JPH08321529A - プローブ装置及びその方法 - Google Patents

プローブ装置及びその方法

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JPH08321529A
JPH08321529A JP21659595A JP21659595A JPH08321529A JP H08321529 A JPH08321529 A JP H08321529A JP 21659595 A JP21659595 A JP 21659595A JP 21659595 A JP21659595 A JP 21659595A JP H08321529 A JPH08321529 A JP H08321529A
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秀明 田中
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プローブ針とウエハ上のICチップの電極パ
ッドとの接触動作をウエハや検査種別に応じて適切なも
のとすること、及びプローブ針と電極パッドとの電気的
接触を確実なものとすること。 【解決手段】 載置台3上にウエハWを載せてステップ
移動させ、プローブカード23のプローブ針2にICチ
ップの電極パッドを順次接触させるにあたり、プローブ
針と上昇前のウエハWとのZ方向距離をタッチパネル4
により任意に設定できるようにする。また電極パッドを
プローブ針2にオーバドライブをかけて接触させるが、
一旦オーバドライブをかけた後僅かに載置台3を下げて
オーバドライブ量を少なくしたり、あるいは同一の電極
パッドについて複数回繰り返しプローブ針2に接触させ
るようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブ装置及び
その方法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体デバイスの製造工程においては、
ウエハ製造プロセスが終了してウエハ内にICチップが
完成した後、電極パターンのショート、オープンやIC
チップの入出力特性などを調べるためにプローブ装置に
よるプローブテストと呼ばれる電気的測定が行われ、ウ
エハの状態でICチップの良否が判定される。その後ウ
エハはICチップに分断され、良品のICチップについ
てパッケージングされてから例えば所定のプローブテス
トを行って最終製品の良否が判定される。
【0003】この検査はプローブ装置を用いて行われて
いる。このプローブ装置は、多数のプローブ針を有する
プローブカードを備えており、このプローブ針を半導体
ウエハ上の個々のICチップが有する電極パッドに電気
的に接触させ、このプローブ針からICテスタからの所
定のプログラムで検査信号を上記チップに供給して個々
のチップが所定の電気的特性を有しているか否かを上記
テスタにより試験するようになっている。
【0004】従来のプローブ装置の一例について図18
を参照しながら簡単に説明すると、1はX、Y、Z、θ
方向に移動可能なウエハ載置台であり、この載置台1の
上方側には、ウエハ内のICチップの電極パッド配列に
対応して配列されたプローブ針11を備えたプローブカ
ード12が配置されている。図示のプローブ針11は、
横針などとも呼ばれ、プローブカード12の下面から斜
め下方に延伸して構成されている。一方プローブカード
12は、装置本体側に固定され、プローブカード12側
の電極はコンタクトリング13を通じて、装置本体に傾
倒自在に設けられたテストヘッド14に電気的に接続さ
れている。
【0005】このようなプローブ装置では、載置台1を
X、Y、θ方向に移動させてウエハWとプローブ針11
との位置合わせを行った後、所定の高さ位置から載置台
1を上昇させて(Z方向に移動させて)電極パッドとプ
ローブ針11とを接触させ、テストヘッド14から所定
の検査信号を電極パッドを通じてチップに供給し、チッ
プが所定の電気的特性を有しているかを、テストヘッド
14により試験するようにしている。
【0006】この場合、一回の検査にプローブ針は、1
つのチップの電極パッド列或いは複数のチップの電極パ
ッド列に同時に接触し、1つのチップ毎或いは複数のチ
ップ毎同時に検査した後載置台1を下降させて所定量
X、Y方向に移動させ、続いて載置台1を上昇させて次
の電極パッドをプローブ針に接触させている。そしてチ
ップが不良の場合には、例えばチップをプローブ針11
から離した後、例えばプローブ針11の近傍に設けられ
たインクノズルからインクが滴下され、不良チップにマ
ーキングがなされる。ここで載置台1がプローブカード
12へ向かって上昇し始めるスタートの高さ位置は、マ
ーキングのインクの盛り上りを考慮して例えばプローブ
針11の先端から電極パッド表面までのZ方向距離が5
00μm程度となるように固定されている。
【0007】またプローブ針11と電極パッドとを接触
させるにあたっては、電極パッドがプローブ針11に接
触した後更に載置台1を上昇させてプローブ針11を強
制的に撓ませ、プローブ針11の針先により電極パッド
の表面を引っ掻くようにしている。このように電極パッ
ドをプローブ針11との接触点よりも更に押し上げる状
態はオーバドライブと呼ばれており、このようにオーバ
ドライブをかける理由は、電極パッドの表面の自然酸化
膜をプローブ針11により削り取り、電気的接触を確実
にするためである。
【0008】このようなプローブ装置においては、例え
ばタッチパネルなどの操作部を備えており、この操作部
を用いて、例えば不良チップに対して後でマーキングを
行うか否か、オーバドライブ量をどのくらいにするかな
どその他多くのパラメータの設定がオペレータにより行
われ、そのパラメータの設定内容に基づいて測定が行わ
れる。一方オペレータが交代したときには、交代前のオ
ペレータが設定したパラメータの内容を確認する必要が
あるが、この場合例えばタッチパネルに表示されている
「停止」のスイッチを押し、更に「パラメータ確認」の
スイッチを押すことにより、測定を一時中止し、パラメ
ータの内容を画面に表示するようにしていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで上述のプロー
ブ装置は、電極パッドをプローブ針11に接触させると
きのウエハの上昇開始高さ位置が予め固定されているた
め、マーキングのためのインクの吐出量が制限され、ウ
エハの種類に応じてマーキングの態様を変えることが困
難であったし、また検査の種別やウエハの種類などによ
ってはマーキングを行わないこともあり、この場合には
ステッピング動作時の電極パッドとプローブ針11との
Z方向距離はほんの僅かでよいにもかかわらず、インク
の盛り上がり分が考慮されているため、載置台1のZ方
向移動動作に無駄な部分が含まれ、スループットが犠牲
になっていた。
【0010】また電極パッドとプローブ針11とをオー
バドライブをかけて接触させているが、針先が電極パッ
ド表面の自然酸化膜を削り取ったときの削り滓が針先の
下側にもぐり込み、プローブ針と電極パッドとの接触が
悪くなって検査の信頼性が低くなるというおそれがあっ
た。更に電極パッド表面の自然酸化膜を確実に削るため
には、ある程度大きなオーバドライブをかけることが必
要になるが、大きなオーバドライブをかけるとプローブ
針の針先の位置が電極パッドの予定の接触点から大きく
外れてしまい、このためチップの回路の集積度が高くな
って電極パッドの微細化が進むと、針先が電極パッドか
ら外れるおそれがある。
【0011】そしてまた測定中にパラメータの内容を確
認する場合測定を一時中止しなければならず、その分稼
働効率が低くなるという問題があった。この場合測定の
終了を待ってパラメータの内容を確認しようとすると、
1枚のウエハについて測定に長い時間を要する場合には
不便である。更にまたパラメータの確認や設定を行うに
あたっては、パラメータの項目数が多いので、例えば各
パラメータの項目ごとに一画面が使用され、このためス
クロールを行うなど、確認更には設定作業が頻雑である
という問題もあった。
【0012】本発明はこのような事情の下になされたも
のであり、その目的は、プローブ例えばプローブ針と被
検査体の電極パッドとの接触動作を、被検査体や検査種
別に応じて適切なものにすることのできるプローブ装置
及びその方法を提供することにある。また本発明の他の
目的はプローブ針と電極パッドとの電気的接触を確実な
ものとし、信頼性の高い検査を行うことのできるプロー
ブ装置及びその方法を提供することにある。更にまた本
発明の他の目的は、パラメータの設定内容の確認を行う
のに便利なプラズマ装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、電極
パッドが配列された被検査部を有する被検査体を、台に
設け、この台をプローブカードに対して相対的に移動さ
せてプローブカードのプローブに電極パッドを順次接触
させ、被検査部の電気的測定を行うプローブ装置におい
て、前記台がX、Y平面に沿って移動するときのプロー
ブと電極パッドとのZ方向距離を設定するためのパラメ
ータ設定部と、このパラメータ設定部で設定された前記
Z方向距離を記憶する記憶部と、この記憶部に記憶され
たZ方向距離に基づいて前記台をプローブカードに対し
て相対的に移動させる制御部と、を備えたことを特徴と
する。
【0014】請求項2の発明は、電極パッドが配列され
た被検査部を有する被検査体を台に設け、前記電極パッ
ドをプローブカードのプローブ針にオーバドライブをか
けて接触させ、被検査部の電気的測定を行うプローブ装
置において、前記電極パッドをプローブ針にオーバドラ
イブをかけて接触させた後、オーバドライブ量を少なく
するために台をプローブ針から離れる方向に僅かに相対
的に移動させるときのオーバドライブ戻し量を設定する
ためのパラメータ設定部と、このパラメータ設定部で設
定された前記オーバドライブ戻し量を記憶する記憶部
と、前記電極パッドをプローブ針にオーバドライブをか
けて接触させた後、前記記憶部で記憶されたオーバドラ
イブ戻し量に基づいて、台をプローブ針から離れる方向
に相対的に移動させる制御部と、を備えたことを特徴と
する。
【0015】請求項3の発明は、電極パッドが配列され
た被検査部を有する被検査体を台に設け、前記電極パッ
ドをプローブカードのプローブ針にオーバドライブをか
けて接触させ、被検査部の電気的測定を行うプローブ装
置において、前記電極パッドとプローブ針との繰り返し
接触回数を設定するためのパラメータ設定部と、このパ
ラメータ設定部により設定された前記繰り返し接触回数
を記憶する記憶部と、前記電極パッドとプローブ針とを
オーバドライブをかけて接触させた後、台をZ方向にプ
ローブカードに対して相対的に移動させて電極パッドを
プローブ針から離し、こうして前記記憶部に記憶された
接触回数だけ電極パッドとプローブ針とを繰り返し接触
させるように台を相対的に移動する制御部と、を備えた
ことを特徴とする。
【0016】請求項4の発明は、電極パッドが配列され
た被検査部を有する被検査体を載置台に設け、前記電極
パッドをプローブカードのプローブ針にオーバドライブ
をかけて接触させて、被検査部の電気的測定を行うプロ
ーブ装置において、前記電極パッドをプローブ針にオー
バドライブをかけて接触させて第1のオーバドライブ状
態にする工程と、次いでオーバドライブ量を少なくする
ために台をプローブ針から離れる方向に僅かに相対的に
移動させて第2のオーバドライブ状態にする工程と、こ
の第2のオーバドライブ状態下で被検査部の電気的測定
を行う工程と、を含むことを特徴とする。
【0017】請求項5の発明は、電極パッドが配列され
た被検査部を有する被検査体を台に設け、前記電極パッ
ドをプローブカードのプローブ針にオーバドライブをか
けて接触させて、被検査部の電気的測定を行うプローブ
装置において、前記電極パッドをプローブ針にオーバド
ライブをかけて接触させる工程と、次いで前記電極パッ
ドをプローブ針から離す工程と、その後電極パッドをプ
ローブ針にオーバドライブをかけて接触させる工程と、
を含むことを特徴とする。
【0018】請求項6の発明は、電極パッドが配列され
た被検査部を有する被検査体を台に設け、この台をプロ
ーブカ−ドに対して相対的に移動させて、前記電極パッ
ドをプローブカ−ドのプローブに接触させ、被検査部の
電気的測定を行うプローブ装置において、前記被検査部
の測定動作に必要なパラメ−タの項目とその設定内容と
を表示するための表示部と、前記パラメ−タの項目ごと
にパラメ−タの内容を設定入力するための設定入力部
と、この設定入力部で設定されたパラメ−タの内容を記
憶する記憶部と、前記被検査部の測定中にパラメ−タ表
示の要求をするための表示要求入力部と、 この表示要
求入力部におけるパラメ−タ表示の要求に基づいて、前
記被検査部の測定中に前記記憶部に記憶されているパラ
メ−タの項目と設定内容とを前記表示部に表示させる制
御部と、を備えたことを特徴とする。
【0019】請求項7の発明は、電極パッドが配列され
た被検査部を有する被検査体を載置台に設け、この台を
プローブカ−ドに対して相対的に移動させて、前記電極
パッドをプローブカ−ドのプローブに接触させ、被検査
部の電気的測定を行うプローブ装置において、前記被検
査部の測定動作に必要なパラメ−タの項目とその設定内
容とを表示するための表示部と、前記パラメ−タの項目
ごとにパラメ−タの内容を設定入力するための設定入力
部と、この設定入力部で設定されたパラメ−タの内容を
記憶する記憶部と、前記被検査部の測定中に、パラメ−
タの一括表示の要求をするための表示要求入力部と、こ
の表示要求入力部におけるパラメ−タの一括表示の要求
に基づいて、前記記憶部から予め定められた複数のパラ
メ−タの項目を代表的な設定内容と共に前記表示部の一
画面に一括表示させる制御部と、を備えたことを特徴と
する。
【0020】請求項8の発明は、請求項7の発明におい
て、制御部は、一括表示されたパラメ−タの項目の中か
ら前記表示要求入力部により選択された項目について、
パラメ−タの詳細内容を表示部に表示する機能を更に有
することを特徴とする。
【0021】請求項9の発明では、電極パッドが配列さ
れた被検査部を有する被検査体を台に設け、この台をプ
ローブカ−ドに対して相対的に移動させて、前記電極パ
ッドをプローブカ−ドのプローブに接触させ、被検査部
の電気的測定を行うプローブ装置において、前記台上の
被検査体の被検査部の配列イメ−ジを表示する表示部
と、検査前の被検査部と検査後の被検査部との夫々の色
を指定する色指定部と、前記表示部に表示されたイメ−
ジにおける検査前の被検査部と検査後の被検査部とを、
前記色指定部で指定された色によりリアルタイムで表示
させる制御部と、を備えたことを特徴とする。
【0022】請求項10の発明では、電極パッドが配列
された被検査部を有する被検査体を台に設け、この台を
プローブカ−ドに対して相対的に移動させて、前記電極
パッドをプローブカ−ドのプローブに接触させ、被検査
部の電気的測定を行うプローブ装置において、前記台上
の被検査体の被検査部の配列のイメ−ジを表示する表示
部と、検査前の被検査部と検査後の被検査部との夫々の
色を指定する色指定部と、前記表示部に表示されたイメ
−ジにおける被検査部を、前記色指定部で指定された色
により検査時にリアルタイムで表示させる制御部と、を
備えたことを特徴とする。
【0023】請求項11の発明では、電極パッドが配列
された被検査部を有する被検査体を台に設け、この台を
プローブカ−ドに対して相対的に移動させて、前記電極
パッドをプローブカ−ドのプローブに接触させ、被検査
部の電気的測定を行うプローブ装置において、前記台上
の被検査体の被検査部の配列のイメ−ジを表示する表示
部と、検査前の被検査部、検査により良品と判定された
被検査部及び不良品と判定された被検査部の夫々の色を
指定する色指定部と、前記表示部に表示されたイメ−ジ
における被検査部を、前記色指定部で指定された色によ
り検査時にリアルタイムで表示させる制御部と、を備え
たことを特徴とする。
【0024】請求項1の発明では、載置台をX、Y、θ
(Z軸まわり)方向に移動させてプローブカードのプロ
ーブと被検査体側の電極パッドとの位置合わせを行い、
載置台を上昇させて(プローブカードが水平に固定され
ている場合)電極パッドとプローブとを接触させ、所定
の測定を終えた後載置台を所定量降下させる。ここでオ
ペレータは、移動開始高さ位置、つまり電極パッドがプ
ローブに接触するまでのZ方向移動量を被検査体の検査
条件に応じて、例えばインクによるマーキングを行わな
い場合には前記Z方向移動量を少くし、あるいはマーキ
ング時のインクの盛り上がりが多い場合にはZ方向移動
量を大きくするように、条件を設定することができ、被
検査体に応じて適切な接触動作とすることができる。
【0025】請求項2及び4の発明では、電極パッドを
プローブ針にオーバドライブをかけて接触させることに
より針先が電極パッド表面を削っていくが、その後載置
台を僅かに降下させて(プローブカードが水平に固定さ
れている場合)、オーバドライブ量を戻すことにより針
先が電極パッド表面に沿って逆戻りする。また請求項3
及び5の発明では、電極パッドをプローブ針にオーバド
ライブをかけて接触させた後、載置台を降下させて電極
パッドをプローブ針から離し、再びオーバドライブをか
けて接触を図る。
【0026】このようにオーバドライブ量を戻したりあ
るいは繰り返し接触を行うことにより針先の下に削り滓
がもぐり込むことを避けることができ、確実な電気的接
触が図れる。またオーバドライブ戻し量や繰り返し接触
回数をパラメータ設定部で設定できるので被検査体に応
じて接触動作を適切なものとすることができる。
【0027】請求項6の発明では、被検査部の測定中に
パラメータの項目とその設定内容とを表示部に表示させ
ることができるので、オペレータが必要と判断するとき
にいつでも装置を稼働させたままパラメータの設定内容
を確認できるので便利である。請求項7の発明によれ
ば、使用頻度が高いと想定される複数のパラメータの代
表的内容について一画面に一括表示すれば(ただしパラ
メータの数が多くて例えば二画面に亘って表示されてい
ても、一画面中にその一部が一括表示されているので本
発明に含まれる。)一目でパラメータの概ねを把握でき
るので非常に便利であり、更に請求項8の発明のように
一括表示されたパラメータについて、その画面に基づい
てパラメータの詳細内容を表示できるようにすれば、必
要なパラメータの詳細内容の確認を容易に行うことがで
きる。
【0028】
【発明の実施の形態】図1は本発明の実施例に係るプロ
ーブ装置の概略全体を示す図である。図中21は装置の
外装部をなす筐体であり、この筐体21の中には、XY
Zステージ30が設けられている。XYZステージ30
は、ボールネジ、ガイド機構、パルスモータなどを含む
X方向移動部31及びY方向移動部32並びにZ方向移
動部33により構成され、Z方向移動部33の上部には
ウエハWを載置するための載置台3が設けられている。
【0029】前記筐体21の上面部にはプローブカード
固定用のインサートリングなどと呼ばれるリング体22
が設けられ、このリング体22の下部にプローブカード
23が水平に取り付けられている。プローブカード23
は、カード本体24の下面にプローブである複数のプロ
ーブ針2を下方斜めに延伸するように固定し、カード本
体24の上面にプローブ針2に夫々電気的に接続された
電極25が配列されて構成されており、各プローブ針2
の各針先を含む面は、載置台3の載置面と平行になるよ
うに設定されている。また筐体21内のプローブカード
23の側方には、不良チップに対してインクによりマー
キングを行うためのマーキング手段26が設けられてい
る。
【0030】前記筐体21の上部には、オペレータが操
作しまた装置の運転条件などを表示するためのタッチパ
ネル部4が設けられている。このタッチパネル部4は図
2に示すようにCRT画面などからなる表示部41と、
この表示部41に表示された項目をオペレータが画面の
上から触れることにより選択する項目選択部42と、表
示部41に表示された項目に対して数値を入力する、例
えば表示部41の外に設けられた数値キーボードからな
る数値入力部43とを備えている。この例では項目選択
部42及び数値入力部43により条件入力部40が構成
されるが、条件入力部はキーボードやマウスなどにより
構成してもよい。
【0031】条件入力部43は、プローブカード23と
載置台3上のウエハWとの位置合わせ(アライメント)
を予め行うときのアライメント条件、プローブ針2とウ
エハW上のICチップの電極パッドとを接触させるとき
の接触動作条件、不良チップに対してマーキングを行う
か否かの指定などを入力するためのものである。ここで
は条件入力部43によりプローブ針2と電極パッドとを
接触させるときの接触動作条件の入力に関して述べる
と、図3はパラメータ設定用の画面であり、「オーバド
ライブMAX」とはオーバドライブ量をオペレータが設
定し得る最大値を指定するものであり、オペレータが誤
って大きな値を設定することを防いでいる。「オーバド
ライブ量」とはプローブ針2と電極パッドとが接触した
ポイントから電極パッドを更に押し上げる量(載置台3
を更に上昇させる量)を設定するためのものである。
【0032】そしてこの実施例のプローブ装置は、「オ
ーバドライブ戻し」、「Zダウン量」、「コンタクト回
数」を設定できるように構成されている。即ちX、Y、
θ方向のアライメント後に載置台3をある高さ位置に設
定し、そこから載置台3を上昇させて電極パッドとプロ
ーブ針2とを接触させ、その電極パッド群を通じた電気
的測定の終了後に載置台3を元の高さ位置まで下降さ
せ、次いで載置台3をX、Y方向に移動させて、次の電
極パッド群とプローブ針2とをZ方向に対向させた後載
置台3を上昇させて当該次の電極パッド群とプローブ針
2とを接触させるようにしているが、この実施例では、
Zダウン量つまり載置台3が上昇を開始するときの高さ
位置(電極パッドとプローブ針2の針先とのZ方向距
離)を設定できるようになっている。これらパラメータ
の数値は、μmの単位で設定されるようになっている。
【0033】更にこのプローブ装置は、電極パッドとプ
ローブ針2とをいわば強いオーバドライブをかけて接触
させた(第1のオーバドライブ状態)後、載置台3を僅
かに下降させてつまりオーバドライブを所定量だけ戻し
ていわば弱いオーバドライブの状態(第2のオーバドラ
イブ状態)とすることができると共に、オーバドライブ
をかけて電極パッドとプローブ針2とを接触させた後載
置台2を元の高さ位置まで下降させて電極パッドをプロ
ーブ針2から離し、再び載置台2を上昇させて電極パッ
ドとプローブ針2とを例えばオーバドライブをかけて接
触させることができるようになっており、図3に示す画
面において、「オーバドライブ戻し」によりオーバドラ
イブの戻し量が、また「コンタクト回数」により電極パ
ッドとプローブ針2との繰り返し接触回数が夫々設定で
きるようになっている。
【0034】前記タッチパネル部4には、例えばコンピ
ュータ本体部である中央処理部や画像制御部などを含む
制御部5が接続されており、この制御部5には、上述の
動作を行うためのプログラムや、条件入力部40にて設
定された各パラメータなどを記憶するための記憶部6が
接続されている。また載置台3を昇降させる場合、Zダ
ウン量の設定値に基づいて最適な昇降速度パターンが選
択されるようになっており、例えば前記プログラムの中
にその選択プログラムあるいは演算プログラムが含まれ
ている。前記制御部5は、記憶部6に格納されたプログ
ラムやパラメータなどに基づいて、載置台3の駆動部5
1、つまりXYZステージ30のXモータ、Yモータ、
Zモータを駆動制御するための制御信号を出力する機能
を有している。
【0035】ここでウエハWとプローブ針2とのアライ
メントを行うための機構及び機能に関して簡単に述べて
おくと、前記載置台3には、図4に示すように固定板7
1を介して第1撮像手段72が固定されており、この第
1撮像手段72は前記プローブ針2の針先を拡大して撮
れるように高倍率の光学系72aとCCDカメラ72b
とを組み合わせて構成される。また前記固定板71の上
には第1撮像手段72に隣接して、プローブ針2の配列
を広い領域で撮るための低倍率のカメラ73が固定され
ている。更に前記固定板71には、第1撮像手段72の
合焦面に対して光軸と交差する方向に進退機構74によ
り進退できるようにターゲット75が設けられている。
【0036】前記ウエハ載置台3とプローブカード23
との間の領域には、CCDカメラと光学系ユニットとを
含む第2撮像手段8が図示しない移動体に塔載されてX
方向に移動自在に設けられている。そして前記ターゲッ
ト75は、第1撮像手段72及び第2撮像手段8により
画像認識できるように構成されており、例えば透明なガ
ラス板に位置合わせ用の被写体である円形の金属膜例え
ば直径140ミクロンの金属膜が蒸着されている。
【0037】上述の撮像手段72、8を用いてアライメ
ントする場合、先ずターゲット75を用いて両撮像手段
72、8の焦点及び光軸を一致させておいてそのときの
載置台3の位置をイメージ上のX、Y、Z座標の基準点
とし、ウエハWの表面の中心点及び周方向に等間隔に付
した4つの特定点よりなる合計5つの特定点を第2撮像
手段8の下方側に位置させ、5つの特定点のX、Y、Z
座標の座標位置からウエハW上のICチップの電極パッ
ドの位置を割り出すようにしている。また第1撮像手段
72によってプローブ針2の針先を撮像し、このときの
載置台3の座標位置を求める。このようなアライメント
を行えば撮像手段72、8の互いの焦点を合わせている
のでいわば共通の撮像手段によってウエハWとプローブ
針2とを撮像したことになる。
【0038】図6は、ウエハW上の特定点例えばICチ
ップ81の間を走る線路(隙間)82の十字にクロスす
る個所の中心を特定点として、この特定点を第2撮像手
段8の視野の中心(+マーク)に位置するように調整し
ている画面を示す図である。この画面を用いた操作につ
いては、載置台3の微量移動マニュアル操作部83によ
り、特定点とマーク(+)との相対位置を見ながら対応
する矢印のスイッチ部を押して載置台3側をステップ移
動させ(「連続」を押すと連続移動モードになる)、特
定点とマーク(+)とを重ね合わせ、例えばある特定点
の位置合わせが終了すると、自動的に次の特定点を捜し
に行くように載置台3が移動する。
【0039】次に上述実施例の全体の作用について説明
する。先ず図6に示すタッチパネル4の画面においてフ
ァイル名を選択すると共に「パラメータ設定」のスイッ
チ部を押して図3に示すパラメータ設定のための画面を
表示させ、既述のようにこの画面に表示された各条件
(パラメータ)を設定する。この設定の一例を挙げる
と、オーバドライブMAX;200μm、オーバドライ
ブ量;100μm、オーバドライブ戻し;40μm、Z
ダウン量;200μm、コンタクト回数;2回数、とし
て各条件が設定され、この設定は、例えば同画面のパラ
メータ種別の各項目の領域を押し、数値ボードよりなる
数値入力部43により各数値を入力することによって行
なわれる。なおこの例では不良チップに対するマーキン
グを行わない設定となっている。
【0040】そして所定のスイッチ部を押すことによ
り、載置台3上に図示しないアームによって被検査体例
えばウエハWが載置される。続いて図6に示す画面のア
ライメント実行のスイッチ部を押し、既述のようにウエ
ハWとプローブ針2とのX、Y、Z方向の位置合わせが
終了した後、ウエハW上の被検査部であるICチップの
電極パッドとプローブ針2との接触動作が行われる。
【0041】この接触動作においては、先ず図7の模式
図に示すようにウエハW上の電極パッドP(詳しくは複
数の電極パッド)とプローブ針2の針先とをZ方向に対
向させる。このとき電極パッドPは針先からZ方向にZ
ダウン量例えば上述の設定例の場合200μm下方側に
離れて位置している。次いで載置台3が上昇し、図8に
示すように電極パッドPが針先に接触した後(実線位
置)、更にオーバドライブである100μm上昇し(鎖
線位置)、第1のオーバドライブ状態となる。
【0042】続いて載置台3が図7に示す元の高さ位置
まで降下し、しかる後再び同様に上昇して第1のオーバ
ドライブ状態となる。こうして電極パッドPとプローブ
針2とは、繰り返し接触回数(コンタクト回数)が2回
数であるため、2度接触することになり、2度目の接触
時においては、図9に示すように第1のオーバドライブ
状態(実線位置)からオーバドライブ戻し40μmだけ
載置台3が降下して第2のオーバドライブ状態(鎖線位
置)となる。ただしコンタクト回数は2回数に限られる
ものではなく、1回数であっても3回数以上であっても
よい。なお図9中点線の電極パッドPは、オーバドライ
ブがかかっていない針先との接触位置である。
【0043】こうして第2のオーバドライブ状態におい
て図示しないテストヘッドから図示しないコンタクトリ
ングを通じてプローブカード23に検査信号が送られ、
この検査信号はプローブ針2から電極パッドPに供給さ
れると共に、別の電極パッドPから、対応する出力信号
がプローブ針2を介してテストヘッド側に送られ、IC
チップの電気的特性の測定が行われる。そしてこの測定
が終了した後載置台3が図7に示す位置まで降下し、続
いてX、Y方向に移動して次の電極パッドを針先の真下
(Z方向に対向する位置)に位置させ、同様にして測定
が行われる。
【0044】上述のプローブ装置によれば、不良チップ
へのマーキングを行わない場合には、ウエハW上のイン
クの盛り上がりを考慮しなくてよいので、載置台をステ
ップ移動させるときのZダウン量を小さく設定でき、こ
れにより高いスループットが得られる一方、例えばマー
キングを行う場合には、そのマーキングの仕方に応じ
て、つまりインクの盛り上りを考慮してZダウン量を設
定でき、しかもマーキング手段側から見れば、Zダウン
量を任意に設定できることからマーキングの方法を自由
に設定でき、この結果システムとして広い自由度が得ら
れる。なおZダウン量の設定は、ウエハ毎あるいはロッ
ト毎など適宜選択すればよい。そして電極パッドPとプ
ローブ針2とをオーバドライブをかけて接触させた後電
極パッドPを降下させて一旦プローブ針2から離し、再
び両者をオーバドライブをかけて接触させ、こうして設
定された回数だけ繰り返し接触させているため、電極パ
ッドP表面の自然酸化膜の削り跡にプローブ針2が接触
するので針先の下に削り滓がもぐり込むおそれが少なく
なる。
【0045】また電極パッドPとプローブ針2とをオー
バドライブをかけて接触させた後電極パッドPを僅かに
降下させてオーバドライブ量を少なくし、こうして針先
が電極パッドPの表面を削った後、その削り跡を後戻り
させるようにしているため、やはり針先の下への削り滓
のもぐり込みを避けることができ、繰り返しの接触動作
と相俟ってプローブ針2と電極パッドPとの電気的接触
を確実なものとすることができる。更に一旦強いオーバ
ドライブをかけて自然酸化膜を削っているので、測定時
の接触状態は、電気的接触を図れる程度の弱いオーバド
ライブでよく、従って電極パッドにおける針先の横ずれ
量が少なくて済むので、電極パッドが小さくても針先が
電極パッド表面の所定の領域から外れるおそれがなく、
従って信頼性の高い検査を行うことができる。
【0046】そしてまたこのような電極パッドPとプロ
ーブ針2との繰り返し接触回数、オーバドライブ量及び
オーバドライブ戻し量を操作パネル4により自由に設定
できるので、検査の種別やウエハの種類、あるいは検査
の信頼性の解析結果などに応じて柔軟な対応をとること
ができる。
【0047】以上においてプローブ針と電極パッドとを
オーバドライブをかけて接触させる場合、オーバドライ
ブ量の戻しを行うことなく繰り返しの接触動作だけを行
ってもよいし、あるいは繰り返しの接触動作を行うこと
なくオーバドライブ量の戻しだけを行ってもよい。なお
Zダウン量を任意に設定する手法においては、プローブ
としてプローブ針に限らずバンプなどであってもよい。
また被検査体はウエハに限らずLCD基板であってもよ
い。
【0048】ここで上述のプローブ装置のパラメータの
表示機能に関して詳述する。図10はパラメータの表示
機能に関する部分のブロック図であり、この例ではパラ
メータ設定入力部84、パラメータ表示要求入力部8
5、色指定部9及び表示部86はタッチパネル部4に含
まれる。パラメータ設定入力部84は、例えば既に図3
に示したようにオーバドライブ量やその戻し量などを設
定したり、不良チップに対してマーキングを行うか否か
を設定したりする画面詳しくは画面中のスイッチ部であ
り、図2に示す項目選択部42や数値入力部43を含む
ものである。またパラメータ表示要求入力部85は、チ
ップの電気的測定を行っているときにパラメータの表示
について要求する画面詳しくは画面中のスイッチ部であ
り、表示部86はタッチパネル部4の画面である。色指
定部9は、後述するように測定画面に表示されたチップ
の配列イメージを色分けするための画面である。
【0049】またこのプローブ装置に用いられる制御部
52は、測定動作用プロセッサ53及びパラメータ表示
用プロセッサ54を備えている。測定動作用プロセッサ
53は記憶部61内のプログラムに基づいて載置台駆動
部51、ウエハ移載部87(載置台3とウエハカセット
との間でウエハの移載を行う機構)プローブ部88(テ
ストヘッド内の回路部)を制御するためのものであり、
パラメータ表示用プロセッサ54は、前記パラメータ設
定入力部84で設定されたパラメータの内容を記憶部6
1に記憶させる機能、及び前記表示要求入力部85にお
けるパラメータ表示の要求に基づいて、チップの測定中
に、前記記憶部61に記憶されているパラメータの項目
と設定内容とをタッチパネル4の画面に表示させる機能
などを備えている。なお図10では記憶部61内にパラ
メータの項目の一例(スタートストップなど)を記載し
てある。
【0050】次いでチップの測定中にパラメータの表示
を行うためのタッチパネル部の画面の一例について説明
する。図11は、チップの測定中におけるタッチパネル
部の画面であり、この画面では載置台3上のウエハのチ
ップの配列のイメージが表示されていると共に、ウエハ
の表示の隣には、表示要求入力部85をなすスイッチ
部、この例では「割り込み」、「ストップ」の表示がさ
れたスイッチ部が位置している。
【0051】この画面には、ウエハをサーチして既述し
たようにプローブ針と各チップとの位置合わせ(アライ
メント)、つまり両方のX、Y座標を制御部側で認識し
てウエハマッピング(各チップの位置を把握すること)
を終了した後にチップのイメージが表示される。そして
この実施例では各チップをグループ分けし、各グループ
毎に色分けして測定画面に表示できるようになってい
る。即ち図10に示す前記色指定部9は、図12に示す
ようにタッチパネル部4の色指定画面とし構成されてお
り、この画面は図示しないメニュー画面により色分けメ
ニューを選択することにより表示される。この色分け画
面には、チップをグループ分けした各グループと色とを
対応付けるテーブル91と、例えば80色の色が表示さ
れて、縦横に付された番号により各色が特定される色配
列部92と、この色配列部92の中から色を選択するた
めのテンキー93とが設けられている。
【0052】色分けするためのチップのグループ分けと
は、検査前チップ、検査後チップ、良品チップ(良品と
判定されたチップ)、不良品チップ(不良品と判定され
たチップ)インキング(不良品についてインカーにより
マーキングを行うこと)前チップ、インキング後チッ
プ、スキップチップなどにグループ分けすることであ
る。そして色指定画面においてテーブル91の例えば検
査前チップの領域を押し、次いで色配列部92の中から
選択すべき色に対応する番号をテンキー93で入力する
と、その色の番号がテーブル91の「検査前チップ」の
右側の欄に表示される。こうして各グループ毎に色指定
が行われる。なおこのような色指定は行っても行わなく
てもよいし、一部のグループのみ、例えば「検査前チッ
プ」、「検査後チップ」についてのみ色指定を行っても
よい。更にまた良品、不良品のグレードに応じて色を細
かく分けてもよく、例えば最良品、良品、不良品、リペ
ア可の不良品などの間で色分けしてもよい。
【0053】図13は色の指定を含むフローチャートの
一例であり、ウエハのマッピングを行い、載置台3のZ
アップ量、1ステップ当たりの移動量を設定した後色の
指定が行われる。色指定が行われた場合各チップの色情
報が記憶部61内に記憶され、図11に示す測定画面の
チップのイメージが表示されたときに制御部52により
記憶部61内の色情報に基づいて各チップがグループ毎
に色付けされて表示される。その一例としては、検査を
行う前のチップが緑で表示され、検査が行われると良品
と判定されたチップは青で、また不良品と判定されたチ
ップは赤で夫々リアルタイムで表示される。
【0054】従ってこのような実施例によれば測定画面
のウエハマップ(チップイメージの配列群)上の色の変
化によってどの位置の検査が行われているのか、どのチ
ップが良品でどのチップが不良品であるのかをリアルタ
イムで一目で確認できるので非常に便利である。また不
良チップについてインキング前とインキング後とで色分
けをしたり、スキップするチップについても色分けをし
ておけば、オペレータが検査の状況を把握する上で便利
である。なお色指定を行った場合でも、測定中に色指定
に係るウエハマップのリアルタイム測定画面と、現在の
パラメータの内容などが表示されている標準画面とを切
り換え表示できるようになっている。
【0055】一方図11に示す測定画面において「割り
込み」のスイッチ部を押すと、図14の画面が表示さ
れ、更に「パラメータ確認」のスイッチ部を押すと、図
15に示す画面が表示される。図15はパラメータの項
目の一つである不良チップのマーキング(インカ装置に
よるインクのマーキング)の項目の詳細を示す画面であ
り、インカ1、2…nは、プローブ装置に設けられた複
数のインカ(インクマーキング装置)のナンバーであ
る。
【0056】またパラメータ確認のための画面は、例え
ばパラメータの項目毎に一画面が使用され、「次ペー
ジ」、「前ページ」、のスイッチ部の操作により他のパ
ラメータの項目、例えば図3に示したオーバドライブに
関する項目がその内容と共に表示される。ただしウエハ
に関する品種パラメータ例えばウエハマップや測定対象
外のチップなどの項目と動作パラメータ例えばオーバド
ライブなどの項目とは画面群が区分けされており、例え
ば「品種パラメータ」のスイッチ部を押すと、品種パラ
メータに関する先頭画面が表示される。こうしてパラメ
ータの項目と設定内容とが画面に表示されるが、この間
前記測定動作用プロセッサ53は動作しており、測定は
中断されずにそのまま実行されている。
【0057】このような実施例によれば、オペレータが
交代した場合、交代前のオペレータが設定したパラメー
タの設定内容を測定中であっても、測定を止めずに確認
することができ、装置の稼働率の向上を図ることができ
る。また半導体生産工場では複数台のプラズマ装置が稼
働しているが、オペレータが少数であっても必要なとき
にパラメータの確認を行うことができる。
【0058】また図11の画面において「ストップ」の
スイッチ部を押すと測定が一時停止すると共に、図16
に示す画面が表示され、ここで「パラメータ詳細」のス
イッチ部を押すと既述の「パラメータ確認」のスイッチ
部を押したときと同様の画面が表示され、「パラメータ
一覧」のスイッチ部を押すと図17に示す画面が表示さ
れる。パラメータ一覧の画面は、予め定められたパラメ
ータの項目、つまり使用頻度が高いと思われるパラメー
タの項目と各項目の代表的な設定内容とを一括して表示
している。例えば「オーバドライブ」の項目では、図3
に示す設定内容のうちオーバドライブ量を代表的内容と
して、例えば「−500μm」のように表示してあり、
また「後マーキング」の項目では、マーキングを実行
し、その実行に関する内容が登録されていることを示す
ために「登録」と表示してある。
【0059】なお図17に示した他のパラメータに関し
て簡単に述べると、スタートチップストップとは、測定
ウェーハがアライメント(電極パッドの配列をプローバ
の位置基準に合わせる操作)終了後、測定に入る前にス
トップする動作条件を規定するパラメータである。停止
するかしないかの選択が可能で、停止する場合は停止位
置としてイニシャルチップ(最初の測定位置)、基点チ
ップ(ウェーハ上のチップ座標の基準となる位置)、セ
ンターチップ(ウェーハのセンター位置)の選択が可能
である。これにより測定前に、プロービングカードのプ
ローブ針と電極パッドの位置が確実に合っているかの確
認を行うことができる。
【0060】エンドチップストップとは、ウェーハ上の
チップを全て測定終了すると、通常は即アンロード(ウ
ェーハを所定のカセット位置に戻す)を行うが、最終チ
ップの測定が終了した位置で停止を行う場合、その動作
を規定するパラメータである。停止する、停止しないの
選択が可能である。測定終了後、検査結果を判断して再
測定を行う場合に使用する。
【0061】アンロードストップとは、測定終了後のウ
ェーハを一時ローダの所定の場所でストップさせるため
のパラメータである。停止する、停止しない、プローバ
外部からの操作による停止(外部設定)が設定可能であ
る。この機能はオペレータが、針跡は正常か、インクは
正しく打たれているか等を目視検査する時にウェーハを
取り出すために使用する。
【0062】ブザーとは、装置の動作状態や異常を通知
するための警告音を発するか発しないかを設定する為の
パラメータ。使用、未使用の選択が可能で、未使用の場
合は音を発しない。ローダ独立操作とは、測定中にロー
ダ上のカセットを取り出す為に、ローダを所定の位置へ
移動することを許可するためのパラメータである。実
行、未実行の選択が可能で、実行の場合は測定中にロー
ダ上のカセットを取り出す操作が可能となる。
【0063】測定画面とは、測定中の動作状態を示す画
面の選択を行うためのパラメータである。測定結果を数
値のみで示す「標準測定画面」、測定結果をグラフィッ
クにより色分けして示す「リアルタイムウェーハマップ
画面」が選択可能である。連続フェイルモードとは、測
定チップの不良が連続で任意設定数に達したときに測定
を一時停止し警告を発する為のパラメータである。未使
用、ストップの選択が可能で、ストップの場合、上記設
定数を設定できる。
【0064】マルチ測定とは、通常プローバは1チップ
づつインデックスして測定するが、1回の測定で2チッ
プ、4チップ、8チップ等同時に測定する為のパラメー
タである。登録、未登録の条件、及び登録時は2マル
チ、4マルチ、8マルチ、任意が設定可能である(8マ
ルチより大きい場合は任意として登録する)。
【0065】そして図17の画面において、代表的な内
容に相当するスイッチ部を押すと、既述したパラメータ
の詳細な設定内容を示す画面のうちそのパラメータ項目
に対応する画面が表示される。またこのように「ストッ
プ」のスイッチ部を操作した場合には、詳細な設定内容
を示す画面が表示されたときに、設定内容のスイッチ部
例えば図3に示す「オーバドライブ量」のスイッチ部を
押すことにより設定内容を変更することができる。この
ようにパラメータの設定内容を変更すると、測定を再開
した後は、変更後のパラメータの設定内容に基づいて測
定が行われる。
【0066】更に図17に示すパラメータの一括表示の
画面では、操作が可能なパラメータの項目と操作が不可
能なパラメータの項目とは、互に異なる表示がされてい
る。例えば操作可能なものは青色表示、また操作不可能
なものは赤色表示がされている。操作不可能とは、その
パラメータを使用しない、実行しない、登録していない
ものあるいは「チップストップ」に関しては停止しない
ものであり、操作する意味のないものである。
【0067】このような実施例によれば、パラメータの
代表的内容(使用しているか否か、登録しているか否か
という表示自体も代表的内容である)を一目で確認で
き、またその中からパラメータの項目を選択して詳細内
容が表示されるので非常に便利である。また操作可能な
パラメータと操作不可能なパラメータとの表示を例えば
色分けすることにより、動作状況の把握が一層容易にな
る。
【0068】
【発明の効果】以上のように請求項1〜5の発明によれ
ば、プローブ例えばプローブ針と被検査体の電極パッド
との接触動作を、被検査体に応じて適切なものとするこ
とができる。また請求項2〜4の発明によればプローブ
と電極パッドとの電気的接触を確実なものとし信頼性の
高い検査を行うことができる。
【0069】請求項6の発明によれば測定中にパラメー
タの確認を行うことができるので、オペレータが必要な
ときに動作状況を把握することができる。更に請求項
7、8の発明によれば、各パラメータの代表的な設定内
容を一目で確認できるため、動作状況の把握が容易であ
る。
【0070】また請求項9〜11の発明によれば被検査
部の配列イメージを表示した画面において、被検査部が
グループ毎に色分けして表示されるための検査の状況や
スキップすべき被検査部がどれであるのかといったこと
を一目で把握できるので便利である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係るプローブ装置の外観を一
部を切欠して示す斜視図である。
【図2】本発明の実施例に係るプローブ装置の要部の構
成を示すブロック図である。
【図3】パラメータ設定時におけるタッチパネル部の画
面の一例を示す説明図である。
【図4】上記プローブ装置におけるプローブカード及び
載置台を示す側面図である。
【図5】位置合わせ時におけるタッチパネル部の画面の
一例を示す説明図である。
【図6】項目選択時におけるタッチパネル部の画面の一
例を示す説明図である。
【図7】載置台のZ方向移動開始位置とプローブカード
とを示す側面図である。
【図8】本発明の実施例におけるプローブ針と電極パッ
ドとの接触の様子を示す説明図である。
【図9】本発明の実施例におけるプローブ針と電極パッ
ドとの接触の様子を示す説明図である。
【図10】パラメータの表示に関する構成を示すブロッ
ク図である。
【図11】タッチパネル部の操作画面の例を示す説明図
である。
【図12】色指定部の操作画面の例を示す説明図であ
る。
【図13】チップについての色指定操作を含む操作の一
例を示すフロー図である。
【図14】タッチパネル部の操作画面の例を示す説明図
である。
【図15】タッチパネル部の操作画面の例を示す説明図
である。
【図16】タッチパネル部の操作画面の例を示す説明図
である。
【図17】タッチパネル部の操作画面の例を示す説明図
である。
【図18】従来のプローブ装置の概略を示す側面図であ
る。
【符号の説明】
2 プローブ針 23 プローブカード 26 マーキング手段 3 載置台 30 XYZステージ 4 タッチパネル部 40 条件入力部 41 表示部 5 制御部 6 記憶部 72 第1撮像手段 8 第2撮像手段

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電極パッドが配列された被検査部を有す
    る被検査体を台に設け、この台をプローブカードに対し
    て相対的に移動させてプローブカードのプローブに電極
    パッドを順次接触させ、被検査部の電気的測定を行うプ
    ローブ装置において、 前記台がX、Y平面に沿って移動するときのプローブと
    電極パッドとのZ方向距離を設定するためのパラメータ
    設定部と、 このパラメータ設定部で設定された前記Z方向距離を記
    憶する記憶部と、 この記憶部に記憶されたZ方向距離に基づいて前記台を
    プローブカードに対して相対的に移動させる制御部と、
    を備えたことを特徴とするプローブ装置。
  2. 【請求項2】 電極パッドが配列された被検査部を有す
    る被検査体を台に設け、前記電極パッドをプローブカー
    ドのプローブ針にオーバドライブをかけて接触させ、被
    検査部の電気的測定を行うプローブ装置において、 前記電極パッドをプローブ針にオーバドライブをかけて
    接触させた後、オーバドライブ量を少なくするために台
    をプローブ針から離れる方向に僅かに相対的に移動させ
    るときのオーバドライブ戻し量を設定するためのパラメ
    ータ設定部と、 このパラメータ設定部で設定された前記オーバドライブ
    戻し量を記憶する記憶部と、 前記電極パッドをプローブ針にオーバドライブをかけて
    接触させた後、前記記憶部で記憶されたオーバドライブ
    戻し量に基づいて、台をプローブ針から離れる方向に相
    対的に移動させる制御部と、を備えたことを特徴とする
    プローブ装置。
  3. 【請求項3】 電極パッドが配列された被検査部を有す
    る被検査体を台に設け、前記電極パッドをプローブカー
    ドのプローブ針にオーバドライブをかけて接触させ、被
    検査部の電気的測定を行うプローブ装置において、 前記電極パッドとプローブ針との繰り返し接触回数を設
    定するためのパラメータ設定部と、 このパラメータ設定部により設定された前記繰り返し接
    触回数を記憶する記憶部と、 前記電極パッドとプローブ針とをオーバドライブをかけ
    て接触させた後、台をプローブカードに対してZ方向に
    相対的に移動させて電極パッドをプローブ針から離し、
    こうして前記記憶部に記憶された接触回数だけ電極パッ
    ドとプローブ針とを繰り返し接触させるように台を相対
    的に移動させる制御部と、を備えたことを特徴とするプ
    ローブ装置。
  4. 【請求項4】 電極パッドが配列された被検査部を有す
    る被検査体を台に設け、前記電極パッドをプローブカー
    ドのプローブ針にオーバドライブをかけて接触させて、
    被検査部の電気的測定を行うプローブ装置において、 前記電極パッドをプローブ針にオーバドライブをかけて
    接触させて第1のオーバドライブ状態にする工程と、 次いでオーバドライブ量を少なくするために台をプロー
    ブ針から離れる方向に僅かに相対的に移動させて第2の
    オーバドライブ状態にする工程と、 この第2のオーバドライブ状態下で被検査部の電気的測
    定を行う工程と、を含むことを特徴とするプローブ方
    法。
  5. 【請求項5】 電極パッドが配列された被検査部を有す
    る被検査体を台に設け、前記電極パッドをプローブカー
    ドのプローブ針にオーバドライブをかけて接触させて、
    被検査部の電気的測定を行うプローブ装置において、 前記電極パッドをプローブ針にオーバドライブをかけて
    接触させる工程と、 次いで前記電極パッドをプローブ針から離す工程と、 その後電極パッドをプローブ針にオーバドライブをかけ
    て接触させる工程と、を含むことを特徴とするプローブ
    方法。
  6. 【請求項6】 電極パッドが配列された被検査部を有す
    る被検査体を台に設け、この台をプローブカ−ドに対し
    て相対的に移動させて、前記電極パッドをプローブカ−
    ドのプローブに接触させ、被検査部の電気的測定を行う
    プローブ装置において、 前記被検査部の測定動作に必要なパラメ−タの項目とそ
    の設定内容とを表示するための表示部と、 前記パラメ−タの項目ごとにパラメ−タの内容を設定入
    力するための設定入力部と、 この設定入力部で設定されたパラメ−タの内容を記憶す
    る記憶部と、 前記被検査部の測定中にパラメ−タ表示の要求をするた
    めの表示要求入力部と、 この表示要求入力部におけるパラメ−タ表示の要求に基
    づいて、前記被検査部の測定中に前記記憶部に記憶され
    ているパラメ−タの項目と設定内容とを前記表示部に表
    示させる制御部と、を備えたことを特徴とするプローブ
    装置。
  7. 【請求項7】 電極パッドが配列された被検査部を有す
    る被検査体を台に設け、この台をプローブカ−ドに対し
    て相対的に移動させて、前記電極パッドをプローブカ−
    ドのプローブに接触させ、被検査部の電気的測定を行う
    プローブ装置において、 前記被検査部の測定動作に必要なパラメ−タの項目とそ
    の設定内容とを表示するための表示部と、 前記パラメ−タの項目ごとにパラメ−タの内容を設定入
    力するための設定入力部と、 この設定入力部で設定されたパラメ−タの内容を記憶す
    る記憶部と、 前記被検査部の測定中に、パラメ−タの一括表示の要求
    をするための表示要求入力部と、 この表示要求入力部におけるパラメ−タの一括表示の要
    求に基づいて、前記記憶部から予め定められた複数のパ
    ラメ−タの項目を代表的な設定内容と共に前記表示部の
    一画面に一括表示させる制御部と、を備えたことを特徴
    とするプローブ装置。
  8. 【請求項8】 制御部は、一括表示されたパラメ−タの
    項目の中から前記表示要求入力部により選択された項目
    について、パラメ−タの詳細内容を表示部に表示する機
    能を更に有することを特徴とする請求項7記載のプロー
    ブ装置。
  9. 【請求項9】 電極パッドが配列された被検査部を有す
    る被検査体を台に設け、この台をプローブカ−ドに対し
    て相対的に移動させて、前記電極パッドをプローブカ−
    ドのプローブに接触させ、被検査部の電気的測定を行う
    プローブ装置において、 前記台上の被検査体の被検査部の配列のイメ−ジを表示
    する表示部と、 被検査部をグル−プ分けし、各グル−プ毎に色を指定す
    る色指定部と、 前記表示部に表示されたイメ−ジにおける被検査部を、
    前記色指定部で指定された色により検査時にリアルタイ
    ムで表示させる制御部と、を備えたことを特徴とするプ
    ロ−ブ装置。
  10. 【請求項10】 電極パッドが配列された被検査部を有
    する被検査体を台に設け、この台をプローブカ−ドに対
    して相対的に移動させて、前記電極パッドをプローブカ
    −ドのプローブに接触させ、被検査部の電気的測定を行
    うプローブ装置において、 前記台上の被検査体の被検査部の配列のイメ−ジを表示
    する表示部と、 検査前の被検査部と検査後の被検査部との夫々の色を指
    定する色指定部と、 前記表示部に表示されたイメ−ジにおける被検査部を、
    前記色指定部で指定された色により検査時にリアルタイ
    ムで表示させる制御部と、を備えたことを特徴とするプ
    ロ−ブ装置。
  11. 【請求項11】 電極パッドが配列された被検査部を有
    する被検査体を台に設け、この台をプローブカ−ドに対
    して相対的に移動させて、前記電極パッドをプローブカ
    −ドのプローブに接触させ、被検査部の電気的測定を行
    うプローブ装置において、 前記台上の被検査体の被検査部の配列のイメ−ジを表示
    する表示部と、 検査前の被検査部、検査により良品と判定された被検査
    部及び不良品と判定された被検査部の夫々の色を指定す
    る色指定部と、 前記表示部に表示されたイメ−ジにおける被検査部を、
    前記色指定部で指定された色により検査時にリアルタイ
    ムで表示させる制御部と、を備えたことを特徴とするプ
    ロ−ブ装置。
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