JP5561849B2 - 検査装置の操作方法及び検査装置の操作プログラム - Google Patents

Description

本発明は、検査装置の操作方法及び検査装置の操作プログラムに関し、更に詳しくは、複数のステージを有する検査装置を効率的に運用することができる検査装置の操作方法及び検査装置の操作プログラムに関するものである。

複数のステージを有する検査装置１は、例えば図１２に示すように、半導体ウエハを搬送するための搬送機構２が設けられたローダ室３と、搬送機構２を介して搬送される半導体ウエハを載置する複数（例えば４台）のステージ４及びこれらのステージ４の上方にそれぞれ配置された複数のプローブカード（図示せず）が設けられたプローバ室５と、を備え、プローバ室５内において複数のステージ４上の半導体ウエハの電極パッドとプローブカードの複数のプローブとを電気的に接触させて半導体ウエハの検査を行う。

ローダ室３内にはキャリアを載置するロードポート６が互いに離間して左右に配置され、各ロードポート６上のキャリアと複数のステージ４との間で搬送機構２を用いて半導体ウエハを搬送する。また、ローダ室３側とプローバ室５側にはそれぞれを監視すると共に各室内の機器を操作するためのモニター（図示せず）が設けられ、これらのモニターの表示画面に表示される操作画面を用いて検査装置を運用、管理している。モニターの操作画面は、そこに表示された操作ボタンを介して上位の操作画面から下位の操作画面まで段階的に切り換えられるようになっている。そして、各操作画面に表示される操作ボタンを押下することによってそれぞれの操作ボタンに割り振られた機能を実行してローダ室３及びプローバ室５内に設けられた各種の機器を操作する。

而して、検査装置１は、例えば図１２に示すようにクリーンルーム内の検査領域に行列状にまとめて配置されている。横方向に配列された複数の検査装置間には僅かな隙間しか形成されていない。尚、図１２において、Ｐはクリーンルームの柱である。

検査装置１のローダ室３側には検査の開始から終了までの操作を行うためのモニターが必要数だけ配置され、検査装置１のプローバ室５側にはプローバ室５内のプローブカードの交換作業やメンテナンス作業等を行うためのモニターが必要数だけ配置されている。検査装置１に対向して配置されたローダ室３側のモニターとプローバ室５側のモニターはそれぞれ使い分けられている。

しかしながら、複数のモニターがあっても操作できるモニターは一箇所に制限されているため、操作中のモニター以外は使用することができなかった。例えば、オペレータがプローバ室５側のモニターを用い、検査を中断させてするプローブカードの交換作業やステージのメンテナンス作業等の作業（以下、メンテナンス作業で代表する）を長時間にわたって行っていると、その間、他のモニターを操作することができないため、検査装置全体が停止し、ローダ室３側のモニターからプローバ室５内のメンテナンス作業を行っていない他のステージに対して検査を指示することができず、稼動効率が低下する問題があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、複数のステージを有する検査装置において、あるステージに使用されているモニター用の操作画面自体またはその操作画面内の操作ボタンの他のモニターでの表示を禁止して操作できないようにすると共に、他のモニターでは他のステージを停止することなく継続して操作をすることができ、検査装置の稼動効率を格段に高めることができる検査装置の操作方法及び検査装置の操作プログラムを提供することを目的としている。

本発明の請求項１に記載の検査装置の操作方法は、複数の検査用のステージを備えた検査装置を、複数のモニターにそれぞれ表示される操作画面の操作ボタンを用いて操作する方法であって、上記検査装置の各種の機能をそれぞれ実行するために必要な機能データを排他条件としてまとめた排他条件データと、上記排他条件データの上記排他条件を、上記各種の機能をそれぞれ実行するための操作ボタンを押下できるか否かのデータとしてまとめた排他条件パターンと、を用意する工程と、上記検査装置の運用状況に即して上記操作画面または少なくとも一つの上記操作ボタンを排除するための排他条件ボタンを上記モニターの少なくとも一つに準備する工程と、上記排他条件ボタンを押下して上記排他条件データと上記排他条件パターンを参照して上記排他条件ボタンの排他条件を判定する工程と、上記判定結果に基づいて上記他のモニターでは上記少なくとも一つのモニターの上記排他条件ボタンの示す排他条件に即した上記操作画面または少なくとも一つの上記操作ボタンの表示を禁止する工程と、を備えたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２に記載の検査装置の操作方法は、請求項１に記載の発明において、上記モニターは、上記各ステージにそれぞれ割り振られた複数のステージ画面と、これらのステージ画面以外のメイン画面と、を表示することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項３に記載の検査装置の操作方法は、請求項２に記載の発明において、上記ステージ画面と上記メイン画面にはそれぞれ操作モードが表示され、上記操作モードは、半導体ウエハの検査のために用いられるオペレータモードと、上記ステージを止めて所定の作業するために用いられるシステムモードと、からなることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項４に記載の検査装置の操作方法は、請求項３に記載の発明において、上記モニターに上記システムモードが表示されている時には、上記他のモニターには上記システムモードを表示しないことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項５に記載の検査装置の操作プログラムは、半導体ウエハの電気的特性検査のために複数のステージを備えた検査装置を操作するために用いられるプログラムであって、コンピュータを駆動させて、請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査装置の操作方法を実行することを特徴とするものである。

本発明によれば、複数のステージを有する検査装置において、運転状況に応じて排他条件ボタンを押下することにより、その排他条件に即してあるステージに使用されているモニター用の操作画面自体またはその操作画面内の少なくとも一つの操作ボタンの他のモニターでの表示を禁止して操作できないようにすると共に、他のモニターでは他のステージを停止することなく継続して操作をすることができ、検査装置の稼動効率を格段に高めることができる検査装置の操作方法及び検査装置の操作プログラムを提供することができる。

本発明の検査装置の操作方法が適用される検査装置の一例を示す平面図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示すモニターに表示される操作画面を示す図である。 本発明の検査装置の操作方法の一実施形態を示す概念図である。 図１に示す検査装置の操作方法を実行するために用いられるモニターに表示される操作ボタンの押下条件パターンを示す図である。 （ａ）（ｂ）はそれぞれ図４に示すデータテーブルを用いて設定された画面排他条件設定データを示す図である。 図５に示す画面排他条件設定データを設定するためのフローチャートである。 図５に示す排他条件パターンを参照するためのフローチャートである。 排他条件判定処理をするためのフローチャートである。 図８に示す排他条件判定処理の一部の工程を示すフローチャートである。 図８に示す排他条件判定処理の他の一部の工程を示すフローチャートである。 図８に示す排他条件判定処理の更に他の一部の工程を示すフローチャートである。 従来の検査装置を複数配置した状態を示す平面図である。

以下、図１〜図１１に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。

まず、本発明の検査装置の操作方法が適用される検査装置について説明する。この検査装置１０は、例えば図１に示すように、半導体ウエハを搬送するローダ室１１と、半導体ウエハの電気的特性検査を行うプローバ室１２と、ローダ室１１及びプローバ室１２それぞれの機器を制御する制御装置１３と、ローダ室１１及びプローバ室１２それぞれの機器を操作し、監視するモニター１４と、を備え、モニター１４の操作画面に表示される操作ボタンを押下して制御装置１３を作動させてローダ室１１及びプローバ室１２それぞれの機器を操作して半導体ウエハの電気的特性検査を行う。

ローダ室１１は、半導体ウエハをキャリア単位で配置する左右二箇所のロードポート１５と、これらのロードポート１５上のキャリアとプローバ室１２との間で半導体ウエハを搬送するウエハ搬送機構１６と、を備え、ウエハ搬送機構１６がロードポート１５上にそれぞれ配置されたキャリア（図示せず）とプローバ室１２との間で半導体ウエハを搬送するように構成されている。

プローバ室１２は、ローダ室１１に沿って配置された４台のステージ１７と、各ステージ１７それぞれの上方に配置された４箇所のプローブカード（図示せず）と、ステージ１７上の半導体ウエハの電極パッドとプローブカードの複数のプローブとのアライメントを行うアライメント機構（図示せず）と、を備え、各ステージ１７が半導体ウエハを載置して所定の範囲で水平方向及び上下方向に移動するように構成されている。プローバ室１２では、ステージ１７上の半導体ウエハとプローブカードとのアライメントを行った後、各ステージ１７上の半導体ウエハの電極パッドとプローブカードの複数のプローブとを電気的に接触させ、テスタ（図示せず）からの指令信号に基づいて半導体ウエハの電気的特性検査を行うように構成されている。尚、図１ではプローバ室１２内の４台のステージ１７がそれぞれ隔壁によって区画されているが、隔壁がなくても良い。

制御装置１３は、中央演算処理部と、本発明の検査装置の操作プログラム等の各種のプログラムや検査に必要な種々のデータを記憶する記憶部と、を有するコンピュータとして構成されており、モニター１４の表示画面に表示される操作ボタンを押下することにより、そのボタンに付与された機能を中央演算処理部と記憶部が連携して実行し、ローダ室１１及びプローバ室１２それぞれの機器を駆動制御する。

モニター１４は、例えば図１に示すようにローダ室１１側とプローバ室１２側にそれぞれ一台ずつ配置されている。モニター１４は、必要に応じて増やすこともできる。モニター１４の表示画面には検査装置１０を操作するための操作画面が表示される。モニター１４の操作画面として例えばオペレータモードとシステムモードの二つの操作モードが用意されており、オペレータモードとシステムモードが適宜切り換えて使用される。オペレータモードは、オペレータが検査装置１０を操作する際に使用される操作モードである。システムモードは、オペレータがローダ室１１のウエハ搬送機構１６やステージ１７のメンテナンス作業やプローバ室１２内のプローブカードの交換作業等の作業を行う際に使用される操作モードである。

モニター１４の操作画面は、例えば図２の（ａ）、（ｂ）に示すように、検査装置１０の各ステージ１７に関連する操作をするために４台のステージ１７に割り振られた複数のステージ画面１４Ｂ（同図の（ｂ）参照）と、ステージ１７以外の操作をするために使用されるメイン画面１４Ａ（同図の（ａ）参照）の二つのグループからなっている。

メイン画面１４Ａには、図２の（ａ）に示すようにローダ室１１とプローバ室１２のレイアウトをまとめて表すレイアウト図１４Ａ_１や、検査装置１０の操作メニューを実行する複数の操作ボタン１４Ａ_２等が表示される。ステージ画面１４Ｂには、例えば同図の（ｂ）に示すようにステージ図１４Ｂ_１やステージ１７の操作メニューを実行する複数の操作ボタン１４Ｂ_２が表示される。メイン画面１４Ａ及びステージ画面１４Ｂは、いずれもオペレータモードとシステムモードとの間で切り換えられるようになっている。このようにメイン画面１４Ａ及びステージ画面１４Ｂはいずれも操作画面を上位の操作画面から下位の操作画面へと段階的に切り換えることができ、各操作画面の操作ボタンを用いて各種の条件設定や指示を与えることができる。

而して、本実施形態の検査装置の操作方法（以下、単に「操作方法」と称す。）は、本発明の検査装置の操作プログラム（以下、単に「操作プログラム」と称す。）を制御装置１３にインストールすることによって実行することができる。本実施形態の操作方法を適用することにより、各種の操作画面自体や各操作画面の操作ボタンの排他処理を行うことができる。排他処理された操作画面や操作ボタンは、モニター１４の表示画面での表示が禁止され、それぞれの操作ができなくなる。例えば、ある一つのモニター１４のステージ画面をオペレータモードからシステムモードに切り換えて、ある一つのステージ１７のメンテナンス作業またはプローブカードの交換作業を行う場合には、そのステージ１７を操作するためのステージ画面１４Ｂが他のモニター１４には表示されず、他のモニター１４からそのステージ１７を操作できない状態になる。

そこで、本実施形態の操作方法について図１〜図１１を参照しながら説明する。本実施形態の操作方法は、制御装置１３において操作プログラムが作動し画面排他制御機能を実行する。画面排他制御機能は、後述する排他条件ボタンを押下することにより、あるモニター１４の操作画面あるいは操作モードを排他制御して他のモニター１４に表示しないようにするものである。図３は、画面排他制御処理の概念を示す図である。

図３に示すように制御装置１３の記憶部には検査装置１０全体の各種の機能が共有データクラスＣとしてまとめて記憶されている。共有データクラスＣでは検査装置１０を機能させるためのデータを取得し、そのデータを変更する場合にはそのデータをキーワードで指定する。共有データクラスＣはデータが変更されると、イベントを発行する。このイベントにはキーワードが付されており、キーワードによって変更されたデータが判るようになっている。

而して、モニター１４の表示画面に表示された操作画面から画面排他制御処理に用いられる排他条件ボタンを押下すれば、制御装置１３では中央演算処理部が記憶部で記憶された排他条件データＤと排他条件パターンＰを参照し、どの操作画面あるいは操作ボタンを排他処理するかを判定し、判定結果をボタン操作のあった操作画面に返す。ここで用いられる排他条件データＤは、操作画面あるいは操作ボタンを排除するために必要なデータを排他条件として共有データクラスＣから得られる。排他条件データＤは、共有データクラスＣからのイベント通知に基づいて更新することができる。排他条件パターンＰは、操作画面の操作ボタン毎に排他条件が少なくとも一つ設定されている。尚、排他条件パターンＰは、操作画面の操作ボタン毎に設定されているが、設定されていない操作ボタンは、排他処理対象外となり、常に操作画面に表示される。

ところで、排他条件パターンＰは、操作ボタンを押下できるか否かの条件をまとめたもので、図４に示すボタン押下条件パターン及び図５の（ａ）、（ｂ）に示す画面排他条件設定データからなっている。ボタン押下条件パターンは、図４に示すように複数のボタン押下条件とそれぞれの番号（Ｎｏ．）がテーブルにまとめて格納されたデータである。例えば、本実施形態ではボタン押下条件はストリング型の文字列からなる構造体配列として格納されている。尚、データ構造は、バイナリ型であっても良い。画面排他条件設定データは、メイン画面１４Ａ及びステージ画面１４Ｂそれぞれの操作画面毎にそれぞれの操作画面に属する操作ボタンの排他条件を設定するためのデータである。画面排他条件設定データは、図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、ボタンＩＤ（同図ではボタン名と表示されている）及び排他条件からなっている。排他条件は、図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、ボタン押下条件パターンにある条件（データ）から少なくとも一つを選択し、選択されたデータに付されたＮｏ．を用いて設定し表示される。

例えば、図５の（ａ）のボタンＳ２の排他条件Ａ（２：３）の設定は、入力装置を用いて、排他条件Ａを定義するために割り当てられた操作ボタンと、テンキー等の数値ボタンの「２」、「３」を押下処理することで、排他条件Ａ（２：３）と設定される。ボタンＳ３の排他条件Ｏ（４：５）の設定は、入力装置を用いて、排他条件Ｏを定義するために割り当てられた操作ボタンと、テンキー等の数値ボタンの「４」、「５」を押下処理することで、排他条件Ｏ（４：５）と設定される。更に、図示されていないが排他条件パターンとして排他条件Ａと排他条件Ｏを含む排他条件Ｏ（Ａ（１：２）：Ａ（３：４））の場合には、予め定義された排他条件Ａ及び排他条件Ｏそれぞれの操作ボタンとテンキー等の数値ボタンの所定の数字を組み合わせて入力することによって設定される。ここで、排他条件ＡはＡＮＤ処理を意味し、括弧内の排他条件を全て満たした場合にのみ実行される。従って、括弧内の排他条件が一つでも満たしていない場合にはＮＧと判定される。また、ここで、排他条件ＯはＯＲ処理を意味し、括弧内の排他条件がひとつでも満たしている場合には実行される。従って、括弧内の排他条件を全て満たしていない場合にのみＮＧと判定される。

全ての排他条件データＤは、検査装置１０の起動時に、例えば図６に示すフローに従って画面排他条件設定データとして設定される。全排他条件データの設定処理を開始すると、図４に示すように全排他条件データＤにキーワード（例えば、文字列「１」等）を付して全排他条件データＤをまとめたキーワードテーブルとして用意した後（ステップＳ１）、排他条件データＤのキーワードテーブルを全て参照したか否かを判定する（ステップＳ２）。キーワードテーブルの全てのキーワードを参照していなければ、排他条件データＤのストリング型の構造体配列にキーワードをセットする（ステップＳ３）。次いで、排他条件データＤの構造体配列に共有データクラスＣの値をセットした後（ステップＳ４）、ステップＳ２〜ステップＳ４を繰り返す。ステップＳ２において、全てのキーワードを参照したと判定すれば、全ての排他条件データＤの設定を終了する。

排他条件パターンＰは、検査装置１０の起動時に、例えば図７に示すフローに従って設定される。全排他条件パターンの設定処理を開始すると、全排他条件パターンＰを確認し、排他条件データＤで有効な値をまとめたテーブル（図４参照）を用意した後（ステップＳ１１）、排他条件パターンＰのテーブルを全て参照したか否かを判定する（ステップＳ１２）。全ての排他条件パターンＰを参照し終えていなければ、排他条件パターンＰの構造体配列に確認する排他条件データＤをセットする（ステップＳ１３）。次いで、排他条件パターンＰの構造体配列に有効となる値をセットした後（ステップＳ１４）、ステップＳ１２〜ステップＳ１４を繰り返す。ステップＳ１２において、排他条件パターンＰのテーブルの全てを参照し終えたと判定すれば、全排他条件パターンＰの設定を終了する。例えば図５の（ａ）、（ｂ）は、メイン画面０１、０２に設定された画面排他条件設定データからなる画面排他条件設定ファイルを示している。

排他条件データＤ及び排他条件パターンＰを設定した後、検査装置１０の再起動時において画面排他条件設定ファイルから図５の（ａ）、（ｂ）に示すテーブルに画面ＩＤやボタンＩＤを取得し、各ボタンＩＤに該当する排他条件が設定される。これにより画面排他条件制御処理を実行し、各モニター１４で排他条件を実行するためのボタンＩＤを押下すると、そのボタンＩＤに対応する排他条件を図８に示す排他条件判定処理に従って実行する。図５の（ａ）、（ｂ）では排他条件ボタンがボタンＳ１、ボタンＳ２、ボタンＳ３として表示されている。

排他条件判定処理は、例えばメイン画面０１でボタンＩＤを押下した時に排他条件が呼び出されて実行される。実行の結果、排他条件を満たす場合にはそのボタンＩＤが操作画面から排除され、排他条件を満たさない場合にはそのボタンＩＤが操作画面に表示されて押下できる。

即ち、図８に示すように、排他条件判定処理が開始すると、返り値に初期値をセットした後（ステップＳ２１）、排他条件パターンＰを参照する（ステップＳ２２）。排他条件パターンＰの参照処理は、例えば図９に示すフローに従って実行される。この参照処理を開始すると、どの画面の排他条件ボタン（排他条件が設定されたボタンＩＤ）が押下されたかを判定し（ステップＳ２２１）、排他条件ボタンが押下された画面の画面ＩＤ（例えば、メイン画面０１）を取得した後（ステップＳ２２２）、画面排他条件設定ファイルから読み込んだデータを全て参照したか否かを判定する（ステップＳ２２３）。全てのデータを参照していなければ、画面排他条件設定ファイルを読み込んだデータ内に画面ＩＤがあるか否かを判定し（ステップＳ２２４）、ステップＳ２２４において画面ＩＤがないと判定した場合にはステップＳ２２３へ戻り、ステップＳ２２３とステップＳ２２４の処理を繰り返す。ステップＳ２２４において所定の画面ＩＤがあると判定した場合にはステップＳ２２５へ移行し、画面ＩＤに設定された排他条件ボタンを全て参照したか否かを判定する。

ステップＳ２２５において画面ＩＤに押下された排他条件ボタンに対応するボタンＩＤがあるか否かを判定し（ステップＳ２２６）、そのボタンＩＤがなければ、ステップＳ２２５に戻ってステップＳ２２５の処理とステップＳ２２６の処理を繰り返す。ステップＳ２２６において押下されたボタンＩＤ（例えば、ボタンＳ２）が画面ＩＤにあれば、そのボタンＳ２の排他条件を取得し（ステップＳ２２７）、排他条件パターンＰの参照処理を終了する。

また、ステップＳ２２３において画面排他条件設定データ内の全てのデータを参照したと判定した場合、あるいはステップＳ２２５において画面ＩＤに設定された全ての排他条件ボタンを参照したと判定した場合には、排他条件判定処理におけるステップＳ２２の排他条件パターン参照処理を終了する。

上述の排他条件パターン参照処理において例えば図５の（ａ）に示すメイン画面０１中のボタンＳ２の排他条件Ａ（２：３）を排他条件パターンＰとして取得した場合、図８に示すように、この排他条件パターンＰの文字列を全て参照したか否かを判定する（ステップＳ２３）。排他条件パターンＰの文字列の全てを参照していないと判定した時には排他条件パターンＰの文字列に排他条件のＡＮＤ条件を示す文字Ａが入っているか否かを判定し（ステップＳ２４）、文字列に文字Ａが見つかった時には、図１０に示すフローに従って「Ａが見つかった時の処理」を開始する。

一方、図８に示すステップＳ２４において、文字Ａが見つからなければ、文字列に排他条件のＯＲ条件を示す文字Ｏが入っているか否かを判定し（ステップＳ２６）、文字列に
文字Ｏが見つかった時には、「Ｏが見つかった時の処理」を図１１に示すフローに従って開始する。文字列に文字Ｏが入っていない時には、文字列（例えば、１、２など）からボタン押下条件を判定し（ステップＳ２８）、判定の結果がＮＧ（ボタン押下条件を満たさない）であるか否かについて判定する（ステップＳ２９）。判定結果がＮＧであれば判定結果を返り値にセットし（ステップＳ３０）、排他条件の判定を終了する。判定結果がＮＧでなければ、排他条件パターンＰの文字列を最後まで進め（ステップＳ３１）、ステップＳ２３に戻り、ステップ２３において排他条件パターンＰの文字列の全てを参照し終えた場合には排他条件の判定処理を終了する。

ところが、排他条件パターンＰの排他条件Ａ（２：３）には文字列にＡＮＤ条件を示す文字Ａが入っていることから、上述のようにステップＳ２５の「Ａが見つかった時の処理」を開始する。「Ａが見つかった時の処理」は図１０に示すフローに従って実行される。即ち、この処理では、図１０に示すように返り値に初期値をセットした後（ステップＳ２５１）、文字Ａの括弧内の排他条件パターンＰの文字列の全てを参照したか否かを判定する（ステップＳ２５２）。排他条件パターンＰの全ての文字を参照し終えていないと判定した時には、更に括弧内に排他条件パターンの文字Ａが入っているか否かを判定する（ステップＳ２５３）。ステップＳ２５３において文字Ａが入っている判定した場合には「Ａが見つかった時の処理」を行うが（ステップＳ２５４）、ここでは括弧内に文字Ａが入っていないため、引き続き、括弧内に排他条件パターンのＯＲ条件を示す文字Ｏが入っているか否かを判定する（ステップＳ２５５）。ステップＳ２５５において文字Ｏが入っている判定した場合には「Ｏが見つかった時の処理」を行うが（ステップＳ２５６）、ここでは文字Ｏが入っていないため、排他条件Ａ（２：３）の括弧内の数字の示すボタン押下条件の判定を行う（ステップＳ２５７）。ここでは少なくともボタン押下条件Ｎｏ．２の「ロードポート１５にキャリアがセットされているか？」を判定する。ステップＳ２５７においてＮｏ．２の判定を行い、判定結果がＮＧでなければ、ボタン押下条件Ｎｏ．２の条件を満たすことになる。続いて、次の文字列に進めてステップＳ２５２からステップＳ２５８を繰り返してもう一つのボタン押下条件Ｎｏ．３の「ロードポート１５が測定中か？」の判定を行い、判定の結果がＮＧでなければステップＳ２５２へ戻り、ここで括弧内の排他条件パターンＰの全てを参照する。ここでは括弧内の排他条件パターンの全てを参照し終えたことになり、これらの判定結果を返り値にセットし（ステップＳ２５９）、排他条件の文字列を括弧内の終わりまで進め（ステップＳ２６０）、「Ａが見つかった時の処理」を終了する。

図１０に示す「Ａが見つかった時の処理」を終えた後、その判定結果を図８に示すステップＳ２５へ戻し、ステップＳ２５からステップＳ２９へ移行し、ステップＳ２９において排他条件Ａ（２：３）がＮＧであるか否か判定される。ここでは判定結果がＮＧでない、即ち排他条件を満たしているため、次の排他条件パターンの文字列に進む（ステップＳ３１）。ステップＳ２３において後続の排他条件パターンの文字列の全てを参照するが、この排他条件パターンＰでは後続の排他条件パターンがないため、全ての文字列を参照し終えたことになり、排他条件判定処理を終了する。この排他条件判定処理ではボタンＳ２の排他条件Ａ（２：３）を満たしているため、ボタンＳ２はいずれの操作画面からも排除され、表示されず、他のモニター１４の操作画面からボタンＳ２を押下できない。

一方、図１０に示す「Ａが見つかった時の処理」のステップＳ２５８において、排他条件Ａ（２：３）の括弧内のボタン押下条件であるＮｏ．２がＮＧ、即ち排他条件を満たしていないと判定すると、この判定結果を返り値にセットし（ステップＳ２５９）、排他条件の文字列を括弧内の文字列を終わりまで進め（ステップＳ２６０）、もう一つのボタン押下条件Ｎｏ．３を確認して「Ａが見つかった時の処理」を終了し、図８に示すステップＳ２５へ戻った後、ステップＳ２９において判定結果がＮＧであるか否かを判定する。ここでは判定結果がＮＧであるため、判定結果を返り値にセットして排他条件判定処理を終了する。この排他条件判定処理ではボタンＳ２の排他条件Ａ（２：３）を満たしていないため、ボタンＳ２は操作画面に表示され、いずれのモニター１４の操作画面からもボタンＳ２を押下できる。

また、図８に示す排他条件判定処理のステップＳ２２において、例えば図５の（ａ）に示すメイン画面０１のボタンＳ１のボタン押下条件Ｎｏ．１を取得した場合には、文字列を参照しても文字Ａ、文字Ｏがともに入っていないため、ステップＳ２３、Ｓ２４、Ｓ２６を経て、ステップＳ２８においてボタン押下条件Ｎｏ．１の「メイン画面の操作モードがシステムモードであるか？」を判定し（ステップＳ２９）、ＮＧでない判定されると、他の文字列に進み（ステップＳ３１）、ステップ２３へ戻って文字列を全て参照し終えたか否かを判定する。ここでは文字列の全てを参照したため、排他条件判定処理を終了する。この排他条件判定処理ではボタン押下条件Ｎｏ．１の排他条件を満たしているため、ボタンＳ１に対応するシステムモードがメイン画面０１に表示されず、他の操作画面ではシステムモードを使えない。逆に、排他条件判定処理の結果、ＮＧとなってボタン押下条件Ｎｏ．１の排他条件を満たしていない場合には、システムモードがメイン画面０１に表示され、たの操作画面からも操作できる。

また、図８に示す排他条件判定処理のステップＳ２２において、例えばＡ（Ａ（１：２）：Ｏ（３：４）：５）を排他条件パターンＰ１として取得し、排他条件パターンＰ１の参照処理を終了すると、ステップＳ２２からステップＳ２３へ移行し、排他条件Ａ（Ａ（１：２）：Ｏ（３：４）：５）の文字列の全てを参照したか否かを判定する。文字列の全てを参照し終えていない時には、ステップＳ２４において排他条件パターンの文字列に文字Ａが入っているか否かを判定し、文字列に文字Ａが入っていると判定された時にはステップＳ２５へ移行し、「Ａが見つかった時の処理」をする。この処理は、上述したように図１０に示すフローに従って行われる。

「Ａが見つかった時の処理」では、図１０に示すように、返り値に初期値をセットした後（ステップＳ２５１）、排他条件Ａの括弧内の排他条件の文字列を全て参照し終えたか否かを判定し（ステップＳ２５２）、排他条件パターンの全てを参照し終えていないと判定した時には、排他条件パターンＰ１の文字Ａの括弧内に文字Ａが入っているか否かを判定する（ステップＳ２５３）。この場合には括弧内にも排他条件Ａ（１：２）の文字Ａが入っているため、ステップＳ２５４へ移行して「Ａが見つかった時の処理」を行う。この処理は上述した排他条件Ａ（２：３）の場合と同一要領で行われる。この「Ａが見つかった時の処理」を終了すると、図８に示すステップＳ２５の「Ａが見つかった時の処理」に戻り、ステップＳ２９へ移行して判定結果がＮＧであるか否かを判定する。

図１０に示すステップＳ２５８において排他条件Ａ（１：２）の括弧内のボタン押下条件Ｎｏ．１を満たしていず、ＮＧと判定されると、判定結果を返り値にセットし、排他条件Ａ（１：２）の「Ａが見つかった時の処理」を終了し、図８に示すステップＳ２５の「Ａが見つかった時の処理」に戻り、ステップＳ２９において判定結果がＮＧであるか否かを判定する。ここでは判定結果がＮＧであるため、判定結果を返り値にセットし（ステップＳ３０）、排他条件パターンＰ１の排他条件判定処理を終了する。この排他条件判定処理では排他条件パターンＰ１がその条件を満たしていないため、排他条件パターンＰ１を示す操作ボタンがいずれのモニターの操作画面にも表示され、押下することができる。

逆に、図１０に示すステップＳ２５８において排他条件Ａ（１：２）の括弧内のボタン押下条件Ｎｏ．１、２のいずれもＮＧでないと判定されて条件を満たしていると判定されると、判定結果を返り値にセットし、排他条件Ａ（１：２）の「Ａが見つかった時の処理」を終了し、図８に示すステップＳ２５の「Ａが見つかった時の処理」に戻り、ステップＳ２９において判定結果がＮＧであるか否かを判定する。ここでは判定結果がＮＧではないため、排他条件パターンＰ１の括弧内の後続の文字列へ進め（ステップＳ３１）、ステップＳ２３に戻って排他条件パターンＰ１の文字列を全て参照し終えたか否かを判定する。ここでは文字列があるため、ステップＳ２４へ移行し、後続の文字Ａの有無を判定し、ここでは文字Ａが入っていないため、ステップＳ２６へ移行し、文字Ｏの有無を判定する。ここでは排他条件Ｏ（３：４）の文字Ｏが入っているため、ステップＳ２７へ移行して「Ｏが見つかった時の処理」を行う。この処理は図１１に示すフローに従って行われる。

「Ｏが見つかった時の処理」では、図１１に示すように返り値に初期値をセットした後（ステップＳ２７１）、排他条件パターンである排他条件Ｏ（３：４）の括弧内の文字列の全てを参照し終えたか否かを判定する（ステップＳ２７２）。排他条件パターンの全てを参照し終えていないと判定すると、括弧内に文字Ａが入っているか否かを判定する（ステップＳ２７３）。括弧内に文字Ａが入っていないため、ステップＳ２７５へ移行して括弧内に文字Ｏが入っているか否かを判定する。文字Ｏも入っていないため、括弧内のボタン押下条件Ｎｏ．３を判定し（ステップＳ２７７）、判定結果を返り値にセットした後（ステップＳ２７９）、判定結果がＯＫであるか否かを判定し（ステップＳ２７９）、その結果ＯＫと判定して排他条件を満たしている場合には残りのボタン押下条件Ｎｏ．４を確認し（ステップＳ２８０）、
「Ｏが見つかった時の処理」を終了する。

図１１に示す「Ｏが見つかった時の処理」を終了すると、図８に示すステップＳ２７へ戻る。引き続き、ステップＳ２９へ移行し、排他条件パターンＰ１の排他条件Ｏ（３：４）の判定結果がＮＧであるか否かを判定する。判定の結果排他条件Ｏ（３：４）がＮＧでないため、後続の排他条件パターンの文字列に進め（ステップＳ３１）、ステップ２３において排他条件パターンの全ての文字を参照し終えたか否かを判定する。排他条件パターンＰ１では排他条件Ａ（Ａ（１：２）：Ｏ（３：４）：５）であるため、ボタン押下条件Ｎｏ．５が残っている。

そこで、ステップＳ２４及びステップＳ２６を経由してステップＳ２８においてボタン押下条件Ｎｏ．５を判定し、判定の結果ＮＧでなければ、ステップＳ３１を経てステップＳ２３に戻り、排他条件パターンＰ１の全ての文字列を参照し終えたか否かを判定する。ここでは全ての文字列を参照し終えているため、排他条件パターンＰ１の排他条件判定処理を終了する。この排他条件判定処理では排他条件パターンＰ１の全ての条件を満たしているため、排他条件パターンＰ１を示す排他条件ボタンがいずれのモニターの操作画面にも表示されず、その排他条件ボタンを押下することはできない。

上述のステップＳ２８におけるボタン押下条件Ｎｏ．５をＮＧと判定すると、判定結果を返り値にセットし（ステップＳ３０）、排他条件パターンＰ１の排他条件判定処理を終了する。この排他条件判定処理では排他条件パターンＰ１がＡＮＤ条件の一つであるボタン押下条件Ｎｏ．５を満たしていないため、その前の排他条件を全て満たしていても、排他条件パターンＰ１の条件を満たしていないため、排他条件パターンＰ１を示す排他条件ボタンがいずれのモニターの操作画面にも表示され、操作できる。

以上説明したように本実施形態によれば、複数のモニター１４それぞれの操作画面に表示される操作ボタンを用いて複数の検査用のステージ１７を備えた検査装置１０を操作する場合に、検査装置１０の各種の機能を実行するために必要なデータをまとめた排他条件データＤと、排他条件データＤの排他条件を、各機能を実行するための操作ボタンを押下できるか否かのデータとしてまとめた排他条件パターンＰと、を用いて、操作ボタンを操作画面から排除するための排他条件ボタンを少なくとも一つのモニター１４の操作画面に設定し、この操作画面で排他条件ボタンを押下して他のモニター１４では少なくとも一つのモニターの排他条件に即した画面の表示を禁止するようにしたため、検査装置１０の運用状況に応じて排他条件ボタンを操作することにより、４台のステージ１７を有する検査装置１０において、あるステージ１７に使用されているモニター１４の操作画面またはその操作ボタンの他のモニター１４での表示を禁止すると共に、他のモニター１４では他のステージ１７の操作をすることができ、もって、検査装置１０の稼動効率を格段に高めることができる。

モニター１４は、各ステージ１７にそれぞれ割り振られた４つのステージ画面と、これらのステージ画面１４Ｂ以外のメイン画面１４Ａと、を表示するようにし、更に、ステージ画面１４Ｂとメイン画面１４Ａにはそれぞれ操作モードが表示され、操作モードが半導体ウエハの検査のために用いられるオペレータモードと、ステージ１７を止めて所定の作業するために用いられるシステムモードと、からなるため、一つのモニター１４を用いてメンテナンス作業を行っていても、他のモニターをメンテナンス作業に用いられるモニター１４から排除して、他のステージ１７での検査をメンテナンス作業と並行して行うことができ、検査装置１０の稼動効率を格段に高めることができる

尚、本発明は、上記実施形態に何ら制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜変更することができる。

本発明は、複数のステージを備えた検査装置に好適に利用することができる。

１０ 検査装置
１３ 制御装置（コンピュータ）
１４ モニター
１４Ａ メイン画面
１４Ａ_１、１４Ａ_２ 操作ボタン
１４Ｂ ステージ画面
１４Ｂ_２ 操作ボタン
１７ ステージ

Claims (5)

1. 複数の検査用のステージを備えた検査装置を、複数のモニターにそれぞれ表示される操作画面の操作ボタンを用いて操作する方法であって、
   上記検査装置の各種の機能をそれぞれ実行するために必要な機能データを排他条件としてまとめた排他条件データと、上記排他条件データの上記排他条件を、上記各種の機能をそれぞれ実行するための操作ボタンを押下できるか否かのデータとしてまとめた排他条件パターンと、を用意する工程と、
   上記検査装置の運用状況に即して上記操作画面または少なくとも一つの上記操作ボタンを排除するための排他条件ボタンを上記モニターの少なくとも一つに準備する工程と、
   上記排他条件ボタンを押下して上記排他条件データと上記排他条件パターンを参照して上記排他条件ボタンの排他条件を判定する工程と、
   上記判定結果に基づいて上記他のモニターでは上記少なくとも一つのモニターの上記排他条件ボタンの示す排他条件に即した上記操作画面または少なくとも一つの上記操作ボタンの表示を禁止する工程と、を備えた
   ことを特徴とする検査装置の操作方法。
2. 上記モニターは、上記各ステージにそれぞれ割り振られた複数のステージ画面と、これらのステージ画面以外のメイン画面と、を表示することを特徴とする請求項１に記載の検査装置の操作方法。
3. 上記ステージ画面と上記メイン画面にはそれぞれ操作モードが表示され、上記操作モードは、半導体ウエハの検査のために用いられるオペレータモードと、上記ステージを止めて所定の作業するために用いられるシステムモードと、からなることを特徴とする請求項２に記載の検査装置の操作方法。
4. 上記モニターに上記システムモードが表示されている時には、上記他のモニターには上記システムモードを表示しないことを特徴とする請求項３に記載の検査装置の操作方法。
5. 半導体ウエハの電気的特性検査のために複数のステージを備えた検査装置を操作するために用いられるプログラムであって、コンピュータを駆動させて、請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査装置の操作方法を実行することを特徴とする検査装置の操作用プログラム。
   

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