶部の情報に基づき、該メンテナンス項目のメンテナンスの内容を手順ごとの画面として表示させ、該手順ごとの画面に、手順の説明およびメンテナンス箇所を示す画像を表示させ、前記メンテナンス画面を、当該検査装置の全体像が把握できる基準位置からメンテナンス箇所までの画像を連続して表示するように操作し、メンテナンスのガイダンスを行うことを特徴とするメンテナンスのガイダンス方法を提供する。

本発明によれば、ウエハ検査用のテスタが組み込まれた検査ユニットが水平方向に沿って複数配列されて検査ユニット列を形成し、この検査ユニット列が上下方向に多段に配置されている検査部と、前記各検査ユニットにウエハを搬送する搬送機構と、当該検査装置の情報が表示され、所定の操作に用いられる操作画面、および前記操作画面の操作を行う操作部を有するユーザーインターフェイスとを備えた検査装置において、操作画面を、複数のメンテナンス項目から所定のメンテナンスを選択可能なメンテナンスモードにすることができ、メンテナンスモードにおいては、記憶部にメンテナンス操作が記憶された複数のメンテナンス項目のうち、所定のメンテナンス項目に対応するメンテナンス画面が表示され、メンテナンス画面は、記憶部の情報に基づき、該メンテナンス項目のメンテナンスの内容が手順ごとの画面として表示させ、手順ごとの画面には、手順の説明およびその手順におけるメンテナンス箇所を把握できる画像を表示させ、メンテナンス画面は、当該検査装置の全体像が把握できる基準位置からメンテナンス箇所までの画像を連続して表示するように操作させることができる。このため、装置構造が複雑でありメンテナンスの際のメンテナンス項目が膨大な検査装置において、マニュアルを参照してメンテナンス手順を探したり、操作画面上で操作に行きつくまでの手間を各段に減らすことができ、また実際のメンテナンス箇所を容易に把握することができる。このため、従来よりも検査装置のメンテナンス時間を短縮することができ、ＭＴＴＲ（平均復旧時間）を削減することができる。

検査装置の一例の構成を概略的に示す水平断面図である。図１の検査装置のII−II′線による断面図である。検査装置における検査ユニットの概略構成を示す図である。検査装置におけるユーザーインターフェイスを有する制御部を示すブロック図である。ユーザーインターフェイスであるタッチパネルディスプレイのメンテナンス画面を示す図である。ユーザーインターフェイスであるタッチパネルディスプレイのメンテナンス画面のメンテナンス操作の実際の例における手順１を示す図である。ユーザーインターフェイスであるタッチパネルディスプレイのメンテナンス画面のメンテナンス操作の実際の例における手順２を示す図である。ユーザーインターフェイスであるタッチパネルディスプレイのメンテナンス画面のメンテナンス操作の実際の例における手順３を示す図である。ユーザーインターフェイスであるタッチパネルディスプレイのメンテナンス画面のメンテナンス操作の実際の例における手順４を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。

＜検査装置の全体構成の概要＞
まず、本発明のユーザーインターフェイスが適用される検査装置の全体構成の概要について説明する。
図１は、検査装置の一例の構成を概略的に示す水平断面図であり、図２は図１の検査装置のII−II′線による断面図である。本実施形態の検査装置１０は、被検査体であるウエハに形成された複数のデバイスの電気的特性の検査するものである。

図１において、検査装置１０は筐体１１を有し、筐体１１内には、ウエハＷの半導体デバイスの電気的特性の検査を行う検査領域１２と、検査領域１２に対するウエハＷやプローブカードの搬入・搬出を行い、かつ制御系を有する搬入出領域１３と、検査領域１２および搬入出領域１３の間に設けられた搬送領域１４とを有する。

検査領域１２は、図２に示すように、ウエハ検査用のテスタが組み込まれた検査ユニット（プローバ）３０がＸ方向に沿って複数（図では６つ）配列され、このような検査ユニット列がＺ方向（上下方向）に３段に配置されている。そして、各段ごとに、Ｘ方向に配列された検査ユニット３０に対して、Ｘ方向に移動可能な１台のアライナー（ステージ）２２が検査ユニット３０の下方に設けられている。また、検査領域１２の各段ごとに、検査ユニット３０よりも搬送領域１４よりの部分をＸ方向に沿って移動可能に１台のアライメント用のカメラ２４が設けられている。

搬入出領域１３は複数のポートに区画され、複数のウエハＷを収容する容器であるＦＯＵＰ１７を収容する複数のウエハ搬入出ポート１６ａ、搬送するウエハの位置合わせを行うプリアライメント部１６ｂ、プローブカードが搬入されかつ搬出されるプローブカードローダ１６ｃ、検査システム１０の各構成要素の動作を制御する制御部４０有する制御ポート１６ｄを有する。

搬送領域１４には移動自在な搬送機構１９が配置される。搬送機構１９は、搬入出領域１３のウエハ搬入出ポート１６ａからウエハＷを受け取って全ての段の検査ユニット３０においてウエハを吸着保持するチャックトップ（ステージ）へ搬送し、デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハＷを対応する検査ユニット３０のチャックトップからウエハ搬入出ポート１６ａへ搬送する。また、搬送機構１９は各検査装置３０からメンテナンスを必要とするプローブカードをプローブカードローダ１６ｃへ搬送し、また、新規やメンテナンス済みのプローブカードを各検査ユニット３０へ搬送する。

図３は、検査ユニット３０の概略構成を示す図である。検査ユニット３０は、ウエハＷに形成されたデバイスに検査信号を送るテスタ３１と、ウエハＷに形成された複数のデバイスの電極に接触する複数のプローブ３２ａを有するプローブカード３２と、テスタ３１の下に設けられ、プローブカード３２を支持する支持プレート３３と、テスタ３１とプローブカード３２とを接続するコンタクトブロック３４と、支持プレート３３から垂下し、プローブカード３２を囲繞するように設けられたベローズ３５と、ウエハＷを真空吸着により吸着支持し、ウエハＷを温調するチャックトップ（ステージ）３６とを有する。コンタクトブロック３４の上下面には、プローブカード３２とテスタ３１を電気的に接続する多数のポゴピン３４ａが設けられている。ベローズ３５は、チャックトップ３６上のウエハＷをプローブカード３２の複数のプローブ３２ａをウエハＷに接触した状態で、プローブカード３２とウエハＷを含む密閉空間を形成するためのものであり、その密閉空間をバキュームラインを介して真空引きすることにより、チャックトップ３６が支持プレート３３に吸着される。また、プローブカード３２も同様に真空引きすることにより支持プレート３３に吸着される。

アライナー２２は、その段のベース板の上に設けられたガイドレール４１上をＸ方向に移動するＸブロック４２と、Ｘブロック４２上にＹ方向に沿って設けられたガイドレール４３上をＹ方向に移動するＹブロック４４と、Ｙブロック４４に対してＺ方向に移動するＺブロック４５とを有し、Ｚブロック４５上には、チャックトップ３６が所定の位置関係を保った状態で係合される。なお、Ｙブロック４４の周壁には、プローブカード３２の下面を撮影するための下カメラ４６が設けられている。

アライナー２２は、Ｘ方向に移動して各検査ユニット３０の真下にアクセス可能であり、各検査ユニット３０に対して被検査体であるウエハＷの位置合わせ、チャックトップ３６上のウエハＷのプローブカード３２への装着、およびプローブカード３２からのチャックトップ３６上のウエハＷの取り外し等を行えるように、ウエハを載置するチャックトップをＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動させる移動機構を有している。

そして、チャックトップ３６にウエハＷを搬送してウエハＷをプローブカード３２に装着するときは、搬送機構１９からチャックトップ３６にウエハを受け取り、次いで、ウエハＷのプローブカード３２に対する位置合わせを行い、次いで、アライナー２２によりチャックトップ３６を上昇させて、ウエハＷをプローブカード３２のプローブ３２ａに接触させた後、さらにチャックトップ３６を上昇させ、ウエハＷをプローブ３２ａに押し付ける。その状態でベローズ３５に囲まれた空間を真空引きしてチャックトップ３６を支持プレート３３に吸着させるとともに、ウエハがプローブ３２ａに押し付けられた状態を維持する。この状態で、テスタ３１による電気的検査が開始される。このとき、アライナー２２のＺブロック４５は下方に退避され、アライナー２２は検査終了後の他の検査ユニット３０に移動され、上記と逆動作により、検査後のチャックトップ３６を下降させて、チャックトップ３６の検査後のウエハＷを搬送機構１９によりＦＯＵＰ１７に戻す。

制御部４０は、図４に示すように、検査装置１０を構成する各構成部を制御する主制御部５１と、ユーザーインターフェイスとしてのタッチパネルディスプレイ５２と、情報を記憶する記憶装置（サーバー）５３と、情報を出力する出力装置５４とを有する。

主制御部５１は、ＣＰＵを有し、各検査ユニット３０のチャックトップ３６、プローブカード３２、ウエハＷの吸着等に用いられる真空系（バルブ等）、アライナー２２、カメラ２４、搬送機構１９、チャックトップ３６内の温調機構等を制御する。

記憶装置（サーバー）５３は、ハードディスク等の記憶媒体を内蔵し、その中に制御に必要なデータが格納されている。また、ＣＤやＤＶＤ、またはフラッシュメモリ等の制御に必要なデータが格納された可搬性の記憶媒体をセット可能となっている。記憶媒体には、例えば検査装置の動作の制御を行うレシピや、検査装置の動作を行うためのその他のデータが記憶されている。また、定常的な装置のメンテナンスを行う際に必要なデータがメンテナンス項目ごとに記憶されている。定常的なメンテナンスとしては、例えば、アライナーＺ軸のＬＭガイドへの給油を挙げることができる。

ユーザーインターフェイスであるタッチパネルディスプレイ５２は、検査装置１０の所定の情報が表示され、所定の操作に用いられる操作画面と、操作画面を操作する操作部とを兼備したものであり、検査装置１０が通常の動作を行う場合に用いる通常モードと、装置メンテナンスのときのみに用いるメンテナンスモードの選択が可能となっている。

通常モードにおいては、検査装置１０の構成部ごとに、種々のステータスにおいて所定の操作を実行するための操作画面を表示することが可能となっており、画面上で必要な操作を行うことができる。

メンテナンスモードを選択すると、記憶装置５３に記憶された複数のメンテナンス項目から所望のメンテナンス項目を選択するメンテナンス項目選択画面が表示され、その画面から所望のメンテナンス項目を選択する。所望のメンテナンス項目を選択すると、記憶部５３に記憶された情報に基づいて、タッチパネルディスプレイ５２に選択された項目のメンテナンス画面が表示される。

図５に示すように、メンテナンス画面１０１は、装置状態表示１０２、メンテナンスモードを選択していることを示す表示１０３、メンテナンスのどの手順を行っているかを示す手順表示１０４、その手順の操作のガイダンス表示１０５、メンテナンス箇所を示す画像１０６、画像操作部１０７、ＯＫボタン（実行および更新ボタン）１０８、他の情報の表示部１０９を有している。

ガイダンス表示１０５は、メンテナンスの手順を簡潔に示すものであり、この表示を見ることにより手順の内容を把握することができる。マニュアルに記載された詳細な情報を表示するようにしてもよい。また、画像１０６は、メンテナンスを行う箇所およびその手順を示す画像である。このときの画像は、実写画像（写真）または３Ｄ−ＣＡＤであることが好ましい。また、このときの画像は、メンテナンス箇所および手順を把握しやすくするように、メンテナンス箇所に特定のマークを付したり、点滅表示する等が可能となっている。また、画像は、ズームアップもしくはズームダウン、回転、または視点変更を行えるようにしたり、所定の基準位置、例えば装置全体像が把握できる位置から、メンテナンス箇所までの画像を連続して表示することにより、メンテナンス箇所を把握しやすくしてもよい。このときの画像操作は、画像操作部１０７により行うことができる。ＯＫボタン１０８は、その手順の操作が画面上で可能なものである場合は、押されることによりその手順の操作が行われる。この場合、その操作が実行されている間、画像１０６の情報に基づいて、実装置のメンテナンス箇所を確認する。ＯＫボタン１０８は、その操作が終了後再度押されることにより、画面が次の手順のものに更新されるようにしてもよい。また、ＯＫボタン１０８は、その手順の操作が作業者の手作業の場合は、画像１０６の情報に基づいて、作業者が実際のメンテナンス箇所にて作業を行い、作業が終了した際に押され、画面が次の手順のものに更新される。

また、メンテナンス画面は、所定の操作を行うことにより、任意の手順の画面を選択したり、逆手順で表示したりすることも可能となっている。

このように構成される検査装置１０においては、ウエハ搬入出ポート１６ａのＦＯＵＰ１７から搬送機構１９により、所定の検査ユニット３０のアライナー２２に支持されたチャックトップ３６上に載置し、アライナー２２によりチャックトップ３６を上昇させることにより、ウエハＷをプローブカード３２のプローブ３２ａに接触させるとともにチャックトップ３６を吸着させた状態として電気的検査を行い、電気的検査が終了した検査ユニット３０においては、ウエハＷが載置されたチャックトップ３６の吸着を解除し、チャックトップ３６をアライナー２２により降下させ、搬送機構１９によりウエハ搬入出ポート１６ａのＦＯＵＰ１７に戻すという動作を、同時並行的にＦＯＵＰ１７に収容されたウエハＷに対して連続して行われる。

＜メンテナンス操作＞
このような検査装置１０は、上述した検査が繰り返えされた後、定期的にメンテナンス（通常メンテナンス）が行われる。

通常メンテナンスにおいては、ユーザーインターフェイスであるタッチパネルディスプレイ５２をメンテナンスモードにし、表示されたメンテナンス項目から所望のメンテナンス項目を選択する。これにより、記憶部（サーバー）５３に記憶された情報に基づいて、タッチパネルディスプレイ５２に選択された項目のメンテナンス画面１０１が表示される。

上述した図５に示すように、メンテナンス画面１０１は、メンテナンスの手順毎にガイダンス表示１０５がされるようになっており、図５では、手順１の状態を示している。メンテナンスの手順は、ガイダンス表示１０５に簡潔に示されており、この表示を見ることにより手順の内容を把握することができる。また、マニュアルに記載された詳細な情報を表示することにより詳細な内容を把握することができる。また、このとき、画像１０６に、メンテナンスを行う箇所およびその手順を示しているので、メンテナンス箇所およびその手順がよりわかりやすくなる。また、このときの画像を実写画像（写真）または３Ｄ−ＣＡＤ画像とすることにより、メンテナンス箇所およびその手順をより正確に把握することができる。また、このときの画像に、メンテナンス箇所および手順を把握しやするように、メンテナンス箇所に特定のマークを付したり、点滅表示したり、画像のズームアップまたはズームダウン、回転、視点変更や、所定の基準位置、例えば装置全体像が把握できる位置から、メンテナンス箇所までの画像を順次表示するといった操作が可能であることから、メンテナンス箇所を一層把握しやすすることができる。

その手順の操作が画面上で可能なものである場合は、ＯＫボタン１０８を押すことによりその手順の操作が実行される。このとき、その手順の操作（動作）が行われている間、画像１０６の情報に基づいて、実装置のメンテナンス箇所でその操作を確認する。

その手順の操作が作業者の手作業の場合は、画像１０６の情報に基づいて、作業者が実際のメンテナンス箇所にて作業を行い、作業が終了したらＯＫボタン１０８を押す。

その手順が画面上で操作可能な場合は、操作が終了後、画面表示が次の手順のものに更新され、その手順の操作が作業者の手作業の場合は、作業終了時にＯＫボタン１０８を押すことにより、画面表示が次の手順のものに更新される。なお、画面上で操作可能な手順の場合に、再度ＯＫボタン１０８を押すことにより、画面表示が次の手順のものに更新されるようにしてもよい。

次の手順においても、同様にガイダンス表示１０５および画像１０６の情報に基づいて、画面操作の確認またはその操作の作業を行う。これを最終手順まで繰り返すことにより、一つのメンテナンスが終了する。

以上の操作を必要なメンテナンス項目について行うことにより、メンテナンス操作が終了する。

次に、図６〜９を参照して、このようなメンテナンス操作の実際の例について説明する。ここでは、一例としてアライナーＺ軸のＬＭガイドへのグリス塗布について説明する。

このメンテナンス項目を選択すると、そのメンテナンス項目の手順を示すメンテナンス画面が表示される。初期画面として、図６に示すように、最初の手順である「手順１」の画面が表示される。「手順１」では、「メンテナンスカバーを開けます」という情報が表示され、カバーを開けた状態の画像が表示される。また、他の情報として、各種バキューム圧情報、開始時刻・終了時刻、また、可能であればサーバー送信管理情報が示されている。このとき装置のアラームが解除されており、作業者は装置の裏に回り、「手順１」の情報に従って、メンテナンスカバーを開放する。次いで、ＯＫボタンを押す。

ＯＫボタンが押されると、画面が更新され、図７に示すように、「手順２」の画面が表示される。「手順２」では、「チャックをステージへリリースします」という情報が表示される。「チャック」はチャックトップであり、「ステージ」はアライナーである。このとき、画像として対象ユニットを表示するとともに、この手順の操作によりどのようになるかを点滅などで表示する。この手順は画面から自動で行わせることができるものであるから、ＯＫボタンを押すことによりチャックトップ３６が自動で動いてリリースされる。このとき、作業者は目視によりこの動作が正常に行われているか否かを確認する。なお、この動作の際には、表示されている各種バキューム圧情報が変化する。

手順２が終了した後、再度ＯＫボタンが押されると、図８に示すように、「手順３」の画面が表示される。「手順３」では、「ＬＭガイドへグリスを塗布します」という情報が表示される。このとき、メンテナンスの位置が明確に把握できるように、画像は、所定の操作により回転したり、ズームしたりする。作業者は、メンテナンス対象に対してグリスを塗布する作業を行い、塗布したらＯＫボタンを押す。

手順３においてＯＫボタンが押されると、画面が更新され、図９に示すように「手順４」の画面が表示される。「手順４」では、「エージングを開始します」という情報が表示される。このとき、画像として対象ユニットを表示するとともに、この手順の操作によりどのようになるかを点滅などで表示する。この手順はグリスを塗り広げる操作であり、画面から自動で行わせることができるものであるから、ＯＫボタンを押すことにより自動的に実行される。このとき、作業者は目視によりこの動作が正常に行われているか否かを確認する。

以上の手順により、メンテナンス項目の一つである、アライナーＺ軸のＬＭガイドへのグリス塗布が終了する。

以上のように本実施形態では、操作画面であるタッチパネルディスプレイ５２を、複数のメンテナンス項目から所定のメンテナンスを選択可能なメンテナンスモードにすることができ、メンテナンスモードにおいては、所定のメンテナンス項目を選択することにより、該メンテナンス項目に対応するメンテナンス画面が表示され、メンテナンス画面は、記憶部５３の情報に基づき、該メンテナンス項目のメンテナンスの内容が手順ごとの画面として表示され、手順ごとにその手順におけるメンテナンス箇所および操作を把握できる画像を表示することができる。このため、マニュアルを参照してメンテナンス手順を探したり、操作画面上で操作に行きつくまでの手間を各段に減らすことができ、また実際のメンテナンス箇所を容易に把握することができる。このため、従来よりも検査装置のメンテナンス時間を短縮することができ、ＭＴＴＲ（平均復旧時間）を削減することができる。

また、メンテナンスの手順ごとの画像として、実写画像（写真）や３Ｄ−ＣＡＤを用いることにより、メンテナンスの箇所および手順をより容易に把握することができる。さらに、その画像に特定のマークを付したり、点滅表示することにより、その手順における動作の確認が容易になる。さらにまた、画面に表示される画像を、ズームアップまたはズームダウン、回転、視点変更したり、所定の基準位置、例えば装置全体像が把握できる位置から、からメンテナンス箇所までの画像を順次表示したりすることにより、メンテナンス箇所の把握や、メンテナンス操作または動作の把握をより一層容易にすることができる。

＜他の適用＞
以上、本発明のいくつかの実施の形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。

例えば、上記実施の形態では、複数の検査ユニットを有する検査装置に本発明を適用した場合について説明したが、これに限らず、単体の検査装置に本発明を適用してもよい。また、検査装置に限らず多数のメンテナンス項目が存在する装置であれば適用可能である。

また、上記実施の形態では、ユーザーインターフェイスとしてタッチパネルディスプレイを用いる場合を示したが、ディスプレイ表示をキーボードやマウス等の入力手段で操作するものであってもよい。

１０；検査装置
３０；検査ユニット
４０；制御部
５１；主制御部
５２；タッチパネルディスプレイ（ユーザーインターフェイス）
５３；記憶装置
１０１；メンテナンス画面
１０４；手順表示
１０５；ガイダンス表示
１０６；メンテナンス箇所を示す画像
１０７；画像操作部
１０８；ＯＫボタン（実行および更新ボタン）

Claims

ウエハを検査する検査装置であって、
ウエハ検査用のテスタが組み込まれた検査ユニットが水平方向に沿って複数配列されて検査ユニット列を形成し、この検査ユニット列が上下方向に多段に配置されている検査部と、
前記各検査ユニットにウエハを搬送する搬送機構と、
当該検査装置の情報が表示され、所定の操作に用いられる操作画面、および前記操作画面の操作を行う操作部を有するユーザーインターフェイスと、
を備え、
前記ユーザーインターフェイスは、
前記操作画面が装置のメンテナンスを行うためのメンテナンスモードを有し、
前記メンテナンスモードでは、
前記操作画面に、記憶部にメンテナンス操作が記憶された複数のメンテナンス項目のうち、所定のメンテナンス項目に対応するメンテナンス画面が表示され、
前記メンテナンス画面は、前記記憶部の情報に基づき、該メンテナンス項目のメンテナンスの内容が手順ごとの画面として表示され、該手順ごとの画面には、手順の説明およびメンテナンス箇所を示す画像が表示され、
前記メンテナンス画面は、当該検査装置の全体像が把握できる基準位置からメンテナンス箇所までの画像を連続して表示するように操作可能であることを特徴とする検査装置。
前記画像は、前記メンテナンス箇所の実写画像または３Ｄ−ＣＡＤ画像であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
前記画像は、メンテナンス操作が表示されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
前記画像は、前記メンテナンス箇所に特定のマークを付したもの、または前記メンテナンス箇所が点滅表示するものとなるように操作可能であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の検査装置。
前記画像は、ズームアップもしくはズームダウン、回転、または視点変更されるように操作可能であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の検査装置。
前記手順ごとの画面は、手順の順に順次表示されることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の検査装置。
前記ユーザーインターフェイスにおける前記メンテナンスの手順の操作は、操作画面上で操作可能な操作と、作業者が作業する操作とを有し、前記操作画面上で操作可能な操作は、実行ボタンを操作することにより実行され、当該手順が終了した際に、次の手順の画面が表示され、前記作業者が作業する操作の場合は、当該手順が終了した際に更新ボタンを操作することにより、次の手順の画面が表示されることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
前記手順ごとの画面は、任意の手順の画面を選択して表示すること、および逆手順で表示することが可能であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の検査装置。
前記操作画面は、タッチパネルディスプレイであり、前記操作部は、前記操作画面上のボタンを操作することにより前記操作画面の操作を行うことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の検査装置。
前記手順ごとの画面には、メンテナンスマニュアルの該手順に関連した説明が表示可能であることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の検査装置。
ウエハ検査用のテスタが組み込まれた検査ユニットが水平方向に沿って複数配列されて検査ユニット列を形成し、この検査ユニット列が上下方向に多段に配置されている検査部と、前記各検査ユニットにウエハを搬送する搬送機構と、を有する検査装置の操作に用いられる操作画面により、前記検査装置のメンテナンスのガイダンスを行うメンテナンスのガイダンス方法であって、
前記操作画面に、記憶部にメンテナンス操作が記憶された複数のメンテナンス項目のうち、所定のメンテナンス項目に対応するメンテナンス画面を、前記記憶部の情報に基づき、該メンテナンス項目のメンテナンスの内容を手順ごとの画面として表示させ、
該手順ごとの画面に、手順の説明およびメンテナンス箇所を示す画像を表示させ、
前記メンテナンス画面を、当該検査装置の全体像が把握できる基準位置からメンテナンス箇所までの画像を連続して表示するように操作し、メンテナンスのガイダンスを行うことを特徴とするメンテナンスのガイダンス方法。