JP4651925B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Claims (6)
- 基板の処理を行うために複数の搬送路に沿って基板を搬送する搬送機構と、
前記基板が前記複数の搬送路の内のいずれかの搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報を保持する記憶部と、
前記履歴情報を表示する表示部と、
前記記憶部から前記履歴情報を読み出し、少なくとも基板処理装置を構成するモジュールと前記モジュールのスロット番号とを含む前記履歴情報を示す表と、前記履歴情報に示されている前記基板の処理を行う複数のモジュールと、前記モジュール上に重ねて表示される、前記履歴情報に示されている前記基板が通過した前記モジュール同士を連結する前記搬送路を組み合わせて、前記複数のモジュールを経由しつつ前記基板を搬送した搬送経路とを示す画像と、を前記表示部に並べて表示する制御部と、を有する基板処理装置。 - 前記履歴情報は、基板処理中に逐次前記記憶部に保存される請求項1記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、更に、前記表示部に成膜条件の情報を表示する請求項1記載の基板処理装置。
- 基板の処理を行うために複数の搬送路に沿って基板を搬送し、
前記基板が前記複数の搬送路の内のいずれかの搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報を保持し、
前記記憶部から前記履歴情報を読み出し、少なくとも基板処理装置を構成するモジュールと前記モジュールのスロット番号とを含む前記履歴情報を示す表と、前記履歴情報に示されている前記基板の処理を行う複数のモジュールと、前記モジュール上に重ねて表示される、前記履歴情報に示されている前記基板が通過した前記モジュール同士を連結する前記搬送路を組み合わせて、前記複数のモジュールを経由しつつ前記基板を搬送した搬送経路とを示す画像とを並べて表示する基板処理装置の表示方法。 - 基板の処理を行うために複数の搬送路に沿って基板を搬送し、
前記基板が前記の搬送路の内のいずれかの搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報を保持し、
前記記憶部から前記履歴情報を読み出し、少なくとも基板処理装置を構成するモジュールと前記モジュールのスロット番号とを含む前記履歴情報を示す表と、前記履歴情報に示されている前記基板の処理を行う複数のモジュールを示す画像とを並べて表示する際に、前記履歴情報を示す表内で選択されたモジュールに対応して、前記モジュールを示す画像に前記基板を示すアイコンを表示させる記憶処理装置の表示方法。 - 基板の処理を行うために複数の搬送路に沿って基板を搬送し、
前記基板が前記複数の搬送路の内のいずれかの搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報を保持し、
前記記憶部から前記履歴情報を読み出し、少なくとも基板処理装置を構成するモジュールと前記モジュールのスロット番号とを含む前記履歴情報を示す表と、前記履歴情報に示されている前記基板の処理を行う複数のモジュールを示す画像とを並べて表示する際に、前記履歴情報を示す表内で選択されたモジュールに対応して、前記モジュールを示す画像に前記基板を示すアイコンを表示させ、前記履歴情報を示す表で上から下方に向けて順に選択されたモジュールに対応して、前記アイコンを移動させる基板処理装置の表示方法。
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