JP2016178189A - マーキング装置、マーキング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態1に係るマーキング装置10を示す図である。マーキング装置10はステージ12を備えている。ステージ12は、基板14に接触してこれを固定する台座である。ステージ12の表面には吸着溝が設けられ、この吸着溝の一部の底面に設けられた吸着孔から吸気することで、基板14を真空吸着する。基板14を固定できるものであれば、真空吸着するタイプとは別のタイプのステージを採用してもよい。
図6は、実施の形態2に係るインク壷先端部20a等を示す図である。インカー20(インク壷先端部20a)の先端部20fは、ステージ12の表面に対し斜めカットされている。すなわち、インク壷先端部20aは下に凸となる凸部を有している。例えば、インカーに切削加工を施すことで、インカーの先端部を斜めカットすることができる。
図7は、実施の形態3に係るインク壷先端部20aを示す図である。インカーの先端部には、複数の凸部20gが設けられている。インク壷先端部20aに1つの凸部を設けた場合、インクの種類又は周囲温度によりインクの粘度が増加し、インクが当該凸部に残留することがある。インクの残留があると、その後のマーキングにおいてインク吐出量がばらつき、マーキングサイズ及びマーキング位置が変動してしまう。そこで、インカーの先端部(インク壷先端部)に複数の凸部20gを設けることで、ピント合わせの位置を当該凸部に限定でき、しかもインクの残留を抑制できる。
実施の形態4に係る位置検知部は光学式の距離センサである。距離センサは発光部と受光部を有する。図8は、実施の形態4に係るマーキング装置のインク壷20b等を示す図である。このインカーは、距離センサの光源からの光を反射する反射部50を備えている。反射部50は、平面視で環状に形成されている。
図9は、実施の形態5に係るマーキング装置のインク壷20b等を示す図である。インカーの側面の一部に、反射部52が設けられている。そして実施の形態4と同様、距離測定の精度を安定させるために、反射部52のステージ12に対向する部分の面積は数mm2程度を確保することが望ましい。
図10は、実施の形態6に係るマーキング装置を示す図である。ステージ12の側面には2つの位置検知部30、31が設けられている。
Claims (9)
- ステージと、
インクを格納するインカーと、
前記インカーの位置、及び前記インカーによるインクの吐出しを制御する制御部と、
前記インカーの位置を検知する位置検知部と、を備え、
前記制御部は、前記位置検知部から得た情報に基づき、前記ステージから前記インカーまでの距離を予め定められた距離とし、
前記インカーのインク吐出し方向は、前記ステージに対して垂直であることを特徴とするマーキング装置。 - 前記位置検知部は前記インカーの先端を撮影するカメラであることを特徴とする請求項1に記載のマーキング装置。
- 前記インカーの先端部は、前記ステージの表面に対し斜めカットされたことを特徴とする請求項2に記載のマーキング装置。
- 前記インカーの先端部には、複数の凸部が設けられたことを特徴とする請求項2に記載のマーキング装置。
- 前記位置検知部は光学式の距離センサであり、
前記インカーは、前記距離センサの光源からの光を反射する反射部を備えたことを特徴とする請求項1に記載のマーキング装置。 - 前記反射部は、環状に形成されたことを特徴とする請求項5に記載のマーキング装置。
- 前記反射部は、インカーの側面の一部に設けられたことを特徴とする請求項5に記載のマーキング装置。
- 前記位置検知部は、前記ステージの側面に複数取り付けられたことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のマーキング装置。
- 制御部によってインカーの位置、及び前記インカーによるインクの吐出しを制御し、ステージの上の基板の予め定められた場所にマーキングを行う工程を備え、
前記予め定められた場所にマーキングできなかった場合、又は前記インカーが前記基板に接した場合に、前記制御部は、前記ステージの側面に取り付けられ前記インカーの位置を検知する複数の位置検知部のうち前記インカーからの距離が最も近い位置検知部を、前記インカーの直下に位置させ、前記ステージと前記インカーの距離を予め定められた距離にすることを特徴とするマーキング方法。
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