CN101995539B - 检查装置的操作方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序，能够显著提高具有多个工作台的检查装置的检查效率。本发明的检查装置的操作方法，是在利用显示于多个显示器(14)的各操作画面上的操作按钮，操作具备多个检查用工作台(17)的检查装置(10)中，使用归纳了用于执行检查装置(10)的各种功能所需的数据的排他条件数据(D)和将排他条件数据(D)的排他条件归纳为能否按下用于执行各功能的操作按钮的数据的排他条件类型(P)，在至少一个显示器(14)上设定用于排除操作按钮的排他条件按钮，按下排他条件按钮禁止在其他显示器中显示至少符合一个显示器的排他条件的画面。

Description

检查装置的操作方法

技术领域

本发明涉及检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序，更详细来说，涉及能够有效地运用具有多个工作台的检查装置的检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序。 

背景技术

具有多个工作台的检查装置1，如图12所示，具备：装载室3，其设置有用于输送半导体晶片的输送机构2；以及探针室5，其设置有多个(例如4台)用于载置通过输送机构2输送的半导体晶片的工作台4和分别配置在上述工作台4上方的多个探针卡(未图示)，在探针室5内使多个工作台4上的半导体晶片的电极焊盘与探针卡的多个探针电接触，进行半导体晶片的检查。 

在装载室3内将载置料盒的装载口6相互分开左右配置，用输送机构2在各装载口6上的料盒与多个工作台4之间输送半导体晶片。另外，在装载室3侧和探针室5侧设有用于监视各室并且操作各室内的设备的显示器(未图示)，并利用上述显示器的显示画面所显示的操作画面来运用、管理检查装置。显示器的操作画面，能够通过显示在其上的操作按钮，从上位的操作画面分阶段地切换到下位的操作画面。然后，通过按下显示在各操作画面上的操作按钮来执行分配给各操作按钮的功能，由此操作设置在装载室3和探针室5内的各种设备。 

于是，检查装置1例如图12所示以矩阵状集中配置于清洁室内的检查区域。在横向排列的多个检查装置之间仅形成微小的间隙。另外，在图12中P是清洁室的柱子。 

在检查装置1的装载室3侧，配置有必要数量的用于进行从检查开始到结束的操作的显示器，在检查装置1的探针室5侧只配置有必要数量的用于进行探针室5内的探针卡更换作业和维护作业等的显示器。与检查装置1相对置配置的装载室3侧的显示器与探针室5侧的显示器分别分开使用。 

然而，由于即使有多个显示器但能够操作的显示器也被限制在一处，因此除了操作中的显示器以外，其他则无法使用。例如，当操作员用探针室5侧的显示器长时间进行让检查中断的探针卡的交换作业或工作台的维护作业等作业时(以下，以维护作业代表)，由于在此期间不能操作其他显示器，因此若不将检查装置全部停止，就无法从装载室3侧的显示器对探针室5内的未进行维护作业的其他工作台进行检查指示，因此存在工作效率降低的问题。 

发明内容

本发明是为了解决上述问题而做出的，目的在于提供一种检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序，能够在具有多个工作台的检查装置中，禁止某工作台使用着的显示器用的操作画面本身或者该操作画面内的操作按钮在其他显示器上显示以使其无法操作，并且能够在其他显示器上不停止其他工作台就继续进行操作，从而能够显著提高检查装置的工作效率。 

本发明的技术方案1所述的检查装置的操作方法，是利用分别显示于上述多个显示器的操作画面，操作具备多个显示器和多个检查用工作台的检查装置的方法，其特征在于，具备以下工序：预备排他条件数据和排他条件类型的工序，其中，该排他条件数据是将用于执行上述检查装置的多种功能所需的功能数据归纳为排他条件而成的；该排他条件类型是将上述排他条件归纳为能否按下用于执行上述各功能的操作按钮的数据而成的；在至少一个上述显示器中准备用于符合上述检查装置的运用状况地排除上述操作按钮的排他条件按钮的工序；按下上述排他条件按钮并参照上述排他条件数据和上述排他条件类型来判定上述排他条件按钮的排他条件的工序；基于上述判定结果，禁止在上述其他显示器中显示符合上述至少一个显示器的排他条件的画面的工序。 

另外，本发明的技术方案2所述的检查装置的操作方法，是在技术方案1所述的发明的基础上，其特征在于，上述显示器显示有：分别分配给上述各工作台的多个工作台画面、和上述工作台画面以外的主画面。 

另外，本发明的技术方案3所述的检查装置的操作方法，是在技术方案2所述的发明的基础上，其特征在于，分别在上述工作台画面和上述主画面上显示操作模式，上述操作模式由用于检查半导体晶片的操作员模 式、和用于停止上述工作台进行规定作业的系统模式构成。 

另外，本发明的技术方案4所述的检查装置的操作方法，是在技术方案3所述的发明的基础上，其特征在于，在上述显示器上显示出上述系统模式时，则在上述其他显示器上不显示上述系统模式。 

另外，本发明的技术方案5所述的检查装置的操作程序，是用于为了检查半导体晶片的电气特性而操作具有多个工作台的检查装置所使用的程序，其特征在于，驱动计算机来执行技术方案1至4中任意一项所述的检查装置的操作方法。 

根据本发明，能够提供一种检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序，在具有多个工作台的检查装置中，禁止某工作台使用着的显示器用的操作画面本身或者该操作画面内的操作按钮在其他显示器上显示以便使其无法操作，并且能够在其他显示器上不停止其他工作台就继续进行操作，从而能够显著提高检查装置的工作效率。 

附图说明

图1是表示应用本发明的检查装置的操作方法的检查装置的一个例子的俯视图。 

图2(a)、(b)分别是表示显示于图1所示的显示器上的操作画面的图。 

图3是表示本发明的检查装置的操作方法的一个实施方式的示意图。 

图4是表示在用于执行图1所示的检查装置的操作方法的显示器上显示的操作按钮的按下条件类型的图。 

图5(a)、(b)分别是表示用图4表示的数据表设定的画面排他条件设定数据的图。 

图6是用于设定图5所示的画面排他条件设定数据的流程图。 

图7是用于参照图5所示的排他条件类型的流程图。 

图8是用于进行排他条件判定处理的流程图。 

图9是表示图8所示的排他条件判定处理的一部分工序的流程图。 

图10是表示图8所示的排他条件判定处理的另一部分工序的流程图。 

图11是表示图8所示的排他条件判定处理的又一部分工序的流程图。 

图12是表示配置了多个现有的检查装置的状态的俯视图。 

图中符号说明如下： 

10...检查装置；13...控制装置(计算机)；14...显示器；14A...主画面；14A₁、14A₂...操作按钮；14B...工作台画面；14B₂...操作按钮；17...工作台。 

具体实施方式

下面，基于图1～图12所示的实施方式说明本发明。 

首先，对应用本发明的检查装置的操作方法的检查装置进行说明。例如图1所示，该检查装置10具备：输送半导体晶片的装载室11、进行半导体晶片的电气特性检查的探针室12、控制装载室11和探针室12的各设备的控制装置13、操作并监视装载室11和探针室12的各设备的显示器14，并且通过按下显示器14的操作画面所显示的操作按钮使控制装置13工作，操作装载室11和探针室12的各设备来进行半导体晶片的电气特性检查。 

装载室11具备：以料盒为单位配置半导体晶片的左右两处的装载口15、在上述装载口15上的料盒与探针室12之间输送半导体晶片的晶片输送机构16，晶片输送机构16构成为在分别配置于装载口15上的料盒(未图示)与探针室12之间输送半导体晶片。 

探针室12具备：沿着装载室11配置的四台工作台17、配置在各工作台17各自的上方的四处的探针卡(未图示)、对工作台17上的半导体晶片的电极焊盘和探针卡的多个探针进行校准的校准机构(未图示)，并且构成为各工作台17载置半导体晶片在规定的范围内在水平方向和上下方向上移动。对探针室12来说构成为进行过工作台17上的半导体晶片和探针卡的校准后，使各工作台17上的半导体晶片的电极焊盘与探针卡的多个探针电接触，并基于来自测试器(未图示)的指令信号进行半导体晶片的电 气特性检查。另外，在图1中探针室12内的4台工作台17分别被隔壁划分，然而也可以不设隔壁。 

控制装置13构成为具有中央运算处理部、和存储本发明的检查装置的操作程序等各种程序和检查所需的各种数据的存储部的计算机，通过按下显示于显示器14的显示画面上的操作按钮，从而中央运算处理部和存储部协作执行被赋予该按钮的功能，而驱动控制装载室11和探针室12的各设备。 

例如图1所示，显示器14在装载室11侧和探针室12侧分别各配置一台。也可以根据需要增加显示器14。在显示器14的显示画面上显示用于操作检查装置10的操作画面。作为显示器14的操作画面，例如准备有操作员模式和系统模式这两个操作模式，操作员模式和系统模式可适当切换使用。操作员模式是操作员在操作检查装置10时所使用的操作模式。系统模式是操作员在进行装载室11的晶片输送机构16、工作台17的维护作业或进行探针室12内的探针卡的交换作业等作业时所使用的操作模式。 

例如图2(a)、(b)所示，操作画面由两组画面构成，即：为了进行与检查装置10的各工作台17相关的操作而分配给四台工作台17的多个工作台画面(参照该图(b))、和为了进行工作台17以外的操作所使用的主画面(参照该图(a))。 

如图2(a)所示，在主画面14A中显示出：集中显示装载室11和探针室12的布局的布局图14A₁、和执行检查装置10的操作菜单的多个操作按钮14A₂等。例如该图(b)所示，在工作台画面14B中显示出工作台图14B₁和执行工作台17的操作菜单的多个操作按钮14B₂。主画面14A和工作台画面14B均可在操作员模式和系统模式之间进行切换。这样主画面14A和工作台画面14B均可将操作画面从上位的操作画面分阶段地向下位的操作画面切换，并可以用各操作画面的操作按钮给予各种条件设定和指令。 

于是，本实施方式的检查装置的操作方法(以下，简称为“操作方法”)，可以通过在控制装置13中安装本发明的检查装置的操作程序(以下，简称为“操作程序”)来执行。通过应用本实施方式的操作方法，能够进行各种操作画面本身和各操作画面的操作按钮的排他处理。进行过排他处理的操作画面和操作按钮，禁止在显示器14的显示画面上显示，且无法进行各 自的操作。例如，在将某一个显示器14的工作台画面从操作员模式切换到系统模式，来进行某一个工作台17的维护作业或者探针卡的交换作业时，用于操作该工作台17的工作台画面14B不被显示在其他显示器14上，因此处于从其他显示器14无法操作该工作台17的状态。 

因此，参照图1～图11说明本实施方式的操作方法。本实施方式的操作方法，是在控制装置13中操作程序启动来执行画面排他控制功能的。画面排他控制功能是通过按下后述的排他条件按钮，来对某个显示器14的操作画面或操作模式进行排他控制以使其不在其他显示器14上显示的功能。图3是显示画面排他控制处理的概念的图。 

如图3所示，将检查装置10整体的各种功能归纳为共享数据类C并存储于控制装置13的存储部。在共享数据类C中取得用于发挥检查装置10的功能的数据，在变更该数据时用关键词来指定该数据。当共享数据类C变更数据时发行事件。在该事件中带有关键词因而根据关键词可知变更过的数据。 

而且，如果从显示器14的显示画面所显示的操作画面上按下用于画面排他控制处理的排他条件按钮，则在控制装置13中，中央运算处理部参照在存储部存储的排他条件数据D和排他条件类型P，来判定是对哪个操作画面或操作按钮进行排他处理，并将判定结果返回到有按钮操作的操作画面。在此使用的排他条件数据D是将用于排除操作画面或操作按钮所需的数据作为排他条件从共享数据类C中获得的。排他条件数据D可基于来自共享数据类C的事件通知进行更新。排他条件类型P按照操作画面的每个操作按钮至少设定一个排他条件。另外，排他条件类型P虽然按照操作画面的每个操作按钮设定，但未设定的操作按钮不成为排他处理对象，总是显示在操作画面上。 

然而，由于排他条件类型P归纳了能否按下操作按钮的条件，因此由图4所示的按钮按下条件类型和图5(a)、(b)所示的画面排他条件设定数据构成。如图4所示，按钮按下条件类型是将多个按钮的按下条件和各自的编号(No.)归纳在表中所保存的数据。例如在本实施方式中按钮按下条件被保存为由线形字符串构成的构造体排列。另外，数据构造也可以是二进制型。画面排他条件设定数据是用于按照主画面14A和工作台画面14B各自的每个操作画面，设定属于各操作画面的操作按钮的排他条件的数据。如图5(a)、(b)所示，画面排他条件设定数据由按钮ID(在该图 中显示为按钮名)和排他条件构成。如图5(a)、(b)所示，排他条件是从按钮按下条件类型中存在的条件(数据)中至少选择一种，并用选择的数据所带的No.进行设定、显示。 

例如，图5(a)的按钮S2的排他条件A(2:3)的设定，通过利用输入装置对为了定义排他条件A而分配的操作按钮，和数字键等数值按钮的“2”、“3”进行按下处理，而设定为排他条件A(2:3)。按钮S3的排他条件O(4:5)的设定，通过利用输入装置对为了定义排他条件O而分配的操作按钮，和数字键等数值按钮的“4”、“5”进行按下处理，而设定为排他条件O(4:5)。此外，虽未图示然而作为排他条件类型，在包括排他条件A和排他条件O的排他条件O(A(1:2)、A(3:4))的情况下，通过组合并输入预先定义的排他条件A和排他条件O的各操作按钮和数字键等数值按钮的规定的数字来设定。在此，排他条件A是AND处理的意思，只有在全部满足了括号内的排他条件时才执行。因此，即使括号内的排他条件有一个不满足时也被判定为NG。另外，在此，排他条件O是OR处理的意思，即使满足括号内的一个排他条件时也执行。因此，只有在全部没有满足括号内的排他条件时才被判定为NG。 

全部的排他条件数据D，在检查装置10启动时，例如按照如图6所示的流程被设定为画面排他条件设定数据。当开始全部排他条件数据的设定处理时，如图4所示在全部排他条件数据D中带有关键词(例如，字符串“1”等)，并准备为归纳了全部排他条件数据D的关键词表后(步骤S1)，判定是否参照了排他条件数据D的全部关键词表(步骤S2)。如果没有参照关键词表的全部关键词，则在排他条件数据D的线形构造体排列中设置关键词(步骤3)。然后，在排他条件数据D的构造体排列中设置了共享数据类C的值之后(步骤4)，重复步骤S2～步骤S4。如果在步骤S2中判定为参照了全部的关键词时，则结束全部的排他条件数据D的设定。 

排他条件类型P，在检查装置10启动时，例如按照图7所示的流程被设定。当开始全部排他条件类型的设定处理时，确认全部排他条件类型P，在准备了用排他条件数据D归纳了有效值的表(参照图4)之后(步骤S11)，判定是否参照了排他条件类型P的全部表(步骤S12)。如果没有参照完全部的排他条件类型P，则在排他条件类型P的构造体排列中设置要确认的排他条件数据D(步骤S13)。然后，在排他条件类型P的构造体排列中设置了有效的值后(步骤S14)，重复步骤S12～步骤S14。在步骤S12中， 如果被判定为参照完排他条件类型P的全部表，则结束全部排他条件类型P的设定。例如图5(a)、(b)示出由设定于主画面01、02的画面排他条件设定数据构成的画面排他条件设定文件。 

在设定完排他条件数据D和排他条件类型P之后，在检查装置10重启时从画面排他条件设定文件中在图5(a)、(b)所示的表中取得画面ID和按钮ID，并设定符合各按钮ID的排他条件。由此执行画面排他条件控制处理，当在各显示器14上按下用于执行排他条件的按钮ID时，按照图8所示的排他条件判定处理来执行与该按钮ID对应的排他条件。在图5(a)、(b)中将排他条件按钮显示为按钮S1、按钮S2、按钮S3。 

排他条件判定处理，例如通过在主画面01上按下了按钮ID时调出排他条件来执行。执行的结果为满足排他条件时该按钮ID被从操作画面中排除，在不满足排他条件时该按钮ID显示于操作画面并能够按下。 

即，如图8所示，当排他条件判定处理开始时，将初始值设置为返回值后(步骤S21)，参照排他条件类型P(步骤S22)。排他条件类型P的参照处理，例如按照图9所示的流程被执行。当开始该参照处理后，判定按下了哪个画面的排他条件按钮(设定了排他条件的按钮ID)(步骤S221)，取得按下了排他条件按钮的画面的画面ID后(例如，主画面01)(步骤S222)，判定是否参照了从画面排他条件设定文件读入的全部数据(步骤S223)。如果未参照全部的数据，则判定在读入了画面排他条件设定文件的数据内是否存在画面ID(步骤S224)，在步骤S224中判定为不存在画面ID时返回步骤S223，并重复步骤S223和步骤S224的处理。在步骤S224中判定为存在规定的画面ID时，向步骤S225转移，判定是否参照了画面ID中设定的全部排他条件按钮。 

在步骤S225中判定在画面ID中是否存在与所按下的排他条件按钮对应的按钮ID(步骤S226)，如果没有该按钮ID就返回步骤S225并重复步骤S225的处理和步骤S226的处理。在步骤S226中如果在画面ID中存在所按下的按钮ID(例如，按钮S2)，就取得该按钮S2的排他条件(步骤S227)，结束排他条件类型P的参照处理。 

另外，在步骤S223中判定为参照了画面排他条件设定数据内的全部数据时，或者在步骤S225中判定为参照了画面ID中设定的全部的排他条件按钮时，结束排他条件判定处理中步骤S22的排他条件类型参照处理。 

在上述排他条件类型参照处理中，在作为排他条件类型P取得了例如图5(a)所示的主画面01中的按钮S2的排他条件A(2:3)时，如图8所示，判定是否参照了该排他条件类型P的全部字符串(步骤S23)。在判定为没有参照排他条件类型P的全部字符串时，判定在排他条件类型P的字符串中是否有表示排他条件的AND条件的文字A(步骤S24)，当在字符串中找到了文字A时，按照图10所示的流程开始“找到了A时的处理”。 

另一方面，如果在图8所示的步骤S24中未找到文字A，则判定在字符串中是否有表示排他条件的OR条件的文字O(步骤S26)，当在字符串中找到了文字O时，按照图11所示的流程开始“找到了O时的处理”。在字符串中没有文字O时，则根据字符串(例如，1、2等)来判定按钮按下条件(步骤S28)，并对判定结果是否为NG(不满足按钮按下条件)进行判定(步骤S29)。如果判定结果是NG则将判定结果设置为返回值(步骤S30)并结束排他条件的判定。如果判定结果不是NG则将排他条件类型P的字符串继续参照到最后(步骤S31)再返回步骤S23，在步骤S23中参照完排他条件类型P的全部字符串时，结束排他条件的判定处理。 

然而，由于在排他条件类型P的排他条件A(2:3)中的字符串中有表示AND条件的文字A，因此如上所述开始步骤S25的“找到了A时的处理”。“找到了A时的处理”按照图10所示的流程来执行。即，在该处理中，如图10所示在将初始值设置为返回值后(步骤S251)，判定是否参照了文字A的括号内的排他条件类型P的全部字符串(步骤S252)。在判定为未参照完排他条件类型P的全部字符串时，再进一步判定在括号内是否有排他条件类型的文字A(步骤S253)。在步骤S253中判定为有文字A时，虽然进行“找到了A时的处理(步骤S254)”，然而在此，由于括号内没有文字A，因此继续判定在括号内是否有表示排他条件类型的OR条件的文字O(步骤S255)。在步骤S255中判定为有文字O时则进行“找到了O时的处理”(步骤S256)，然而在此，由于没有文字O，因此进行排他条件A(2:3)的括号内的数字所示的按钮按下条件的判定(步骤S257)。在此至少判定按钮按下条件No.2的“在装载口15设置有料盒？”。在步骤S257中进行No.2的判定，如果判定结果不是NG，则满足按钮按下条件No.2的条件。然后，继续参照下面的字符串并重复步骤S252到步骤S258，进行另一个按钮按下条件No.3的“装载口15是否处于测量中？”的判定，如果判定的结果不是NG就返回步骤S252，在此是参照括号内的全部的排他条件类型P。在此参照完括号内的全部排他条件类型，并将这 些判定结果设置为返回值(步骤S259)，继续参照排他条件的字符串直到括号内的字符串结束为止(步骤S260)，从而结束“找到了A时的处理”。 

在结束了图10所示的“找到了A时的处理”后，将该判定结果返回图8表示的步骤S25，从步骤S25转移到步骤S29，并在步骤S29中判定排他条件A(2:3)是否为NG。在此判定结果不是NG，即满足排他条件，因此继续参照下面的排他条件类型的字符串(步骤S31)。虽然在步骤S23中参照后续的排他条件类型的全部字符串，但在该排他条件类型P中没有后续的排他条件类型，因此为参照完全部字符串，结束排他条件判定处理。由于在该排他条件判定处理中满足了按钮S2的排他条件A(2:3)，因此按钮S2被从任意一个操作画面中排除而不显示，因而不能从其他显示器14的操作画面上按下按钮S2。 

另一方面，在图10所示的“找到了A时的处理”的步骤S258中，当判定为作为排他条件A(2:3)的括号内的按钮按下条件No.2为NG，即不满足排他条件时，将该判定结果设置为返回值(步骤S259)，并继续参照排他条件的字符串直到括号内的字符串结束为止(步骤S260)，然后确认另一个按钮按下条件No.3并结束“找到了A时的处理”，在返回图8所示的步骤S25后，在步骤S29中判定判定结果是否为NG。在此由于判定结果是NG，因此将判定结果设置为返回值并结束排他条件判定处理。在该排他条件判定处理中由于不满足按钮S2的排他条件A(2:3)，因此按钮S2显示于操作画面，还能够从任何的显示器14的操作画面上按下按钮S2。 

另外，在图8所示的排他条件判定处理的步骤S22中，例如在取得了图5(a)所示的主画面01的按钮S1的按钮按下条件No.1时，即使参照字符串文字A和文字O也均不存在，因此经过步骤S23、S24、S26并在步骤S28中判定按钮按下条件No.1的“主画面的操作模式是否为系统模式？”(步骤S29)，在被判定为不是NG时，则继续参照其他字符串(步骤S31)并返回步骤S23，判定是否参照完全部字符串。在此由于参照了全部字符串，因此结束排他条件判定处理。由于在该排他条件判定处理中满足了按钮按下条件No.1的排他条件，因此与按钮S1对应的系统模式不显示于主画面01，而在其他操作画面中不能使用系统模式。相反，在排他条件判定处理的结果为NG，不满足按钮按下条件No.1的排他条件时，在主画面01上显示系统模式，因此也能够从其他操作画面上进行操作。 

另外，在图8所示的排他条件判定处理的步骤S22中，作为排他条件类型P1取得例如A(A(1:2)：O(3:4)：5)并结束参照排他条件类型P1的处理时，从步骤S22转移到步骤S23，判定是否参照了排他条件A(A(1:2)：O(3:4)：5)的全部字符串。在未参照完全部字符串时，在步骤S24中判定在排他条件类型的字符串中是否有文字A，在判定为字符串中有文字A时转移到步骤S25，进行“找到了A时的处理”。该处理如上所述，按照图10表示的流程进行。 

如图10所示，在“找到了A时的处理”中将初始值设置为返回值后(步骤S251)，判定是否参照完排他条件A的括号内的排他条件的全部字符串(步骤S252)，在判定为未参照完全部排他条件类型时，判定排他条件类型P1的文字A的括号内是否有文字A(步骤S253)。此时由于括号内也有排他条件A(1:2)的文字A，因此转移到步骤S254，进行“找到了A时的处理”。该处理以与上述排他条件A(2:3)的情况相同的要点进行。当结束该“找到了A时的处理”时，返回图8所示的步骤S25的“找到了A时的处理”，并转移到步骤S29判定判定结果是否为NG。 

当在图10所示的步骤S258中未满足排他条件A(1:2)的括号内的按钮按下条件No.1，而被判定为NG时，将判定结果设置为返回值，并结束排他条件A(1:2)的“找到了A时的处理”，返回图8所示的步骤S25的“找到了A时的处理”，在步骤S29中判定判定结果是否为NG。在此由于判定结果为NG，因此将判定结果设置为返回值(步骤30)，结束排他条件类型P1的排他条件判定处理。由于在该排他条件判定处理中排他条件类型P1未满足该条件，因此表示排他条件类型P1的操作按键也被显示于任意一个显示器的操作画面上，并能够按下。 

相反，在图10所示的步骤S258中，当判定为排他条件A(1:2)的括号内的按钮按下条件No.1、2都未被判定为NG而判定为满足条件时，将判定结果设置为返回值，结束排他条件A(1:2)的“找到了A时的处理”，返回图8所示的步骤S25的“找到了A时的处理”，在步骤S29中判定判定结果是否为NG。在此由于判定结果不是NG，因此继续参照排他条件类型P1括号内的后续的字符串(步骤S31)，并返回步骤S23判定是否参照完排他条件类型P1的全部字符串。在此由于存在字符串因此转移到步骤S24判定有无后续的文字A，在此由于不存在文字A因此转移到步骤S26判定有无文字O。在此由于存在排他条件O(3:4)的文字O，因此 转移到步骤S27，进行“找到了O时的处理”。该处理按照图11所示的流程进行。 

在“找到了O时的处理”中，如图11所示将初始值设置为返回值后(步骤S271)，判定是否参照完排他条件类型即排他条件O(3:4)括号内的全部字符串(步骤S272)。当判定为未参照完全部排他条件类型时，判定括号内是否有文字A(步骤S373)。由于括号内没有文字A，因此转移到步骤S275判定括号内是否有文字O。由于也没有文字O，因此在判定括号内的按钮按下条件No.3(步骤S277)并将判定结果设置为返回值后(步骤S279)，判定判定结果是否为OK(步骤S279)，在判定为该结果OK而满足排他条件时，确认其余的按钮按下条件No.4(步骤S280)，并结束“找到了O时的处理”。 

当结束图11所示的“找到了O时的处理”后，返回图8所示的步骤S27。接着，转移到步骤S29判定排他条件类型P1的排他条件O(3:4)的判定结果是否为NG。由于判定的结果为排他条件O(3:4)不是NG，因此继续参照后续的排他条件类型的字符串(步骤S31)，并在步骤S23中判定是否参照完排他条件类型的全部文字。由于在排他条件类型P1中是排他条件A(A(1:2)：O(3:4)：5)，因此保留按钮按下条件No.5。 

因此，经由步骤S24和步骤S26，在步骤S28中判定按钮按下条件No.5，如果判定结果不是NG则经过步骤S31返回步骤S23，判定是否参照完排他条件类型P1的全部字符串。在此由于参照完全部的字符串，因此结束排他条件类型P1的排他条件判定处理。由于在该排他条件判定处理中满足了排他条件类型P1的全部条件，因此表示排他条件类型P1的排他条件按钮在任何一个显示器的操作画面上均不显示，而不能按下该排他条件按钮。 

在判定为上述步骤S28中的按钮按下条件No.5为NG时，则将判定结果设置为返回值(步骤S30)并结束排他条件类型P1的排他条件判定处理。由于在该排他条件判定处理中排他条件类型P1不满足作为AND条件之一的按钮按下条件No.5，因此即使满足了之前的全部排他条件而不满足排他条件类型P1的条件，表示排他条件类型P1的排他条件按钮也在全部显示器的操作画面上显示，因此能够操作。 

如以上说明的那样，根据本实施方式，在使用显示于多个显示器14的各操作画面上的操作按钮，操作具备多个检查用工作台17的检查装置10 时，使用：排他条件数据D，其是归纳了用于执行检查装置10的各种功能所需的数据而成的；排他条件类型P，其是将排他条件数据D的排他条件归纳为能否按下用于执行各功能的操作按钮的数据而成的，并在至少一个显示器14的操作画面上设定用于从操作画面中排除操作按钮的排他条件按钮，并在该操作画面上按下排他条件按钮而禁止在其他显示器14上显示至少符合一个显示器的排他条件的画面，因此通过根据检查装置10的运行状况操作排他条件按钮，就能够在具有4台工作台17的检查装置10中，禁止显示某工作台17所使用的显示器14的操作画面或禁止该操作按钮在其他显示器14上显示，同时能够在其他显示器14上进行其他工作台17的操作，因此能够显著地提高检查装置10的工作效率。 

显示器14显示分别分配给各工作台17的四个工作台画面、和上述工作台画面14B以外的主画面14A，进一步在工作台画面14B和主画面14A上分别显示操作模式，由于操作模式由用于检查半导体晶片的操作员模式，和用于停止工作台17来进行规定的作业的系统模式构成，因此即使使用一个显示器14进行维护作业，也可以将其它显示器从用于维护作业的显示器14中排除，从而能够将在其他工作台17进行的检查与维护作业同时进行，因此能够有效地提高检查装置10的工作效率。 

另外，本发明丝毫不被限制于上述实施方式，可以根据需要适宜地变更各构成要素。 

产业上的可利用性 

本发明能够适用于具备多个工作台的检查装置。 

Claims (4)

1.一种检查装置的操作方法，是利用分别显示于多个显示器的操作画面的操作按钮，来操作具备多个检查用工作台的检查装置的方法，其特征在于，具备以下工序：

预备排他条件数据和排他条件类型的工序，其中，该排他条件数据是将用于执行上述检查装置的各种功能所需的功能数据归纳为排他条件而成的；该排他条件类型是将上述排他条件归纳为能否按下用于执行上述各功能的操作按钮的数据而成的；

在至少一个上述显示器中准备用于符合上述检查装置的运用状况地排除上述操作按钮的排他条件按钮的工序；

按下上述排他条件按钮并参照上述排他条件数据和上述排他条件类型，来判定上述排他条件按钮的排他条件的工序；

基于上述判定结果，禁止在上述其他显示器中显示符合上述至少一个显示器的排他条件的画面的工序。

2.根据权利要求1所述的检查装置的操作方法，其特征在于，

上述显示器显示有：分别分配给上述各工作台的多个工作台画面、和上述工作台画面以外的主画面。

3.根据权利要求2所述的检查装置的操作方法，其特征在于，

分别在上述工作台画面和上述主画面上显示操作模式，上述操作模式由用于检查半导体晶片的操作员模式、和用于停止上述工作台来进行规定作业的系统模式构成。

4.根据权利要求3所述的检查装置的操作方法，其特征在于，

在上述显示器上显示出上述系统模式时，在上述其他显示器上不显示上述系统模式。

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